JPS61267913A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS61267913A JPS61267913A JP10870985A JP10870985A JPS61267913A JP S61267913 A JPS61267913 A JP S61267913A JP 10870985 A JP10870985 A JP 10870985A JP 10870985 A JP10870985 A JP 10870985A JP S61267913 A JPS61267913 A JP S61267913A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- depth
- markers
- thin film
- marker
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
- G11B5/3166—Testing or indicating in relation thereto, e.g. before the fabrication is completed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は例えばビデオテープレコーダ等の磁気記録再
生装置に用いられる薄膜磁気ヘッドに関する。
生装置に用いられる薄膜磁気ヘッドに関する。
［発明の技術的背ＰＩ］
一般に、この種の薄膜磁気ヘッドは基板上に磁性体、導
体及び絶縁物質を薄膜状に形成して電磁あるいは磁電素
子を構成していることが知られている。ところで、この
薄膜磁気ヘッドにあっては、そのヘッド材質の機械的特
性及びヘッド構造上等により、磁気記録媒体に近接して
該磁気記録媒体からの磁力線をヘッド内に導入あるいは
ヘッドに電流を印加して生じた磁力線束を絞って上記磁
気記録媒体に供給するコアの長さくデプス）を高精度に
形成することが要求されている。このため、従来、デプ
スを形成する場合には、第３図に示すように上部ホルダ
１及び下部ホルダ２に挟装された基板３上にコア４を所
定の間隔に形成してこのコアを挟むように三角形状のマ
ーカ５を等デプス１ｉ１６上に薄膜形成し、ヘッド組立
て完了後、このマーカの幅Ｗをデプス端末を研磨しなが
ら計測してデプスｄを所望の値に製作していた。すなわ
ち、上記デプスｄはマーカ５の高さをＬ１マーカの底辺
をＤとすると、 の関係式が成立するので、マーカ５の幅Ｗを計測するこ
とで求めることが可能なものである。
体及び絶縁物質を薄膜状に形成して電磁あるいは磁電素
子を構成していることが知られている。ところで、この
薄膜磁気ヘッドにあっては、そのヘッド材質の機械的特
性及びヘッド構造上等により、磁気記録媒体に近接して
該磁気記録媒体からの磁力線をヘッド内に導入あるいは
ヘッドに電流を印加して生じた磁力線束を絞って上記磁
気記録媒体に供給するコアの長さくデプス）を高精度に
形成することが要求されている。このため、従来、デプ
スを形成する場合には、第３図に示すように上部ホルダ
１及び下部ホルダ２に挟装された基板３上にコア４を所
定の間隔に形成してこのコアを挟むように三角形状のマ
ーカ５を等デプス１ｉ１６上に薄膜形成し、ヘッド組立
て完了後、このマーカの幅Ｗをデプス端末を研磨しなが
ら計測してデプスｄを所望の値に製作していた。すなわ
ち、上記デプスｄはマーカ５の高さをＬ１マーカの底辺
をＤとすると、 の関係式が成立するので、マーカ５の幅Ｗを計測するこ
とで求めることが可能なものである。
［背景技術の問題点コ
ところが、上記のように製作される１１１ｍ１気へラド
にあっては、マーカ５をｉｌｌ！ｌｌ上の形成工程にお
ける電極材料等と同一工程で形成しなければならないた
めに、その後の化学的あるいは電気化学的処理等の処理
工程により、上記マーカ５の寸法が微少に変化して幅Ｗ
にΔＷの変位が生じるという問題を有していた。これに
よれば、マーカ５の寸法の変位に応じて（１）式が ｔｉ＝Ｌ−（１−Ｗ十△Ｗ） −−−−−−１２）と
なる如く、デプスｄにΔＷの変位に応じた誤差が生じ、
所望のデプスｄに製作することができないという欠点を
有している。
にあっては、マーカ５をｉｌｌ！ｌｌ上の形成工程にお
ける電極材料等と同一工程で形成しなければならないた
めに、その後の化学的あるいは電気化学的処理等の処理
工程により、上記マーカ５の寸法が微少に変化して幅Ｗ
にΔＷの変位が生じるという問題を有していた。これに
よれば、マーカ５の寸法の変位に応じて（１）式が ｔｉ＝Ｌ−（１−Ｗ十△Ｗ） −−−−−−１２）と
なる如く、デプスｄにΔＷの変位に応じた誤差が生じ、
所望のデプスｄに製作することができないという欠点を
有している。
［発明の目的］
この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、簡易な
構成で、かつ、可及的にヘッドのデプス精度を向上し得
るようにした薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とす
る。
構成で、かつ、可及的にヘッドのデプス精度を向上し得
るようにした薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とす
る。
［発明の概要］
すなわち、この発明は等デプス線に対して互いの頂点位
置を１８０°変位させて並設した一対の三角形状のマー
カを設けることによって、前記マーカの寸法の変位に伴
うデプス計測誤差を確実に防止するようにして所期の目
的を達成したものである。
置を１８０°変位させて並設した一対の三角形状のマー
カを設けることによって、前記マーカの寸法の変位に伴
うデプス計測誤差を確実に防止するようにして所期の目
的を達成したものである。
「発明の実施例］
以下、この発明の実施例について、図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
第１図はこの発明の一実施例に係るｍｉｘ磁気ヘッドを
示すもので、図中１０はコア１１が所定の間隔で、形成
される基板である。この基板１０には上記コア１１を挟
むように略同様に構成されるマーカ部１２が第２図に示
すように形成される。このマーカ部１２は等デプス線１
３に対応させて三角形状の一対のマーカ１４．１５が互
いの頂点位置を１８ｏ°変位させて薄膜形成される。ま
た、上記基板１０の両面部には上部ホルダ１６及び下部
ホルダ１７が挟装される。
示すもので、図中１０はコア１１が所定の間隔で、形成
される基板である。この基板１０には上記コア１１を挟
むように略同様に構成されるマーカ部１２が第２図に示
すように形成される。このマーカ部１２は等デプス線１
３に対応させて三角形状の一対のマーカ１４．１５が互
いの頂点位置を１８ｏ°変位させて薄膜形成される。ま
た、上記基板１０の両面部には上部ホルダ１６及び下部
ホルダ１７が挟装される。
すなわち、上記構成において、マーカ１４゜１５は各デ
プスｄ１及びｄ２が等デプス線１３に対する幅をＷｌ及
びＷ２、底辺をＤ、高さをＬとすると、 ＷＩ Ｗｔ ｄ１＝Ｌ・（１−−） 、 ｄｚ＝Ｌ・−・・・・・・
（３）Ｌ） ＩＪ の式で表わされ、その平均値ｄが の式で求められる。そして、上記マーカ１４゜１５は薄
膜形成後の化学的あるいは電気化学的処理等の処理工程
にともなって、その幅ＷがそれぞれΔＷ１及びΔＷ２変
位したとすると、となり、その平均値ｄが の Ｌ Ｗ２−〜ｖ１ ｄ ＝ −（１＋ −） ２ Ｄ の式が成立し、デプスｄに誤差ΔＷ１及びΔＷ２の影響
を与えることがないものである。しかして、上記薄膜磁
気ヘッドはそのデプス端末を研磨する際、マーカ１４．
１５の誤差ΔＷ１及びΔＷ２に影響されることなく、高
精度に形成することができる。
プスｄ１及びｄ２が等デプス線１３に対する幅をＷｌ及
びＷ２、底辺をＤ、高さをＬとすると、 ＷＩ Ｗｔ ｄ１＝Ｌ・（１−−） 、 ｄｚ＝Ｌ・−・・・・・・
（３）Ｌ） ＩＪ の式で表わされ、その平均値ｄが の式で求められる。そして、上記マーカ１４゜１５は薄
膜形成後の化学的あるいは電気化学的処理等の処理工程
にともなって、その幅ＷがそれぞれΔＷ１及びΔＷ２変
位したとすると、となり、その平均値ｄが の Ｌ Ｗ２−〜ｖ１ ｄ ＝ −（１＋ −） ２ Ｄ の式が成立し、デプスｄに誤差ΔＷ１及びΔＷ２の影響
を与えることがないものである。しかして、上記薄膜磁
気ヘッドはそのデプス端末を研磨する際、マーカ１４．
１５の誤差ΔＷ１及びΔＷ２に影響されることなく、高
精度に形成することができる。
ここで、上述したマーカ１４．１５はその形状として二
等辺三角形、直角三角形及び正三角形等の各種三角形状
に適用可能なもので、いずれのものにおいても略同様の
効果を期待できる。
等辺三角形、直角三角形及び正三角形等の各種三角形状
に適用可能なもので、いずれのものにおいても略同様の
効果を期待できる。
このように、上記薄膜磁気ヘッドはデプス計測用のマー
カ１４．１５を等デプス線１３上に互いの頂点位置を１
８０°変位させて形成し、このマーカ１４．１５の幅Ｗ
ｌ 、Ｗ２を計測しながらデプス端末を研磨するように
構成したので、上記マーカ４．１５の寸法の変位に伴う
悪影響を受けることがないもので、デプス計測誤差が確
実に防止され、可及的にヘッドのデプス精度を向上し得
るものである。
カ１４．１５を等デプス線１３上に互いの頂点位置を１
８０°変位させて形成し、このマーカ１４．１５の幅Ｗ
ｌ 、Ｗ２を計測しながらデプス端末を研磨するように
構成したので、上記マーカ４．１５の寸法の変位に伴う
悪影響を受けることがないもので、デプス計測誤差が確
実に防止され、可及的にヘッドのデプス精度を向上し得
るものである。
尚、この発明は上記実施例に限ることなく、その外、こ
の発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得
ることはいうまでもないことである。
の発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得
ることはいうまでもないことである。
［発明の効果］
以上詳述したように、この発明によれば、簡易な構成で
、かつ、可及的にヘッドのデプス精度を向上し得るよう
にしたＷＩＩｌ！磁気ヘッドを提供することができる。
、かつ、可及的にヘッドのデプス精度を向上し得るよう
にしたＷＩＩｌ！磁気ヘッドを提供することができる。
第１図はこの発明の一実施例に係る薄Ｓ磁気ヘッドを示
す構成説明図、第２図は第１図のマーカの作用を説明す
るために示した図、第３図は従来のａｌｌ磁気ヘッドを
示すＩＩＩ成図である。 １０・・・基板、１１・・・コア、１２・・・マーカ部
、１３・・・等デプス線、１４．１５・・・マーカ、１
６・・・上部ホルダ、１７・・・下部ホルダ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２ｖＡ
す構成説明図、第２図は第１図のマーカの作用を説明す
るために示した図、第３図は従来のａｌｌ磁気ヘッドを
示すＩＩＩ成図である。 １０・・・基板、１１・・・コア、１２・・・マーカ部
、１３・・・等デプス線、１４．１５・・・マーカ、１
６・・・上部ホルダ、１７・・・下部ホルダ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２ｖＡ
Claims (1)
- コアの等デプス線上に設けたマーカに対応してデプスを
形成してなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記等デプス線
に対応して互いの頂点位置を１８０°変位させて並設し
た一対の三角形状のマーカを設けたことを特徴とする薄
膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10870985A JPS61267913A (ja) | 1985-05-21 | 1985-05-21 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10870985A JPS61267913A (ja) | 1985-05-21 | 1985-05-21 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61267913A true JPS61267913A (ja) | 1986-11-27 |
Family
ID=14491609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10870985A Pending JPS61267913A (ja) | 1985-05-21 | 1985-05-21 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61267913A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0336395A2 (en) * | 1988-04-06 | 1989-10-11 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Marker for detecting amount of working and process for producing thin film magnetic head |
| US7610673B2 (en) | 2004-04-05 | 2009-11-03 | Tdk Corporation | Method of manufacturing a vertical recording magnetic head |
| US7716814B2 (en) | 2007-02-05 | 2010-05-18 | Headway Technologies, Inc. | Method of manufacturing magnetic head, and magnetic head substructure |
| JP2011060419A (ja) * | 2005-08-22 | 2011-03-24 | Headway Technologies Inc | 磁気ヘッドおよびその製造方法ならびに磁気ヘッド用基礎構造物 |
-
1985
- 1985-05-21 JP JP10870985A patent/JPS61267913A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0336395A2 (en) * | 1988-04-06 | 1989-10-11 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Marker for detecting amount of working and process for producing thin film magnetic head |
| US5056353A (en) * | 1988-04-06 | 1991-10-15 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Marker for detecting amount of working and process for producing thin film magnetic head |
| US7610673B2 (en) | 2004-04-05 | 2009-11-03 | Tdk Corporation | Method of manufacturing a vertical recording magnetic head |
| JP2011060419A (ja) * | 2005-08-22 | 2011-03-24 | Headway Technologies Inc | 磁気ヘッドおよびその製造方法ならびに磁気ヘッド用基礎構造物 |
| US7716814B2 (en) | 2007-02-05 | 2010-05-18 | Headway Technologies, Inc. | Method of manufacturing magnetic head, and magnetic head substructure |
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