JPS6133871U - ドライエツチング装置 - Google Patents
ドライエツチング装置Info
- Publication number
- JPS6133871U JPS6133871U JP11828084U JP11828084U JPS6133871U JP S6133871 U JPS6133871 U JP S6133871U JP 11828084 U JP11828084 U JP 11828084U JP 11828084 U JP11828084 U JP 11828084U JP S6133871 U JPS6133871 U JP S6133871U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dry etching
- processed
- etching equipment
- ion
- performs
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
′第１図は本考案に係るドライ室ツチング装置の− 側
断面図、第２図は同装置の横断面図である。 一、１：真空チャンバー、２′：上部電極、３：下
部電極、６：−イーン銃。
断面図、第２図は同装置の横断面図である。 一、１：真空チャンバー、２′：上部電極、３：下
部電極、６：−イーン銃。
Claims (1)
- （１）上部、下部の各電極間で被加工鋼材をリアク−
テイブイオンエッチング処理する真空チャンバ下に、被
加工鋼材のアルミ表面のみを事前にイ、オンビームエッ
チング処理するイオン銃を備えてなることを特徴とする
ドライエレチング装３。 ，−２４オ７９，１、．Ｓウ９ｏお４，えッや介し、タ
ーンテーブルでなる下部電極板の板面上に載置した被加
工鋼材のアルミ表面のみをイ−オンビームエッチング処
理可能にチャンバーの矢板に装着されているところの実
用新案登録請求の範囲第１項記載のドライエッチング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11828084U JPS6133871U (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | ドライエツチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11828084U JPS6133871U (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | ドライエツチング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6133871U true JPS6133871U (ja) | 1986-03-01 |
| JPS6333962Y2 JPS6333962Y2 (ja) | 1988-09-08 |
Family
ID=30677171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11828084U Granted JPS6133871U (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | ドライエツチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6133871U (ja) |
-
1984
- 1984-07-30 JP JP11828084U patent/JPS6133871U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6333962Y2 (ja) | 1988-09-08 |
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