JPS61257733A - 静電チヤツク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野〕 本発明は静電チャックに係り、特にエツチングによる誘
電体膜の消耗を防ぐようにした静電チャックに関する。

（従来の技術） 第４図はドライエツチング装置における従来の静電チャ
ックを示したもので、平板状のステージ１の上面側には
、内部に銅等からなるフィルム状の電極２をはさみ込ん
だポリイミド製の誘電体膜３が貼着されており、上記ス
テージ１の内部には、被処理物Ａを冷却する冷却水管４
が導通されている。

上記静電ヂャッ２の場合、被処理物Ａを誘電体ｙＡ３上
に載置し、電極２に直流電圧を印加することにより、被
処理物Ａを静電的に固定するものである。そして、通常
はこのような静電チｔＩツクを真空処理容器内に設けて
、被処理物のエツチング等真空処理を行なうものである
。

（発明が解決しようとする問題点） しかし、上記静電チャックを用いてエツチングを行なう
と、被処理物Ａと同時に誘電体［１３もエツチングされ
てしまい、誘電体膜３が著しく消耗してしまうという欠
点を有している。そのため、特に被処理物Ａの周辺部に
おいて電極２が露出して誘電体ｗＡ３が早期に使用不能
となり、頻繁に貼り代えを行なう必要があるため非常に
不経渋であるという欠点をも有している。

本発明は上記欠点に鑑みてなされたもので、誘電体膜の
消耗を防ぐことができる静電チャックを提供することを
目的とするものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段および作用）上記目的を
達成づるため本発明の静電チャックは、ステージの被処
理物固定側面に電極および誘電体を取付け、上記電極に
直流電圧を印加することにより、被処理物を静電的に固
定する静電チャックにおいて、上記ステージの上記被処
理物固定位置以外の部分に、上記誘電体膜を被覆するセ
ラミック系の被覆部材を設けたことをその特徴とするも
のである。

（実施例） 以下、本発明の実施例を第１図乃至第３図を参照し、第
４図と同一部分には同一符号を付して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示したもので、ステージ１
の被処理物Ａの外周縁部該当位置には、環状の満５が形
成され、誘電体膜３は上記溝５の内側に貼着されるとと
もに、一部が上記溝５と直交するようにステージ１の外
周部まで伸び電極２に図示しない電源供給装置を接続す
るようになされている。そして、上記溝５およびステー
ジ１の上面側であって被処理物への固定位置以外の部分
にはカーボン、石英その他しラミツク等の材料からなる
中央に円形孔を有する根状および環状の被覆部材６が取
付けられている。ここで、１径の大小の関係は、φ２〉
φ１．φ３〉φ２．φ４〉φ３が必要である。

したがって、被処理物Ａのエツチングを行なった場合で
も、被覆部材６により被処理物Ａの固定位置以外でも誘
電体膜３が消耗することがなく、電極２の露出も防止す
ることができ、その結果、耐使用期間を大幅に延長する
ことが可能となる。

第２図に、電極２をはさみ込んだ誘電体膜３の斜視図を
示す。

また、第３図に示すように、被覆部材６を一体に形成す
るようにしてもよい。　　　　　゛〔発明の効果〕 以上述べたように本発明に係る静電チャックは、ステー
ジの被処理物固定位置以外の部分に誘電体膜を被覆する
セラミック系の被覆部材を設けるように構成したので、
被処理物のエッヂレグ時においても上記誘電体膜が消耗
して電゛極が露出することを確実に防ぐことができ、し
たがって、誘電体膜の耐使用期間を大幅に延長すること
ができる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は静
電チャックの電極と誘電体膜を示す斜視図、第３図は、
本発明の他の実施例を示す断面図、第４図は従来の静電
チャックを示ザ縦断面図である。 １・・・ステージ、２・・・電極、３・・・誘電体膜、
４・・・冷却水管、５・・・溝、６・・・被覆部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ドライエッチング装置やスパッタ装置等におけるステー
   ジの被処理物固定側面に電極および誘電体膜を取付け、
   上記電極に直流電圧を印加することにより被処理物を静
   電的に固定する静電チャックにおいて、上記ステージの
   上記被処理物固定位置以外の部分に、上記誘電体膜を被
   覆するセラミック系の被覆部材を設けたことを特徴とす
   る静電チャック。