JPS6122938A - 被覆金属部材 - Google Patents
被覆金属部材Info
- Publication number
- JPS6122938A JPS6122938A JP14384584A JP14384584A JPS6122938A JP S6122938 A JPS6122938 A JP S6122938A JP 14384584 A JP14384584 A JP 14384584A JP 14384584 A JP14384584 A JP 14384584A JP S6122938 A JPS6122938 A JP S6122938A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coated
- amorphous carbon
- diamond
- film
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ピ）技術分野
本発明は金属を基体とし耐剥離性にすぐれた構造を持つ
ダイヤモンド又はダイヤモンド状非晶質炭素膜を被覆し
たことを特徴とする金属部材に関する。
ダイヤモンド又はダイヤモンド状非晶質炭素膜を被覆し
たことを特徴とする金属部材に関する。
（ロ）技術背景と問題点
炭素材料は本来耐食性、耐熱性にすぐれており生体との
親和性もよく、医用材料としても実用化されているが、
もろく強度に乏しい欠点があった。
親和性もよく、医用材料としても実用化されているが、
もろく強度に乏しい欠点があった。
金属材料は、強度、熱伝導性にすぐれるが、耐食性、生
体との親和性に乏しい欠点があり、絶縁性も有しない。
体との親和性に乏しい欠点があり、絶縁性も有しない。
近年高い硬度・絶縁性・耐食性を有する非晶質炭素を気
相より合成する技術が開発されているが、金属と非晶質
炭素膜の熱膨張率の差が大きいために剥離を起こしやす
く、金属基板の表面が完全に平滑でなければピンホール
ができやすいなどの困難がある。
相より合成する技術が開発されているが、金属と非晶質
炭素膜の熱膨張率の差が大きいために剥離を起こしやす
く、金属基板の表面が完全に平滑でなければピンホール
ができやすいなどの困難がある。
例えば表面を滑かに研摩したステンレス鋼にＣ２Ｈ６ガ
スを原料とし、て、高周波プラズマ分解法に
′より２５０’Ｃ’ｔ’１μの非晶質炭素膜を形成する
と、室温に冷却して後、１週間以内に完全に基材から剥
離する。
スを原料とし、て、高周波プラズマ分解法に
′より２５０’Ｃ’ｔ’１μの非晶質炭素膜を形成する
と、室温に冷却して後、１週間以内に完全に基材から剥
離する。
（ハ）発明の開示
発明者等は非晶質炭素膜がシリコン樹脂、フッ素樹脂、
ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂等の
高分子樹脂等の上に密着性よ≦形成され、しかも耐食性
、耐摩耗性、絶縁性、生体への親和性などのすぐれた特
徴を失わず、しかも基材の変形に対しても、剥離や亀裂
、ビンホールを生じない点に着目した。
ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂等の
高分子樹脂等の上に密着性よ≦形成され、しかも耐食性
、耐摩耗性、絶縁性、生体への親和性などのすぐれた特
徴を失わず、しかも基材の変形に対しても、剥離や亀裂
、ビンホールを生じない点に着目した。
金属上にまず高分子樹脂を被覆し、その後に非晶質炭素
膜を被覆すれば、高い強度をもち、耐食性、耐摩耗性、
絶縁性、生体への親和性に富んだ被覆部材を作ることが
できる。
膜を被覆すれば、高い強度をもち、耐食性、耐摩耗性、
絶縁性、生体への親和性に富んだ被覆部材を作ることが
できる。
第一層として用いる高分子樹脂としてはシリコン樹脂、
エポキシ樹脂、フッソ樹脂、ポリイミド樹脂が最も好ま
しいがその他はとんどの高分子樹脂を第一層として用い
ることができる。ダイヤモンド膜もしくはダイヤモンド
状非晶質炭素膜は公知のプラズマＣＶＤ、ＩＢＤ、ＣＶ
Ｄ法により作成されるが第１層の耐熱温度以上で被覆す
ることはできない。従ってプラズマＣＶＤもしくはＩＢ
Ｄ法が本発明の実現には適しているとみられる。
エポキシ樹脂、フッソ樹脂、ポリイミド樹脂が最も好ま
しいがその他はとんどの高分子樹脂を第一層として用い
ることができる。ダイヤモンド膜もしくはダイヤモンド
状非晶質炭素膜は公知のプラズマＣＶＤ、ＩＢＤ、ＣＶ
Ｄ法により作成されるが第１層の耐熱温度以上で被覆す
ることはできない。従ってプラズマＣＶＤもしくはＩＢ
Ｄ法が本発明の実現には適しているとみられる。
本発明の部材はダイヤモンドもしくはダイヤモンド状非
晶質炭素膜の特徴である高硬度、高弾性率、高電気抵抗
等を利用する用途にむいてすべて有効である。しかし上
述の如く第１層が高温に耐えられないところから高温で
の利用はむつかしい。
晶質炭素膜の特徴である高硬度、高弾性率、高電気抵抗
等を利用する用途にむいてすべて有効である。しかし上
述の如く第１層が高温に耐えられないところから高温で
の利用はむつかしい。
実施例１
放熱性にすぐれ、熱膨張率が低いＣｕ −Ｗ基、板（２
５Ｘ２’５Ｘ２）１００ケに、まず真空容器内でプラズ
マ重合法により０２Ｆ２ガスを原料としてＰＴＦＥ膜を
４μの厚さに被覆した。°次に同じ容器内で高周波プラ
ズマ分解法により１．Ｃ２Ｈ６ガスを原料としてダイヤ
モンド状非晶質炭素膜を１μの厚さに被覆した。
５Ｘ２’５Ｘ２）１００ケに、まず真空容器内でプラズ
マ重合法により０２Ｆ２ガスを原料としてＰＴＦＥ膜を
４μの厚さに被覆した。°次に同じ容器内で高周波プラ
ズマ分解法により１．Ｃ２Ｈ６ガスを原料としてダイヤ
モンド状非晶質炭素膜を１μの厚さに被覆した。
この膜は硬さが超硬合金以上であり電気絶縁性を持って
いた。ＡＥＳによる分析ではカーボンを示すピークしか
得られなかった。
いた。ＡＥＳによる分析ではカーボンを示すピークしか
得られなかった。
上記の合金を１年間ＩＣ基板として使用したが膜の剥離
はみられなかった。
はみられなかった。
一方Ｃｕ−Ｗ合金層に直接ダイヤモンド状非晶質炭素膜
を１μの厚さで被覆したものは被覆後１日で１５９６が
はくりを発生し、１週間後に１００％が剥離を起した。
を１μの厚さで被覆したものは被覆後１日で１５９６が
はくりを発生し、１週間後に１００％が剥離を起した。
実施例２
アルミニウム板厚さく０．２ｍ）にプラズマ重合にてＰ
ＭＭＡを０．８μ被覆し、ＩＢＤ法により１．５μのダ
イヤモンド状非晶質炭素膜を被覆した。この被膜の接着
状態は良好で全くはくすしなかった。
ＭＭＡを０．８μ被覆し、ＩＢＤ法により１．５μのダ
イヤモンド状非晶質炭素膜を被覆した。この被膜の接着
状態は良好で全くはくすしなかった。
さらにこの板をマイクロホンの振動板として用いたとこ
ろ高温域（１２■以上）の周波数特性が優れ通常の耐用
期間の使用に問題はなかった。
ろ高温域（１２■以上）の周波数特性が優れ通常の耐用
期間の使用に問題はなかった。
一方アルミニウムに直接上述と同じようにダイヤモンド
状非晶質炭素膜を被覆した場合剥離は発生しないものの
マイクロホン振動板として使用すると該時間以内に剥離
が発生し本発明品の如き良好な性質は得られなかった。
状非晶質炭素膜を被覆した場合剥離は発生しないものの
マイクロホン振動板として使用すると該時間以内に剥離
が発生し本発明品の如き良好な性質は得られなかった。
手続補正書
昭和６０年 ３月ｌと日
１、事件の表示
昭和５９年特許願 第１４３８４５号２、発明の名称
被覆金属部材
３、補正をする者
事件との関係 特 許 出 願 人
住 所 大阪市東区北浜５丁目１５番地名
称（２１３） 住友電気工業株式会社社長 用上哲
部 ４、代理人 住 所 大阪市此花区島屋１丁目１番３号住
友電気工業株式会社内 ６、補正の対象 明ｍｓ中特許請求の範囲の欄、及び発明の詳細な説明の
欄７、補正の内容 （１）明細書中、特許請求の範囲の欄を、別紙の通り訂
正します。
称（２１３） 住友電気工業株式会社社長 用上哲
部 ４、代理人 住 所 大阪市此花区島屋１丁目１番３号住
友電気工業株式会社内 ６、補正の対象 明ｍｓ中特許請求の範囲の欄、及び発明の詳細な説明の
欄７、補正の内容 （１）明細書中、特許請求の範囲の欄を、別紙の通り訂
正します。
（２）同前第５頁９行目
「該時間」をｒ数時間」に訂正する。
特許請求の範囲
「（１）金属製基板上の第１の被覆層がポリ゛イミド樹
脂、フッ素樹脂、シリコン樹脂、エポキシ樹脂、ポリス
ｉレン、ポリエステル等の高分子樹脂の被覆層であり、
その上ζこダイヤモンド絞又は非晶質炭素膜を被覆して
なることを特徴とする被覆金属部材。」
脂、フッ素樹脂、シリコン樹脂、エポキシ樹脂、ポリス
ｉレン、ポリエステル等の高分子樹脂の被覆層であり、
その上ζこダイヤモンド絞又は非晶質炭素膜を被覆して
なることを特徴とする被覆金属部材。」
Claims (1)
- 金属製基板上の第１の被覆層がポリイミド樹脂、フッ素
樹脂、シリコン樹脂、エポキシ樹脂、ポリステレン、ポ
リエステル等の高分子樹脂の被覆層であり、その上にダ
イヤモンド膜又は非晶質炭素膜を被覆してなることを特
徴とする被覆金属部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14384584A JPS6122938A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | 被覆金属部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14384584A JPS6122938A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | 被覆金属部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6122938A true JPS6122938A (ja) | 1986-01-31 |
| JPS6225502B2 JPS6225502B2 (ja) | 1987-06-03 |
Family
ID=15348285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14384584A Granted JPS6122938A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | 被覆金属部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6122938A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02299562A (ja) * | 1989-05-16 | 1990-12-11 | Mercian Corp | 天ぷら粉組成物 |
-
1984
- 1984-07-10 JP JP14384584A patent/JPS6122938A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02299562A (ja) * | 1989-05-16 | 1990-12-11 | Mercian Corp | 天ぷら粉組成物 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6225502B2 (ja) | 1987-06-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH03183759A (ja) | 積層プラスチックフイルムおよびその製造方法 | |
| WO2003013848A1 (en) | Conductive composite material | |
| CN101772808A (zh) | 硬盘装置用垫片形成材料及使用该材料的硬盘装置用垫片 | |
| JP2001291807A (ja) | 熱伝導性シート | |
| JPS6122938A (ja) | 被覆金属部材 | |
| TW201213110A (en) | Resin-coated aluminum alloy plate | |
| JP2580154B2 (ja) | 金属の積層コ−テイング膜 | |
| JPH11198284A (ja) | プレス加工性に優れた光反射体 | |
| JP4067109B2 (ja) | 耐腐食性に優れた絶縁性転写フイルム、及びそれを使用して得る成形品 | |
| JP2000000920A (ja) | シリコーン樹脂被覆金属複合体及びその製造方法 | |
| KR20200120007A (ko) | 방열테이프 및 그 제조방법 | |
| JPS58168655A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS61184743A (ja) | 光記録媒体 | |
| DeLollis | Durability of structural adhesive bonds (a review) | |
| JP3305913B2 (ja) | 耐カジリ性に優れたアルカリ可溶型保護皮膜被覆ステンレス鋼板 | |
| CN213462846U (zh) | 柔性导电均热片 | |
| JP3282700B2 (ja) | コーティング膜の形成法 | |
| JPS61220120A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0441454Y2 (ja) | ||
| JPH08300589A (ja) | 被覆層形成用フィルムと被覆フィルム | |
| JPH0512645A (ja) | 磁気デイスク | |
| JP2001060748A (ja) | 回路基板 | |
| JPH02148412A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02103754A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS6242315A (ja) | 磁気記録媒体 |