JPS6131965A - 半導体流速検出器 - Google Patents
半導体流速検出器Info
- Publication number
- JPS6131965A JPS6131965A JP15315884A JP15315884A JPS6131965A JP S6131965 A JPS6131965 A JP S6131965A JP 15315884 A JP15315884 A JP 15315884A JP 15315884 A JP15315884 A JP 15315884A JP S6131965 A JPS6131965 A JP S6131965A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- flow velocity
- semiconductor
- semiconductor flow
- fluid
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
- G01P5/10—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は流体の流速を検出する半導体流速検出器にかか
わり、零点出力の温度変動の補償に関する０ ［発明の技術的背景とその問題点］ 従来技術を第６図乃至第７図を参照して説明する。従来
の半導体流速検出器は第６図に示す様に、同一半導体基
板に発熱用素子としての発熱用トランジスタ〜３と温度
測定用素子としての温度測定用トランジスタ〜２が形成
されている半導体流速検出素子〜ｌと流体温度測定用素
子としての流体温度測定用トランジスタ〜４と半導体流
速検出器駆動回路から構成されている。半導体流速検出
器駆動回路は半導体流速検出素子と流速を測定する流体
の温度を各々、温度測定用トランジスタ〜２と流体温度
測定用トランジスタ〜４で検出して常に半導体流速検出
素子の温度を流体よりも一定温度高い状態に保持する様
にＯｐ、Ａｍｐ〜６を介して発熱用トランジスタの発熱
を制御する。そして、流速に応じて変化する発熱用トラ
ンジスタの電位■ｃを信号出力Ｖｏｕｔとして検出し流
速の測定を行なうものである。流体の温度変化に対応し
て発熱用トランジスタの発熱を変化させているために、
流体の流れがない時の零点出力は第７図に示す様に流体
の温度によって変化する欠点があった。零点出力の温度
ＫｗＪは測距器の性能を決める重要項目であり、半導体
流速検出器の性能向上のために零点出力の温度変動の欠
点の改善が望まれている。
わり、零点出力の温度変動の補償に関する０ ［発明の技術的背景とその問題点］ 従来技術を第６図乃至第７図を参照して説明する。従来
の半導体流速検出器は第６図に示す様に、同一半導体基
板に発熱用素子としての発熱用トランジスタ〜３と温度
測定用素子としての温度測定用トランジスタ〜２が形成
されている半導体流速検出素子〜ｌと流体温度測定用素
子としての流体温度測定用トランジスタ〜４と半導体流
速検出器駆動回路から構成されている。半導体流速検出
器駆動回路は半導体流速検出素子と流速を測定する流体
の温度を各々、温度測定用トランジスタ〜２と流体温度
測定用トランジスタ〜４で検出して常に半導体流速検出
素子の温度を流体よりも一定温度高い状態に保持する様
にＯｐ、Ａｍｐ〜６を介して発熱用トランジスタの発熱
を制御する。そして、流速に応じて変化する発熱用トラ
ンジスタの電位■ｃを信号出力Ｖｏｕｔとして検出し流
速の測定を行なうものである。流体の温度変化に対応し
て発熱用トランジスタの発熱を変化させているために、
流体の流れがない時の零点出力は第７図に示す様に流体
の温度によって変化する欠点があった。零点出力の温度
ＫｗＪは測距器の性能を決める重要項目であり、半導体
流速検出器の性能向上のために零点出力の温度変動の欠
点の改善が望まれている。
［発明の目的］
本発明の目的は上記の様な零点出力の温度変動の欠点を
改善することにある。
改善することにある。
［発明の概要］
本発明は、発熱用素子と温度測定用素子とが形成された
半導体流速検出素子と流体温度測定用素子と半導体流速
検出素子を流体の温度より一定温度高い状態に保持する
駆動回路からなる半導体流速検出器で、流体の温度に対
応して変化する発熱用素子の信号出力と流体温度測定用
素子の信号出力とを演算し零点出力の温度変動を補償し
たものである。
半導体流速検出素子と流体温度測定用素子と半導体流速
検出素子を流体の温度より一定温度高い状態に保持する
駆動回路からなる半導体流速検出器で、流体の温度に対
応して変化する発熱用素子の信号出力と流体温度測定用
素子の信号出力とを演算し零点出力の温度変動を補償し
たものである。
［発明の効果コ
本発明によれば、温度変動のない安定した零点出力が得
られるため、半導体流速検出器の測定精度が上がり、性
能が大幅に向上する。
られるため、半導体流速検出器の測定精度が上がり、性
能が大幅に向上する。
［発明の実施例］
本発明の実施例を第１図乃至第４図を参照して説明する
。第１図は本発明の半導体流速検出器の回路構成図であ
り従来の半導体流速検出器に零点出力温度変動補償回路
〜７を加えたものである。
。第１図は本発明の半導体流速検出器の回路構成図であ
り従来の半導体流速検出器に零点出力温度変動補償回路
〜７を加えたものである。
半導体流速検出素子〜１の発熱用トランジスタ〜３のコ
レクタ電位■ｃは、流れがない時には第７図に示した様
に Ｖｃ＝＝ ＶＣＯ−αｃ（Ｔ Ｔｏ）
（１）と温度に対してリニアに変化する。但し、ｖｃｏ
は基準温度Ｔｏの時のコレクタ電位、αＣは温度係数。
レクタ電位■ｃは、流れがない時には第７図に示した様
に Ｖｃ＝＝ ＶＣＯ−αｃ（Ｔ Ｔｏ）
（１）と温度に対してリニアに変化する。但し、ｖｃｏ
は基準温度Ｔｏの時のコレクタ電位、αＣは温度係数。
トランジスタのエミッタ電位は、一般によく知られてい
る様に ＶＢＢ ：αＴ （Ｔ−Ｔｏ ） −ＶＢＩＯ’
（２）と温度に対してリニアに変化する。但し
、■ＢＩｌｏは基準源ｉＴｏの時のエミッタ電位、αＴ
は温度係数。
る様に ＶＢＢ ：αＴ （Ｔ−Ｔｏ ） −ＶＢＩＯ’
（２）と温度に対してリニアに変化する。但し
、■ＢＩｌｏは基準源ｉＴｏの時のエミッタ電位、αＴ
は温度係数。
コレクタ電位■ｃとエミッタ電位ＶＢＢ ｔｄ共に温度
に対してリニアに変化するので第２図に示す様に、ｖｃ
とＶＢＢに演算処理を施すと、温度によって変動しない
出力Ｖｏｕｔが得られる。本発明の実施例の半導体流速
検出器の出力Ｖｏｕｔは、 であり、（１） 、 （２）式より となる。出力Ｖｏｕｔの温度変動項は第２項である。
に対してリニアに変化するので第２図に示す様に、ｖｃ
とＶＢＢに演算処理を施すと、温度によって変動しない
出力Ｖｏｕｔが得られる。本発明の実施例の半導体流速
検出器の出力Ｖｏｕｔは、 であり、（１） 、 （２）式より となる。出力Ｖｏｕｔの温度変動項は第２項である。
抵抗値のＲ４，Ｒ５を選ぶことにより温度変動項を零と
することができる。第３図は本発明の半導体流速検出器
の零点出力の温度將性であり、温度が変化しても零点出
力は、全く変化しない。又、零点出力の温度変動を補償
する為の回路を第４図に示零点出力を零とすることがで
きる。この様に本発明の半導体流速検出器では温度変動
のない零点出力が得られる。
することができる。第３図は本発明の半導体流速検出器
の零点出力の温度將性であり、温度が変化しても零点出
力は、全く変化しない。又、零点出力の温度変動を補償
する為の回路を第４図に示零点出力を零とすることがで
きる。この様に本発明の半導体流速検出器では温度変動
のない零点出力が得られる。
［発明の他の実施例］
１）半導体流速検出器駆動回路の定電流源を抵抗に置き
かえた構成にもできる。
かえた構成にもできる。
２）第５図は、片電源で動作させる半導体流速検出器の
回路構成図である。
回路構成図である。
第１図は本発明の半導体流速検出器の回路構成図、第２
図は演算処理ブロック図、第３図は本発明の半導体流速
検出器の零点出力の温度特性図、第４図は零点出力を零
とする本発明の半導体流速検出器の零点出力温度変動補
償回路、第５図は片電源で動作させる本発明の半導体流
速検出器の回路構成図、第６図乃至第７図は従来の半導
体装置検出器の回路構成図および零点出方の温度特性図
である。 １・・・半導体流速検出素子 ２パ・・温度測定用トランジスタ ３・・・発熱用トランジスタ ４・・・流体温度測定用トランジスタ ５・・・定電流源 ６・・・オペアンプ７・・・
零点出力温度変動補償回路 代理人 弁理士 則 近 憲 佑（ほか１名）第 １
図 ■− 第２図
図は演算処理ブロック図、第３図は本発明の半導体流速
検出器の零点出力の温度特性図、第４図は零点出力を零
とする本発明の半導体流速検出器の零点出力温度変動補
償回路、第５図は片電源で動作させる本発明の半導体流
速検出器の回路構成図、第６図乃至第７図は従来の半導
体装置検出器の回路構成図および零点出方の温度特性図
である。 １・・・半導体流速検出素子 ２パ・・温度測定用トランジスタ ３・・・発熱用トランジスタ ４・・・流体温度測定用トランジスタ ５・・・定電流源 ６・・・オペアンプ７・・・
零点出力温度変動補償回路 代理人 弁理士 則 近 憲 佑（ほか１名）第 １
図 ■− 第２図
Claims (3)
- （１）同一半導体基板に発熱用素子と温度測定用素子と
が形成されている半導体流速検出素子と、流体温度測定
用素子と、前記半導体流速検出素子を測定すべき流体の
温度よりも一定温度高い状態に保持する様に前記発熱用
素子を発熱させる動作を行なう半導体流速検出器駆動回
路から構成される半導体流速検出器において、前記発熱
用素子から得られる信号と前記流体温度測定用素子から
得られる信号とを演算処理することにより流れがない場
合の零点出力の温度変動の補償がなされていることを特
徴とする半導体流速検出器。 - （２）発熱用素子がトランジスタであることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の半導体流速検出器。 - （３）半導体流速検出素子に形成された温度測定用素子
及び流体温度測定用素子がトランジスタあるいはダイオ
ードであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の半導体流速検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15315884A JPS6131965A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 半導体流速検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15315884A JPS6131965A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 半導体流速検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6131965A true JPS6131965A (ja) | 1986-02-14 |
Family
ID=15556299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15315884A Pending JPS6131965A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 半導体流速検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6131965A (ja) |
-
1984
- 1984-07-25 JP JP15315884A patent/JPS6131965A/ja active Pending
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