JPS61265753A - スタンパ製造ナンバ−記入法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は光ディスク用スタンパに製造ナンバーを記入す
る方法に関する。

［従来技術］ 従来光ディスク用スタンパは以下のような工程で製造さ
れている。第１図に示すようにまずガラス基板１上に厚
さ約１０００人の７オトレジスト膜２を形成し、１μｍ
以下に集光されたレーザー光によって溝や信号３を形成
する。つぎに第２図に示すようにスパッタを用いてニッ
ケル等の金属薄膜４を約５００人の厚さで形成させる。

これに第３図に示すようにこの金ｇＡ薄膜４を陰極とし
ニッケルをメッキしてメッキ板５を形成させる。次に金
属１膜４とメッキ板５とを一体として、ガラス板１およ
びフォトレジスト１１２から剥離して第４図に示される
スタンパ６を得る。このようにして製造されたスタンパ
に製造ナンバーを記入するには、従来、刻印機を用いる
方法やダイヤモンドベンを用いる方法が採用されている
。この刻印機による製造ナンバー記入法には以下のよう
な問題点がある。すなわち、刻印機では凹凸によりスタ
ンパ上に製造ナンバーを形成するため、この凹凸が光デ
ィスクの基板として用いられるアクリル板上に転写され
る。その後このアクリル板上にスピナーで記録材料を塗
布するのであるが、そのときこの凹凸により記録林料の
流れが妨げられ、昔星状の記録材料塗布ムラが生じてし
まうのである。そのほか、刻印により、スタンパの平面
性が悪化する、刻印部により射出成形時の液状アクリル
の流れに異状を起こし、複屈折の乱れを生じる、２Ｐｔ
！ＩＷｉを用いてアクリル板に転写する場合、２Ｐ樹脂
に泡を生じさせる等の幾つかの欠点も併せ持っている。

一方、ダイヤモンドベンを用いる製造ナンバー記入法に
ついても、前記刻印機の凹凸による欠点と同様な欠点が
あるほか、ダイヤモンドベンを用いる方法ではペンによ
りスタンパ面上に傷をつけるため、そこから金属粉が発
生し、これが欠陥を生む原因となってしまう。このよう
に、従来のナンバー記入法はいずれも満足なものとはい
えなかった。

［目　的］ 本発明によれば、前記従来法の有する問題点を解決し、
記入工程における欠陥増加を生じることのないスタンパ
製造ナンバー記入法を提供することを目的とする。さら
にはこのスタンパによって転写されるアクリル板には凹
凸状のスタンパ製造ナンバーは転写されずにすむスタン
パを提供することを目的とする。

［構　成］ 本発明では、スタンパ製造工程において、金属ＩＩＱを
形成させる際に同時にスタンパの製造ナンバーを記入す
ることにより上記目的を達成した。

以下、本発明によるスタンパ製造ナンバー記入法を図に
より詳細に説明する。

第５図に示すように、まず、ガラス基板１上のフォトレ
ジスト膜２に溝や信号を形成させた後、スタンパ製造ナ
ンバー状に穴がおいているマスク４で７オトレジスト膜
２を文字が裏向きになるようにマスクし、その上から第
一の金属たとえば銅をスパッタを用いて蒸着させ、約５
００人の厚さの第一の金ｉ薄膜７を！！Ｊ造ナシナンバ
ー状成させる。

次に、第６図に示すようにマスク４を取り除き、フォト
レジスト膜２全面に第一の金属とは色の異なる第二の金
属たとえばニッケルを同じくスパッタを用いて蒸着させ
、約５００人の厚さの第二の金属薄膜８を形成させる。

これら二種の金属の蒸着は同一のチャンバー内で行われ
る。次に、第７図に示すように第二の金属ＩＦ！８を陰
極とし、ニッケルをメッキしてメッキ板９を形成させる
。この侵、金１ｉ！ｉｌ膜７および８とメッキ板９とを
一体として、ガラス板１およびフォトレジスト１１１２
から剥離し第８図のようにスタンパ１０を得る。このよ
うにして製造されたスタンパ１０には、第一の金属薄膜
７による製造ナンバーがスタンパ面と同一平面上に異な
る色をもって記入されている。このようにスタンパ表面
にナンバーが凹凸状ではなく平面で記入されるので、従
来アクリル板への転写時に見られた悪影響が回避される
ということになる。

また機械的にナンバーを刻み込む工程がないので、この
工程で生じ易い欠陥増加を避けることができる。本発明
の製造ナンバー記入法によれば、ナンバーを他の面と同
一平面上に記入することができるため、従来のように溝
や信号の記録領域を避けてナンバーを形成させる以外に
、第９図、第１０図に示すように記録領域１１内にも形
成させることが可能となる。

［効　果］ 本発明のスタンパ製造ナンバー記入法によれば、以下の
ような効果を得ることができる。

ａ）　製造ナンバー記入工程における欠陥増加を避ける
ことができる。

ｂ）　スタンパ面上にナンバーが凹凸状に記入されない
ので、光ディスク基板として用いられるアクリル板に転
写するとき凹凸に暴く悪影響を避けることができる。

Ｃ）　光ディスク基板として用いられるアクリル板には
スタンパ製造ナンバーの凹凸が転写されずに済むので、
その上に記録材料をムラなく塗布することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は従来のスタンパの製造工程を説明
する部分断面図である。第５図〜第８図は本発明による
ナンバー記入工程を含むスタンパ製造工程を説明する部
分断面図である。第９図は本発明により記録領域に製造
ナンバーを記入する場合の部分断面図、第１０図はその
平面図である。 １・・・ガラス基板　　　２・・・フォトレジスト膜３
・・・溝（信号）　　　　４，７．８・・・金属Ｆｄｌ
膜５．９・・・メッキ板　　６．１０・・・スタンパ１
１・・・記録領域 特許出願人　　株式会社　　リ　コ　−〒テ８了　＝＝
ザ＝＝蛸

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）光ディスク用スタンパ製作工程において、信号や
   溝が形成されたフォトレジスト膜上にメッキ陰極用の金
   属薄膜を形成させる際に、スタンパ製造ナンバー状に穴
   があいた板を用意し、該板によりフォトレジスト膜をマ
   スクしながら該膜上に第一の金属を蒸着させ、次にマス
   クを除去し、第二の金属をフォトレジスト膜全面に蒸着
   させることを特徴とするスタンパ製造ナンバー記入法。
2. （２）特許請求の範囲１に記載の方法において、相互に
   色の異なる第一の金属と第二の金属を用いることを特徴
   とするスタンパ製造ナンバー記入法。
3. （３）特許請求の範囲１に記載の方法において、第一の
   金属として銅を、第二の金属としてニッケルを用いるこ
   とを特徴とするスタンパ製造ナンバー記入法。