JPS6130306Y2 - - Google Patents
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- JPS6130306Y2 JPS6130306Y2 JP384280U JP384280U JPS6130306Y2 JP S6130306 Y2 JPS6130306 Y2 JP S6130306Y2 JP 384280 U JP384280 U JP 384280U JP 384280 U JP384280 U JP 384280U JP S6130306 Y2 JPS6130306 Y2 JP S6130306Y2
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- Japan
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- laser
- tube
- discharge
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- Expired
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 13
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 206010034719 Personality change Diseases 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案はガスレーザ細管、特にレーザ外囲器
に対するレーザ細管の支持構造に関するものであ
る。
に対するレーザ細管の支持構造に関するものであ
る。
従来He−Neガスレーザ管においては、第1図
に示すように、ガラス製レーザ細管2は、一端の
みガラス製レーザ外囲器1に熔着により固定され
他端は固定されていない構成となつていた。この
ためレーザ管の姿勢が変化すると、レーザ細管2
の固定されていない自由端はたわみ、レーザ共振
器を構成する1対のミラーに対するレーザ細管の
位置がずれることにより、レーザ出力が変化する
欠点があつた。この欠点を改善するレーザ細管の
支持構造として、第2図に示すように、ガラス製
レーザ細管2の両端をガラス製外囲器1に溶着に
より固定し、支持する方法が用いられている。し
かしこの場合もレーザ細管2とレーザ外囲器1間
に温度差が生じ、両者の膨脹量に差ができ、両者
の接続部に歪が生じ、その歪により接続部が割れ
てしまう欠点があつた。
に示すように、ガラス製レーザ細管2は、一端の
みガラス製レーザ外囲器1に熔着により固定され
他端は固定されていない構成となつていた。この
ためレーザ管の姿勢が変化すると、レーザ細管2
の固定されていない自由端はたわみ、レーザ共振
器を構成する1対のミラーに対するレーザ細管の
位置がずれることにより、レーザ出力が変化する
欠点があつた。この欠点を改善するレーザ細管の
支持構造として、第2図に示すように、ガラス製
レーザ細管2の両端をガラス製外囲器1に溶着に
より固定し、支持する方法が用いられている。し
かしこの場合もレーザ細管2とレーザ外囲器1間
に温度差が生じ、両者の膨脹量に差ができ、両者
の接続部に歪が生じ、その歪により接続部が割れ
てしまう欠点があつた。
本考案の目的は、He−Neガスレーザ管におい
て、レーザ管の姿勢変化時に出力変化の原因とな
る細管のたわみをレーザ細管とレーザ外囲器との
熔着部に割れを生ぜしめることなく防止したガス
レーザ管を提供することである。
て、レーザ管の姿勢変化時に出力変化の原因とな
る細管のたわみをレーザ細管とレーザ外囲器との
熔着部に割れを生ぜしめることなく防止したガス
レーザ管を提供することである。
本考案によれば、一端がガラス製レーザ外囲器
に熔着により固定されたガラス製レーザ細管の他
端を、外周がレーザ外囲器の内面に固定され、中
央部にレーザ細管を支持する機構を持つバネ性を
有する円板状の金属性細管支持体により固定した
ガスレーザ管が得られる。なお、金属性細管支持
体と放電用の高圧を印加する為にレーザ外囲器に
装置された陽極との間に、レーザ細管の放電用の
穴を明け、該穴の周囲にレーザ細管に熔着された
円筒状のガラス製放電吹き返しを設けると金属製
細管支持体のスパツタを防止できるのでより好ま
しい。
に熔着により固定されたガラス製レーザ細管の他
端を、外周がレーザ外囲器の内面に固定され、中
央部にレーザ細管を支持する機構を持つバネ性を
有する円板状の金属性細管支持体により固定した
ガスレーザ管が得られる。なお、金属性細管支持
体と放電用の高圧を印加する為にレーザ外囲器に
装置された陽極との間に、レーザ細管の放電用の
穴を明け、該穴の周囲にレーザ細管に熔着された
円筒状のガラス製放電吹き返しを設けると金属製
細管支持体のスパツタを防止できるのでより好ま
しい。
次に図面を参照して本考案について説明する。
第3図は本考案の一実施例を示し、1は真空気密
を保つたガラス製レーザ外囲器、2は内部にレー
ザ媒質を有し、一端がレーザ外囲器1に熔着され
たガラス製細管、3はレーザ細管2の自由端をレ
ーザ外囲器1に対して固定するためにバネ性を有
するステンレス等で作られた金属製細管支持体で
ある。第4図は細管支持体3の拡大図を示す。細
管支持体3の素材はステンレス等のバネ性を有
し、かつ真空気密を妨げない円板状金属であり、
外周上に円板の中心に対し対称に数個所短冊形の
突起物11を有し、該短冊形突起物は円板面に対
し90゜弱の角度に折り曲げられレーザ外囲器に挿
入され、外側に拡がろうとするバネ性により密着
固定される。また円板形をした金属製細管支持体
の中央にも、円板の中心に対して対称に数カ所短
冊形突起物12を有し、この短冊形突起物12
は、外周上の短冊形突起物11とは逆方向に円板
面に対して90゜弱の角度に折り曲げられ、先端の
なす円周径がレーザ細管外径よりも小さくなるよ
うな構成を有している。この円板の中央の短冊形
突起物12内にレーザ細管を挿入し、金属製支持
体の有するバネ性によりレーザ細管の自由端を固
定し、自重によるたわみを防ぐ。第3図に戻つ
て、4はガラス製レーザ細管2に明けられた穴で
あり、放電による金属性細管支持体3のスパツタ
を防ぐ為に設けられる。5は金属性細管支持体4
に接触しないような状態で置かれた冷陰極であ
る。6は放電用の穴4からの放電電流が冷陰極5
の一部に集中し、スパツタを起こさない為にレー
ザ細管2に熔着された円筒形をしたガラス製の放
電吹き返しである。7と8はレーザ光共振器を構
成する1対のミラー、9,10はそれぞれレーザ
管に放電用の高圧を印加する為の陽極ピンと陰極
ピンである。
第3図は本考案の一実施例を示し、1は真空気密
を保つたガラス製レーザ外囲器、2は内部にレー
ザ媒質を有し、一端がレーザ外囲器1に熔着され
たガラス製細管、3はレーザ細管2の自由端をレ
ーザ外囲器1に対して固定するためにバネ性を有
するステンレス等で作られた金属製細管支持体で
ある。第4図は細管支持体3の拡大図を示す。細
管支持体3の素材はステンレス等のバネ性を有
し、かつ真空気密を妨げない円板状金属であり、
外周上に円板の中心に対し対称に数個所短冊形の
突起物11を有し、該短冊形突起物は円板面に対
し90゜弱の角度に折り曲げられレーザ外囲器に挿
入され、外側に拡がろうとするバネ性により密着
固定される。また円板形をした金属製細管支持体
の中央にも、円板の中心に対して対称に数カ所短
冊形突起物12を有し、この短冊形突起物12
は、外周上の短冊形突起物11とは逆方向に円板
面に対して90゜弱の角度に折り曲げられ、先端の
なす円周径がレーザ細管外径よりも小さくなるよ
うな構成を有している。この円板の中央の短冊形
突起物12内にレーザ細管を挿入し、金属製支持
体の有するバネ性によりレーザ細管の自由端を固
定し、自重によるたわみを防ぐ。第3図に戻つ
て、4はガラス製レーザ細管2に明けられた穴で
あり、放電による金属性細管支持体3のスパツタ
を防ぐ為に設けられる。5は金属性細管支持体4
に接触しないような状態で置かれた冷陰極であ
る。6は放電用の穴4からの放電電流が冷陰極5
の一部に集中し、スパツタを起こさない為にレー
ザ細管2に熔着された円筒形をしたガラス製の放
電吹き返しである。7と8はレーザ光共振器を構
成する1対のミラー、9,10はそれぞれレーザ
管に放電用の高圧を印加する為の陽極ピンと陰極
ピンである。
以上のような金属製細管支持体と放電用の穴お
よび放電の吹き返しを有するガスレーザの構成に
より、レーザ管の姿勢が変化しても細管端はたわ
むことがよく、従つてレーザ出力強度の変動がな
い。また、レーザ細管に明けられた放電用の穴と
放電吹き返しの構成により放電による金属製細管
支持体および冷陰極のスパツタを防ぐことができ
る。なお、本考案の実施例として内部ミラー型の
非直線偏光レーザ管を示したが、本考案を実施す
るレーザ管は、内部ミラー型の直線偏光レーザ、
外部ミラー型の直線偏光レーザでもよいことは明
らかである。
よび放電の吹き返しを有するガスレーザの構成に
より、レーザ管の姿勢が変化しても細管端はたわ
むことがよく、従つてレーザ出力強度の変動がな
い。また、レーザ細管に明けられた放電用の穴と
放電吹き返しの構成により放電による金属製細管
支持体および冷陰極のスパツタを防ぐことができ
る。なお、本考案の実施例として内部ミラー型の
非直線偏光レーザ管を示したが、本考案を実施す
るレーザ管は、内部ミラー型の直線偏光レーザ、
外部ミラー型の直線偏光レーザでもよいことは明
らかである。
以上の説明から明らかなように、本考案による
ガスレーザ管は、レーザ細管の割れを生じること
なくレーザ細管のたわみを防ぎ、レーザ管姿勢の
変化時に生じるレーザ出力の変動が抑えられる利
点を有し、その工業的意義は高い。
ガスレーザ管は、レーザ細管の割れを生じること
なくレーザ細管のたわみを防ぎ、レーザ管姿勢の
変化時に生じるレーザ出力の変動が抑えられる利
点を有し、その工業的意義は高い。
第1図及び第2図は従来のガスレーザ管の断面
図、第3図は本考案の一実施例を示す断面図、第
4図は金属製細管支持体の拡大図である。 図において、1……ガラス製レーザ外囲器、2
……ガラス製レーザ細管、3……金属製細管支持
体、4……放電用の穴、5……冷陰極、6……放
電の吹き返し、7,8……1対の光共振器用ミラ
ー、9……陽極ピン、10……陰極ピン、11,
12……短冊形突起物。
図、第3図は本考案の一実施例を示す断面図、第
4図は金属製細管支持体の拡大図である。 図において、1……ガラス製レーザ外囲器、2
……ガラス製レーザ細管、3……金属製細管支持
体、4……放電用の穴、5……冷陰極、6……放
電の吹き返し、7,8……1対の光共振器用ミラ
ー、9……陽極ピン、10……陰極ピン、11,
12……短冊形突起物。
Claims (1)
- 一端がレーザ外囲器に溶着により固定され、他
端が自由端とされているレーザ細管を有し、この
レーザ細管の自由端側の側壁に放電吹き出し用の
孔を設けるとともに、この吹き出し孔の周囲に吹
き出した放電を管軸に沿い内方に導く放電吹き返
しを設け、かつレーザ細管の自由端を外周がレー
ザ外囲器の内面に固定された中央部にレーザ細管
を支持する機構を持つバネ性を有する円板状の金
属製細管支持体により固定したことを特徴とする
ガスレーザ管。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP384280U JPS6130306Y2 (ja) | 1980-01-17 | 1980-01-17 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP384280U JPS6130306Y2 (ja) | 1980-01-17 | 1980-01-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS56106466U JPS56106466U (ja) | 1981-08-19 |
JPS6130306Y2 true JPS6130306Y2 (ja) | 1986-09-05 |
Family
ID=29600569
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP384280U Expired JPS6130306Y2 (ja) | 1980-01-17 | 1980-01-17 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6130306Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6078152U (ja) * | 1983-11-01 | 1985-05-31 | ウシオ電機株式会社 | ガスレ−ザ管 |
JPS60156763U (ja) * | 1984-03-28 | 1985-10-18 | ウシオ電機株式会社 | ガスレ−ザ管 |
-
1980
- 1980-01-17 JP JP384280U patent/JPS6130306Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS56106466U (ja) | 1981-08-19 |
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