JPS6126123U - フルイディック流量計 - Google Patents

フルイディック流量計

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JPS6126123U
JPS6126123U JP11109484U JP11109484U JPS6126123U JP S6126123 U JPS6126123 U JP S6126123U JP 11109484 U JP11109484 U JP 11109484U JP 11109484 U JP11109484 U JP 11109484U JP S6126123 U JPS6126123 U JP S6126123U
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JP
Japan
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flow path
fluid
fluid flow
measured
sensor according
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JP11109484U
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JPH0313692Y2 (ja
Inventor
弘郎 山崎
敏 本多
Original Assignee
呉羽化学工業株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は、それぞれ帰還発振型および弛張
発振型のフルイディック流量計の流路方向模式断面図、
第３図は本考案をフルイディック流量計へ適用した実施
例を示す流路方向模式断面図、第４図は実施例による出
力信号の周波数特性を示すグラフである。 １・・・絞り部、２・・・流路配管、３・・・柱状物体
（ターゲット）、Ａ，Ｂ，Ｃ・・・ＰＶＤＦ膜。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 絞り部を有する被測定流体流路配管と、該流路の絞
    り部下流′に配着された高分子圧電体膜とからなる流体
    センサ。 ２ 被測定流体流路の絞り部下流のほぼ中央部に、該流
    路とほぼ直交して延在する柱状物体を配置してなる実用
    新案登録請求の範囲第１項に記載の流体センサ。 ３ 被測定流体流路配管の絞り部下流の拡関する管壁部
    に高分子圧電体膜を付着してなる実用新案登録請求の範
    囲第１項または第２項に記載の流体センサ。 ４ 前記柱状物体の被測定流体流路とほぼ平行な壁部に
    高分子圧電体膜を付着してなる実用新案登録請求の範囲
    第２項に記載の流体センサ。 ５ 前記柱状物体の被測定流体流路下流側の壁部に高分
    子圧電体膜を吹流し状に付着してなる実用新案登録請求
    の範囲第２項に記載の流体センサ。 ６ 高分子圧電体膜がバイモルフ形態をなす実用新案登
    録請求の範囲第１項ないし第５項のいずれかに記載の流
    体センサ。 ７ 被測定流体流路配管の絞り部直後の管壁の一対の対
    向個所に振動制御流体流路の流出口を開口させてなる実
    用新案登録請求の範囲第１項讐いし第５項のいずれかに
    記載の流体センサ。 ８ 該一対の振動制御流体流路が、高分子圧電体膜配置
    部よりも下流の管壁に開口した一対の流体流路入口のそ
    れぞれと連通しており、帰還発振型のフルイデイッグ流
    量計を構成する実用新案登録請求の範囲第７項に記載の
    センサ。 ９ 該一対の振動制御流体流路が、被測定流体−の主た
    る流路をバイパスする一本の管路により接続されてなり
    、弛張発振型のフルイディック流路計を構成する実用新
    案登録請求の範囲第７項に記載の流体モンサ。
JP11109484U 1984-07-24 1984-07-24 フルイディック流量計 Granted JPS6126123U (ja)

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JP11109484U JPS6126123U (ja) 1984-07-24 1984-07-24 フルイディック流量計

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JPS6126123U true JPS6126123U (ja) 1986-02-17
JPH0313692Y2 JPH0313692Y2 (ja) 1991-03-28

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0458111A (ja) * 1990-06-28 1992-02-25 Yamatake Honeywell Co Ltd 流量測定装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS51150362A (en) * 1975-06-18 1976-12-23 Nissan Motor Co Ltd Discharge meter
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JPS5766313A (en) * 1980-10-09 1982-04-22 Tokyo Gas Co Ltd Method and device of target sensing type for sensing vibration of fluid
JPS58169030A (ja) * 1982-03-31 1983-10-05 Ohkura Electric Co Ltd カルマン渦流量計
JPS5968624A (ja) * 1982-10-13 1984-04-18 Tokyo Gas Co Ltd フルイデイク流量計に於ける噴出流体の切り替え方法及びその装置

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JPH0313692Y2 (ja) 1991-03-28

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