JPS6133058B2 - - Google Patents

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JPS6133058B2
JPS6133058B2 JP55153985A JP15398580A JPS6133058B2 JP S6133058 B2 JPS6133058 B2 JP S6133058B2 JP 55153985 A JP55153985 A JP 55153985A JP 15398580 A JP15398580 A JP 15398580A JP S6133058 B2 JPS6133058 B2 JP S6133058B2
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magnetic
amorphous
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rotation speed
alloy
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Yoshimi Makino
Yoshitaka Ochiai
Akira Kamihira
Kazuhide Hotai
Koichi Aso
Masatoshi Hayakawa
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Sony Corp
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C45/00Amorphous alloys
    • C22C45/04Amorphous alloys with nickel or cobalt as the major constituent
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/04General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering with simultaneous application of supersonic waves, magnetic or electric fields

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Description

【発明の詳細な説明】
本発明は非晶質磁性合金の製造方法に関し、例
えば磁気ヘツド等の軟磁性コア材料として好適な
高透磁率及び高飽和磁束密度を有する非晶質合金
の製造方法に関するものである。 軟磁性コア材料として知られている金属非晶質
(アモルフアス)合金には、Fe系、Co−Fe系、
Co−Fe−Ni系、Fe−Ni系等があり、これらを製
造するには、従来、遠心急冷法、片ロール法、双
ロール法等が採用されている。こうしたアモルフ
アス合金で磁気ヘツド等を構成する場合には、先
ず、使用周波数帯域で透磁率の高いことが要求さ
れる。ところが、上記の製造方法では、製造過程
でアモルフアスリボンに内部応力σが入り、これ
が磁歪定数λと結びついて磁気特性、特に透磁率
μを劣化させてしまう(μ∝1/λ。)。Fe系アモル フアス合金については、製造後に無磁場中熱焼
鈍、磁場中熱焼鈍を行なうことによつて内部応力
が緩和され、透磁率が向上することは良く知られ
ている。しかしながら、焼鈍後、アモルフアス合
金リボンをコア状に打抜いたりエツチングする際
に発生する歪による透磁率の劣化を防止する方策
は十分に講じられているとは言えない。 一方、Co−Fe系合金については、本出願人に
よる特願昭53−155241号等によつて、磁気キユリ
ー温度Tcより高く結晶化温度Tcryより低い温度
T(0.95×Tc≦T≦Tcry)に保持した後、急冷
することで、透磁率を大巾に改善することができ
る。ところが、近年、特に高抗磁力の金属磁性粒
子を用いる磁気記録媒体等の実用化に伴ない、こ
れらのアモルフアス合金に透磁率のみならずその
飽和磁束密度Bsの高いこと(Bs≧8000Gauss)
が要求されるようになつてきた。金属アモルフア
ス合金において、その飽和磁束密度を高めるため
には、含有するCo、Fe、Ni等の遷移金属元素の
割合を大きくしなければならないが、このように
遷移金属元素の割合を大きくすると、一般に、そ
の合金の磁気キユリー温度Tcが上がりかつ結晶
化温度Tcryが下がる傾向にある。例えば、Co−
Fe−Si−B系のアモルフアス合金では、CoとFe
の総含有量が78at%(原子比)以上になると、結
晶化温度Tcryが磁気キユリー温度Tcよりも低く
なつてしまう。従つて、このようなアモルフアス
合金の飽和磁束密度を高めようとして、Co、Fe
等の割合を増していくと、例えば上記78at%以上
では、上述したような磁気キユリー温度以上から
の急冷による透磁率の改善方法を適用することが
できなくなる。しかも、特にCo−Fe系の合金に
あつては、合金中に存在するCoによる誘導磁気
異方性が大きく、飽和磁束密度の高い合金が得ら
れたとしても、何ら処理しない製造したままの状
態では透磁率が低いためにこれを実用に供するこ
とは困難である。 このような問題点に鑑みて、既に本出願人は特
願昭54−80955号により、非晶質磁性合金材料を
静止又は回動磁界中で、この磁界に対して相対的
に回動させながら、その結晶化温度よりも低い温
度範囲で熱処理する方法を提案した。これによつ
て、アモルフアス合金の誘導磁気異方性を消失さ
せて、透磁率を大巾に向上させることができ、し
かも、この方法は、アモルフアス合金の磁気キユ
リー温度Tcと結晶化温度Tcryとの関係に束縛さ
れないので、広範囲の金属アモルフアス合金に対
して適用できる。ところが、この方法では、例え
ば磁界の変化速度を合金原子の熱による平均移動
速度より大きくした状態で熱処理する必要があ
り、このため比較的大きな回動速度が必要であつ
た。 本発明は上述のような問題点に鑑みてなされた
ものであつて、低い回転速度においても、充分誘
導磁気異方性を消失させ得るような方法を提供し
ようとするものである。この目的を達成するため
に、本発明では、非晶質磁性合金材料を、静止又
は回動磁界中で、この磁界に対して相対的に回転
させながら、その結晶化温度よりも低い温度範囲
で熱処理するようにした非晶質磁性合金の製造方
法において、前記非晶質磁性合金材料と磁界との
間の相対的な回転速度が、 Rτ=0.5n R:回転速度(回転数) τ:前記非晶質磁性合金材料が誘導磁気異方
性の熱平衡状態に達するまでの平均時間 n:任意の自然数 で示される関係をほぼ満足するような条件下で前
記熱処理を行なうようにしている。ただし、この
場合、Rとτとの時間単位は互に一致させる。
このように構成することによつて、例えば低い回
転速度でも充分にアモルフアス合金の誘導磁気異
方性を消失させることができ、このため透磁率を
大巾に向上させることができるのである。本発明
による方法も、アモルフアス合金の磁気キユリー
温度Tcと結晶化温度Tcryとの関係に束縛されな
いので、広範囲の金属アモルフアス合金に対して
適用できる。実際、本発明による方法は、磁場中
冷却効果を示す全てのアモルフアス合金に対して
適用可能である。特に本発明による方法は、透磁
率が低くしかも従来ではそれを改善することがで
きなかつたような金属アモルフアス合金で高い飽
和磁束密度を有するものすなわち結晶化温度が磁
気キユリー温度よりも低いアモルフアス合金、例
えば、78at%以上の遷移金属元素を含むCo−Fe
−Si−B系アモルフアス合金に対して極めて有用
なものである。 本発明に言う磁界に対する非晶質合金材料の
「相対的な回転」には、後述する実施例のような
2次元的な回転運動はもちろんのこと、3次元的
な回転運動(即ち、幾つかの2次元的な回転運動
の合成)も含むし、また、非晶質磁性合金の誘導
磁気異方性が平面的にのみ問題となる場合(例え
ば合金を薄く作成したような場合)には、その平
面への投影が上述したような変化となる磁界の変
化(例えば、磁界ベクトルが円錐振り子のように
運動するような変化)でも良い。これらの場合、
合金材料を固定して外部磁界を変化させても良い
し、その逆に、外部磁界を固定して合金材料を動
かしても良い。又、両方を動かすことも出来る。 特にC0系アモルフアス合金において顕著なよ
うに、金属アモルフアス合金においても、結晶の
場合と同様に、誘導磁気異方性が発生する。この
ことは、例えばFe4.7Co75.3Si4B16なる組成を持つ
磁歪がほぼ零のアモルフアス合金においても、合
金を作製したままの何ら特別の処理を施さない状
態では、透磁率μが低い(μ〓1000)という事実
から推測される。 この誘導磁気異方性の発生は、このような金属
アモルフアス磁性合金にも、微小ではあるが、磁
気的に誘導される原子の短範囲規則化(シヨー
ト・レンジ・オーダ)又は対配位(ペア・オー
ダ)した部分が存在していることを示唆してい
る。前述した磁気キユリー温度以上から急冷する
透磁率の改善方法は、アモルフアス合金を磁気キ
ユリー温度Tc以上に加熱することによつて、上
記微小部分の原子の規則化又は配位を無秩序なも
のにしてやり、その後急冷することによつて、こ
の無秩序状態を凍結してやろうとするものであ
る。これに対して、本発明では、金属アモルフア
ス合金を、磁界中で、この外部磁界の方向を相対
的に変化させながら熱処理することによつて、上
述した磁気的に誘導される微小部分の原子の規則
化又は配位をなくして無秩序状態を実現する。 本発明者らは、既述した特願昭54−80955号に
よる方法を更に検討した結果、一定の温度条件で
磁界の相対的な回転速度と透磁率との間に特定の
関係が存在することを発見した。そして、この新
しく発見した関係を利用すると、低い回転速度で
も有効な透磁率の改善が可能となることを見出し
た。 以下にこの回転速度と透磁率との関係を説明す
る。 今、一方向に誘導磁気異方性が飽和しているア
モルフアス合金材料に、その方向に対して直角の
方向に磁界をかけたとする。この様子を第1図に
示すが、最初K に飽和していた誘導磁気異方性
は、曲線aで示すように、時間と共に減少して零
となる。一方、これと直角方向の誘導磁気異方性
は、曲線bで示すように、時間と共に増加して遂
にはK に飽和する。これらの曲線a,bを、破
線で示すように直線a′,b′で近似し、誘導磁気異
方性が平衡状態に達するまでの時間をτとす
る。このτは材料組成と温度との関係であり、
これらが決まると一義的に定まる定数と見なすこ
とができる。 次に、アモルフアス合金材料と磁界との間の相
対的な回転速度(回転数)をR、その角速度を
ω、時間τ内での回転角をφとすると、 ω=2πR ……(1) φ=ωτ ……(2) である。ここで、第2図に示すように、角度φ
の中心を磁気異方性エネルギー表示の角度θの原
点にとり、また、φをn等分した角度をΔφ=
φ/nとする。 このΔφ内に発生する誘導磁気異方性を
【式】即ち、第3図に示すように、角度φ 内で誘導磁気異方性ΔKiが一様に発生すると
した矩形モデルを考えると、 ΔKi=Δφ/φ ……(3) そこで、磁気異方性エネルギーE(θ)は、 となる。この(4)式に(3)式を代入して、n→∞即ち
Δφ→0、kΔφ→φの極限をこえると、 ただし、
【式】従つ て、(1)、(2)及び(5)式から、回動磁界による磁気異
方性エネルギーKiは、 Ki=sinφ/φ =sin2πRτ/2
πRτ ……(6) と表わされる。 この磁気異方性エネルギーKiと透磁率μとの
間の関係は、 (i) 磁化過程が磁壁移動の場合、 (ii) 磁化過程が回転磁化の場合、 μ∝1/K ……(8) である。周波数が100KHzのオーダー位までは、
(i)の磁壁移動によると考えられるので、この場合
には、(6)式及び(7)式から、 である。ここで、2πRτが第3又は第4象現
にあるときはμが虚数となるので、物理的意味を
もつ関係としては、 である。この関係を第4図に示す。 この結果から分かるように、 Rτ=0.5n(h=1、2、3、…) ……(10) の関係を満足する時にμの値は無限大に発散す
る。ただし、実際には、他の要因が働くので無限
大には発散せず、(10)式の関係を満足したところで
極大値をとる。 上述した矩形モデルにおいては、角度φ内に
発生する誘導磁気異方性が一様であると仮定した
が、実際には、回動磁界が走査して通り過ぎた後
では、発生した誘導磁気異方性が次第に消えてゆ
く。そこで、第3図に破線で示すような三角形モ
デルを考えると、さらに良い近似が得られる。こ
のモデルでは、 ΔKi(φ)=ΔKi(1/2+φ/φ) =Δφ/φ (1/2+φ/φ) ……(3)′ となるので、この(3)′式を用いて、前述の矩形モ
デルの場合と同様に計算すると、 が得られる。この
【式】が三角形モ デルによる補正の効果である。この三角形モデル
の補正効果によりピーク値はおさえられる方向に
作用する。実際には矩形モデルと三角形モデルの
中間状態が実現されると考えられる。 以上の説明から明らかなように、(10)式の関係を
ほぼ満足するように熱処理時の回転数を設定すれ
ば、低い回転速度の場合にもかなり大きな透磁率
μを得ることができる。例えば、
Fe4.7Co75.3Si4B16の組成の場合、温度370℃で、
τ≒0.067秒であり、従つて、(10)式から、回転
数Rを約450rpm(n=1)、900rpm(n=2)
等に設定すれば良いことが分かる。 なお、Rτ=0.5nを満足する時に透磁率は極
大となるが、Rτ=anとあらわしてaが0.4〜
0.6の時には透磁率の増加は顕著であることがわ
かる。 本発明における熱処理温度は、処理するアモル
フアス合金の結晶化温度Tcryより低いことはも
ちろん必要であるが、各原子が熱的に移動可能な
温度であれば良い。この温度範囲は、金属アモル
フアス合金の組成、外部磁界の強さ、熱処理の処
理時間等に大きく左右される。一般的には、200
℃以上の温度であれば、本発明による効果が顕著
である。この処理温度を高くすれば、処理時間は
短くて良い。特に、この処理時間との関係から、
前述したτが分オーダーとなるような温度が好
ましい。 以下、本発明を実施例につき説明する。 実施例 原子比でFe4.7Co75.3Si4B16となるように、Fe、
Co、Si、Bの各々を秤量し、高周波誘導加熱炉
によつて溶解して母合金を作成した。この母合金
を原料として用い、本発明者らが先に特願昭52−
22937号として提案した圧延急冷装置によりこれ
を急冷して、厚さ20〜40μ、巾10〜15mmのリボン
状のアモルフアス合金を作成した。得られたリボ
ン状合金がアモルフアス(非晶質)であること
は、X線回折によつて確認した。また、示差熱分
析(DTA)により結晶化温度Tcry=420℃を求
めた。このリボン状合金から切出した12×12mm2
試料を、H=2.4KOeの直流磁場中で定速回転さ
せながら、Ta=370℃でta=10分間熱処理を行な
つた。試料の温度はアルメルクロメル熱電対によ
りモニターした。熱処理後、試料を急冷した。 次いで、この試料から超音波加工機によつて、
外径10mm、内径6mmのリング状試料を打抜き、そ
の透磁率μを測定した。この透磁率μの測定は、
測定磁界10mOeの下でマクスウエルブリツジを
用いて行なつた。得られた回転数R(rpm)と透
磁率μとの関係を第5図に示す。 この第5図から分かるように、回転数Rと透磁
率μとの間の関係は、第4図の理論曲線と非常に
良く一致し、回転数Rがほぼ450、900、1350rpm
のところに夫々ピークが存在している。各ピーク
での値は1KHzの透磁率で30000〜40000位と推定
される。従つて、この結果から、透磁率μの実用
範囲即ち約10000以上の透磁率μを得るために
は、ピーク位置近傍の回転数Rを選べば良いこと
が分る。
【図面の簡単な説明】
第1図は誘導磁気異方性が一方向に飽和してい
るアモルフアス合金にその方向と直角の方向に磁
界をかけた時の時間による誘導磁気異方性の変化
を示すグラフ、第2図は時間τ内での磁界の回
転角φを示す説明図、第3図は角度φ内での
誘導磁気異方性ΔKiの分布を示す説明図、第4
図は透磁率μとτ×回転数Rとの間の理論的な
関係を示すグラフ、第5図はFe4.7Co75.3Si4B16
る組成のアモルフアス合金における透磁率μと回
転数Rとの間の関係を示すグラフである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 非晶質磁性合金材料を、静止又は回動磁界中
    で、この磁界に対して相対的に回転させながら、
    その結晶化温度よりも低い温度範囲で熱処理する
    ようにした非晶質磁性合金の製造方法において、
    前記非晶質磁性合金材料と磁界との間の相対的な
    回転速度が、 Rτ=0.5n R:回転速度(回転数) τ:前記非晶質磁性合金材料が誘導磁気異方
    性の熱平衡状態に達するまでの平均時間 n:任意の自然数 で示される関係をほぼ満足するような条件下で前
    記熱処理を行なうようにしたことを特徴とする方
    法。
JP55153985A 1980-10-31 1980-10-31 Manufacture of amorphous magnetic alloy Granted JPS5779157A (en)

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