JPS61250926A - イオン加速装置用多重より線フイラメント - Google Patents
イオン加速装置用多重より線フイラメントInfo
- Publication number
- JPS61250926A JPS61250926A JP9109585A JP9109585A JPS61250926A JP S61250926 A JPS61250926 A JP S61250926A JP 9109585 A JP9109585 A JP 9109585A JP 9109585 A JP9109585 A JP 9109585A JP S61250926 A JPS61250926 A JP S61250926A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- wire
- acceleration device
- electron emission
- loosely
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/022—Details
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
意東上の利用分野
本発明はイオン源のようなイオン加速装置用多重よりｆ
Ｒフィラメントに関するものである。
Ｒフィラメントに関するものである。
従来の技術
従来イオン源の電子放射体として通常用いられているフ
ィラメントはタングステン等の一本のフィラメント素線
から成っておシ、アークチャンバ内に張られて使用され
、フィラメントから出た電子を加速し、この電子を導入
ガスと衝突させてプラズマを生成し、それに基づくイオ
ンを発生するようにしている。そのためフィラメントは
高温となシ、プラズマイオシの衝撃でスパッタリングを
受け、また使用する放電ガスやその分解物と化学反応す
る。
ィラメントはタングステン等の一本のフィラメント素線
から成っておシ、アークチャンバ内に張られて使用され
、フィラメントから出た電子を加速し、この電子を導入
ガスと衝突させてプラズマを生成し、それに基づくイオ
ンを発生するようにしている。そのためフィラメントは
高温となシ、プラズマイオシの衝撃でスパッタリングを
受け、また使用する放電ガスやその分解物と化学反応す
る。
発明が屏決しようとする問題点
このようにイオン源におけるフィラメントは高温、プラ
ズマによるスノぞツタリングおよび放電ガスやその分解
物との化学反応を伴なうため、消耗や損耗を受けやすく
比較的短時間で断線するという問題がある。例えば線径
２グ程度のタングステンフィラメントの場合その寿命は
放電電流ＩＡで約６時間程度である。また断線の原因と
して高温にさらされることによる熱変形（フィラメント
の伸び）や引張応力が大きく影響している。
ズマによるスノぞツタリングおよび放電ガスやその分解
物との化学反応を伴なうため、消耗や損耗を受けやすく
比較的短時間で断線するという問題がある。例えば線径
２グ程度のタングステンフィラメントの場合その寿命は
放電電流ＩＡで約６時間程度である。また断線の原因と
して高温にさらされることによる熱変形（フィラメント
の伸び）や引張応力が大きく影響している。
そこで、本発明では、特に高温に伴なう問題や引張応力
の問題を解決した長寿命の安定したイオン加速装置用多
重より線フィラメントを提供することを目的としている
。
の問題を解決した長寿命の安定したイオン加速装置用多
重より線フィラメントを提供することを目的としている
。
問題点を解決するための手段
上記の目的を達成するために、本発明によるイオン加速
装置用多重より線フィラメントは、三本またはそれ以上
の本数の細いフィラメント素線をゆるくより合わせて成
ることを特徴としている。
装置用多重より線フィラメントは、三本またはそれ以上
の本数の細いフィラメント素線をゆるくより合わせて成
ることを特徴としている。
各フィラメント素線は、線径の等しいまたは異なる純金
属細線、良電子放射体を含有あるいは表面に被着した金
属細線から成シ得る。
属細線、良電子放射体を含有あるいは表面に被着した金
属細線から成シ得る。
このように構成したことによって本発明のイオン加速装
置用多重より線フィラメントにおいては、一本のフィラ
メントの電子放射体に比べて抵抗値は同じであるが表面
積を広く取ることができ、それＫよりフィラメントの動
作温度を下げても十分な電子エミッションを得ることが
できる。また各フィラメント素子はよりをかけられてい
ることに！！５熱に！る伸びゃ引張シ応カを吸収するこ
とができる。
置用多重より線フィラメントにおいては、一本のフィラ
メントの電子放射体に比べて抵抗値は同じであるが表面
積を広く取ることができ、それＫよりフィラメントの動
作温度を下げても十分な電子エミッションを得ることが
できる。また各フィラメント素子はよりをかけられてい
ることに！！５熱に！る伸びゃ引張シ応カを吸収するこ
とができる。
さらに表面にＴｉＣのような良電子放射体を被着させた
場合には高温安定性、プラズマによるスＩ′ソツタリン
グ率の低いことや活性ガスに裔する反応に対して強いこ
となどの利点を生がしてより長期間安定した動作を得る
ことができる。
場合には高温安定性、プラズマによるスＩ′ソツタリン
グ率の低いことや活性ガスに裔する反応に対して強いこ
となどの利点を生がしてより長期間安定した動作を得る
ことができる。
実施例
以下添附図面を参照して本発明の実施例について説明す
る。
る。
第１図には三本の細いフィラメント素線１を互いＫゆる
くより合わせた多重より線フィラメントを示す。この場
合各フィラメント素線のより合わせ（すなわちひねシ）
は二回以上にされる。また各フィラメント素線１はタン
グステンのような純金属線か或いは良電子放射体を含有
またはその表面に被着させたものから成シ得る。後者の
場合には第２図に示すように例えばタングステン細線２
の表面に例えばＴｉＯ薄層３を適当な成膜技術により被
着させ、その上にＴｉＣ層４を同様に被着させて作った
フィラメント素線を用いるのが好ましい。
くより合わせた多重より線フィラメントを示す。この場
合各フィラメント素線のより合わせ（すなわちひねシ）
は二回以上にされる。また各フィラメント素線１はタン
グステンのような純金属線か或いは良電子放射体を含有
またはその表面に被着させたものから成シ得る。後者の
場合には第２図に示すように例えばタングステン細線２
の表面に例えばＴｉＯ薄層３を適当な成膜技術により被
着させ、その上にＴｉＣ層４を同様に被着させて作った
フィラメント素線を用いるのが好ましい。
なお図示実施例では三本のフィラメント素線を用いてい
るが当然その本数はそれ以上何本を用いてもよい。また
必要であればより合ゎせられたフィラメントの周囲を適
当な位置でタングステン細線等を用いてゆるく束ねるこ
ともできる。
るが当然その本数はそれ以上何本を用いてもよい。また
必要であればより合ゎせられたフィラメントの周囲を適
当な位置でタングステン細線等を用いてゆるく束ねるこ
ともできる。
以上のように構成することによってフィラメント自体の
相対表面積を大きく取ることができると共に熱による伸
びや引張シ応カを十分吸収することができる。
相対表面積を大きく取ることができると共に熱による伸
びや引張シ応カを十分吸収することができる。
発明の詳細
な説明してきたように本発明によれば、複数本のフィラ
メント素線をゆるくよ）合ゎせてフィラメントを構成し
ているので、フィラメント自体の相対表面積を大きく取
れ、しかも熱変形や引張応力を吸収でき、それにょシフ
ィラメントの動作温度を大幅に下げることができると共
に応力による断線を防止できる。また動作温度の低下に
ょシフィラメント自体の蒸発が減少されフィラメントの
寿命をのばすことができる。
メント素線をゆるくよ）合ゎせてフィラメントを構成し
ているので、フィラメント自体の相対表面積を大きく取
れ、しかも熱変形や引張応力を吸収でき、それにょシフ
ィラメントの動作温度を大幅に下げることができると共
に応力による断線を防止できる。また動作温度の低下に
ょシフィラメント自体の蒸発が減少されフィラメントの
寿命をのばすことができる。
第１図は本発明の一実施例を示す拡大平面図、第２図は
本発明のフィラメントに用いられるフィラメント素線の
一例を示す断面図である。 図中、１：フィラメント素線。
本発明のフィラメントに用いられるフィラメント素線の
一例を示す断面図である。 図中、１：フィラメント素線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、三本またはそれ以上の本数のフィラメント素線をゆ
るくより合わせて成ることを特徴とするイオン加速装置
用多重より線フィラメント。 ２、各フィラメント素線が等しい線径の純金属細線から
成る特許請求の範囲第１項に記載のイオン加速装置用多
重より線フィラメント。 ３、各フィラメント素線がそれぞれ異なつた線径の純金
属細線から成る特許請求の範囲第１項に記載のイオン加
速装置用多重より線フィラメント。 ４、各フィラメント素線が等しい線径をもち、表面に良
電子放射体を被着した金属細線から成る特許請求の範囲
第１項に記載のイオン加速装置用多重より線フィラメン
ト。 ５、各フィラメント素線がそれぞれ異なつた線径をもち
、表面に良電子放射体を被着した金属細線から成る特許
請求の範囲第１項に記載のイオン加速装置用多重より線
フィラメント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9109585A JPS61250926A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | イオン加速装置用多重より線フイラメント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9109585A JPS61250926A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | イオン加速装置用多重より線フイラメント |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61250926A true JPS61250926A (ja) | 1986-11-08 |
Family
ID=14016957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9109585A Pending JPS61250926A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | イオン加速装置用多重より線フイラメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61250926A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS539993A (en) * | 1976-07-15 | 1978-01-28 | Toshiba Corp | Ion producing device |
| JPH11104U (ja) * | 1999-02-22 | 1999-08-17 | テイ・エス テック株式会社 | 車体内装部品のクリップ取付座 |
-
1985
- 1985-04-30 JP JP9109585A patent/JPS61250926A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS539993A (en) * | 1976-07-15 | 1978-01-28 | Toshiba Corp | Ion producing device |
| JPH11104U (ja) * | 1999-02-22 | 1999-08-17 | テイ・エス テック株式会社 | 車体内装部品のクリップ取付座 |
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