JPS61239214A - 液晶表示素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は液晶表示素子に係わり、特にプラスチックフィ
ルム基板を用いた液晶表示素子の透明導電膜の構造に関
するものである。

〔発明の背景〕

近年、液晶表示素子において、液晶を封入する外囲器を
透光性ガラス基板に代えて透光性プラスチックフィルム
基板で構成したプラスチック液晶表示素子が例えば特開
昭５７−２１１１２１号公報などＫ＞いて提案されてい
る。このプラスチック液晶表示素子は、対向面それぞれ
透明導電膜からなるセグメント電極およびコモン電極を
形成した一対のプラスチックフィルム基板間に液晶を介
在させ、周辺部をシール材により封止することによって
構成されている。特にツイストネマチック形表示の液晶
表示素子ではフィルム基板の外面に偏光板を貼り合わせ
るかあるいはプラスチックフィルムを一軸方向に延伸し
て偏光機能をもたせたフィルム基板を光吸収軸が直交す
るように貼り合わせることにより透過形液晶表示素子を
、またコモン電極側のフィルム基板の外面に反射板を貼
り合わせることにより反射形液晶表示素子を構成してい
る。

このように構成されるプラスチック液晶表示素子におい
て、フィルム基板上にセグメント電極あるいはコモン電
極を形成するための透明導電膜は、例えば特開昭５９−
４１２４２号公報で提案されているようにフィルム基板
上に金属低酸化物被膜を２００〜４００Ａ程度の厚さに
形成した後、熱酸化させる工程を複数回繰り返し行なう
ことにより形成している。

しかしながら、このような透明導電膜の形成方法による
と、熱酸化工程を複数回繰り返し行なうために偏光板が
被着されたフィルム基板あるいは偏光機能を備えたフィ
ルム基板は偏光度が劣化するという問題があった。

このような問題を改善するものとしては、低温形成され
た透明導電膜は、成膜物質が結晶化しておらず、透光性
および導電性は得られる反面、耐薬品性シよび耐湿性が
極めて低いという問題があった。

、　　　　　　　　〔発明の目的〕 したがって本発明は、このような状況に鑑みてなされ九
ものであり、その目的は、耐薬品性および耐湿性を同時
に向上させることを可能とした液晶表示素子を提供する
ことにある。

〔発明の概要〕 このような目的を達成するために本発明は、透明導電膜
を、酸化錫を含む酸化インジクム膜上に酸化錫膜を設け
た積層膜で構成するものである。

〔発明の実施例〕

次に図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。

図は本発明による液晶表示素子の一例を示す透明導電膜
の要部断面図である。同図において、厚さ約１００μｍ
程度のポリエチレンテレフタレートフィルムからなる透
光性基板１上に厚さが２００〜４００ｉ程度の酸化錫・
酸化インジウム膜２が形成さにシ ％含ｔｒアルゴンガス中でスバリングを行なう反応性ス
パッタリング法により形成する。次にこの酸化錫・酸化
インジウム膜２上に厚さが５０〜１００Ａ程度の酸化錫
膜３を形成して透明導電膜４を構成する。この場合、こ
の酸化錫膜３は第１層目と同様な方法で酸化錫カソード
を用い、酸素を多少多く含むアルゴンガス中でスパツタ
リンメ朽なつで形成する。この場合、アルゴンガス中に
酸素ガス含Ｍ量を多少多くするととＫより透光性が大幅
に向上させることができる。

このようにして透光性基板１上に、酸化錫・酸化インジ
ウム膜２と酸化錫膜３とを積層形成した２層構造で透明
導電膜４を構成することにより、透光性、導電性、耐薬
品性および耐湿性の極めて優れた透明導電膜４を得るこ
とができた。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、耐薬品性および耐
湿性の高い透明導電膜が得られるので、品質、信頼性の
高いプラスチック液晶表示素子が得られるという極めて
優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

図は本発明による液晶表示素子の一例を説明するための
透明導電膜の要部断面図である。 １・・・・透光性基板、２・・・・酸化錫・酸化インジ
ウム膜、３０・・・酸化錫膜、４・・・・透明導電膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 偏光機能を備えたプラスチックフィルムからなる一対の
   透光性基板の対向面に透明導電膜からなる透光性電極を
   形成し、該基板対向間に液晶を封入してなる液晶表示素
   子において、前記透明導電膜を、酸化錫を含む酸化イン
   ジウム膜上に酸化錫膜を設けた積層膜で構成したことを
   特徴とする液晶表示素子。