JPS5855654Y2 - ガスレ−ザ管 - Google Patents
ガスレ−ザ管Info
- Publication number
- JPS5855654Y2 JPS5855654Y2 JP8610079U JP8610079U JPS5855654Y2 JP S5855654 Y2 JPS5855654 Y2 JP S5855654Y2 JP 8610079 U JP8610079 U JP 8610079U JP 8610079 U JP8610079 U JP 8610079U JP S5855654 Y2 JPS5855654 Y2 JP S5855654Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- tube
- sealing
- gas laser
- laser tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はガスレーザ管の改良に係り、とくに二重管構造
のガスレーザ管における陰極取付は構造の改善に関する
ものである。
のガスレーザ管における陰極取付は構造の改善に関する
ものである。
従来Ｈｅ−Ｎｅ等の混合ガスを用いた比較的小型小出力
のガスレーザ管としては第１図に示すごとき二重管構造
のものが知られている。
のガスレーザ管としては第１図に示すごとき二重管構造
のものが知られている。
すなわち第１図において１はレーザ媒質となるプラズマ
を発生させる内管で、円筒状外囲器２の内部に軸方向の
放電路を構成するように支持されている。
を発生させる内管で、円筒状外囲器２の内部に軸方向の
放電路を構成するように支持されている。
この内管１の軸方向の外側端部に一方の反射鏡３が設け
られ、外囲器２の反対側の端部、すなわち前記内管１に
対向した位置に他方の反射鏡４が設けられている。
られ、外囲器２の反対側の端部、すなわち前記内管１に
対向した位置に他方の反射鏡４が設けられている。
なおこの反射鏡４としてはレーザ光取出しのため半透過
反射鏡が用いられている。
反射鏡が用いられている。
なおこの反射鏡４はレーザ光軸を調整微調するため、外
管２の一端に設けた封着金属兼陰極端子５にベローズ状
の管６と、ミラーベース金属７とを介して気密封着され
ている。
管２の一端に設けた封着金属兼陰極端子５にベローズ状
の管６と、ミラーベース金属７とを介して気密封着され
ている。
そしてこのレーザ光軸の調整にはミラーベース金属７に
設けた調整ビス８を用い、その挿入深さを加減すること
により、管６を塑性変形させて反射鏡４の傾きを微調す
るようになっている。
設けた調整ビス８を用い、その挿入深さを加減すること
により、管６を塑性変形させて反射鏡４の傾きを微調す
るようになっている。
また外囲器２の内壁にそって円筒状冷陰極９を設けると
ともに該陰極９に電源１０を接続するため、端子５との
間にリード線１１を接続している。
ともに該陰極９に電源１０を接続するため、端子５との
間にリード線１１を接続している。
１２は内管１の外囲器を構成する部分に設けられた陽極
で、この陽極と前記陰極の端子５との間に高圧電源１０
から電圧を印加して内管１内に放電を生せしめ、半透過
反射鏡４を通してレーザ光を放射させるものである。
で、この陽極と前記陰極の端子５との間に高圧電源１０
から電圧を印加して内管１内に放電を生せしめ、半透過
反射鏡４を通してレーザ光を放射させるものである。
なお１３は放電によって生ずる陰極のスパツチを防止す
るスパッタ遮蔽板、１４は前記陰極９を支持する板バネ
からなる陰極ホルダである。
るスパッタ遮蔽板、１４は前記陰極９を支持する板バネ
からなる陰極ホルダである。
以上述べた従来の二重管構造のガスレーザ管においては
、陰極の支持に板バネホルダ１４を外管２と内管１の間
に挿入する構成のため、陰極９の保持が不安定となり、
レーザ管の特性面で好ましくない現象を生じていた。
、陰極の支持に板バネホルダ１４を外管２と内管１の間
に挿入する構成のため、陰極９の保持が不安定となり、
レーザ管の特性面で好ましくない現象を生じていた。
また板バネの陰極ホルダ１４やリード線１１の部品を余
分に必要とし、商品価格９組立工数の点でも不利であっ
た。
分に必要とし、商品価格９組立工数の点でも不利であっ
た。
本考案は上記従来の欠点に鑑みなされたもので、外囲器
２の一端に設けた一方の封止用金属と、ミラーベースと
一体構成にした他方の封着金属との間に陰極の一端を介
挿し、前記両封着金属を気密封着することによってそれ
らの間に陰極を保持するようにした構成を特徴とするも
のである。
２の一端に設けた一方の封止用金属と、ミラーベースと
一体構成にした他方の封着金属との間に陰極の一端を介
挿し、前記両封着金属を気密封着することによってそれ
らの間に陰極を保持するようにした構成を特徴とするも
のである。
以上第２図を用いて本考案の実施例について詳細に説明
する。
する。
なお第２図において第１図と同一機能を有する部分には
同一符号を付した。
同一符号を付した。
本考案の構成においては、円筒状冷陰極１５の一端につ
ば状または切欠き部を有する折曲げ部１５ａが設けられ
ており、該折曲げ部１５ａをスパッタ遮蔽板１６と共に
外管２の一端に設けた封着金属２０と、反射鏡４を気密
に取付けたミラーベース金属７およびベローズ状の管６
とを気密に一体構成にした他方の封着金属１７との間に
介挿し、前記両封着金属を封着部１８で溶着又は気密封
着可能な接着材で気密に封着することによって、前記陰
極１５およびスパッタ遮蔽板１６を堅牢に取付けている
。
ば状または切欠き部を有する折曲げ部１５ａが設けられ
ており、該折曲げ部１５ａをスパッタ遮蔽板１６と共に
外管２の一端に設けた封着金属２０と、反射鏡４を気密
に取付けたミラーベース金属７およびベローズ状の管６
とを気密に一体構成にした他方の封着金属１７との間に
介挿し、前記両封着金属を封着部１８で溶着又は気密封
着可能な接着材で気密に封着することによって、前記陰
極１５およびスパッタ遮蔽板１６を堅牢に取付けている
。
なおスパッタ遮蔽板１６は、陰極１５の材料が放電時の
イオン衝撃によってスパッタして反射鏡４の表面に付着
し、レーザ光の反射、透過特性を劣化させないように取
付けたものであって、中央にレーザ光の透過孔１９を有
している。
イオン衝撃によってスパッタして反射鏡４の表面に付着
し、レーザ光の反射、透過特性を劣化させないように取
付けたものであって、中央にレーザ光の透過孔１９を有
している。
また反射鏡４の光軸調整は第１図に示す従来構造のもの
と同様、調整ビス８の挿入長により、反射鏡の傾角を調
整し、最大レーザ出力を得るように調整する。
と同様、調整ビス８の挿入長により、反射鏡の傾角を調
整し、最大レーザ出力を得るように調整する。
以上述べたごとく、本考案では反射鏡構体の封着部に陰
極フランジを挾持するような陰極支持構造を用いている
ので従来構造のものに比して堅牢で、しかも安価にレー
ザ管を構成でき、部品点数と組立工数が少なく信頼度の
高いレーザ管を実現することができる。
極フランジを挾持するような陰極支持構造を用いている
ので従来構造のものに比して堅牢で、しかも安価にレー
ザ管を構成でき、部品点数と組立工数が少なく信頼度の
高いレーザ管を実現することができる。
第１図は従来の二重管構造のガスレーザ管、第２図は本
考案に係るガスレーザ管の一実施例を示す側断面図であ
る。 １：内管、２：外囲器、３：反射鏡、４：反射鏡、５：
封着金属、６：ベローズ状の管、７：ミラーベース金属
、８：調整ビス、９：陰極、１０：電源、１１：リード
線、１２：陽極、１３：遮蔽板、１４：陰極ホルダ、１
５：陰極、１６：遮蔽板、１７．２０・・・・・・封着
金属、１８：封着部、１９：孔。
考案に係るガスレーザ管の一実施例を示す側断面図であ
る。 １：内管、２：外囲器、３：反射鏡、４：反射鏡、５：
封着金属、６：ベローズ状の管、７：ミラーベース金属
、８：調整ビス、９：陰極、１０：電源、１１：リード
線、１２：陽極、１３：遮蔽板、１４：陰極ホルダ、１
５：陰極、１６：遮蔽板、１７．２０・・・・・・封着
金属、１８：封着部、１９：孔。
Claims (1)
- 真空外囲器の一端に設けた封着部を構成する一方の封着
金属と、反射鏡を取付けたミラーベースと一体構成した
他方の封着金属との間に真空外囲器の内壁に沿って設け
られた陰極の一端を介挿し、前記両封着金属を気密封着
することによって前記陰極を保持するようにしたことを
特徴とするガスレーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8610079U JPS5855654Y2 (ja) | 1979-06-22 | 1979-06-22 | ガスレ−ザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8610079U JPS5855654Y2 (ja) | 1979-06-22 | 1979-06-22 | ガスレ−ザ管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS564278U JPS564278U (ja) | 1981-01-14 |
| JPS5855654Y2 true JPS5855654Y2 (ja) | 1983-12-20 |
Family
ID=29319320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8610079U Expired JPS5855654Y2 (ja) | 1979-06-22 | 1979-06-22 | ガスレ−ザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5855654Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6389760U (ja) * | 1986-12-02 | 1988-06-10 | ||
| JPS63140848U (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-16 | ||
| JPH0391750U (ja) * | 1989-12-27 | 1991-09-18 |
-
1979
- 1979-06-22 JP JP8610079U patent/JPS5855654Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS564278U (ja) | 1981-01-14 |
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