JPS6123009Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6123009Y2 JPS6123009Y2 JP8083781U JP8083781U JPS6123009Y2 JP S6123009 Y2 JPS6123009 Y2 JP S6123009Y2 JP 8083781 U JP8083781 U JP 8083781U JP 8083781 U JP8083781 U JP 8083781U JP S6123009 Y2 JPS6123009 Y2 JP S6123009Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- growth
- melt
- solution
- solution reservoir
- melts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は液相エピタキシヤル成長を行なうため
の成長用メルトを一度に多数個作成するためのボ
ートに分割されて固つた成長用メルトを溶液溜り
から汚染することなく、容易に取り出すことを可
能とした成長用メルト作成ボートに関する。
の成長用メルトを一度に多数個作成するためのボ
ートに分割されて固つた成長用メルトを溶液溜り
から汚染することなく、容易に取り出すことを可
能とした成長用メルト作成ボートに関する。
均一な組成を有する成長用メルトを一度に多数
個作成する方法として、複数個分の成長用メルト
に相当する原材料を１つの溶液溜りに仕込み、溶
解して母合金とし、これを必要量小さな溶液溜り
に分配する方法が提案されている。（特願昭55−
20002号） 従来、上述の方法で成長用メルトを作成するた
め第１，２図の如き成長用メルト作成ボートが使
用されている。なお第１図は断面図、第２図は平
面図であり、１はスライダ、２は支持台、３，４
はフタ、５は原材料、６は落下穴、７は溶液溜
り、８はInP基板、９は基板保持穴である。また
ボート自体はグラフアイトカーボンで形成されて
いる。
個作成する方法として、複数個分の成長用メルト
に相当する原材料を１つの溶液溜りに仕込み、溶
解して母合金とし、これを必要量小さな溶液溜り
に分配する方法が提案されている。（特願昭55−
20002号） 従来、上述の方法で成長用メルトを作成するた
め第１，２図の如き成長用メルト作成ボートが使
用されている。なお第１図は断面図、第２図は平
面図であり、１はスライダ、２は支持台、３，４
はフタ、５は原材料、６は落下穴、７は溶液溜
り、８はInP基板、９は基板保持穴である。また
ボート自体はグラフアイトカーボンで形成されて
いる。
原材料５は所定の量が秤量されスライダ１の溶
液溜りに入れられ、加熱溶解されて、スライダ１
の移動により落下穴６から各溶液溜り７に分配さ
れる。また同時InP基板の上で試験的にエピタキ
シヤル成長を行なう。分配終了後ボートは降温さ
れて、各溶液溜り７内の成長用メルトは固まり、
均一な組成の複数個のメルトが作成される。
液溜りに入れられ、加熱溶解されて、スライダ１
の移動により落下穴６から各溶液溜り７に分配さ
れる。また同時InP基板の上で試験的にエピタキ
シヤル成長を行なう。分配終了後ボートは降温さ
れて、各溶液溜り７内の成長用メルトは固まり、
均一な組成の複数個のメルトが作成される。
しかしながら従来の成長用メルト作成ボートの
溶液溜り７は、第１，２図の如き形状であるため
以下のような欠点がある。
溶液溜り７は、第１，２図の如き形状であるため
以下のような欠点がある。
第１に固つた成長用メルトをピンセツト等で無
理に引き出さなければならないので成長用メルト
が汚染する。
理に引き出さなければならないので成長用メルト
が汚染する。
第２に成長用メルト取り出し時に溶液溜り７の
壁と強くこすれ合うので成長用メルトにカーボン
が付着して汚れる。第３に成長用メルトを全部取
り出すのに時間がかかり作業能率が低い。
壁と強くこすれ合うので成長用メルトにカーボン
が付着して汚れる。第３に成長用メルトを全部取
り出すのに時間がかかり作業能率が低い。
本考案は上述の欠点を解消し、分割され固つた
成長用メルトを汚さず、短時間のうちに取り出す
ことが可能な成長用メルト作成ボートを提供する
ことを目的とし、複数個分の成長用メルトに相当
する原材料を溶解し、これを支持台に設けられた
複数の凹部からなる溶液溜りに分配し、溶液溜り
内の原材料を降温して固め、一度に多数個の成長
用メルトを作成するボートにおいて、該溶液溜り
の開口部を底部に対して広くした形状にしたこと
を特徴とするものである。
成長用メルトを汚さず、短時間のうちに取り出す
ことが可能な成長用メルト作成ボートを提供する
ことを目的とし、複数個分の成長用メルトに相当
する原材料を溶解し、これを支持台に設けられた
複数の凹部からなる溶液溜りに分配し、溶液溜り
内の原材料を降温して固め、一度に多数個の成長
用メルトを作成するボートにおいて、該溶液溜り
の開口部を底部に対して広くした形状にしたこと
を特徴とするものである。
以下図を用いて本考案を詳細に説明する。第３
乃至第８図は本発明の一実施例であり第３図から
第８図の順で作業が行なわれる。
乃至第８図は本発明の一実施例であり第３図から
第８図の順で作業が行なわれる。
なお７′は溶液溜り、１０は成長用メルト、第
１図と同一番号は同一部位を示す。
１図と同一番号は同一部位を示す。
まず、成長用メルトの原材料、たとえばIn，
Ga，As，Ｐが複数個分秤量され、第３図の如く
スライダ１に入れられ、この状態で昇温されて原
材料は溶解される。
Ga，As，Ｐが複数個分秤量され、第３図の如く
スライダ１に入れられ、この状態で昇温されて原
材料は溶解される。
溶解した成長用メルトは、第４図の如くスライ
ダ１を移動することにより、フタ４の重さで落下
穴６から各溶液溜り７′に分配されるとともに第
５図のようにInP基板８上で試験的にエピタキシ
ヤル成長が行われ、第６図の状態で降温される。
ダ１を移動することにより、フタ４の重さで落下
穴６から各溶液溜り７′に分配されるとともに第
５図のようにInP基板８上で試験的にエピタキシ
ヤル成長が行われ、第６図の状態で降温される。
最後に成長用メルト１０が固つた状態で取り出
されるが、本考案の溶液溜り７′の穴は開口部を
底部に対して広くした略テーパ状であるため、支
持台２を第８図の如く逆さにすれば容易に固つた
成長用メルト１０を汚染することなく短時間に全
て取り出すことができる。
されるが、本考案の溶液溜り７′の穴は開口部を
底部に対して広くした略テーパ状であるため、支
持台２を第８図の如く逆さにすれば容易に固つた
成長用メルト１０を汚染することなく短時間に全
て取り出すことができる。
なお溶液溜り７′の形状は実施例に示した形状
に限るものではなく、開口部が底部に対して広く
なつていればよい。
に限るものではなく、開口部が底部に対して広く
なつていればよい。
以上説明したように本考案によれば、成長用メ
ルト作成ボートの支持台２を逆さにするだけで成
長用メルトを容易に取り出すことができ、カーボ
ン粉の付着もないため成長用メルトの汚染が減少
し、高品質のエピウエハを得ることができる。ま
た多数個を一度に取り出すことができるので作業
能率が大幅に向上する。
ルト作成ボートの支持台２を逆さにするだけで成
長用メルトを容易に取り出すことができ、カーボ
ン粉の付着もないため成長用メルトの汚染が減少
し、高品質のエピウエハを得ることができる。ま
た多数個を一度に取り出すことができるので作業
能率が大幅に向上する。
第１図は従来の成長用メルト作成ボートの断面
図、第２図は従来の成長用メルト作成ボートの平
面図、第３〜第８図は本発明の一実施例であり、
作業手順を示す。 １……スライダ、２……支持台、３，４……フ
タ、５……原材料、６……落下穴、７，７′……
溶液溜り、８……InP基板、９……基板保持穴、
１０……成長用メルト。
図、第２図は従来の成長用メルト作成ボートの平
面図、第３〜第８図は本発明の一実施例であり、
作業手順を示す。 １……スライダ、２……支持台、３，４……フ
タ、５……原材料、６……落下穴、７，７′……
溶液溜り、８……InP基板、９……基板保持穴、
１０……成長用メルト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数個分の成長用メルトに相当する原材料を溶
解し、これを支持台に設けられた複数の凹部から
なる溶液溜りに分配し、溶液溜り内の原材料を降
温して固め、一度に多数個の成長用メルトを作成
するボートにおいて、 該溶液溜りの開口部を底部に対して広くした形
状にしたことを特徴とする成長用メルト作成ボー
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8083781U JPS6123009Y2 (ja) | 1981-06-01 | 1981-06-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8083781U JPS6123009Y2 (ja) | 1981-06-01 | 1981-06-01 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57192968U JPS57192968U (ja) | 1982-12-07 |
| JPS6123009Y2 true JPS6123009Y2 (ja) | 1986-07-10 |
Family
ID=29876373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8083781U Expired JPS6123009Y2 (ja) | 1981-06-01 | 1981-06-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6123009Y2 (ja) |
-
1981
- 1981-06-01 JP JP8083781U patent/JPS6123009Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57192968U (ja) | 1982-12-07 |
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