JPS6134449A

JPS6134449A - スリツト放射線写真装置

Info

Publication number: JPS6134449A
Application number: JP9529285A
Authority: JP
Inventors: シモン・デインカー; フーゴ・ブラスブローエン
Original assignee: Optische Industrie de Oude Delft NV
Current assignee: Optische Industrie de Oude Delft NV
Priority date: 1984-05-03
Filing date: 1985-05-02
Publication date: 1986-02-18
Anticipated expiration: 2009-11-14
Also published as: IL75085A; EP0162512A1; US4677652A; JPH0690423B2; NL8401411A; EP0162512B1; DE3561038D1; IL75085A0

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、スリット放射線写真装置に関し、この装置は
、操作中走査動作を行なうプランナファンビームを備え
た、複数の並置されるセクションに分割されるスリット
絞りを介して、検査中の物体を照射するＸ線源と、操作
中電気出力信号を生じて、物体の背後に設けられたＸ線
検知器と協働するための、スリット絞りのセクションに
対応するセクションに分割された検知手段と、この検知
手段に連結され、各スリットセクションと協働するＸ線
減衰要素を制御するためのスリット制御手段とを含む。

オランダ特許出願８４，００８４５で開示される装置で
は、伝達されるＸｉは、スリット絞りのセクション毎に
、検査中の物体への吸収に種々の調節が可能で、それに
よって、最終的に得られる像の質をかなり高くすること
ができる。この方法において、詳細をよく見ることので
きるに十分な明暗の対照を有する像が得られる。

オランダ特許出願８４．００８４５は、数多くの実施例
を開示しているが、その実施例では減衰要素の位置が、
適当な磁界を発生することによって制御されたり、−あ
るいけ減衰要素は圧電ストリップて、その位置は適当な
電圧を与えることによって定められたりする。減衰要素
の位置を調節する制御信号の瞬間的な大きさは、セクシ
ョン毎に、特定のセクションに結合された検知手段から
の信号と、予め定められた基準信号との間の差によって
決定される。

上記の類型の装置の最良の操作には、減衰要素の位置の
再、生可能な調節が達成されるようにする　　　［ため
に、減衰要素に与えられる制御信号と、これら要素の位
置との関係を明白にする必要がある。

磁界によって、減衰要素の位置を制御すると、０気ヒス
テリシス効果が起こるという結果になった。減衰要素に
ｉ結されたばねをリセットしてもヒステリシス効果を（
機械的に）示すことＫなる。

このことは、ばねリード形状の減衰要素にもあてはまる
。

さらに、圧電ストリップも同様にヒステリシス効果を示
している。

このヒステリシス効果によって、減衰要素の位置と制御
信号との間の関係は明確さを欠く。さらに、制御信号が
零に減少しても、このことは１．減衰要素をその休止位
置に戻すことを保証しない。

したがって、ヒステリシス効果の発生に関係なく、希望
されるときはいつでも、減衰要素を位置付けて、希望す
る減衰を行なうことのできるスリット制御手段を必要と
する。

本発明の目的は、この必要性を満たすことにある。この
目的のために、本発明に従う上述のタイプの装置では、
スリット制御手段は、検知手段とスリットとの対応する
セクションの組毎の付勢回−路を含み、この付勢回路の
作用によって、特定のスリットセクションと協働する少
なくとも１つの減衰要素の位置が変化され、この付勢回
路は制御回路に含まれ、この制御回路は、このスリット
セクションを通過し、物体を透過し、検知手段の対応す
るセクションに入射する放射線傾よって接続される。こ
の制御回路はさらに、付勢回路と連結される出力を有し
、かつ検知手段のセクションからの電気信号が一方の入
力に与えられ、予め定めた基準信号が他方の入力に与え
られるようにした比較！、路を含み、この付勢回路は、
比較回路のこの入力信号間の差が継続的に零の値をたど
るように操作される。　。

以下添付の図面によって本発明の詳細な説明される。

第１図は、本発明に従う装置の基本図を示している。こ
の装置は、長手スリン）Ｓを有するたとえば鉛プレート
から成るスリット絞り２を介して、検査中の物体ＬＫＸ
線を投じるようにしたＸ線源１を含む。図面においては
、スリットＳは紙面に垂直に延びている。物体りの背後
には箱が設けられておシ、のＸ線透過前面プレートは参
照符４で図式的に示されている。この基本図で示されて
いないＸ＊検知器は前面プレート４の背後に設けられて
いる。このプレート４の背後には、検知手段５も設けら
れており、この検知手段は電気信号を生じ、この信号は
、ｘ’ｆｌＡ検知器に入射したＸ線に常時比例する。

スリン）Ｓは長手形状であるので、プランナ７アンピー
ムが生じる。

操作中、検査中の物体りは、このビームによって走査さ
れる。走査は、スリン）Ｓの長手方向に垂直な方向で行
なわれることができる。この目的のために、たとえば、
スリット絞りとｘｌｓ源とのアッセンブリは、矢符７で
示されるように、紙面に垂直な方向に延びる軸のまわり
を揺動することができるようにする。

しかしながら、走査は他のやり方にても行なうことがで
きる。円錐形のｘｉビームを発生するＸ線源を用いると
き、たとえばこのＸ線源は、希望されれば曲線通路に沿
って、絞りに関して上下に移動されることができるよう
にし、あるいは、希望されれば曲線通路に沿って、絞り
がＸＩｓ源に関して上下に移動されることができるよう
にする。

さらに、Ｘ線源とスリット絞りのアッセンブリを、さら
に希望されれば曲線通路に沿って、上下に移動させるこ
とも可能である。

さらに、装置が細断層Ｘ＠写真を撮るために用いられる
場合には、紙面に延びかつファンビーム平面に垂直な方
向に延びる軸線８のまわりに、装置か物７体を回転させ
ることによって、走査を７アンビ一ム平面に行なうこと
ができる。一連の並置された減衰要素は、スリット絞り
のスリットＳ内あるいはこれに近接するよう設けられ、
この減衰要素は紙面に垂直な方向に延びている。これら
の減衰要素のうちの１つは参照符９で示されている。

実際には、このスリットは、複数、たとえば１０の並置
されたセクションに分割され、各々は適当な減衰要素と
協働する。第１図の基本図には、１つの減衰要素のみが
示されていて、この要素はくリード形状で１つの自由端
を有するが、他の適当な形状にしてもよく、たとえばオ
ランダ特許出願８４．００８４５で示されるように、Ｘ
線ビームの通路に滑動して進入退出するようにしてもよ
い。

検出手段５は、スリットのセクションに対応するセクシ
ョンを含んでいる。Ａ４１図は検知手段の１つのセクシ
ョンのみを示している。このセクションは、図示された
減衰要素に関連されるスリットセクションに対応する。

検知手段は、一連の並置された感光性要素であってもよ
く、この要素は、Ｘ′Ｉｓビームの走査動作に従い、し
たがって、継続的に、Ｘ線検知器によって生じた光を集
め、この光を電気的信号に変換することができる。たと
えば、光電子増倍管、あるいはシリコンセルが感光性要
素として用いられることができる。

各感光性要素は、Ｘ線検知器の関連した範囲たとえば４
Ｘ４ｃｍの範囲からの光を検知する。

検知手段の各セクションは、希望されれば第１図の破線
で示す前置増幅器ｌＯを介して、特定セクションに関連
した比較回路の一方の入力に連結される。この比較回路
は、たとえば差動増幅器１１である。比較回路の他方の
入力は、調節可能な基準信号発生器１２に連結される。

比較回路の出力は、もし希望されれば別の増幅器１３を
介して、関連する減衰要素のための付勢回路１４ＶＣ連
結される。しかし、増幅器１３もまた、比較回路の中に
含まれていてもよい。

オランダ特許出門ｓ４．ｏｏｓ４ｓに述べられているよ
うに、減衰要素の位置は異なった方法で変えることかで
きる。もし減衰要素が片持けり圧電ストリップであるな
ら、各ストリップの電極間に、電圧差を生じる。この電
圧差はこのストリップをアーチ状にし、その自由端は、
大かれ少なかれＸ線ビームの方に延びる。

減衰要素が片持ばねリードあるいは、旋回固定リードで
ある場合、これらの位置は、リードに近接する地点に延
びるコアを有する磁気コイルを付勢することによって変
えることができる。またリードをそれぞれ、磁気コイル
の移動可能なコアに連結させることも可能である。

付勢回路の出力信号をＸとし、休止位置に関する減衰要
素の変位をｙとすると、ｙ＝ｆ（ｘ）となる。上述した
ように１この関係は、ヒステリシス効果が起こる場合に
は、不明瞭となる。

ヒステリシス効果の影響を排除するために、比較回路は
、検知信号と基準信号との差の発生に応答して、正ある
いは負の出力信号を生じるようにしている。この出力信
号は検知信号が基準信号と等しくなるまで維持される。

したがって、減衰要素は、検知信号と基準値との差に応
じた大きさの信号を、付勢回路に与えること（ステイア
ド操作）に応答して、直接希望する位置に移動されるの
ではなく、正あるいは負（検知信号と基準信号との間の
差の符号による）の信号が、付勢回路に与えられ、この
信号は、検知信号が基準信号と異なっている限り維持さ
れる（制御操作）。

事実、スリット絞りの関連するセクションを通過し、続
いて物体を透過するＸ線と、Ｘ線検知器と検知手段の対
応するセクションとの間の放射線とによって接続される
制御回路を実現することができる。この制御回路は、検
知手段を用いて継続的に操作され、減衰要素の実際の位
置を、基準信号によって表わされた希望する位置と比較
し、希望する位置からの゛偏位が認められるやいなや減
衰要素の位置を変える。

第２図は、本発明に従う装置の実施例を概略的に示す。

第１図に示される装置の構成要素に対応する第２図の装
置の構成要素は、同一の参照符で示−されている。第２
図は、正面プレート４の背後に設けられたＸ線検知器２
０の例を示し、この検知器は実際の用に適し、断面図で
示されている。

Ｘ線検知器２０は実質的によく知られた、近接焦点型の
長手像増強管であり、そのカソードには、実質的によく
知られた方法で、入射されたＸ線に応答して電子を解放
する。なおこの電子はアノードＡの方向に加速される。

アノードＡは、同様に　　。

実質的に知られた方法で、入射された電子から光像を形
成する。実施例では、カソードは、たとえば長さ４０　
Ｃｍ幅４ｃｍでよい。この装置は、Ｘ線検知器をＸ線ビ
ームの走査動作と同期して動かして、物体りを通過した
激射“線は、いつでもカソードに入射されるような手段
を備えていなくて、はならない。次に、アノードによっ
て形成される光像を検知することができるように、検知
手段は、Ｘ線検知器の動作に従わなければならない。さ
らに、この光像は、たとえば写真プレート上に記録され
、またはビデオカメラあるいは類似の実質的によく知ら
れた器械によって検査される。

また、そのアノードが、光学出力信号の代わりに所望の
像データを含む電気的１出力信号を発生する一連のＣＣ
Ｄ５（電荷結合装置）から形成される図示のタイプのＸ
線検知器を用いてもよく、このデータはメモリに貯えら
れることができる。

この場合、この検知手段は電気的、出力信号を集めてこ
の信号を比較回路に伝達するようにすることができる０あるいは、贅光スクリーンをＸ線検知器の前方に設ける
ようにしてもよく、このスクリーンは入射されたｘ腺の
一部を光に変換し、この変換された光は感光電池によっ
て検知されることができるようにする。

さらに、是手小幅Ｘｉｌ第１！検知器に代えて、被走査
領域のすべてをカバーするに充分な方法のＸｉ検知器を
用いることもでき、この検知器はそれゆえ静止しつづけ
ることができる。この場合、検知手段は、Ｘ線検知器上
のプランナ７アンビーム入射領域を常にカバーするよう
に設置、あるいは移動すべきである。

第２図示の実施例における検知手段５のそれぞれの七′
クションは、したがってそれぞれの感光要素は、その他
方の入力を接地している関連した伝達インピーダンス増
幅器（電流電圧増幅器）１０の一方の入力に接続される
。

利得はフィードバック抵抗器２１によって制御されるこ
とができる。増幅器１０の出力電圧は、検知要素が関連
する領域におけるＸ線検知器が受は取るＸ線の量を計る
はかりである。

増幅器ｌＯの出力電圧は、第１図の基準信号発生器１２
に対応する電位差計２２によってセットされる基準電圧
と比較される。この目的を果すため、伝達インピーダン
犬増幅器１０の出力電圧が、第１図の比較回路１１およ
び増幅器１３に対応する基準増幅器２３の一方の入力に
印加される。この基準電圧は、基準増幅器２３の他方の
入力に印加される。

第２図の実施例において示されるように減衰要素９が圧
電ストリップの場合、基準増幅器の出力信号は、第１図
の付勢回路１４に対応する電圧増幅器２４に与えられる
。この電圧増幅器２４＃：ｉ関連する圧電ストリップ９
の電極の１つに、たとえばマイナス３００ボルトからプ
ラス３００ボルトの範囲の電圧を印加することができる
。圧電ストリップ型プの電極は接地される。

減衰要素の位置が磁気コイルによって影響される場合は
、増幅器２４をコイルを流れる電流の大きさを決定する
電流増幅器とする。

この回路構成の最も重要な要素は、関連する検知要素か
らの検知器信号の大きさおよび極性が、セットされた基
準信号の大きさおよび極性と比較される比較回路である
。伝達インピーダンス増幅器によって与えられる基準増
幅器の入力電圧がセットされた基準電圧よりも高い場合
、これはすなわち感光電池５におけるｘｍｍが極めて多
く、スリット絞りの対応するセクションを通過したＸ線
が減衰されねばならないことを意味する。図示の場合で
は、そこで圧電ストリップ９がアーチ状に曲げられねば
ならず、これは電圧増幅器２４を介して与えられる基準
増幅器の出力信号によって行なわれ、る。この圧電スト
リップが上方に曲がりはじめるとすぐに、このストリッ
プを通過するＸ線は（さらに）減衰され、これは感光電
池５によって検知される。その結果、この電池の出力信
号が減少し、次いで伝達インピーダンス増幅器によって
与えられる基準増幅器の入力信号が減少することになる
。

この制御工程は、基準信号が伝達インピーダンス増幅器
の出力信号と等しくなり、圧電ス）　ＩＪツブがＸＭビ
ームへ延びるまで続く。電圧増幅器の出力信号は、次に
感光電池が基準増幅器の入力信号間に差を生じさせるよ
うなもう１つの出力信号を発生するまで一定のままであ
る。

同様に、基準増幅器の一方の入力に与えられる伝達イン
ピーダンス増幅器の出力信号が基準電圧よりも小さい場
合は、圧電ストリップのアーチ状に曲がる程度が減少す
る。

このようにそれぞれの圧電ストリップの曲がる程度が両
方の方向において確実に制御され、ヒステリシス効果の
結果が効果的に相殺される。

減衰要素に接続される移動可能な軟鉄コアを有する磁性
コイルを流れる付勢電流が、同様に減衰要素の移動の両
方の方向に関して、確実に制御されることができること
が当業者には明らかであろう。

調整可能な基準電圧のレベルは、Ｘ線検知器のそれぞれ
のセクションにおいて所望される平均露光のわずかの値
に対応する。

初期調整の後、基準電圧はそれぞれのセクションに関し
て一定であるが、例えば減衰要素の特性間の差異や、Ｘ
線検知器における不均一性や、検知要素間の差異や、使
用されるＸ線源によって発生されるＸ線ビームの異方性
等の現象を補償するために、それぞれ異っても良い。こ
の最後に言及した現象を補償することは、走査動作中Ｘ
線源と絞りが相互に関して移動し、その度ごとにＸ線ビ
ームの異なった部分が有効に用いられるような場合には
、特に重要である。

第３Ａ図と第３Ｂ図とは、本発明に従う装置に用いられ
るに適したスリット絞りの実例の正面図と断面図とをそ
れぞれ概略的に示す。

スリ７ツト絞りは、Ｘ線の不透過性のある、たとえば鉛
プレートのようなプレート３を含み、その中に実質的に
長方形で中心的スリツ）Ｓが形成される。

この示された例では、１０個の並行に並置されたリード
あるいはストリップ型の減衰要素９がスリット内に設け
られる。減衰要素は、それらの一端部がスリット内ある
いはその近くに固定され、他端がＸ線源に対向する。こ
のＸ線焦点はＦで示され、この他端は、付勢回路の影響
を受けてＸ線ビームの方へ大かれ少なかれ延びていくこ
とができる。この装置は、小型構造となるが、原則的に
、減衰要素の遊端をＸ線源から離れて、すなわちＸ線検
知器の方向に向かわせることも可能である。

上記の内容を読めば、示された実施例の異なった修正は
当業者には明らかなものである。

たとえば、！ステリシス効果が減衰要素の位置制御に重
要な役割を果たすのではない場合でも、自明のことであ
るが、本発明に従う制御装置を用いられることができる
。

この修正は、本発明の範囲内で収まるものと考えられる
。

本発明は下記の茜梯で実施が可能である。

（１）被検査物体に複数の並置セクションに分割される
スリット絞りを介して操作中走査動作をなすプランナフ
ァンビームを照射するＸ線源と、操作中電気出力信号を
発生し物体の背後に設けられるＸ線検知器と協働する検
知手段であって、スリット絞りのセクションに対応する
セクションに分割される検知手段と、それぞれのスリッ
トセクションと協働するＸ線減衰要素を制御し検知手段
に接続されたスリット制御手段とを含むスリット放射線
写真装置において、前記スリット制御手段は、検知手段
とスリットの対応するセクションのそれぞれの対に関す
る付勢回路を含み、前記付勢回路の作用によって特定の
スリットセクションと協働する少くとも１つの減衰要素
の位置が変えられ、前記付勢回路は、前記スリットセク
ションを通過し物体を透過し検知手段の対応するセクシ
ョンに入射される放射線を介して接続される制御回路に
含まれ、前記制御回路はさらに比較回路を含み、前記比
較回路は、その出力が付勢回路に結合され、その一方の
入力に検知手段のセクションから電気的信号が与えられ
、その他方の入力に予め定めた基準信号が与えられ、前
記付勢回路は比較回路の入力信号間の差が絶えず零の値
となるように作動することを特徴とするスリット放射線
写真装置。

（２）前記比較回路は差動増幅器であることを特徴　　
□とするスリット放射線写真装置。

（３）それぞれの制御回路の比較回路に関する基準−信
号は同一であることを特徴とするスリット放射線写真装
置。

（４）異なった制御回路の比較回路に関する基準信号は
予め定めた差を示し、この差は装置に関連したパラメー
タで決ることを特徴とするスリット放射線写真装置。

（５）前記￥ＩＪ御回路は検知手段の関連するセクショ
ンから電気的信号が与えられる伝達インピーダンス増幅
器を含み、前記伝達インピーダンス増幅器の出力信号は
比較回路の前記一方の入力に与えられることを特徴とす
るスリット放射線写真装置。

【図面の簡単な説明】

第１＠は、本発ｑｑに従う装置の基本図、第２図は本発
明に従う制御装置の実施例を含むスリット放射線写真装
置の例を概略的に示す図、第３Ａ。第３Ｂ図はリード形状で減衰要素を含むスリット絞りの
正面および断面をそれぞれ示す図である。１・・・ｘＩｌｉｌｉ！源、２・・・スリット絞り、４
・・・正面プレート、５・・・検知手段、６・・・プラ
ンナファンビーム、７・・・・矢符、９・・・減衰要素
、１０・・・前置増幅器、１１・・・差動増幅器、１２
・・・基準信号発生器、１３・・・増幅器、１４・・・
付勢回路、２０・・・Ｘ線検知器、２１・・・フィード
バック抵抗器、２２・・・電位差計、２３・・・基準増
幅器、２４・・・電圧増幅器、Ａ・・・アンード、Ｋ・
・・カソード、Ｌ・・−物体、Ｓ・・・スリット代理人
　　　弁理士　西教圭一部＼ｙ” 第３ＡＩ２手続補正書（方式）％式％２、発明の名称スリット放射線写真装置３、補正をする者事件との関係　　出願人住　所　オランダ国２６１２イクスエーデル７ト・ファ
ンミーレベルトラーン９名　称　エヌ・ベー・オブテイツシエ・インダストリエ
・“デ・オーデ・デル７ト” 代表者　レモン・ディンカー国　籍　オランダ国４、代理人住　所　大阪市西区西本町１丁・目１３番３８号　新興
産ビル国装置ＥＸ　０５２５−５９８５　　ＩＮＴＡＰ
Ｔ　　Ｊ国際ＦＡＸ　ＧＩＩ＆Ｇｎ　（０６）５３Ｂ−
０２４７６、補正の対象明細書７、補正の内容明細書の浄書（内容に変更なし）。以　　上

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被検査物体に、複数の並置セクションに分割され
るスリット絞りを介して、操作中走査動作をなすプラン
ナフアンビームを照射するＸ線源と、操作中電気的出力
信号を発生し物体の背後に設けられるＸ線検知器と協働
する検知手段であつて、スリット絞りのセクションに対
応するセクションに分割される検知手段と、それぞれの
スリットセクションと協働するＸ線減衰要素を制御し検
知手段に接続されたスリット制御手段とを含むスリット
放射線写真装置において、前記スリット制御手段は、検
知手段とスリットの対応するセクションのそれぞれの対
に関する付勢回路を含み、前記付勢回路の作用によつて
特定のスリットセクションと協働する少くとも１つの減
衰要素の位置が変えられ、前記付勢回路は、前記スリッ
トセクションを通過し物体を透過し検知手段の対応する
セクションに入射される放射線を介して接続される制御
回路に含まれ、前記制御回路はさらに比較回路を含み、
前記比較回路は、その出力が付勢回路に結合され、その
一方の入力に検知手段のセクションから電気的信号が与
えられ、その他方の入力に予め定めた基準信号が与えら
れ、前記付勢回路は比較回路の入力信号間の差が絶えず
零の値となるように作動することを特徴とするスリット
放射線写真装置。
（２）前記比較回路は差動増幅器であることを特徴とす
る、特許請求の範囲第１項記載のスリット放射線写真装
置。
（３）それぞれの制御回路の比較回路に関する基準信号
は同一であることを特徴とする特許請求の範囲第１項ま
たは第２項記載のスリット放射線写真装置。
（４）異なつた制御回路の比較回路に関する基準信号は
予め定めた差を示し、この差は装置に関連したパラメー
タで決ることを特徴とする特許請求の範囲第１項または
第２項記載のスリット放射線写真装置。
（５）前記制御回路は検知手段の関連するセクションか
ら電気的信号が与えられる伝達インピーダンス増幅器を
含み、前記伝達インピーダンス増幅器の出力信号は比較
回路の前記一方の入力に与えられることを特徴とする先
行する特許請求の範囲のうちの１つの項に記載のスリッ
ト放射線写真装置。