JPS61240226A - エレクトロクロミツクセル - Google Patents
エレクトロクロミツクセルInfo
- Publication number
- JPS61240226A JPS61240226A JP8130485A JP8130485A JPS61240226A JP S61240226 A JPS61240226 A JP S61240226A JP 8130485 A JP8130485 A JP 8130485A JP 8130485 A JP8130485 A JP 8130485A JP S61240226 A JPS61240226 A JP S61240226A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ecd
- transparent
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- space
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は全固体エレクトロクロミック素子（以後ＥＣＤ
と称す）の防護対策に関するものである。
と称す）の防護対策に関するものである。
ＥＣＤは電気化学的発色、消色を行なつ・臂ツシブな表
示素子であり、例えば、数字表示素子、Ｘ−Ｙマトリク
スディスプレイ、光学シャ、ター、絞り機構等に応用で
き、その材料で分類すると液体屋と固体型に分けられる
。
示素子であり、例えば、数字表示素子、Ｘ−Ｙマトリク
スディスプレイ、光学シャ、ター、絞り機構等に応用で
き、その材料で分類すると液体屋と固体型に分けられる
。
第１図に全固体ＥＣＤの基本構成を示す。ｌＣｔガラス
等の基体、２．６は透明電極であり、透明電極２，６の
間に酸化発色層３、中間絶縁隔膜層４、還元発色層５が
逐次積層され形成されている。
等の基体、２．６は透明電極であり、透明電極２，６の
間に酸化発色層３、中間絶縁隔膜層４、還元発色層５が
逐次積層され形成されている。
透明電極としてはＩＴＯ膜（９５ｗｔ％ Ｉｎ２Ｏ３＋
５ｗｔ％５ｎ０２）やネサ膜（５ｎ０２ ）等が用いら
れる。
５ｗｔ％５ｎ０２）やネサ膜（５ｎ０２ ）等が用いら
れる。
酸化発色層であるエレクトロクロミック層３は、酸化イ
リジウム（ＩｒＯｘ）、水酸化イリジウム（Ｉｒ（ａ’
ｔ）ｎ）、二酸化クロム（Ｃｒ ２０３ ）、水酸化ニ
ッケル（ＮｉＯｘ（ＯＨ）ｙ ）等ｐ型の物質により形
成されている。
リジウム（ＩｒＯｘ）、水酸化イリジウム（Ｉｒ（ａ’
ｔ）ｎ）、二酸化クロム（Ｃｒ ２０３ ）、水酸化ニ
ッケル（ＮｉＯｘ（ＯＨ）ｙ ）等ｐ型の物質により形
成されている。
中間絶縁隔膜層４は五酸化タンタル（Ｔａ２０５）、二
酸化ジルコン（Ｚｒ０２） 、等に代表される酸化物、
あるいはフッ化リチウム（ＬｉＦ ） 、フ、化マグネ
シウム（ＭｇＦ’２）等に代表されるフ、化物を用いて
形成されている。
酸化ジルコン（Ｚｒ０２） 、等に代表される酸化物、
あるいはフッ化リチウム（ＬｉＦ ） 、フ、化マグネ
シウム（ＭｇＦ’２）等に代表されるフ、化物を用いて
形成されている。
また還元発色層であるエレクトロクロミック層５は主と
して三酸化タングステン（ＷＯ３）が用いられる。
して三酸化タングステン（ＷＯ３）が用いられる。
この様な構造をもつ全固体ＥＣＤは第１電極２と第２電
極６の間に電圧を印加することにより電気化学反応が訪
起され発色・消色する。この着色機構は、例えばエレク
トロクロミ、り層５へのカチオ７ （ｃａｔｉｏｎ ）
と電子（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ）のダブルインジェクショ
ンによるブロンズ形成にあるといわれている。例えば、
エレクトロクロミ、り物質としてＷＯ３を用いる場合に
は、次の（１）式で表わされる酸化還元反応によって着
消色する。
極６の間に電圧を印加することにより電気化学反応が訪
起され発色・消色する。この着色機構は、例えばエレク
トロクロミ、り層５へのカチオ７ （ｃａｔｉｏｎ ）
と電子（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ）のダブルインジェクショ
ンによるブロンズ形成にあるといわれている。例えば、
エレクトロクロミ、り物質としてＷＯ３を用いる場合に
は、次の（１）式で表わされる酸化還元反応によって着
消色する。
ＷＯ５＋ｘＨ” ＋ ｘ ｅ −： ＨｘＷＯ５＝ （
１）消色 着色 上記０ＥＣＤにおいては、酸化発色層であるＥＣ層３の
形成は反応性ス・ぐツタリング或いは陽極酸化法によっ
ている。
１）消色 着色 上記０ＥＣＤにおいては、酸化発色層であるＥＣ層３の
形成は反応性ス・ぐツタリング或いは陽極酸化法によっ
ている。
反応性スパッタリングは、０２．！／スプラズマによる
スＩ？ツタで通常３００Ａ程度成膜させるには１時間程
度の時間を要する。この０２プラズマによる他層へのダ
メージを避けるため通常の積層はＩ ｒＯ１／ＴＩＬ２
０５／ＶＩ０５の順で行ないＷＯ３が上方になる。
スＩ？ツタで通常３００Ａ程度成膜させるには１時間程
度の時間を要する。この０２プラズマによる他層へのダ
メージを避けるため通常の積層はＩ ｒＯ１／ＴＩＬ２
０５／ＶＩ０５の順で行ないＷＯ３が上方になる。
陽極酸化の場合は、スノ！ツタ等で作製した金属ゞ
薄膜と電解液中で低周波による交播電圧を印加して行
なうため積層はやはりＩｒＯｘ／ＴａｚＯｓ／Ｗｏｓの
順になり、ＷＯ３が上方になる。
薄膜と電解液中で低周波による交播電圧を印加して行
なうため積層はやはりＩｒＯｘ／ＴａｚＯｓ／Ｗｏｓの
順になり、ＷＯ３が上方になる。
ところで上述のＷＯ，化光的活性が非常に大きく、空気
中に放置しておくと空気中の酸素や水蒸気と容易に反応
し、酸素と反応した場合は高抵抗化しエレクトロクロミ
ック特性の劣化を引き起こし、水蒸気と反応した場合は
Ｈ２Ｏを取り込んでタングステン酸を形成し、剥離を起
こすといりた欠点を持っていた。そのためＷＯ３を上方
に位置させると上記の理由のため素子全体の劣化が比較
的はやいという問題点を持っていた。
中に放置しておくと空気中の酸素や水蒸気と容易に反応
し、酸素と反応した場合は高抵抗化しエレクトロクロミ
ック特性の劣化を引き起こし、水蒸気と反応した場合は
Ｈ２Ｏを取り込んでタングステン酸を形成し、剥離を起
こすといりた欠点を持っていた。そのためＷＯ３を上方
に位置させると上記の理由のため素子全体の劣化が比較
的はやいという問題点を持っていた。
本発明は、上述の従来の技術の欠点に鑑み、ＥＣＤの化
学的劣化を防ぎ高寿命化をはかると共に、デバイスを機
械的損傷から保獲することを主たる目的とするもＯであ
る。
学的劣化を防ぎ高寿命化をはかると共に、デバイスを機
械的損傷から保獲することを主たる目的とするもＯであ
る。
すなわち本発明はバリヤー性基体上に設けられた全固体
薄膜積層型エレクトロクロミック素子が、ｐＲリヤー性
カバーで覆われ、上記基体とカバーの間がシリコンオイ
ルによって満たされていることを特徴とするエレクトロ
クロミックセルである。
薄膜積層型エレクトロクロミック素子が、ｐＲリヤー性
カバーで覆われ、上記基体とカバーの間がシリコンオイ
ルによって満たされていることを特徴とするエレクトロ
クロミックセルである。
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第２図は本発明にかかるエレクトロクロミックセルの一
実施例を示す略断面図である。凹状の基体２１の上に透
明電極２２，２６．酸化発色層２３、中間絶縁隔膜層２
４、還元発色層２５からなるエレクトロクロミック素子
が設置されており、基体２１の凹部はカバー２８によっ
てシールされている。そして基体２１の凹部とカバーの
間の空間はシリコンオイル２７によって満たされている
。
実施例を示す略断面図である。凹状の基体２１の上に透
明電極２２，２６．酸化発色層２３、中間絶縁隔膜層２
４、還元発色層２５からなるエレクトロクロミック素子
が設置されており、基体２１の凹部はカバー２８によっ
てシールされている。そして基体２１の凹部とカバーの
間の空間はシリコンオイル２７によって満たされている
。
カバー２８は酸素や水蒸気に対するノ々リヤー性を有す
る透明なガラスやグラスチ、り等である。
る透明なガラスやグラスチ、り等である。
但し、基体２１が透明である場合には必要に応じて透明
であればよい。
であればよい。
本発明に用いられる基体は酸素や水蒸気に対するバリヤ
ー性を有するものであれば特に限定されない。
ー性を有するものであれば特に限定されない。
なお、上記カバーと基体の関係は相対的なものでありて
、本発明の本質に反しないかぎり、いずれをカバー又は
基体と称するかは問わない。
、本発明の本質に反しないかぎり、いずれをカバー又は
基体と称するかは問わない。
シリコンオイル２７は透明な流動体である。
第３図は本発明にかかるエレクトロクロミックセルの他
の実施例を示す略断面図である。平板な基体３１の上に
透明電極３２，３６．酸化発色層３３、中間絶縁隔膜層
３４、還元発色層３５からなるエレクトロクロミック素
子が設置されており、該素子はカバー３８によりてシー
ルされている。 ゛そして基体３１とカバー３８
の間の空間はシリコ ”ンオイル３７によって満た
されている。なお、シ ′−ル用の細孔３９は、シ
ール時に塞がれる。
の実施例を示す略断面図である。平板な基体３１の上に
透明電極３２，３６．酸化発色層３３、中間絶縁隔膜層
３４、還元発色層３５からなるエレクトロクロミック素
子が設置されており、該素子はカバー３８によりてシー
ルされている。 ゛そして基体３１とカバー３８
の間の空間はシリコ ”ンオイル３７によって満た
されている。なお、シ ′−ル用の細孔３９は、シ
ール時に塞がれる。
バリヤー性のカッノー１基体はエレクトロクロミック素
子を外界と斜断して素子表面の酸化等の劣化を防止する
。
子を外界と斜断して素子表面の酸化等の劣化を防止する
。
また、該カバー、基体がエレクトロクロミック素子を機
械的に防護すると共に、空間を満たすシリコンオイルが
衝撃に対する緩衝の働きをする。
械的に防護すると共に、空間を満たすシリコンオイルが
衝撃に対する緩衝の働きをする。
以上説明したように、本発明によれば全固体ＥＣＤ上に
透明カバーをもうけ、間にシリコンオイルを満たすこと
で全固体ｇｃＤの化学的劣化を防ぎ高寿命化をはかると
同時忙機械的損傷を防止する効果がある。
透明カバーをもうけ、間にシリコンオイルを満たすこと
で全固体ｇｃＤの化学的劣化を防ぎ高寿命化をはかると
同時忙機械的損傷を防止する効果がある。
第１図は全固体ＥＣＤの基本構成を示す略断面図であり
、第２図、第３図は本発明にかかるエレクトロクロミッ
クセルの略断面図である。 １．２１．３１・・・基体、２ ｖ ２２ ＊ ３２．
６ ｖ２６．３６・・・透明電極、３．２３．３３・・
・酸化発色層、４．２４．３４・・・中間絶縁隔膜層、
５，２５．３６・・・還元発色層、２７．３７・・・本
発明のシリコンオイル層、２８．３８・・・透明カバー
。 代理人弁理士 山 下 譲 平 第１図 第２図 第３図
、第２図、第３図は本発明にかかるエレクトロクロミッ
クセルの略断面図である。 １．２１．３１・・・基体、２ ｖ ２２ ＊ ３２．
６ ｖ２６．３６・・・透明電極、３．２３．３３・・
・酸化発色層、４．２４．３４・・・中間絶縁隔膜層、
５，２５．３６・・・還元発色層、２７．３７・・・本
発明のシリコンオイル層、２８．３８・・・透明カバー
。 代理人弁理士 山 下 譲 平 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- バリヤー性基体上に設けられた全固体薄膜積層型エレク
トロクロミック素子がバリヤー性カバーで覆われ、上記
基体とカバーの間がシリコンオイルによって満たされて
いることを特徴とするエレクトロクロミックセル
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8130485A JPS61240226A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | エレクトロクロミツクセル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8130485A JPS61240226A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | エレクトロクロミツクセル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61240226A true JPS61240226A (ja) | 1986-10-25 |
Family
ID=13742649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8130485A Pending JPS61240226A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | エレクトロクロミツクセル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61240226A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020024425A (ja) * | 2019-09-26 | 2020-02-13 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置 |
| CN114637150A (zh) * | 2020-12-16 | 2022-06-17 | 深圳市光羿科技有限公司 | 一种电致变色器件 |
-
1985
- 1985-04-18 JP JP8130485A patent/JPS61240226A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020024425A (ja) * | 2019-09-26 | 2020-02-13 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置 |
| CN114637150A (zh) * | 2020-12-16 | 2022-06-17 | 深圳市光羿科技有限公司 | 一种电致变色器件 |
| CN114637150B (zh) * | 2020-12-16 | 2023-10-20 | 深圳市光羿科技有限公司 | 一种电致变色器件 |
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