JPS61292387A - レ−ザ共振器のミラ−アライメント装置 - Google Patents
レ−ザ共振器のミラ−アライメント装置Info
- Publication number
- JPS61292387A JPS61292387A JP13304785A JP13304785A JPS61292387A JP S61292387 A JPS61292387 A JP S61292387A JP 13304785 A JP13304785 A JP 13304785A JP 13304785 A JP13304785 A JP 13304785A JP S61292387 A JPS61292387 A JP S61292387A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflective mirror
- mirror
- laser resonator
- ceramics
- thermocouple
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、レーザ共振器のミラーアライメント装置に
関する。
関する。
（従来の技術）
従来のレーザ共振器のミラーアライメント装置例に第５
図、第６図および第７図に示すものがある。すなわち、
この装置においては、全反射鏡１および部分反射ｆＩｉ
１２を対向膜させであるレーザ共振器の夫々の前記反射
鏡の前に全反射鏡アパーチャ６および部分反射鏡アパー
チャ４を配設させ、さらに前記両アパーチャの一辺に夫
々全反射鏡温度検出端５および部分反射鏡温度検出端６
を装着し、該雨検出端には各々熱電対素線８を突設させ
である。レーザビームの強度分布９が第６図に示すよう
に、点線のように上方にずれたとすると、上方の熱電対
に熱量が多く加わね、下方の熱電対には反対に熱量が少
なく加わることになるので、この温度差を検出し、その
検出信号によって前記両度射鏡の各々をアライメント（
正位置調整）して実線で示した正常なモードに修正させ
、また下方にずれた場合も前述同様に、さらに第６図に
対面して前後方向にずれた際も同様に夫々修正が行なわ
れる。” （発明の解決しようとする問題点） しかるに、前述従来アライメント装置においては、前記
熱電対素線がレーザ共振器内で直接レーザビームに触接
し、あるいはレーザ触媒ガスにさらされるために、劣化
が激しくて長い使用に耐えられないという問題点がある
。
図、第６図および第７図に示すものがある。すなわち、
この装置においては、全反射鏡１および部分反射ｆＩｉ
１２を対向膜させであるレーザ共振器の夫々の前記反射
鏡の前に全反射鏡アパーチャ６および部分反射鏡アパー
チャ４を配設させ、さらに前記両アパーチャの一辺に夫
々全反射鏡温度検出端５および部分反射鏡温度検出端６
を装着し、該雨検出端には各々熱電対素線８を突設させ
である。レーザビームの強度分布９が第６図に示すよう
に、点線のように上方にずれたとすると、上方の熱電対
に熱量が多く加わね、下方の熱電対には反対に熱量が少
なく加わることになるので、この温度差を検出し、その
検出信号によって前記両度射鏡の各々をアライメント（
正位置調整）して実線で示した正常なモードに修正させ
、また下方にずれた場合も前述同様に、さらに第６図に
対面して前後方向にずれた際も同様に夫々修正が行なわ
れる。” （発明の解決しようとする問題点） しかるに、前述従来アライメント装置においては、前記
熱電対素線がレーザ共振器内で直接レーザビームに触接
し、あるいはレーザ触媒ガスにさらされるために、劣化
が激しくて長い使用に耐えられないという問題点がある
。
この発明は、温度検出端に使用している熱電対の寿命を
延命化させることにある。
延命化させることにある。
（問題点を解決するだめの手段）
この発明は、複数の反射鏡からなるレーザ共振器の反射
光軸上に配設してあるアパーチャの周辺の複数の温度検
出端の熱電対をセラミックスで被覆させてなるものであ
る。
光軸上に配設してあるアパーチャの周辺の複数の温度検
出端の熱電対をセラミックスで被覆させてなるものであ
る。
（作用）
したがって、この発明の構成によれば、温度検出端の熱
電対をセラミックスで被覆したので、熱および化学的強
度が増大するとともに、熱伝導が良好なセラミックスを
使用することによって温度検出に支障を与えることがな
い。
電対をセラミックスで被覆したので、熱および化学的強
度が増大するとともに、熱伝導が良好なセラミックスを
使用することによって温度検出に支障を与えることがな
い。
（実施例）
つぎに、この発明の実施例を図面によって説明する。第
１図、第２図および第６図において、この実施例の装置
は、全反射鏡１および部分反射鏡２を対向設したレーザ
共振器の夫々の該反射鏡に付設させである全反射鏡アパ
ーチャ３お′よび部分反射鏡アパーチャ４の各アパーチ
ャ周辺に夫々装着した全反射鏡温度検出端５および部分
反射鏡温度検出端６に突設させた熱電対素線８の外面を
良好な熱伝導性をもつセラミックス７を溶射して被覆さ
せてなる。
１図、第２図および第６図において、この実施例の装置
は、全反射鏡１および部分反射鏡２を対向設したレーザ
共振器の夫々の該反射鏡に付設させである全反射鏡アパ
ーチャ３お′よび部分反射鏡アパーチャ４の各アパーチ
ャ周辺に夫々装着した全反射鏡温度検出端５および部分
反射鏡温度検出端６に突設させた熱電対素線８の外面を
良好な熱伝導性をもつセラミックス７を溶射して被覆さ
せてなる。
したがって、レーザビームの強度分布９がずれても、例
えば、第２図に示す点線にようになっても、良好な熱伝
導性もったセラミックス７で被覆されている熱電対素線
８の温度検出機能が何等害されることがなく、前述した
従来の被覆されていない熱電対緊線と同様に作動して前
記各反射鏡をアライメントすることができる。しかも、
該熱電対素線を被覆してあるセラミックス７は格段に高
い耐熱性を保有し、かつ化学的強度も大であるので、レ
ーザビームの熱、およびレーザ触媒ガスに冒されること
がなくてその内部の熱電対素線８が劣化することがなく
なる。
えば、第２図に示す点線にようになっても、良好な熱伝
導性もったセラミックス７で被覆されている熱電対素線
８の温度検出機能が何等害されることがなく、前述した
従来の被覆されていない熱電対緊線と同様に作動して前
記各反射鏡をアライメントすることができる。しかも、
該熱電対素線を被覆してあるセラミックス７は格段に高
い耐熱性を保有し、かつ化学的強度も大であるので、レ
ーザビームの熱、およびレーザ触媒ガスに冒されること
がなくてその内部の熱電対素線８が劣化することがなく
なる。
なお、前述した実施例では、温度検出端をアパーチャの
周辺に直接に配列したが、第４図に示すように、アパー
チャ３の背面に押え板１０によって押設させた温度検出
端５からシーズ形に形成させた熱電対素線８を該アパー
チャの内孔内側面に配設させても同様な効果がある。
周辺に直接に配列したが、第４図に示すように、アパー
チャ３の背面に押え板１０によって押設させた温度検出
端５からシーズ形に形成させた熱電対素線８を該アパー
チャの内孔内側面に配設させても同様な効果がある。
（発明の効果）
上述したように、この発明は、温度検出端の熱電対が劣
化しないで長寿命をもってレーザ共振器のミラテライメ
ント動作を行なえるから、その実益に多大なものがある
。
化しないで長寿命をもってレーザ共振器のミラテライメ
ント動作を行なえるから、その実益に多大なものがある
。
第１図はこの発明の一実施例を示すレーザ共振器の要部
の縦断側面図、第２図は同じく全反射鏡部分の拡大した
縦断側面図、第６図は前図のＸ −Ｘ矢視図、第４図は
この発明の他の実施例を示す全反射鏡部分の縦断側面図
、第５図は従来レーザ共振器のミラアライメント装置の
要部の熟断側面図、第６図は同じく全反射鏡部分の拡大
した縦断側面図、第７図は前図のＹ−Ｙ矢視図である。 １・・・全反射鏡、２・・・部分反射鏡、６・・・全反
射鏡アバ−チャ、４・・・部分反射鏡アパーチャ、５・
・・全反射鏡温度検出端、６・・・部分反射鏡温度検出
端、７・・・セラミックス、８・・・熱電対素線、９・
・・レーザビーム強度分布。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示すものとす
る。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 ７」
の縦断側面図、第２図は同じく全反射鏡部分の拡大した
縦断側面図、第６図は前図のＸ −Ｘ矢視図、第４図は
この発明の他の実施例を示す全反射鏡部分の縦断側面図
、第５図は従来レーザ共振器のミラアライメント装置の
要部の熟断側面図、第６図は同じく全反射鏡部分の拡大
した縦断側面図、第７図は前図のＹ−Ｙ矢視図である。 １・・・全反射鏡、２・・・部分反射鏡、６・・・全反
射鏡アバ−チャ、４・・・部分反射鏡アパーチャ、５・
・・全反射鏡温度検出端、６・・・部分反射鏡温度検出
端、７・・・セラミックス、８・・・熱電対素線、９・
・・レーザビーム強度分布。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示すものとす
る。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 ７」
Claims (1)
- 複数の反射鏡からなるレーザ共振器の反射光軸上に配設
してあるアパーチャの周辺の複数の温度検出端の熱電対
をセラミックスで被覆させたことを特徴とするレーザ共
振器のミラーアライメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13304785A JPS61292387A (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 | レ−ザ共振器のミラ−アライメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13304785A JPS61292387A (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 | レ−ザ共振器のミラ−アライメント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61292387A true JPS61292387A (ja) | 1986-12-23 |
Family
ID=15095568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13304785A Pending JPS61292387A (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 | レ−ザ共振器のミラ−アライメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61292387A (ja) |
-
1985
- 1985-06-20 JP JP13304785A patent/JPS61292387A/ja active Pending
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