JPS61270839A - ウエフア−目視検査装置 - Google Patents
ウエフア−目視検査装置Info
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- JPS61270839A JPS61270839A JP11135385A JP11135385A JPS61270839A JP S61270839 A JPS61270839 A JP S61270839A JP 11135385 A JP11135385 A JP 11135385A JP 11135385 A JP11135385 A JP 11135385A JP S61270839 A JPS61270839 A JP S61270839A
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- wafer
- arm
- stand
- point
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の利用分野）
本発明は、クエ７７−目視検査装置に関し、特に詳述す
れば、自転、公転及び横移動可能なウェファ−目視検査
装置に関する。
れば、自転、公転及び横移動可能なウェファ−目視検査
装置に関する。
（従来技術とその問題点）
半導体製造工程では、ウエフアーの拡散処理工程に加え
て、目視検査工程は欠かせないものとなっている。この
目視検査工程は、ウニ７ア一搬送機構によって送られて
きたウエフアーを、作業員がピンセットでつかみ、ビン
セットでつかんだウエフアーを回転や裏返しさせながら
、ウェファ−表面の欠陥を見出す作業より成り立ってい
る。しかしながら、３〜８インチのウェファ−の表面、
裏面及び端面等を目視するため、ピンセットでウエフア
ーを掴んだまＮでいることは、作業員の手首に和尚な負
担となっている。
て、目視検査工程は欠かせないものとなっている。この
目視検査工程は、ウニ７ア一搬送機構によって送られて
きたウエフアーを、作業員がピンセットでつかみ、ビン
セットでつかんだウエフアーを回転や裏返しさせながら
、ウェファ−表面の欠陥を見出す作業より成り立ってい
る。しかしながら、３〜８インチのウェファ−の表面、
裏面及び端面等を目視するため、ピンセットでウエフア
ーを掴んだまＮでいることは、作業員の手首に和尚な負
担となっている。
特に、連続するこの作業を長時間行うことは、手首に炎
症を起し、職業病の一因となる。
症を起し、職業病の一因となる。
（本発明の課題）
本発明は、ウェファ−搬送装置からのウエフアーを自動
的に掴み、このウェファ−を回転及び傾きを変えること
で、作業員によるピンセットでのウェファ−の掴み作業
を無（すことで、前述した従業技術の不具合を解消させ
ることを、解決すべき技術的課題とする。
的に掴み、このウェファ−を回転及び傾きを変えること
で、作業員によるピンセットでのウェファ−の掴み作業
を無（すことで、前述した従業技術の不具合を解消させ
ることを、解決すべき技術的課題とする。
（本発明の技術的手段とその作用）
本発明は、前述した技術的課題を解決−するために、回
転自在な第１のシャフトまわりに昇降自在なスタンドを
配し、さらに、ケースに軸支された回転自在な第２のシ
ャフトとスタンドとをアームで連結し、アームと第２の
シャフトとの枢支点がケースと第２のシャフトとの軸支
点を中心とする円弧上を移動可能とする技術的手段を用
いる。
転自在な第１のシャフトまわりに昇降自在なスタンドを
配し、さらに、ケースに軸支された回転自在な第２のシ
ャフトとスタンドとをアームで連結し、アームと第２の
シャフトとの枢支点がケースと第２のシャフトとの軸支
点を中心とする円弧上を移動可能とする技術的手段を用
いる。
該手段の採用は、第２のシャフトに支持されたウエフア
ーチヤツクの自転、第２のシャフトの公転及びスタンド
を昇降させることでウェファ−チャックのケースに対す
る傾きを変えることを可能とする。このため、作業員は
座しながら、目の前で傾き且つ回転するウェファ−を目
視検査すれば良いので、従前の如きピンセットでウエフ
アーを掴む作業が不必要となる。
ーチヤツクの自転、第２のシャフトの公転及びスタンド
を昇降させることでウェファ−チャックのケースに対す
る傾きを変えることを可能とする。このため、作業員は
座しながら、目の前で傾き且つ回転するウェファ−を目
視検査すれば良いので、従前の如きピンセットでウエフ
アーを掴む作業が不必要となる。
（実施例）
第１図を参照する。ペース板２３のはソ中央にウェファ
−搬送装置２４を配し、該装置２４の中心を曲率中心と
する円弧上に、検査待ちウエフアー用カセツト２５、合
格ウェファ−用カセット２６並びに不合格ウェファ−用
カセット２７を配し、さらに、同円弧上には、ウニ７ア
一目視検査機＄１２８が配設される。
−搬送装置２４を配し、該装置２４の中心を曲率中心と
する円弧上に、検査待ちウエフアー用カセツト２５、合
格ウェファ−用カセット２６並びに不合格ウェファ−用
カセット２７を配し、さらに、同円弧上には、ウニ７ア
一目視検査機＄１２８が配設される。
第１図および第２図を参照ビウエファー搬送装置２４を
説明する。方形成いは円形に構成された側板１の頂部に
、中央開口２を有する頂板３をボルト止めさせ木。頂板
３には下向きの複数の吊ボルト４を設け、該吊ボルト４
の下部にペース板５を固定させる。
説明する。方形成いは円形に構成された側板１の頂部に
、中央開口２を有する頂板３をボルト止めさせ木。頂板
３には下向きの複数の吊ボルト４を設け、該吊ボルト４
の下部にペース板５を固定させる。
ペース板５の適所に第１の電動モータ６を有する第１の
枠部材７を固定する。第１の枠部材７から側方に延出す
る対の板はね８の先端に第２の枠部材９を固定し、第１
の枠部材７に対し第２の枠部材９を板はね８を介して支
持する。
枠部材７を固定する。第１の枠部材７から側方に延出す
る対の板はね８の先端に第２の枠部材９を固定し、第１
の枠部材７に対し第２の枠部材９を板はね８を介して支
持する。
第１の電動モータ６の出力軸は、カム機構１０を介して
第２の枠部材９に連結され、該出力軸へ制御された回転
は、カム機構１０によって、第２の枠部材９を上下動さ
せる。
第２の枠部材９に連結され、該出力軸へ制御された回転
は、カム機構１０によって、第２の枠部材９を上下動さ
せる。
第２の枠部材９に保持された第２の電動モータ１１の出
力軸は、第２の枠部材９の上方の第３の枠部材１２に固
定する。即ち、第２の電動モータ１１の回転は、第３の
枠部材１２を第２の枠部材９に対し回動させる。
力軸は、第２の枠部材９の上方の第３の枠部材１２に固
定する。即ち、第２の電動モータ１１の回転は、第３の
枠部材１２を第２の枠部材９に対し回動させる。
第３の枠部材１２には第３の電動モータ１３が保持され
、該第３の電動モータ１３の出力軸は、減速機構１４を
介してリンク１５に連結される。
、該第３の電動モータ１３の出力軸は、減速機構１４を
介してリンク１５に連結される。
側板１の下部に底板１６をボルト止めさせる。
側板１内の移送機構用の電気配線をハーメチックコネク
ター１７′を介して外部に取出し、制御部分１８に連結
し、制御部分１８からの信号に応じ各電動モータが所定
の動きをする。
ター１７′を介して外部に取出し、制御部分１８に連結
し、制御部分１８からの信号に応じ各電動モータが所定
の動きをする。
第１の電動モータ６に送られた信号は、該モータ６を回
転させカム機構１０によって、第２の枠部材９を所定量
上下動させ、第３の枠部材１２およびリンク１５を上下
動させ、その高さを変える。第２の電動モータ１１に送
られた信号は、該モータ１１の出力軸に固定された第３
の枠部材１２を回動させ、リンク１５それ自身を回動さ
せ、リンク１５の位置を決める。第３のモータ１３に送
られた信号ヲ主、所定位置にあるリンク１５を伸縮させ
る。
転させカム機構１０によって、第２の枠部材９を所定量
上下動させ、第３の枠部材１２およびリンク１５を上下
動させ、その高さを変える。第２の電動モータ１１に送
られた信号は、該モータ１１の出力軸に固定された第３
の枠部材１２を回動させ、リンク１５それ自身を回動さ
せ、リンク１５の位置を決める。第３のモータ１３に送
られた信号ヲ主、所定位置にあるリンク１５を伸縮させ
る。
リンク１５を第３のモータによって伸縮させる機構を第
４〜６図を参照して説明する。リンク１５．は左右対称
に配され゛た第１のアーム１７と、該第１のアーム１Ｔ
より長く且つ第１のアームに枢着された左右対称の第２
のアーム１８より、第１のアーム１７の端部は互いに噛
合うセグメント１９に固定される。セグメント１９の一
方は、第３のモータ１３の出力軸側に連結される。対の
第２のアーム１８の自由端側に、同様に、セグメント２
０を配し、対の第２のアーム１８の自由端側を連結し且
つウェーハ支持台２１を設ける。
４〜６図を参照して説明する。リンク１５．は左右対称
に配され゛た第１のアーム１７と、該第１のアーム１Ｔ
より長く且つ第１のアームに枢着された左右対称の第２
のアーム１８より、第１のアーム１７の端部は互いに噛
合うセグメント１９に固定される。セグメント１９の一
方は、第３のモータ１３の出力軸側に連結される。対の
第２のアーム１８の自由端側に、同様に、セグメント２
０を配し、対の第２のアーム１８の自由端側を連結し且
つウェーハ支持台２１を設ける。
第４図に示す状態のリンク伸縮状態時に、第３のモータ
１３を回転させ、一方のセグメント１９に回転動を伝え
ると、互いに噛合うセグメント１９によって、第１のア
ーム１Ｔは、該セグメント１９を中心に側方に拡がるよ
うに拡大する（第５図参照）。さらに、セグメント１９
が回転すると、両アーム１７．１８が互いに平行となる
ように動いて、第６図に示すように、リンク１５は伸び
た状態となる。２２はリンク収縮時のストッパである。
１３を回転させ、一方のセグメント１９に回転動を伝え
ると、互いに噛合うセグメント１９によって、第１のア
ーム１Ｔは、該セグメント１９を中心に側方に拡がるよ
うに拡大する（第５図参照）。さらに、セグメント１９
が回転すると、両アーム１７．１８が互いに平行となる
ように動いて、第６図に示すように、リンク１５は伸び
た状態となる。２２はリンク収縮時のストッパである。
ウェーハを収めるカセットからウェーハを取り出し、ウ
ニ７ア一目視検査機構２８へのウェーハが移送、又はそ
の逆のウエーノＡ移送について述べる。第２の電動モー
タ１１を駆動させて処理するウェーハと同一線上にリン
ク１５を回動させ且つ第１の電動モータ６によりリンク
の高さをウェーハの位置に合わせる。次いで、第３の電
動モータ１３を駆動し、セグメント１９を回転させ、リ
ンク１５を第４図の状態から第６図の状態にし、ウェー
ハ支持台２１をウェーハの下部に配置する。第１のモー
タ６を再度駆動して、リンク１５を若干持上げ、ウエー
ノ１をウェーハ支持台２１上にのせる。ウエーノ蔦を支
持台２１にのせた状態で、再び、第３のモータ１３を逆
方向に駆動し、リンク１５を第６図の状態から第４図の
状態に戻す。次いで、第２の電動モータ１３を駆動して
、ウニ７ア一目視検査機構２８のウェファ−チャックと
同一線上にリンク１５が位置するように、第３の枠部材
１２を回動させる。次いで、前述した如く、第３の電動
モータ１３を駆動して、第４図の状態から第６図の状態
へとなし、ウエーノ１が置かれるべき位置の若干上方に
ウェーハ支持台２１を位置させる。次いで、第１のモー
タ６を駆動して、リンク１５を下げ、所定位置にウェー
ハを置き、第６図の状態から第４図の状態へとリンク１
５を収縮させ、次の作業に備える。
ニ７ア一目視検査機構２８へのウェーハが移送、又はそ
の逆のウエーノＡ移送について述べる。第２の電動モー
タ１１を駆動させて処理するウェーハと同一線上にリン
ク１５を回動させ且つ第１の電動モータ６によりリンク
の高さをウェーハの位置に合わせる。次いで、第３の電
動モータ１３を駆動し、セグメント１９を回転させ、リ
ンク１５を第４図の状態から第６図の状態にし、ウェー
ハ支持台２１をウェーハの下部に配置する。第１のモー
タ６を再度駆動して、リンク１５を若干持上げ、ウエー
ノ１をウェーハ支持台２１上にのせる。ウエーノ蔦を支
持台２１にのせた状態で、再び、第３のモータ１３を逆
方向に駆動し、リンク１５を第６図の状態から第４図の
状態に戻す。次いで、第２の電動モータ１３を駆動して
、ウニ７ア一目視検査機構２８のウェファ−チャックと
同一線上にリンク１５が位置するように、第３の枠部材
１２を回動させる。次いで、前述した如く、第３の電動
モータ１３を駆動して、第４図の状態から第６図の状態
へとなし、ウエーノ１が置かれるべき位置の若干上方に
ウェーハ支持台２１を位置させる。次いで、第１のモー
タ６を駆動して、リンク１５を下げ、所定位置にウェー
ハを置き、第６図の状態から第４図の状態へとリンク１
５を収縮させ、次の作業に備える。
ウニ７ア一支持台２１に装着される吸引装置２９につい
て、第７図と第８図を参照して説明する。支持台２１は
、その本体３０と、本体３０から延出する受板３１とか
らなり、本体３０は第２のアーム１８を枢支させ且つ真
空源（図示なし）に通じる入口ボート３２を有する。入
口ボート３２は、絞り３３を介して、受板３１に通じる
通路３４に遅過し、該通路３４は絞り３３′を介して受
板３１の先端の出口ボート３４に通じろ。受板３１の先
端部にウェファ−が送られると、真空源（図示なし）か
らの負圧が出口ボート３４を介してウェファ−を受板３
１に吸着し保持する。両ボート３２．３４間の通路３４
は、負圧値の変動を防止するのに有効であり、又約５０
０ｍＨｇの真空値が実用に供し得る。
て、第７図と第８図を参照して説明する。支持台２１は
、その本体３０と、本体３０から延出する受板３１とか
らなり、本体３０は第２のアーム１８を枢支させ且つ真
空源（図示なし）に通じる入口ボート３２を有する。入
口ボート３２は、絞り３３を介して、受板３１に通じる
通路３４に遅過し、該通路３４は絞り３３′を介して受
板３１の先端の出口ボート３４に通じろ。受板３１の先
端部にウェファ−が送られると、真空源（図示なし）か
らの負圧が出口ボート３４を介してウェファ−を受板３
１に吸着し保持する。両ボート３２．３４間の通路３４
は、負圧値の変動を防止するのに有効であり、又約５０
０ｍＨｇの真空値が実用に供し得る。
受板３１のウェファ−支持部側は石英板とさせる。
次に、ウニ７ア一目視検査機構２８を第９〜１０図を参
照して説明する。底板３５に、上方に延出する第１のシ
ャフト３６を軸受３７を介して回転自在に支承させる。
照して説明する。底板３５に、上方に延出する第１のシ
ャフト３６を軸受３７を介して回転自在に支承させる。
第１のシャフト３６には、支持プレート３８とクッショ
ン３９を固定させ、又、その先端には方形のブロック４
０を固定させる。第１のシャフト３６は、第１の電動モ
ータ４１によりベルト４２を介して回転させられる。第
１のシャフト３６周りにスタンド４３を配す。スタンド
４３の下端に円形プレート４４を固定させ、この円形プ
レート４４をラック４５側のローラ４６により支持させ
る。
ン３９を固定させ、又、その先端には方形のブロック４
０を固定させる。第１のシャフト３６は、第１の電動モ
ータ４１によりベルト４２を介して回転させられる。第
１のシャフト３６周りにスタンド４３を配す。スタンド
４３の下端に円形プレート４４を固定させ、この円形プ
レート４４をラック４５側のローラ４６により支持させ
る。
ラック４５は、電動モータ４７・により回転するピニオ
ンギヤ４８と噛合い、ピニオンギヤ４８の回転によりラ
ック４５がガイド４９に沿い昇降し、その結果、スタン
ド４３は第１のシャフト３６に沿って昇降することにな
る。スタンド４３にピン５０を用いて二叉アーム５１を
枢支させる。かくして、スタンド４３及びアーム５１は
、第１のシャフト３６に沿って昇降口°在であると共に
、第１のシャフト３６によって回転自在となる。即ち、
アーム５１と第１のシャフト３６とは、ブロック４０に
よって回転自在関係に連結される。
ンギヤ４８と噛合い、ピニオンギヤ４８の回転によりラ
ック４５がガイド４９に沿い昇降し、その結果、スタン
ド４３は第１のシャフト３６に沿って昇降することにな
る。スタンド４３にピン５０を用いて二叉アーム５１を
枢支させる。かくして、スタンド４３及びアーム５１は
、第１のシャフト３６に沿って昇降口°在であると共に
、第１のシャフト３６によって回転自在となる。即ち、
アーム５１と第１のシャフト３６とは、ブロック４０に
よって回転自在関係に連結される。
アーム５１の先端に、第２のシャフト５２の自転を可能
にするが、同時に第２のシャフト５２をアーム５１と共
に回転自在となるよう軸受５３を介して、第２のシャフ
ト５２をアーム５１軸支させる。第２のシャフト５２内
には、真空源（図示なし）に通じる通路５４が形成され
る。
にするが、同時に第２のシャフト５２をアーム５１と共
に回転自在となるよう軸受５３を介して、第２のシャフ
ト５２をアーム５１軸支させる。第２のシャフト５２内
には、真空源（図示なし）に通じる通路５４が形成され
る。
第２のシャフト５２は、ギヤ５５を介してｉ２のモータ
５６に連結され、第２のモータ５６により第２のシャフ
ト５２の自転を可能とさせる。
５６に連結され、第２のモータ５６により第２のシャフ
ト５２の自転を可能とさせる。
第２のシャフト５２にはシャフトハウジング５１を軸受
を介して回倒させ、このハウジング５Ｔをケース５８に
軸受５９を介して揺動自在に支持させる。この結果、ア
ーム５１と第２のシャフト５２との枢支点６０は、ケー
ス５Ｂとハウジング５Ｔとの枢支点６１を中心とする円
弧上を移動可能となる。第２のシャフト５２とアーム５
１とは、第９図に示すように、アーム５１が上方に移動
した時、Ｌ型となる。
を介して回倒させ、このハウジング５Ｔをケース５８に
軸受５９を介して揺動自在に支持させる。この結果、ア
ーム５１と第２のシャフト５２との枢支点６０は、ケー
ス５Ｂとハウジング５Ｔとの枢支点６１を中心とする円
弧上を移動可能となる。第２のシャフト５２とアーム５
１とは、第９図に示すように、アーム５１が上方に移動
した時、Ｌ型となる。
第２のシャフト５２の先端には、真空路を有するウエフ
アーチヤツク６２が設けられ、第７図及び第８図に示し
た受板の如く、ウエフアーを該チャック６２が真空吸着
させる。
アーチヤツク６２が設けられ、第７図及び第８図に示し
た受板の如く、ウエフアーを該チャック６２が真空吸着
させる。
次に、前述した機構の動きを説明する。第９図に示すチ
ャック６２にウェファ−な支持させた状態で、ウェファ
−を回転させた（・時は、第２の電動毒−夕５６を駆動
し、第２のシャフト５２を回転させる。この結果、ウェ
ファ−は第９図の傾きを保ちつつ自転し、作業員がこれ
を検査することになる。ウェファ−の傾き角度を変えた
い時は、ピニオンギヤ４８を回転させラック４５を第９
図に示す位置から下降させる。
ャック６２にウェファ−な支持させた状態で、ウェファ
−を回転させた（・時は、第２の電動毒−夕５６を駆動
し、第２のシャフト５２を回転させる。この結果、ウェ
ファ−は第９図の傾きを保ちつつ自転し、作業員がこれ
を検査することになる。ウェファ−の傾き角度を変えた
い時は、ピニオンギヤ４８を回転させラック４５を第９
図に示す位置から下降させる。
ラック４５の下降は、プレート４４、スタンド４３及び
アーム５１を第１のシャフト３６に沿って下げる。この
際、第２のシャフト５２及びハウジング５Ｔは、アーム
５１と第２のシャット５２との枢支点６０を、ハウジン
グ５７とケース５８との枢支点６１を中心とする円弧上
を移動させ、ケース５８の中央部に移り、ウエフアーは
、第９図の傾きより小さな傾きとなる。
アーム５１を第１のシャフト３６に沿って下げる。この
際、第２のシャフト５２及びハウジング５Ｔは、アーム
５１と第２のシャット５２との枢支点６０を、ハウジン
グ５７とケース５８との枢支点６１を中心とする円弧上
を移動させ、ケース５８の中央部に移り、ウエフアーは
、第９図の傾きより小さな傾きとなる。
゛ 勿論、ウェファ−の傾きは、ピニオンギヤ４８の
回転ｆｔをコンピュータ制御させることで自在となる。
回転ｆｔをコンピュータ制御させることで自在となる。
又、第２の電動モータ５６をコンピュータ制御すること
により、ウェファ−の回転速度を自在とさせ得る。
により、ウェファ−の回転速度を自在とさせ得る。
ケース５８に対するウエフアーの相対的位置を変える場
合は、第１のｔＳモータ４１を駆動し、スタンド４３、
アーム５１及び第２のシャフト５２を回転させる。その
結果、ケース５Ｂとハウジング５７との枢支点６１を通
る垂直線と直父し且つアーム５１と第２のシャフト５２
との枢支点を通る面内を、枢支点６θがケース５８とハ
ウジング５１１Ｆとの枢支点６１を中心として動くよう
に、第２のシャフト５２が公転する。かくして、ウェフ
ァ−のケースに対する位置を自在に父えることが０Ｔ能
となる。
合は、第１のｔＳモータ４１を駆動し、スタンド４３、
アーム５１及び第２のシャフト５２を回転させる。その
結果、ケース５Ｂとハウジング５７との枢支点６１を通
る垂直線と直父し且つアーム５１と第２のシャフト５２
との枢支点を通る面内を、枢支点６θがケース５８とハ
ウジング５１１Ｆとの枢支点６１を中心として動くよう
に、第２のシャフト５２が公転する。かくして、ウェフ
ァ−のケースに対する位置を自在に父えることが０Ｔ能
となる。
以上から明らかなように、ウェファ−チャック６２を有
する第２のシャフト５２は、シャフトの自転、公転並び
にその傾きを変え、作業員の目視検査に最とも適した位
置にウェファ−を配することが可能である。
する第２のシャフト５２は、シャフトの自転、公転並び
にその傾きを変え、作業員の目視検査に最とも適した位
置にウェファ−を配することが可能である。
第１図に戻るが、第１図の状態で、ウェファ−目視検査
機構を底板２３に対し横方向に移動させることもできる
。この場合、底板２３に設けたレール６３上に目視検査
機構を配し、電動モータにより該目視検査機構を所定量
横方向に移動させれば良い。又、全体的動きとしては、
ウエフアー搬送装置２４が検査待ちウェファ−用カセッ
ト２５よりウェファ−を取出し、ウェファ−目視検査機
構２８に送り一１該機構２８のチャックにてウェファ−
を掴み、ウェファ−を自転、公転並びにその傾きを変え
、ウエフアー検査をなす。検査済みクエ７７−は、再度
、ウエフアー搬送装置２４が受け、ウエフアーを合゛格
又は不合格ウェファ−用カセット２６．２７に収納させ
る。これらの作業は、作業員の指示に応じたコンピュー
タ制御とさせる。
機構を底板２３に対し横方向に移動させることもできる
。この場合、底板２３に設けたレール６３上に目視検査
機構を配し、電動モータにより該目視検査機構を所定量
横方向に移動させれば良い。又、全体的動きとしては、
ウエフアー搬送装置２４が検査待ちウェファ−用カセッ
ト２５よりウェファ−を取出し、ウェファ−目視検査機
構２８に送り一１該機構２８のチャックにてウェファ−
を掴み、ウェファ−を自転、公転並びにその傾きを変え
、ウエフアー検査をなす。検査済みクエ７７−は、再度
、ウエフアー搬送装置２４が受け、ウエフアーを合゛格
又は不合格ウェファ−用カセット２６．２７に収納させ
る。これらの作業は、作業員の指示に応じたコンピュー
タ制御とさせる。
（効果）
本発明によれば、ウェファ−に三次元の動きを与えるこ
とができるので、作業員がビンセットで掴んだウェファ
−とはソ同じ動きとなり、目視検査は容易である。さら
に、搬送装置や目視検査機構の動きを作業員の熟練度合
いに応じて制御できるので、ウニ７ア一目視検査作業を
個々の作業員に必要な時間とることができる。
とができるので、作業員がビンセットで掴んだウェファ
−とはソ同じ動きとなり、目視検査は容易である。さら
に、搬送装置や目視検査機構の動きを作業員の熟練度合
いに応じて制御できるので、ウニ７ア一目視検査作業を
個々の作業員に必要な時間とることができる。
又、搬送装置及び目視検査機構がウェファ−な真空吸着
させていることからウェファ−の傷みがなく、ウエフア
ーの不良品を減少させ得る。
させていることからウェファ−の傷みがなく、ウエフア
ーの不良品を減少させ得る。
第１図は本発明のウエフアー目視検査装置の平面図、第
２図はウエフアー搬送装置の断面図７１″ンクの中間拡
大位置を示す平面図、第６図はリンクの伸びた状態を示
す平面図、第７図は真空吸着部を有するウェファ−支持
台の受板の平面図、第８図は受板の側面図、第９図はウ
ェファ−目視検査機構の側面図、第１０図はその縦断面
図である。 図中：１・・・側板 ３・・・頂板４・・・吊
りボルト ５・・・ベース板６．１１．１３・・・電
動モータ ７１９．１２・・・枠部材 ８・・・ばね板 １５・・・リンク ２８・・・ウェファ−目視検量装置、 ３６・・・第１のシャフト、 ４１．５６・・・電動モータ、 ４３・・・スタンド、４５・・・ラック、４８・・・ピ
ニオンギヤ、５１・・・アーム、５２・・・第２のシャ
フト、６２・・・チャック。
２図はウエフアー搬送装置の断面図７１″ンクの中間拡
大位置を示す平面図、第６図はリンクの伸びた状態を示
す平面図、第７図は真空吸着部を有するウェファ−支持
台の受板の平面図、第８図は受板の側面図、第９図はウ
ェファ−目視検査機構の側面図、第１０図はその縦断面
図である。 図中：１・・・側板 ３・・・頂板４・・・吊
りボルト ５・・・ベース板６．１１．１３・・・電
動モータ ７１９．１２・・・枠部材 ８・・・ばね板 １５・・・リンク ２８・・・ウェファ−目視検量装置、 ３６・・・第１のシャフト、 ４１．５６・・・電動モータ、 ４３・・・スタンド、４５・・・ラック、４８・・・ピ
ニオンギヤ、５１・・・アーム、５２・・・第２のシャ
フト、６２・・・チャック。
Claims (1)
- 底板上のほゞ中央に位置するウエフアー搬送装置と、該
ウエフアー搬送装置の回転中心を中心とする円周上に配
されたカセットと、該円周上に位置するウエフアー目視
検査機構とよりなり、前記ウエフアー目視検査機構が、
底板に対し回転自在に支承された第１のシャフトと、該
シャフトに沿つて昇降自在なスタンドと、該スタンドに
枢支された二叉のアームと、該アームの一端に枢支され
た第２のシャフトと、該第２のシャフトまわりに配され
且つ該第２のシャフトに軸支されたハウジングと、該ハ
ウジングをケースに軸支させる軸受装置と、前記第２の
シャフトの先端に配されたウエフアーチヤツクと、前記
第１のシャフトを回転させる第１の電動モータと、前記
スタンドを昇降させるラック・ピニオンギヤ装置と、前
記第２のシャフトを回転させる第２の電動モータとより
なり、前記スタンドの昇降が前記アームと前記第２のシ
ャフトとの枢支点を、前記軸受装置の中心を中心とする
円弧上に移動させることを特徴とするウエフアー目視検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11135385A JPS61270839A (ja) | 1985-05-25 | 1985-05-25 | ウエフア−目視検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11135385A JPS61270839A (ja) | 1985-05-25 | 1985-05-25 | ウエフア−目視検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61270839A true JPS61270839A (ja) | 1986-12-01 |
| JPH0262950B2 JPH0262950B2 (ja) | 1990-12-27 |
Family
ID=14559041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11135385A Granted JPS61270839A (ja) | 1985-05-25 | 1985-05-25 | ウエフア−目視検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61270839A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01192130A (ja) * | 1988-01-27 | 1989-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| CN106970034A (zh) * | 2017-03-27 | 2017-07-21 | 吴慧军 | 食品农药残留检测装置及其检测方法 |
-
1985
- 1985-05-25 JP JP11135385A patent/JPS61270839A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01192130A (ja) * | 1988-01-27 | 1989-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| CN106970034A (zh) * | 2017-03-27 | 2017-07-21 | 吴慧军 | 食品农药残留检测装置及其检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0262950B2 (ja) | 1990-12-27 |
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