JPS61251178A - レンズキヤツプの製造方法 - Google Patents
レンズキヤツプの製造方法Info
- Publication number
- JPS61251178A JPS61251178A JP60092928A JP9292885A JPS61251178A JP S61251178 A JPS61251178 A JP S61251178A JP 60092928 A JP60092928 A JP 60092928A JP 9292885 A JP9292885 A JP 9292885A JP S61251178 A JPS61251178 A JP S61251178A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- glass
- thickness
- cap
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 31
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0232—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L31/02325—Optical elements or arrangements associated with the device the optical elements not being integrated nor being directly associated with the device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/52—Encapsulations
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、キャップの一部に集光レンズを有したレンズ
キャップの製造方法に関する。
キャップの製造方法に関する。
この種のレンズキャップは、例えば第5図に示すように
1.、B光又は受光半導体ペレット51をステム52に
マウントした気密端子構造の光又は光電半導体素子にお
いて使用される。図中53はレンズキャップであり、5
4は集光レンズ、55は端子である。
1.、B光又は受光半導体ペレット51をステム52に
マウントした気密端子構造の光又は光電半導体素子にお
いて使用される。図中53はレンズキャップであり、5
4は集光レンズ、55は端子である。
上記レンズキャップ53の製造は、第6図(イ)に示す
ように、グラファイト製の治具本体61に形成した突部
62によってキャップ53を位置決めした状態で、キャ
ップ53の天板部に穿設されたレンズ形成予定孔56の
上に円板ガラス54′を置き、キャップのフランジ部5
8を封着治具63で押さえた状態で、中性又は弱還元性
雰囲気中において約1000℃に加熱することによって
行なう。
ように、グラファイト製の治具本体61に形成した突部
62によってキャップ53を位置決めした状態で、キャ
ップ53の天板部に穿設されたレンズ形成予定孔56の
上に円板ガラス54′を置き、キャップのフランジ部5
8を封着治具63で押さえた状態で、中性又は弱還元性
雰囲気中において約1000℃に加熱することによって
行なう。
円板ガラス54′は100v℃もの高温で加熱されると
溶融して前記予定孔56に封着される°と共に、自らの
表面張力によって図(ロ)に示す如き集光性のあるレン
ズ状に々る。(特開昭48−22290号公報)。
溶融して前記予定孔56に封着される°と共に、自らの
表面張力によって図(ロ)に示す如き集光性のあるレン
ズ状に々る。(特開昭48−22290号公報)。
しかるに、上記レンズキャップの製造方法によれば次の
ような問題点がある。
ような問題点がある。
■ 円板ガラス54′が溶融されて集光レンズ54が形
成される過程において、集光レンズ表面は他の物に全く
規制されない自由表面であるため、集光レンズの曲率半
径が一定せず、従って、焦点距離の均一な集光レンズを
製造し難い。
成される過程において、集光レンズ表面は他の物に全く
規制されない自由表面であるため、集光レンズの曲率半
径が一定せず、従って、焦点距離の均一な集光レンズを
製造し難い。
■ ユーザー側の要望に応じて焦点距離の異なった集光
レンズを製造する必要があるが、上記の如く焦光レンズ
は自由表面状態において製造されるため、焦点距離を任
意に変えることができず、このため、焦点距離を変える
には円板ガラスの量、すなわち、円板ガラスの厚さを加
減する必要がある。しかるに、希望する焦点距離に応じ
て円板ガラスの厚さを加減するのは、非常に煩瑣で難し
い作業である。
レンズを製造する必要があるが、上記の如く焦光レンズ
は自由表面状態において製造されるため、焦点距離を任
意に変えることができず、このため、焦点距離を変える
には円板ガラスの量、すなわち、円板ガラスの厚さを加
減する必要がある。しかるに、希望する焦点距離に応じ
て円板ガラスの厚さを加減するのは、非常に煩瑣で難し
い作業である。
本発明はこのような問題点に鑑み、焦点距離の均一な集
光レンズの量産が可能であると共に、円板ガラスの厚さ
を変えなくても希望する焦点距離をもった集光レンズを
得ることができるといった極めて有用なレンズキャップ
の製造方法を提供することを目的としている。
光レンズの量産が可能であると共に、円板ガラスの厚さ
を変えなくても希望する焦点距離をもった集光レンズを
得ることができるといった極めて有用なレンズキャップ
の製造方法を提供することを目的としている。
上記目的を達成するため、本発明に係るレンズキャップ
の製造方法は、キャップのレンズ形i予定孔の上にがラ
スを載せた状態で溶融させ、該ガラスを前記予定孔に封
着することにより集光レンズを形成するようにしたもの
において、前記ガラス封着時にレンズ片面に治具を接触
させて該レンズ片面側の厚み規制を行なうようにしたこ
とを特徴としている。
の製造方法は、キャップのレンズ形i予定孔の上にがラ
スを載せた状態で溶融させ、該ガラスを前記予定孔に封
着することにより集光レンズを形成するようにしたもの
において、前記ガラス封着時にレンズ片面に治具を接触
させて該レンズ片面側の厚み規制を行なうようにしたこ
とを特徴としている。
作 用
グラスを溶融して集光レンズを形成する際に、レンズの
片面側を治具によって受は止め厚み規制を行なうと、他
方のレンズ表面側は前記片面側の厚みに反比例して膨出
する。即ち、レンズ片面側の厚みを薄くすれば他方のレ
ンズ表面側の膨出量は大きく、逆にレンズ片面側の厚み
が厚ければ他方のレンズ表面側の膨出量は小さい。従っ
て、ガラス封着時にレンズ片面側の厚み規制を行なうこ
とにより、他方のレンズ表面側の膨出量、言い換えれば
曲率半径(或いはレンズの焦点距離)を調整することが
できる。゛そして、この場合、溶融がラス量が一定でレ
ンズ片面側の厚み規制量が一定である限り、所定の曲率
半径をもった集光レンズを製造することが可能であるし
、またレンズ片面側の厚み規制量を変更することにより
所望の焦点距離をもった集光レンズを得ることができる
。
片面側を治具によって受は止め厚み規制を行なうと、他
方のレンズ表面側は前記片面側の厚みに反比例して膨出
する。即ち、レンズ片面側の厚みを薄くすれば他方のレ
ンズ表面側の膨出量は大きく、逆にレンズ片面側の厚み
が厚ければ他方のレンズ表面側の膨出量は小さい。従っ
て、ガラス封着時にレンズ片面側の厚み規制を行なうこ
とにより、他方のレンズ表面側の膨出量、言い換えれば
曲率半径(或いはレンズの焦点距離)を調整することが
できる。゛そして、この場合、溶融がラス量が一定でレ
ンズ片面側の厚み規制量が一定である限り、所定の曲率
半径をもった集光レンズを製造することが可能であるし
、またレンズ片面側の厚み規制量を変更することにより
所望の焦点距離をもった集光レンズを得ることができる
。
実施例
第1図は本発明の一実施例としてのレンズキャップの製
造方法を説明する図である。治具本体1に形成された突
部2はキャップ3の位置決めを兼ねるためのものである
が、この突部2の高さは従来より高くしである。そして
、この突部2の頂面2aによってレンズ片面側の厚み規
制を行なうようにしている。レンズ片面側の厚みとは図
(イ)中にtで示した寸法をいう。この厚みtは、突部
2の寸法そのものを変更したり、図示例のように、治具
本体1にシート4を敷設することによって調整すること
ができる。シート4は第2図に示すように、治具本体の
突部に相当する部分に孔4a・・・が形成されていて、
グラス溶融温度によっては溶融しないものが用いられる
。シート4として種々の厚みのものを各種揃えておけば
、前記レンズ片面側の厚みtの変更が容易に行なえ便利
である。
造方法を説明する図である。治具本体1に形成された突
部2はキャップ3の位置決めを兼ねるためのものである
が、この突部2の高さは従来より高くしである。そして
、この突部2の頂面2aによってレンズ片面側の厚み規
制を行なうようにしている。レンズ片面側の厚みとは図
(イ)中にtで示した寸法をいう。この厚みtは、突部
2の寸法そのものを変更したり、図示例のように、治具
本体1にシート4を敷設することによって調整すること
ができる。シート4は第2図に示すように、治具本体の
突部に相当する部分に孔4a・・・が形成されていて、
グラス溶融温度によっては溶融しないものが用いられる
。シート4として種々の厚みのものを各種揃えておけば
、前記レンズ片面側の厚みtの変更が容易に行なえ便利
である。
ガラス封着に際しては、先ず前記シート4を治具本体1
上に敷き、その上にキャップ3を置く。
上に敷き、その上にキャップ3を置く。
そして、キャップのレンズ形成予定孔3a上に円板ガラ
ス5′を載せ、キャップ3周囲に封着治具6を設けた状
態で中性又は弱還元性雰囲気中、約1000℃に加熱す
ることによって、前記レンズ形成予定孔3aをガラス封
着する。これによって第1図(ロ)に示す如くレンズ形
成予定孔3aに集光レンズ5が形成される。この場合、
レンズ片面倒5aは治具本体1の突起頂面によって厚み
tが規制されているので、既述したように他方のレンズ
表面5bの曲率半径は前記厚みtによって自動的に決ま
る。
ス5′を載せ、キャップ3周囲に封着治具6を設けた状
態で中性又は弱還元性雰囲気中、約1000℃に加熱す
ることによって、前記レンズ形成予定孔3aをガラス封
着する。これによって第1図(ロ)に示す如くレンズ形
成予定孔3aに集光レンズ5が形成される。この場合、
レンズ片面倒5aは治具本体1の突起頂面によって厚み
tが規制されているので、既述したように他方のレンズ
表面5bの曲率半径は前記厚みtによって自動的に決ま
る。
尚、上記治具本体1及び封着治具6はグラファイトで構
成され、またキャップ3としてはコバー′少製のものを
用い、集光レンズ5としてはホウケイ酸グラスを用いて
いる。
成され、またキャップ3としてはコバー′少製のものを
用い、集光レンズ5としてはホウケイ酸グラスを用いて
いる。
上記の如くして集光レンズ5を製造した場合、レンズの
片面5a側が治具本体の突起頂面2aと接触している関
係上、その片面5a側が多少粗面になっている。そこで
、前記レンズキャップを治具から取り出して、硼弗化ア
ンモニウムと硫酸との混合液で洗浄した後レンズキャッ
プ単体を再び820〜980℃まで加熱し、再封着する
。前記洗浄液によってレンズキャップの汚れ落しがなさ
れると共に、粗面の平滑化も行なわれる。そして、その
後に1回目の封着時より低温度で再封着することにより
前記粗面が鏡面に仕上げられる。
片面5a側が治具本体の突起頂面2aと接触している関
係上、その片面5a側が多少粗面になっている。そこで
、前記レンズキャップを治具から取り出して、硼弗化ア
ンモニウムと硫酸との混合液で洗浄した後レンズキャッ
プ単体を再び820〜980℃まで加熱し、再封着する
。前記洗浄液によってレンズキャップの汚れ落しがなさ
れると共に、粗面の平滑化も行なわれる。そして、その
後に1回目の封着時より低温度で再封着することにより
前記粗面が鏡面に仕上げられる。
尚、上記実施例では、レンズ片面側の厚みtの調整をシ
ート4によって行なっているが、第3図に示すように突
起2t−治具本体1に螺挿し、突起2の突出量全調整す
る構成によっても厚みtの変更を行なうことができる。
ート4によって行なっているが、第3図に示すように突
起2t−治具本体1に螺挿し、突起2の突出量全調整す
る構成によっても厚みtの変更を行なうことができる。
次に、第4図は本発明の他の実施例を示す。この実施例
では、封着治具6を基台7上に設け、封着治具6の上に
キャップ3を逆立ちした状態で置き、その上から円板ガ
ラス5′ヲ介して治具本体1を逆立ちした状態で載せた
もので、この状態で中性又は弱還元性雰囲気中で加熱し
、ガラス5′を溶融させると、治具本体1が自重により
下降し、それに伴なって溶融ガラス5′をレンズ形成予
定孔3aから下方に押し出す。治具本体1の下降は、基
。
では、封着治具6を基台7上に設け、封着治具6の上に
キャップ3を逆立ちした状態で置き、その上から円板ガ
ラス5′ヲ介して治具本体1を逆立ちした状態で載せた
もので、この状態で中性又は弱還元性雰囲気中で加熱し
、ガラス5′を溶融させると、治具本体1が自重により
下降し、それに伴なって溶融ガラス5′をレンズ形成予
定孔3aから下方に押し出す。治具本体1の下降は、基
。
台7の側部に立設したストッパ8に治具本体1表面が当
接するまで続き、該ストッパ8に治具本体1表面が当接
した状態においてレンズ片面側の厚みtが決まる。この
実施例におい゛〔、レンズ片面側の厚みtを変更するに
はストッパ8の高さを調整すればよい。
接するまで続き、該ストッパ8に治具本体1表面が当接
した状態においてレンズ片面側の厚みtが決まる。この
実施例におい゛〔、レンズ片面側の厚みtを変更するに
はストッパ8の高さを調整すればよい。
発明の詳細
な説明したように本発明によれば、ガラス封着時に治具
によって積極的にレンズ片面側の厚み規制を行なうので
、使用するグラス量を一定に、維持する限り、他方のレ
ンズ表面の曲率半径を一定忙保つことができ、従って焦
点距離の揃った集光レンズの製造が可能になるものであ
る。
によって積極的にレンズ片面側の厚み規制を行なうので
、使用するグラス量を一定に、維持する限り、他方のレ
ンズ表面の曲率半径を一定忙保つことができ、従って焦
点距離の揃った集光レンズの製造が可能になるものであ
る。
しかも、レンズ片面側の厚みをその規制手段の調整によ
って変更することにより、使用するガラス量を加減しな
くて゛も、所望の焦点距離をもった集光レンズ全製造す
ることができるといった効果がある。
って変更することにより、使用するガラス量を加減しな
くて゛も、所望の焦点距離をもった集光レンズ全製造す
ることができるといった効果がある。
第1図(イ+ 、 (01は不発明方法の一実施例全示
す図、第2図は第1図の実施例において使用するシート
の斜視図、第3図は前記シートに代えて用いることので
きるレンズ片面側の厚み全変更するための構成全示す図
、第4図は本発明の他の実施例7示す図、第5図は光亀
牛導体素子の断面図、第6図は従来のレンズキャップの
製造方法全示す断面図である。 1.6・・・・・・治具、 3・・・・・・キャップ、 3a・・・・・・レンズ形成予定孔、 5・・・・・・集光レンズ、 ぎ・・・・・・ガラス。 第1図 第3図 第4図 第5図 第6図
す図、第2図は第1図の実施例において使用するシート
の斜視図、第3図は前記シートに代えて用いることので
きるレンズ片面側の厚み全変更するための構成全示す図
、第4図は本発明の他の実施例7示す図、第5図は光亀
牛導体素子の断面図、第6図は従来のレンズキャップの
製造方法全示す断面図である。 1.6・・・・・・治具、 3・・・・・・キャップ、 3a・・・・・・レンズ形成予定孔、 5・・・・・・集光レンズ、 ぎ・・・・・・ガラス。 第1図 第3図 第4図 第5図 第6図
Claims (1)
- (1)キャップのレンズ形成予定孔の上にガラスを載せ
た状態で該ガラスを溶融させ、前記予定孔に封着するこ
とにより集光レンズを形成するようにしたものにおいて
、 前記ガラス封着時にレンズ片面に治具を接 触させて、該レンズ片面側の厚み規制を行なうようにし
たことを特徴とするレンズキャップの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60092928A JPH0736452B2 (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | レンズキヤツプの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60092928A JPH0736452B2 (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | レンズキヤツプの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61251178A true JPS61251178A (ja) | 1986-11-08 |
JPH0736452B2 JPH0736452B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=14068153
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60092928A Expired - Lifetime JPH0736452B2 (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | レンズキヤツプの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0736452B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007005716A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レンズキャップの製造方法 |
JP2007157920A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レンズキャップの製造方法及びこれに用いるレンズキャップ組立治具 |
JP2010537411A (ja) * | 2007-08-20 | 2010-12-02 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | オプトエレクトロニクス半導体モジュールおよびその製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5619685A (en) * | 1979-07-25 | 1981-02-24 | Nec Home Electronics Ltd | Manufacture of lens cap for optical semiconductor |
-
1985
- 1985-04-30 JP JP60092928A patent/JPH0736452B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5619685A (en) * | 1979-07-25 | 1981-02-24 | Nec Home Electronics Ltd | Manufacture of lens cap for optical semiconductor |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007005716A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レンズキャップの製造方法 |
JP4679264B2 (ja) * | 2005-06-27 | 2011-04-27 | パナソニック株式会社 | レンズキャップの製造方法 |
JP2007157920A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レンズキャップの製造方法及びこれに用いるレンズキャップ組立治具 |
JP2010537411A (ja) * | 2007-08-20 | 2010-12-02 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | オプトエレクトロニクス半導体モジュールおよびその製造方法 |
US9564555B2 (en) | 2007-08-20 | 2017-02-07 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Opto-electronic semiconductor module and method for the production thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0736452B2 (ja) | 1995-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS61251178A (ja) | レンズキヤツプの製造方法 | |
JPS62292635A (ja) | ガラスレンズの成形方法 | |
JPS6319809A (ja) | レ−ザビ−ムアニ−ル装置 | |
JPH0281422A (ja) | Soi基板の製造方法 | |
JP2002169004A (ja) | バッチ生産マイクロレンズアレイ及びその製造方法 | |
TW463058B (en) | Method for fabricating microlens in batch and product manufactured the same | |
JPS58169905A (ja) | 単結晶薄膜の製造方法 | |
CN214060344U (zh) | 一种高精度毛细管拉丝机高温炉 | |
JPH03286519A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH0793261B2 (ja) | 単結晶薄膜形成装置 | |
JPS56152274A (en) | Manufacture of lens cap for photosemiconductor | |
JPH0330317A (ja) | Soi基板製造装置 | |
JPH0542372B2 (ja) | ||
JPS6158838A (ja) | レンズアレ−の製造方法 | |
JPS5941309B2 (ja) | レンズキヤツプの製造方法 | |
JPH0346354A (ja) | レンズ状ガラス窓付きキャップの製造方法 | |
JPH07225424A (ja) | レンズの取付構造 | |
JPS63224318A (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
JPS60139427A (ja) | 透明カプセルの製造方法 | |
JPH0331241B2 (ja) | ||
JPS63273360A (ja) | 薄膜トランジスタ | |
JPS6477112A (en) | Manufacture of semiconductor device | |
JPS63217673A (ja) | 光半導体装置の製造方法 | |
JPS6076117A (ja) | 半導体薄膜の結晶化方法 | |
JPS59117238A (ja) | 半導体装置の製造方法 |