JPS61262816A - 移動体制御装置 - Google Patents

移動体制御装置

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JPS61262816A
JPS61262816A JP10485985A JP10485985A JPS61262816A JP S61262816 A JPS61262816 A JP S61262816A JP 10485985 A JP10485985 A JP 10485985A JP 10485985 A JP10485985 A JP 10485985A JP S61262816 A JPS61262816 A JP S61262816A
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正 秋田
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浅川 和雄
Nobuhiko Onda
信彦 恩田
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔目 次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術 発明が解決しようとする問題点 問題点を解決するための手段(第1図)作用 冥加例 (a)  一実施例の構成の説明(第2図、第3図)(
′b)一実施例の動作の説明(第4図、第5図)(C)
  他の実施例の説明(第6図、第7図)(d)  別
の実施例の構成の説明 (第8図、第9図、第10図) (ej  別の実施例の動作の説明(第11図)(f)
  更に別の実施例の説明(第12図)発明の効果 〔概 要〕 移動体を物体との状態検出出力に応じて状態適応制御す
る移動体制御装置において、指令値と該状態検出出力と
の合成を速度指令として発生する制御手段と、該速度指
令に追従してサーボ制御するサーボ回路とを設け、サー
ボ回路を関数発生部と閉ループ制御部とで構成すること
によって1円滑で自律的な状態適応制御を行なうととも
に状態検出出力の過大な入力に対しても安定に動作でき
るようにしたものである。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ロボット等における作業部()・ンド)等の
移動体を物体に対する状態に応じて状態適応制御する移
動体制御装置に関し、特に状態適応制御を円滑に行なう
とともに状態量に対して安定な動作が可能な移動体制御
装置に関する。
近年、ロボットの高機能化の開発が目覚しく。
作業内容の高度化、高精度化を目標とする試みが種々な
されている。例えば、刊行物[日経メカニカル1985
.4.8J (1985年4月8日 日経マグロウヒル
社発行)の第73頁乃至第81頁や刊行物「ロボット工
学入門」(昭和58年9月lO日オーム社発行」等にお
いては、ロボットに対し対象物体に対する視覚、力覚等
のセンサを付与し。
これらのセンサからの状態に応じて適応制御を行なう技
術が開示されており、これによって物体との相対位置誤
差の補正等を行なうようにしている。
〔従来の技術〕
係る移動体、特にロボットの制御においては。
一般に外的な状態に拘束されない位置制御と外的状態に
よる適応制御を行なうようにしている。例えば、ハンド
に力センサによる力覚を設けたものにおいでは、ハンド
が対象物体に当接するまで位置制御を行ない、当接する
と力センサによる対象物体からの反力をフィードバック
し9反力を零とするように適応制御して、ハンドに把持
した物品を対象物体にはめ合わせる等の作業を行ない、
相対位置ずれを補正又は吸収するようにしている。
又、視覚を備えるものにおいては、視覚(例えばカメラ
、距離センサ等)による出力によって位置指令を変更し
ながら、対象物体に近づくことにより、指示した位置を
補正する方法が用いられている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、従来の前者の構成においては。
指令(位置)制御から力制御へ物体との接触時に切り替
えを行なうことから、切り替えによって動作が不連続と
なり、系が不安定となり接触直後に過渡現象として急激
な制御量が入力されるおそれがあるという問題があり、
これを避けるには、物体との接触後十分な時間を置いた
後に力制御へ切シ替える必要があり、高速な動作ができ
ないという問題があった。
一方、後者の構成では、状態フィードバックに応じて常
に指令を変更しているので、高速動作が困難であり、又
過大な状態フィードバックに対しては、系を安定動作さ
せるため何等かのIJ ?ットを設けて指令を変更する
必要があり、この処理により一層高速動作が困難である
という問題も生じていた。
本発明は1円滑に且つ自律的に状態適応制御を行なうと
ともに状態量にかかわらず安定な動作が可能な高精度、
高速動作を達成しうる移動体制御装置を提供することを
目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
第1図は本発明の原理説明図である。
図中、3は状態センサ(検出手段)であシ1例えば移動
体に加わる外力を検出する力センサで構成されるもの、
5は移動体であり9例えば物品を吸着保持する吸着ノ・
ンドで構成されるもの、9は対象物体であり1例えば、
磁気ディスク等のハンド5によって吸着されるもの、M
Tは駆動部であり、モータ等のアクチュエータで構成さ
れ、状態センサ3の設けられたハンド5を移動するもの
82は制御部であり、移動指令Vcと状態センサ3から
の状態蓋Fとを合成して駆動部MTを制御するものであ
り1合成部85を有するもの、SMCはサーボ回路であ
り、制御部82からの速度指令■c′に追従して駆動部
MTをサーボ制御するものであり、速度指令Vc’に対
し所定の加速度をもって追従する速度関数を発生し、速
度関数の積分値である比較位置関数を発生する関数発生
部83と、比較位置関数と駆動部MTの検出位置を比較
して制御入力を駆動部へ与える閉ループ制御部84とを
有するものである。即ち1本発明では、移動指令Vcと
状態指令Fとの合成を速度指令とする制御部82と、関
数発生部83及び閉ループ制御部84とからなるサーボ
回路SVCとが結合されて構成されている。
〔作 用〕
本発明では、移動指令と状態指令Fとの合成をサーボ回
路8VCの入力としている。従って状態指令が発生され
ない状態(即ち、零)においては移動指令がサーボ回路
8VCへ入力され、指令制御が実行され、一方、状態指
令が発生されると。
移動指令と状態指令との合成がサーボ回路SVCへ入力
され、いわゆる状態適応制御が実行される。
従って指令制御から状態適応制御への移行が切替えなし
に又移動指令を変更せず1円滑に自律的に実行されるこ
とになる。
一方、このような状態適応制御においては、状態ik(
状態指令)は系からみると外乱であり、必ずしもリニア
な特性をもつものでなく、物体との状態においては、状
態量が急激に犬となる場合がある。
従って合成指令が急激に変動して追従制御が困難となり
1円滑な速度減少特性を得ることができない。このため
、関数発生部83によって合成速度指令を所定の加速度
の速度関数に変換することによって加速度成分が一定値
以上にならないようにして閉ループ制御部84の飽和を
防止し1円滑な速度変化を得るようにしている。更に閉
ループ制御部84では、関数発生部83から積分した基
準位置関数と検出位置との差で制御入力を作成している
ので零に近い低速の速度指令に対しても正確な移動指令
が作如出せるから、移動指令■。と状態指令Fとの差が
零に近づいても正確に追従駆動することができる。
即ち1本発明は系から見て不定な外乱である状態量を単
にフィードバックして自律的な状態適応制御を行なうよ
うにしているが、この状態量は不定で且つ外乱であるか
ら、この外乱を入力しても安定に系が動作しないと、状
態適応制御が円滑に実行できないため、サーボ回路に係
る外乱の吸収追従動作を行なわせ、安定な動作を実現す
るものである。
〔実施例〕
(a)  一実施例の構成の説明。
第2図は本発明の一実施例構成図である。
図中、第1図で示したものと同一のものは同一の記号で
示してあり、82は制御部としてのプロセッサ(以下C
PUと称す)であり、マイクロプロセッサで構成され、
力計測値Frに所定の利得αを利得手段82aで乗算し
2乗算出力α・Frを入力指令■cから合成手段85で
差し引き指令出力■c′を発するものであり、3は力セ
ンサでアシ。
平行板バネと歪ゲージ30により構成され、外力によっ
て変位し且つ変位を歪ゲージ30で検出するもの、26
はZ軸モータであり、送りネジ26bを回転させ力セン
サ3に支持されたハンド5をZ軸方向に移動するもので
あり2位置検出器(エンコーダ)26aが設けられたも
の、9は磁気ディスク板(以下円板と称す)であり、ス
ペーサ90を介在して複数枚積層され、ハンド5によっ
て吸着されるものである。
この例では、状態としてハンド5の物体(円板9)との
接触及び反力を検出する力センサ3が状態検出手段とし
て設けられ、ノ・ンド5はカセンサ3を介しZ軸モータ
26によってZ軸方向の上下動可能である。
第3図は第2図構成のサーボ回路の回路図である。
図中、第1図及び第2図で示したものと同一のものは同
一の記号で示してあり、83oは速度関数発生部でアリ
、速度指令Vc’ (δ(t))に対し所定の加速度の
速度関数を発生するものであり、所定の加速度に対応す
る周期のパルスを発振するオシレータ(OSCという)
 sa0 aと、oscsaoaのパルスをアップ又は
ダウンカウントする速度カウンタ830bと、速度指令
θ(1)と速度カウンタ830bの内容(追従速度関数
)1;Rを比較する比較器830 Cと、比較器830
Cの出力によって08C830aのパルスを速度カウン
タ830bのアップ側又はダウン側に与えるスイッチ8
30dとを有するもOでSす、θ(t)〉θRならOS
 C830aのパルスをアップ側に切換え、速度カウン
タ830bを加速計数し、δ(t)=;nなら08 C
830a ノパルスを速度カウンタ830bへ入力せず
、その内容を保たせ、δ(t)<δRならOS C83
0aのパルスをダウン側に切換え、速度カウンタ830
bを減速計数させるものである。831は速度/位置切
換スイッチであり、後述する比較器の制御(点線)によ
り速度カウンタ830bと後述する目標位置関数発生部
とを切換えるもの、832は比較位置関数発生部であり
、切換スイッチ831を介して与えられる2値の速度関
数を積分して比較位置関数θR(t)を発生するもので
あり、2値の速度関数とo s c sa。
aのパルス周波数の積を演算して速度関数に応じた周波
数のパルスを出力するバイナリ−レイトマルチプライヤ
(以下BRMという) 832 aと、BRM 832
 aの出力パルスを計数する比較位置カウンタ832b
とを有するものである。833は比較加速度関数発生部
であり、比較加速度関数を速度カウンタ830bの加速
、停止又は定速、減速に応じて出力するものであり、ス
イッチ830dの状態(加速、停止又は定速、減速)に
応じて正値、零。
負値の比較加速度関数θR(t)を出力する加速度関数
生成部833aと、比較加速度関数θR(t)に対しJ
/Ae・AM(但し、Jはイナーシャ、Ae はパワー
アンプ利得、AMはモータの力定数である)を乗じて電
流入力U R(t)を発生する比例乗算部833bを有
するものである。
834は比較器であり、速度カウンタ830bの値δR
と後述する目標位置関数発生部835からの減速速度δ
dとを比較して一致すると、スイッチ831を目標位置
関数発生部835側に切換えるためのもの、835は目
標位置関数発生部であり、目標である位置指令θ(n)
とカウンタ832bの比較位置関数θR(t)との差に
対応する減速速度信号θdを発生するものであυ、θ(
n)とθR(t)の差をとる差分器835aと、差分器
835aの差に応じた目標位置に位置決めするための減
速信号δdを発生するリードオンリーメモリ(以下RO
Mと称す)835bとを有するものである。
840は位置カウンタでアわ、モータ26の位置検出器
(エンコーダ)26bのパルスを計数し現在位置θpを
表わすもの、841は差分器でおり。
比較位置関数θR(t)と位置カウンタ840の現在位
置θpとの差をとるもの、842はデジタル/アナログ
コンバータ(以下D/Aコンハータト称ス)であシ、差
分器の位置(角度)誤差をアナログに変換するもの、8
43はスムーザであり、エンコーダ26b角度検知の量
子化誤差によりリミットサイクルの影響を防ぐため、エ
ンコーダ26bのパルス間を補間して位置誤差θe(t
)を連続的なものとするためのものであp、844は加
算器であり、スムーザ843の出力をアナログの位置誤
差に加算し連続的な位置誤差θe(t)を得るものであ
る。845は制御入力発生部であり2位置誤差θe(t
)から制御人力Ue(t)を作成するものであり2位置
誤差θe(t)を積分する積分器845aと1位置誤差
θe(t)及び制御人力Ue(t)を入力とし、制御対
象(即ち、パワーアンプ、モータ26.エンコーダ26
b)と同一の系を構成して推定角度偏差x*(t)と推
定角速度偏差x3(1)を発生するオブザーバ(状態観
測器) 845 bと。
各々積分量x1tt) l推定角度偏差X*(’) r
推定角速度偏差Xs (j)にフィードバック係数fI
、ら、f3を乗じる乗算器845 C〜845 eと1
乗算器845Cの出力f8・XI(t)と乗算器845
dの出力f2・X2(t)とを負の加算を行う加算器8
45fと、加算器845fの出力(−fl @ XIf
t) −r、 @ X2ft) )から乗算器845e
(7)出力f3・X3(t)を減算する減算器845g
とを有するものであシ、従って制御人力Ue(t)は Ue(’l =−fr ” x□(t)  r、 ” 
Xz(i)−ら* xs(t)となる。
846は加算器であり、!流入力UR(t)と制御人力
Ue(j)を加算し、入力U (t)を出力するもの、
847はパワーアンプであり、電流駆動形パワーアンプ
で構成され、入力U (t)に比例した電流をモータ2
6に供給できるよう内部で電流帰還されているものであ
る。
(b)  一実施例構成の動作の説明 第3図のサーボ回路SVC自体は本発明者等によって提
案され1周知であるが、簡単に第4図を用いて説明する
と、関数発生部83は、速度(角速度)指令θ(1)と
位置指令θ(1)を受けると、速度関数発生部830は
第4図(5)の如くステップ状の速度指令θ(1)に対
し所定の加速度(OS C830aのパルス周波数で決
定される)で追従する速度関数関数発生部832で時間
積分され、比較位置関数θR(t)が出力される。一方
、比較加速度関数部833からは、速度関数δR(t)
の加速、減速に応じ比較加速度関数θR(t)を発生し
、更にこれによって電流入力UR(t)を出力する。一
方、目標位置関数発生部835は目標位置θ(n)と比
較位置関数θR(1)の差に対応する減速信号θd(第
4図(5))を発dとの値が一致すると(時刻tI)、
スイッチ831を目標位置関数発生部835側に切換え
減速信号θdを比較位置関数発生部832に与えてこれ
を時間積分して比較位置関数θR(t)を出力せしめる
。従って関数発生部83は速度指令θ(1)に対し所定
の加速度で追従する速度関数θR(りを発生し、この速
度関数に応じて比較加速度関数θR(t)を指令人力U
R(t)として発生し、且つ速度関数θR(t)から比
較位置関数θR(t)を作成している。
一方、閉ループ制御部84では、比較位置関数θR(t
)と現在位置θpとの位置誤差θe(I)から制御人力
U (t)を作成し、パワーアンプ847へ帰還してい
る。従って比較位置関数θR(t)が基準となって閉ル
ープ制御され、比軟位置関数θR(t) +即ち速度関
数θR(t)の積分値に正確に追従した駆動制御が可能
となる。この制御入力発生部845では位置誤差θe(
t)を積分しており、これによってモータ軸のまさつ力
や外力に打ち勝った駆動ができる。
このような特性を有する安定なサーボ回路によって9次
のような状態適応制御が行なわれる。
ハンド5が円板9に接近中では、状態量としての力セン
サ3の力計測値Frは零であるから、VC′=■であシ
、Z軸モータ26はサーボ回路86によってパワーアン
プ86aを介し速度制御され、ボールネジ26bを回転
させて、力センサ3を介しハンド5を下降せしめる。
一方、ノ・ンド5が円板9に位置P、で接触すると。
力センサ3は板バネで構成されているからたわみ(変位
し)、このたわみを検出する歪ゲージ30より力計測値
Frが発生する。この力計測値Frは必ずしもリニアな
特性を有するものではなく、第5図(5)に示す如く、
接触具合によって急激に上昇したシ、振動等によってふ
らつく。
CPU82は1合成部85よす(■c−α・Fr)なる
速度指令Vc’ (t) (t))を発生し、VC′は
力計測値Frに従って減少する。この時、力計測値Fr
が急激に変化したとすると、速度指令Vども急激に変化
し。
その加速度成分である変化率は無限大になるので。
この速度指令にそのままサーボモータ26を追従させよ
うとすると無限大の電流が要求されることになる。しか
しながら、実際には有限の加速度しか得られないので、
他のサーボ系では追従遅れが出て1位置偏差が大きくな
fi、D/Aコンバータの飽和がおこり、暴走の危険が
あるため、聚急停止となる。(他のサーボの方式でも、
偏差カウンタ方式では偏差カウンタの飽和、PLL方式
では税調、パルスモータでの脱調などが生じる。)第3
図のサーボ回路では速度指令vAの指示に対して、一定
の加速度を持ってこれに追従する速度関数を発生するこ
とによシ、力計測値の急激な変化に対して、サーボ系が
常に保護されるようになっている。
又、力計測値Frのふらつきに対してもこれを吸収し、
従って第5図(B)の如くモータ26は円滑に減速し始
める。
又、この時、モータ26はハンド5の円板9への接触に
より太き力性力を受けるが、閉ループ制御部84の動作
によってこれに打ち勝ち関数発生部83の速度関数に従
って動作する。
この時、減速の傾きは利得αで制御され、平行板バネが
モータ26の回転で更にたわみ、力計測値Frは上昇す
る。最終的には位置Paで実速度■が零となり、この時
、Vc二α・Frでおり、札の押し付は力が発生してい
る。
この利得αを乗算する意味は次の如くである。
入力指令Wは接近時の速度指令値と押し付は力発生時の
力指令値の両方を兼ているため、速度計測値■rと力計
測値Frの出力レベルの相対的な大きさによっては、1
つの入力■で最適な移動速度と。
最適な押し付は力の両方を同時に満たせないおそれがあ
る。
このため、力計測値Frのフィードバック量を可変にす
るための入力を設け、即ち利得αを設定して、入力指令
■と利得αを独立に設定し、最適な速度指令値と、力指
令値を1つの入力指令で得ることができるようにしてい
る。
この位置P。においても、サーボ回路SVCの特性が発
揮される。即ち、正確な力制御のためには。
■c二α・Frが必要であり、零に近い低速の速度指令
に対しても正確にモータを駆動しなければならない。こ
のサーボ回路SVCでは関数発生器83で比較位置関数
θR(速度関数θRの積分値)を作成しているので、微
少な速度指令■tでも正確な制御人力U (t)を閉ル
ープ制御部84で作り出せ。
これは比較位置関数θRに追従するので、まさつ力や外
力に打ち勝った正確かつ精密な制御ができるO 従って、接近中は指令速度■によって速度制御され、ハ
ンド5が円板9に接触すると、外力適応制御に自律的に
移行し、最終的な平衡状態では。
時刻t。で位置P0でZ軸モータ26が停止し、実速度
値が零となる。この時入力指令■と力計測値Frが等し
く、力計測値Frは力センサ3の変形によって物体9へ
の押し付は方Foとなるから、入力指令光は力指令とし
て働く。従って、入力指令■の大きさが押し付は力を制
御することになる。
従って、力センサ3のたわみ(変形)により接触時のシ
ョックを吸収しつつ、モータ26の回転速度をサーボ回
路SVCによって連続的に落としていき、速度が零とな
った所で、適切な押し付は力を発生するという理想的な
形とすることができる0 このようにして接近、接触、押し付けの3過程が連続的
に円滑に行われ且つ力センサ3の力指令値に急激な変化
が生じても安定に且つ円滑に進行することができる。即
ち、サーボ回路SVCの閉ループ制御器84の帰還ルー
プを設けていることにより、まさつ力などのさまざまな
外乱を抑圧して、関数発生部83の位置の指令(比較位
置関数)に正確に追従する理想的なサーボとなっておシ
きわめて精密な速度制御が可能なこと、サーボ系が飽和
しないように関数発生部83によって加速度成分が一定
値以上にならないよう監視された形で速度をなめらかに
変化させていくことができる。
このサーボ回路は位置指令による位置制御もできるよう
になっており1位置制御が不要であれば。
位置関数発生部835.比較器834.スイッチ831
は不要であり、カウンタ830bの出力を比較位置関数
発生部832に直接入力すればよい。
このような動作は、カセ/す3の如く接触型センサに限
らず、物体との状態を検出する非接触型セ/す(例えば
超音波距離センサ等)を用いた場合にも同様であり、こ
れらによる状態適応制御にも適用できる。
又1本発明によれば、第2図のように、磁気ディスク9
とスペーサー90を積み重ねたものを順に取り上げ、他
の場所に移す時のように、ハンド5が磁気ディスク91
又はスペーサー90を取る時の深さが、変化していく場
合でも、希望のノ・ンド下降速度と、希望の押し付は力
が常に、かつ自動的に得られるため、深さ方向の距離の
ティーチングが不用になって、ロボットに作業を教示す
る人間の負担が軽くなり、ロボットの知能化が一歩進む
ことになる。
(C)他の実施例の説明。
第6図は本発明の第2の実施例の構成図である。
図中、第2図で示したものと同一のものは同一の記号で
示してあり、82bは不感帯部であり。
セットされた不感帯幅Wの非線形特性の入出力特性を示
すものである。
この実施例では、不感帯部82bによって希望の速度と
希望の押し付は力を得るようにしている。
即ち、不感帯部82bは、力計測値Frに対し非線形要
素を通した信号のフィードバックを実行するものであり
、CPU82の演算によって行われるO この非線形要素の演算方法は次の通シである。
先づ、入力の絶対値が不感帯幅設定値Wより小さい時は
出力をゼロとする。一方、入力の絶対値が不感帯幅設定
値Wより大きい時は。
入力が正値の時は、(入力−不感帯幅設定値)を出力と
し。
入力が負値の時は、(入力子不感帯幅設定値)を出力と
する。
次に、第6図実施例構成の動作について第7図を用いて
説明する。
7°。
第7図に示す如く位置P1接触しても不感帯幅W△ に対応する押し付は力になるまで指令Vcで与えられた
速度で移動を続け、その後は、即ちFr>Wとなること
によって第3図と同様に減速して停止する。
この時の押し付は力は、入力指令覧による力指令値と不
感帯幅Wに対応した力との和になり、一方、接近中の速
度は入力指令Vcだけに依存するので、移動速度と押し
付は力を独立に制御できる。
この実施例では、第2図の実施例に比し9次の利点が付
加される。即ち、力計測値Frのフィードバックゲイン
を固定できることから、閉ループ制御系としてのループ
利得を一定に保ったま1..(つま多制御系としての安
定性を保証しつつ)押し付は力を広い範囲で可変できる
こと、及びハンド5が空中に浮いた状態で(つまシハン
ド5が他の物体を押していない時)、入力Vcをゼロと
し、その場所に止めておきたい時、第2図の実施例では
ひずみゲージ300力計測値にオフセット変動があると
、それにより、ノ・ンド5の位置がドリフトすることが
あるが、この実施例では、不感帯幅より小さなオフセッ
ト変動に対しては、不感になり。
ドリフト現象はなくなる。
また、第6図において、入力Vcをゼロとし、ノ・ンド
5の箇の所を教示者が手でもって上下に導くと、力セン
サ3のひずみゲージ30がそれを感じて、ロボットのノ
・ンドの動きが9作業者の手の動きに追従する。いわゆ
るダイレクトティーチ(直接教示)が可能である。これ
は、入力Wがゼロであるため、力計測値Frに不感帯の
演算を施した値がゼロになるようにモータ26が制御さ
れることによる。
この場合も、不感帯幅の設定により、教示者がハンド5
の筒部から手を離した時のドリフト現象を防止すること
、ハンド5の筒部を教示者が手で導く時教示者への応答
として適当な抵抗力(不感帯幅に対応)を発生させるこ
とができる。
別の実施例として、CPU82内で利得制御及び不感帯
制御の両方を行ってもよく、利得手段82a又は不感帯
部82bf:CPU82のプログラムの実行によらず別
のハードウェアで構成してもよい0 (dl  別の実施例の構成の説明。
第8図は本発明を直交ロボットに適用した場合の別の実
施例の構成図、第9図は第8図構成の力センサ構成図、
第10図は第8図構成の合成部。
サーボ制御部及び力制御部のブロック図である。
図中、第1図、第2図、第6図で示したものと同一のも
のは同一の記号で示してあり、lal lbはX細雪ジ
ュールでアわ、ロボットのX軸位置決め機構を構成し、
各X軸モータ10a、10bにより搬送パレツ)lla
、llbをX軸方向へ搬送位置決めするもの、2は門型
ロボットであり。
X軸モジュール1a、1bの両側に設けられた−対の支
持ベース20.21と、Y軸方向に移動するZ軸ブロッ
ク22と、Z軸方向に移動するZ軸可動部(アーム)2
3と、Z軸ブロック22を送シ、ボールネジ24aを回
転させガイド25a。
25bに沿ってY軸方向に駆動するY軸モータ24と、
Z軸ブロック22に設けられ、Z軸可動部23を図示し
ないボールネジ送り機構を介しZ軸方向に駆動するZ軸
モータ26とを有している。3L前述の力センサであり
、第9図で示す如く、X。
Y、Z、  γの4自由度カセンサで構成されるもの。
4はγ軸モータであり、Z軸アーム23に支持され、力
センサ3及びハンド5をγ軸を中心に回転させるもの、
5は真空吸着ハンドであシ、筒状本体の先端に吸着面が
設けられるとともに、吸気ポンプに接続された吸気チュ
ーブを有するもの、6は治具であり、バンク)lla上
で円板9倉固定するもの、7はベースでオシ、バンク)
flbに搭載され1円板9が取付けられるものである0
80は操作パネルでアシ、オペレータが操作してプレイ
バンクモード、教示モード等を指示するもの、81はメ
モリであシ、教示データ等を格納するもの、82はプロ
セッサ(以下CPUと称す)であり、マイクロプロセッ
サ等で構成され、プレイバック時にメモリ81の内容を
読出して各部へ指令を与えるもの、SVCはサーボ制御
部であり。
X軸モジュール1a、1bのX軸モータ10a。
10b及びY軸モータ24.Z軸モータ26及びγ軸モ
ータ4を位置、速度制御するため、CPU82からの指
令位置cX、cx、、CY、CZ、Cγが入力され、後
述するハンド位置検出回路からの現在位置pxゎPX、
、PY、PZ、PYがフィードバックされ、更に合成部
から指示速度Vex〜生部83と閉ループ制御部84で
構成されるもの。
85は前述の合成部であり、第10図にて後述する如く
、各軸の指令速度VX1〜■rと後述する力制御部の力
制御出力PF、−PF、との差をとり、サーボ制御部S
VCの関数発生部83へ与えるもの。
87は力制御部であり、第10図にて後述する様に力セ
ンサ3の検出出力P、−F、を受け、これをデジタル値
P、−F、に変換するとともに不感帯を設定して制御出
力PF、−PF、を出力するもの、88はハンド位置検
出部(閉ループ制御部84のカウンタ840)テロす、
各軸のモー110a、10b。
24.26.4に設けられたロータリーエンコーダ26
b等の出力から各軸の現在位置PX1.PX2゜PY、
PZを求め、ハンド5の現在位置を得るもの、89はバ
スであシ、CPU82とメモリ81゜操作パネル80.
サーボ制御部831合成部85゜力制御部87及びハン
ド位置検出回路88とを接続し、データ、コマンドのや
シとりを行なうものである。
第9図は第8図構成における4自由度カセンサ3の構成
図である。
力センサ3は、x、y、z軸の外力を検…するX、Y、
Z力検出モジュール740と、γ軸の外力を検出するγ
力検出モジュール750とで構成される0 力検出モジュール740は、第9図から明らかな如く、
各平行板バネ体が変位方向が互いに直交するように設け
られているので、平行板バネ体al。
a 1’でX軸方向のたわみ、平行板バネ体b1.b1
′でY軸方向のたわみ、平行板バネ体cl、cl’でZ
方向のたわみを夫々分担する3自由度を有する0 743 、744は夫々力検出モジュール740を支持
する支持体であって、支持体743はねじ745により
角棒742と連結され、支持体744はねじ746によ
り角棒741と連結されている。尚、ねじ745゜74
6は片方のみ示し、さらに、各ねじ745が螺合するね
じ穴743aと他方の穴は中心穴740aの中心位置か
ら等しい距離の位置に設定され、同様にねじ746が螺
合するねじ穴744aと744bは中心穴250aの中
心位置から等しい距離(L9=L10)の位置に設定さ
れている。
747は支持体743にねじ748によ多連結される出
力棒であって、力検出モジュール740に設けられた穴
740aを貫通するように構成されている。
この場合、支持体744が真空吸着ハンド5に固定され
る。
尚、出力棒747は力検出モジュール740に設けられ
た穴740aを貫通するよう構成されているが。
支持体744を貫通するように構成してもよく、この場
合は、支持体744の基台への取付けを反対側(角棒7
41 、742側)で連結する必要がある。
749a、 749b、 749c、 749d、 7
49e、 749 fは歪ゲージであって、夫々各平行
板バネ体al’、bl。
C1′の変位を検出する。ここで、・この歪ゲージは軸
方向の力をトルクの影響を受けずに検出するため、中心
穴740aを中心として中心点対象となるように貼付し
、夫々ブリッジ回路を構成せしめる。
従って9図示されていないが、平行板バネ体a1、C1
1bl’にも歪ゲージが中心穴740aの中心点対象位
置となるように各々2枚づつ貼付されている。
以上説明した構成とすることにより9例えば。
出力棒747はX軸方向の力が加わった場合、歪ゲージ
749 C、749dが平行板バネ i/の変位を検出
し、X軸方向のみの力を検出でき、同様にX軸方向の力
が加わった場合歪ゲージ749 e 、 749 fが
平行板バネb1の変位を検出し、Z軸方向の力が加わっ
た場合歪ゲージ749 a 、 749 bが平行板バ
ネa1′の変位を検出し、各軸の力成分を検出する。
さらに複数方向の合力が加わった場合でも、角棒741
 、742に加わる力の位置は中心穴740aの中心位
置から等しい距離の位置に支持体743,744により
加わるため、各平行板バネ体が夫々の分力rx、it’
yを独立して検出することができる。
750はγ力検出モジュールであって、力検出モジュー
ル740の出力棒747にねじ751を介して取付けら
れる中心部材752を備えると共に、板バネ750 a
、 750 b、 750 C,750d  を介して
接続される外輪753を含む。754a、 754b、
 754c、 754d  は歪ゲージであって、板バ
ネ750 a 、 750 Cに貼付(中心部材752
の中心点対象位置で、同一面側)され、同様にブリッジ
回路を構成する。
尚、γ力検出モジュール750の出力棒747への取付
けは、ねじ751のみで出力棒747の中心位置として
いるが、この構成では外輪753にトルクを与えた際に
、ねじ751のゆるみ等が生じるため。
実際には、中心部材752から突出するピンを出力軸7
57に係合させてまわり止めを施すと共に、中心位置か
らずれたところでねじ751により固定する必要がある
また、このことは、出力軸757と支持体754との結
合の場合も同様である。
この構成とすることによシ中心部材752を固定し、外
輪753に中心軸(γ軸)まわりのトルクを加えると板
バネ750a、 750b、 750C,750d  
がたわム。コノたわみを歪ゲージ754 a、 754
 b、 754 C。
754dで検出し、ブリッジ回路を介して出力を取り出
すことにより、2軸(γ)に関するトルクT。
のみを検出することができる。
第10図は力制御部872合成部85.サーボ制御部S
VCの詳細回路図である。
図中、第8図で示したものと同一のものは同一の記号で
示してあ、1.soo〜803は各軸の合成回路であり
、力制御部87から力制御指令PFX−PF、とCPU
82からの速度指令Vx〜Vzとの差を出力するもの、
804〜807は不感帯部であり、CPU82からの不
感帯幅W、−W、が設定され、力計測値P、−F、に対
し不感帯を与えるもの、808はスイッチであシ、力計
測値Px −Frの入力の許可/不許可をするもので1
Lカフイードバツクオン/オフをcpusgの制御によ
り行うもの、809はアナロク/テシタルコンバータ(
A/Dコンバータと称す)であり、力センサ3からのア
ナログの力計測値FX、FY、FZ、FTをデジタル値
に変換して、スイッチ808に出力するもの、83a〜
83dは各々各軸の関数発生部で1h指令位置CX、C
Y、CZ、Cγと合成指令速度■〜Wが入力されるもの
、84a〜84dは各々各軸の閉ループ制御部であり各
軸のモータを駆動するもの。
88は前述の位置検出器であ#)、各軸モータに設けら
れたエンコーダの出力を計数し、各軸の現在位置を検出
するものである。
従って、CPU82によってスイッチ部808がオフの
時には、力センサ3の出力(即ちA/Dコンバータ80
9の出力)は不感帯部804 、805 。
806 、807へ入力されず、カフィードバックオフ
となり、CPU82からの指令位置CX、CY。
CZ、Cγ及び指令速度vx、vy、vz、vγがその
まま各軸の関数発生部83a〜83dに入力され1位置
、速度制御され、指令制御モードが実行される。
一方、CPU82によってスイッチ部808がオンの時
には、カフィードバックオンとなり、力センサ3の出力
は不感帯部804〜807を介し制御出力PFX、PF
Y、PFZ、PFγとなって合成部800〜803に入
力し、指令速度vx、vy、vZ、vγとの合成出力V
’X、 V’Y、 V’Z、 ’i’rが関数発生部8
38〜83dに速度指令として寿えられ、適応制御モー
ドが実行される。
尚、X軸はXi軸とX2軸の2つがあるが、1つのX軸
関数発生部Saa、閉ループ制御部84aで示してあり
実際には2つある。
(e)  別の実施例の動作の説明。
次に、第11回吸着動作処理フロー図により係るロボッ
トの吸着取出し動作について説明する。
■先づ、CPU82は円板9のX、Y座標位置及び所定
のZ座標位置として位置指令Cx、、 cy。
CZをバス89を介し、関数発生部83へ与え且つ合成
部85にx、y、z速度指令VXI、VY。
■Zを与える。
これによって、関数発生部83より閉ループ制御部84
を介し駆動電流sx、、sy、szがX軸モータ10a
lY軸モータ24.Z軸−F−−夕26に供給される。
これによって、X軸モジュール1aのX軸モータlQa
、Y軸モータ24.Z軸モータ26が駆動されて、真空
吸着ハンド5はX軸モジュールla上のパレット11a
の治具6の円板9上の所定のZ位置(第2図の点P)に
X−Y位置決めされる。
■次に、CPU82はハンド位置検出回路88の各軸の
現在位置PX2.PY、PZからの所定のハンド位置に
到達したか否かを調べ、そして所定の位置に停止した後
の所定の時間経過後(0,5秒程度)、力センサ3の振
動停止とみなし、カフイ■CPU82は、バス89を介
し速度指令値■Zを合成部85へ与える。前述の如く1
円板9への接近中はPF’Z=Oであるから、関数発生
部83Cへは指令速度として出力され、Z軸モータ26
を速度制御する。従って、吸着ハンド5は円板9に向っ
て指令速度■1で下降する。
■一方、CPU82はバス89を介し力制御部87のA
/Dコンバータ809の力計測値FZを監視し、FZが
所定の値Mとなると、吸着ハンド5が円板9に接触した
と判定する。これ以降第6図で示した如く、カフィード
バックによる適応制御が働き1合成部802の出力■Z
′が減少し、Z軸モータ26.即ち吸着ハンド5の下降
速度は減少し。
吸着ハンド50円板9への押し付は力が発生し。
徐々に押し付は力は増加する。
更に、CPU82はバス89を介し、吸気チューブの負
圧を検出する図示しない圧力センサの出力を監視し、吸
宥ハンド5が円板9を吸着したかを検出する。
■CPU82は、吸着ハンド5が円板9を吸着したと判
定すると、速度指令値■zを零とし1次に前述のスイッ
チ808をオフとしてカフィードバックをオフとする。
更にCPU82は、吸着ハンド5を上昇すべく。
逆方向の速度指令値■Zをバス89を介し合成部85へ
与え、これによって2軸モータ26は逆回転し、吸着ハ
ンド5は上昇し1円板9の取り出しが行なわれる。
更に前述と同様にX軸モータ10b、Y軸モータ24を
駆動して吸着ハンド5をX軸モジュール1bのパレット
llbのベース7の所定の位置に位置決めし、ステップ
■〜■と同様Z方向に下降せしめ、ベース7への接近、
接触、押し付けを行い、吸着を解除して円板9のベース
7への取付けを行う。
従って、指令制御とカフィードバック制御とが選択的に
実行され、且つ円滑な外力適応制御ができる。
(f)  更に別の実施例の説明。
第12図はCPU82の処理説明図である。
この例では8合成部85及び力制御部870機能をCP
U82のプログラムの実行によって行なうものである。
CPU82はメインルーチンにおいて、教示データのコ
マンドを解析し、これを実行して各軸の位置指令、速度
指令、力指令を作成し、バス89を介し関数発生部83
へ出力し、又位置検出器88からの現在位置P、−P、
、によって各軸の位置及び力センサ3からの力計測値P
、−F、を監視する。そして1通常(指令)モードでは
、スイッチの点線の如く指令位置と指令速度をそのまま
関数発生部83へ与えて、閉ループ制御部84を介し各
軸を指令位置に位置決めする。一方、カフィードバック
モードにおいては、所定周期でカフィードバック制御の
割込み処理ルーチンを実行する。即ち。
力センサの力計測値F、−pxをオフセット補正し。
さらに不感帯処理して、装置利得を掛は制御出力を得、
これを指令速度又は指令力から差し引いたものを指令速
度V; −VQ、とじてスイッチ実線の如くバス89を
介し関数発生部83へ与える。
この不感帯処理においては、不感帯幅Wr−Wxを自由
に設定でき、セットされた不感帯幅がWである時は、力
計測値Fが正なら(F−W)を出力し。
負なら(F+W)を出力するものである。
とのカフィードバック制御によって前述の如く次の様な
制御ができる。
ある軸(例えばZ軸)に指令速度Vzを与えると。
物品への接近中は、指令速度VZで移動する。一方。
物品に点P1で接触すると、力センサがたわんで変形し
、変形量に応じた力計側値Fzが発生するが不感帯幅W
の範囲では制御出力Pzは零のため、速度はVzのまま
となり、 Fz>Wとなると制御出力Pzが発生し、指
令速度Vzを減少していく、従ってZ軸の移動速度も減
少し、 Pz=Vzとなると、Z軸は停止する。この時
Pzの押し付は力が物品へ付与されており、従って指令
速度Vzは指令力となっている。
これによって物品への接近、接触、押し付けが連続的に
実行される。
これを利用して前述の物品の吸着、挿入、ねじの吸着、
ねじ締め等を円滑に行なうことができる。
又1位置指令、速度指令が与えられていない軸(例えば
、X、Y軸)においてその軸方向に外力が与えられると
、力センサのたわみによる力計測値Fによって制御出力
が発生し、これが指令速度となって力計測値Fが零とな
る方向にその軸が駆動される。このことを利用して、ハ
ンドと物品のはめ合せ時にハンドと物品が接触してはめ
合せが困難となっても、カセ/すの出力が零となる方向
に自動的に駆動され9円滑なはめ合せが可能となシ、物
品の吸着、挿入がより一層円滑となる。
前述の実施例においては、力センサによるカフィードバ
ックを例に説明したが、他の接触センサによる状態フィ
ードバックであってもよく、更に非接触センサによる状
態フィードバックでもよい0まだ9作業内容も物品の取
出しに限らず、物体への倣い動作等であってもよい。
以上本発明を実施例によし説明したが1本発明は本発明
の主旨に従い種々の変形が可能でおり。
本発明からこれらを排除するものでは々い。
〔発明の効果〕
以上説明した様に2本発明によれば、移動指令と状態指
令とを合成して速度指令としているので円滑に且つ自律
的に状態適応制御が実行することができるという効果を
奏し、従って高速動作も可能となる。
又、外乱である状態指令に対しサーボ回路が安定に且つ
円滑に速度制御することができるという効果を奏し、係
る状態フィードバックを行っても状態適応制御を安定に
且つ円滑に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理説明図。 第2図は本発明の一実施例構成図。 第3図は第2図構成のサーボ回路の回路図。 第4図は第3図サーボ回路の特性図。 第5図は第2図構成の動作説明図。 第6図は本発明の他の実施例構成図。 第7図は第6図構成の動作説明図。 第8図は本発明の別の実施例構成図。 第9図は第8図構成の力センサ構成図。 第10図は第8図構成の合成部及び力制御部ブロック図
。 第11図は第8図構成における吸着動作処理フロー図。 第12図は本発明の更に別の実施例説明図であるO 図中、3・・・力センサ(状態検出手段)。 5・・・ハンド(移動体)。 9・・・円板(物体)。 26・・・Z軸モータ(駆動手段)。 82・・・制御部。 85・・・合成部。 8VC・・・サーボ回路。 83・・・関数発生部。 84・・・閉ループ制御部。 ”AWiEω、l<\/

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)移動体(5)を駆動する駆動手段(MT)と、該
    移動体(5)の物体に対する状態を検出する状態検出手
    段(3)と、 該駆動手段(MT)を速度制御するためのサーボ回路(
    SVC)と、 指令値(Vc)と該状態検出手段(3)の出力(F)と
    を合成した信号(Vc′)を該サーボ回路(SVC)に
    供給する制御手段(82)とを備え、 該サーボ回路は、該合成した信号に対し所定の加速度を
    もつて追従する速度関数を発生する関数発生部(83)
    と、 該速度関数を積分した比較位置関数と該駆動手段の検出
    位置とを比較して該駆動手段に制御入力を与える閉ルー
    プ制御部(84)とを有することを特徴とする移動体制
    御装置。
  2. (2)前記状態検出手段が、接触型検出手段であること
    を特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の移動体制
    御装置。
  3. (3)前記接触型検出手段が、外力によつて変位し且つ
    変位を検出する力検出手段であることを特徴とする特許
    請求の範囲第(2)項記載の移動体制御装置。
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