JPS6122682A - グレ−ズドセラミツク基板の製造方法 - Google Patents
グレ−ズドセラミツク基板の製造方法Info
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- JPS6122682A JPS6122682A JP14257684A JP14257684A JPS6122682A JP S6122682 A JPS6122682 A JP S6122682A JP 14257684 A JP14257684 A JP 14257684A JP 14257684 A JP14257684 A JP 14257684A JP S6122682 A JPS6122682 A JP S6122682A
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- green sheet
- glass
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、セラミック基板上にガラス層を被覆した所謂
グレーズドセラミック基板の製造法に係わシ、特に絶縁
性セラミック基板上に膜厚が均一なガラス層を形成した
。電子部品用のグレーズドセラミック基板の製造法に関
する。
グレーズドセラミック基板の製造法に係わシ、特に絶縁
性セラミック基板上に膜厚が均一なガラス層を形成した
。電子部品用のグレーズドセラミック基板の製造法に関
する。
従来、グレーズドセラミック基板の製造法は次の通シで
おった。
おった。
先ず、酸化物、炭酸化物、水酸化物などの原料を調合し
、これを高温溶融後冷却し、ガラス状の塊状物を得る。
、これを高温溶融後冷却し、ガラス状の塊状物を得る。
この塊状物を粉砕することによシ製造したガラスフリッ
トを有機系媒体または水系媒体中に混合し９分散物を作
る。
トを有機系媒体または水系媒体中に混合し９分散物を作
る。
セラミック基板上にこの分散物をスピナー法。
ディップ法、ドクターブレード法などによシ塗布した後
、これを加熱してガラス７リツトを溶融固着させ、セラ
ミック基板上にガラス層を形成するのが常法であらた。
、これを加熱してガラス７リツトを溶融固着させ、セラ
ミック基板上にガラス層を形成するのが常法であらた。
前記のスピナー法は、ガラス７リツトを含む分散物を回
転しているセラミック基板に滴下するととによシ基板上
に分散物を塗布する方法でアシ。
転しているセラミック基板に滴下するととによシ基板上
に分散物を塗布する方法でアシ。
またディップ法は、ガラスフリットを含む分散物中にセ
ラミック基板を浸漬することによシ基板上に分散物を塗
布する方法である。さらに、ドクターブレード法は、ガ
ラス７リツトを含む分散物をドクターブレードと呼ばれ
ている刃状部材にょシセラミック基板上に塗布する方法
である。
ラミック基板を浸漬することによシ基板上に分散物を塗
布する方法である。さらに、ドクターブレード法は、ガ
ラス７リツトを含む分散物をドクターブレードと呼ばれ
ている刃状部材にょシセラミック基板上に塗布する方法
である。
ガラスフリットを含む分散物をセラミック基板に塗布す
る方法として、スピナー法、ディップ法。
る方法として、スピナー法、ディップ法。
ドクターブレード法などを用いてグレーズドセラミック
基板を製造した場合、いずれの方法を用いてもガラス層
の膜厚を均一化することが難しい。
基板を製造した場合、いずれの方法を用いてもガラス層
の膜厚を均一化することが難しい。
即ち、スピナー法によるとガラス層の中心部か薄くなシ
、ディップ法はガラス層の一端部が薄くなシ、ドクター
ブレード法は塗シ始めが薄くなる欠点がある。
、ディップ法はガラス層の一端部が薄くなシ、ドクター
ブレード法は塗シ始めが薄くなる欠点がある。
ガラス層の正確な膜厚は、全数チェックする必要がある
が、破壊測定即ちグレーズドセラミック基板を切断して
ガラス層の膜厚を測定するため抜き取部検査を行なうし
か方法がなく、いずれの方法によっても膜厚の管理は難
しいという欠点がある。
が、破壊測定即ちグレーズドセラミック基板を切断して
ガラス層の膜厚を測定するため抜き取部検査を行なうし
か方法がなく、いずれの方法によっても膜厚の管理は難
しいという欠点がある。
セラミック基板が厚い場合あるいはセラミック基板が光
を完全に遮る場谷には、ガラス層の検査に透過光を利用
できないので、被膜の検査が困難であるという不利益が
ある。
を完全に遮る場谷には、ガラス層の検査に透過光を利用
できないので、被膜の検査が困難であるという不利益が
ある。
また２分散物中のガラスフリットは、沈澱するため長期
間保管できないので、グレーズドセラミック基板の製造
する際、その都度分散物を作る必要があシ、不都合であ
る。
間保管できないので、グレーズドセラミック基板の製造
する際、その都度分散物を作る必要があシ、不都合であ
る。
本発明は、上記の問題点を除去するために９次のような
方法によシグレーズドセラミック基板を製造する。
方法によシグレーズドセラミック基板を製造する。
ガラスフリットまたはガラス化可能な鉱物を有機系媒体
または水系媒体に混合し分散物を作る点は、従来の方法
と同様であるが、この分散物をベルトまたはフィルム上
に成膜し、膜厚が均一なガラス７リツトまたはガラス化
可能な鉱物を含むグリーンシートを作成する。このグリ
ーンシートをセラミック基板上に圧着し、これを加熱し
てガラスフリットを溶融固着させてセラミック基板上に
ガラス層を形成してグレーズドセラミック基板を得るこ
とを特徴とする。
または水系媒体に混合し分散物を作る点は、従来の方法
と同様であるが、この分散物をベルトまたはフィルム上
に成膜し、膜厚が均一なガラス７リツトまたはガラス化
可能な鉱物を含むグリーンシートを作成する。このグリ
ーンシートをセラミック基板上に圧着し、これを加熱し
てガラスフリットを溶融固着させてセラミック基板上に
ガラス層を形成してグレーズドセラミック基板を得るこ
とを特徴とする。
これによジグリーンシート厚みによシ被膜の厚みを管理
することができる。
することができる。
本発明における分散物の一例をあげると次の通シである
。
。
下記の組成で各成分を調合し、ポットミルで分散し分散
物を得た。
物を得た。
ガラスフリット ３００ｖアクリル系樹
脂 ９０１ヤシ脂肪酸ジエタノールアマ
イド ＩＰＨＰブタノール ７０
４１ジエチルフタル酸 ２２グ前記ガ２ス
フリツトの組成の一例は、 ８ｉ０．７６重量％ 、ｌ
’Ｊｘｏｓｌ ０重量％ 、 ＣａＯ７重量％、ＢａＯ
２重量鴨、Ｐｂ０１重量％、ＬＯｔ重量％、 Ｂ２０！
３重量％である。
脂 ９０１ヤシ脂肪酸ジエタノールアマ
イド ＩＰＨＰブタノール ７０
４１ジエチルフタル酸 ２２グ前記ガ２ス
フリツトの組成の一例は、 ８ｉ０．７６重量％ 、ｌ
’Ｊｘｏｓｌ ０重量％ 、 ＣａＯ７重量％、ＢａＯ
２重量鴨、Ｐｂ０１重量％、ＬＯｔ重量％、 Ｂ２０！
３重量％である。
前記分散物中のアクリル系樹脂は、結合剤（バインダー
）であり、ブタノールは溶剤、ジエチルフタル酸は、可
塑剤である。またヤシ脂肪酸ジェタノールアマイドは分
散剤である。
）であり、ブタノールは溶剤、ジエチルフタル酸は、可
塑剤である。またヤシ脂肪酸ジェタノールアマイドは分
散剤である。
上記の例では、ガラス層を形成する材料としてガラスフ
リットを使用したが、ガラス化可能な鉱物の粉末を有機
系媒体または水系媒体に混入して分散物を作ることもで
きる。
リットを使用したが、ガラス化可能な鉱物の粉末を有機
系媒体または水系媒体に混入して分散物を作ることもで
きる。
次に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図を参照すると、ガラスフリットを含むグリーンシ
ート製造装置１は、ロー７−２．２’間に巻き掛けられ
た無端状の搬送ベルト３を有しておシ、ベルト３は、ロ
ーラー２を矢印ａ方向に回転駆動することによシ矢印す
方向へ移動することができる。ロール４には、ポリ塩化
ビニルまたはポリエステル製の有機フィルム５が巻かれ
ておシ。
ート製造装置１は、ロー７−２．２’間に巻き掛けられ
た無端状の搬送ベルト３を有しておシ、ベルト３は、ロ
ーラー２を矢印ａ方向に回転駆動することによシ矢印す
方向へ移動することができる。ロール４には、ポリ塩化
ビニルまたはポリエステル製の有機フィルム５が巻かれ
ておシ。
ベルト３の移動とともに繰シ出されるようになっている
。ローラー２の上方には、ドクターブレード６の設けら
れたタンク８が設置されている。容器７に収納されてい
た前記組成の分散物９をタンク８に投入する。ベルト３
を移動させると、有機フィルム５上にドクターブレード
法によシ分散物９が塗布される。塗布された分散物は、
ベルト３の移動とともに、加熱装置１０上を通シ乾燥さ
れ。
。ローラー２の上方には、ドクターブレード６の設けら
れたタンク８が設置されている。容器７に収納されてい
た前記組成の分散物９をタンク８に投入する。ベルト３
を移動させると、有機フィルム５上にドクターブレード
法によシ分散物９が塗布される。塗布された分散物は、
ベルト３の移動とともに、加熱装置１０上を通シ乾燥さ
れ。
ガラスフリットを含むグリーンシート１１が形成される
。塗布された分散物を加熱すると１分散物から溶剤が揮
発し、主にガラスフリットおよび結合剤からなるグリー
ンシート１１が帯状に形成される。この帯状のグリーン
シート１１は、膜厚が均一であシ、（ガラスフリフト）
／（ガラスフリット＋結合剤）の体積比は、０．４５〜
０，８０である。
。塗布された分散物を加熱すると１分散物から溶剤が揮
発し、主にガラスフリットおよび結合剤からなるグリー
ンシート１１が帯状に形成される。この帯状のグリーン
シート１１は、膜厚が均一であシ、（ガラスフリフト）
／（ガラスフリット＋結合剤）の体積比は、０．４５〜
０，８０である。
グリーンシート１１には、結合剤成分が残っているので
、グリーンシート１１は可塑性を備えておシ、有機フィ
ルム５と２層の積層体を構成し、ロー ／ｌ／ ４’に
よって巻き取られる。上記グリーンシート製造装置１に
おいて、ドクターブレード６と有機フィルム５との間隔
は、６００μｍであるのに対し、乾燥したグリーンシー
ト１１の厚みは、１５０μｍである。この際グリーンシ
ート１１の厚みを適宜手段でチェックすることによシ厚
みの状態を管理することができる。
、グリーンシート１１は可塑性を備えておシ、有機フィ
ルム５と２層の積層体を構成し、ロー ／ｌ／ ４’に
よって巻き取られる。上記グリーンシート製造装置１に
おいて、ドクターブレード６と有機フィルム５との間隔
は、６００μｍであるのに対し、乾燥したグリーンシー
ト１１の厚みは、１５０μｍである。この際グリーンシ
ート１１の厚みを適宜手段でチェックすることによシ厚
みの状態を管理することができる。
次に第２図を参照すると、ロール４′に巻き取られたグ
リーンシート１１と有機フィルム５との積層体をグリー
ンシート圧着装置にセットし、有機フィルム５をロール
１２に巻き取ることによシ。
リーンシート１１と有機フィルム５との積層体をグリー
ンシート圧着装置にセットし、有機フィルム５をロール
１２に巻き取ることによシ。
グリーンシート１１を有機フィルム５から分離する。分
離されたグリーンシー） ｉ １ Ｂ ＋支持部材１３
上に配列された複数のアルミナまたはべりリア製のセラ
ミック基板１４上に導びかれ、圧着ローラー１５によっ
てセラミック基板１４上に圧着される。この場合、複数
のセラミック基板１４は。
離されたグリーンシー） ｉ １ Ｂ ＋支持部材１３
上に配列された複数のアルミナまたはべりリア製のセラ
ミック基板１４上に導びかれ、圧着ローラー１５によっ
てセラミック基板１４上に圧着される。この場合、複数
のセラミック基板１４は。
相互に間隙を設は配置するととも、また間隙を設けるこ
となく密接して配置することもできる。グリーンシート
１１は、帯状をしているので、複数のセラミック基板１
４上に連続的に圧着され、グリーンシート１１とセラミ
ック基板１４との積層体が構成される。その後適宜手段
でグリーンシート１１上に切れ目を入れる。
となく密接して配置することもできる。グリーンシート
１１は、帯状をしているので、複数のセラミック基板１
４上に連続的に圧着され、グリーンシート１１とセラミ
ック基板１４との積層体が構成される。その後適宜手段
でグリーンシート１１上に切れ目を入れる。
次に、第３図に示すように、グリーンシート１１とセラ
ミック基板１４との積層体は、支持部材１３の移動とと
もに焼成炉に導入される０グリーンシー）１１とセラミ
ック基板１４との積層体は、炉内において１２００℃の
温度で１時間焼成される。
ミック基板１４との積層体は、支持部材１３の移動とと
もに焼成炉に導入される０グリーンシー）１１とセラミ
ック基板１４との積層体は、炉内において１２００℃の
温度で１時間焼成される。
加熱によジグリーンシー）１１の結合剤は焼失し。
ガラスフリットが加熱、溶融されてセラミック基板１４
上にガラス被膜１６が形成される。焼成前のグリーンシ
ート１１の厚みは１５０μｍであったが、焼成後のガラ
ス被膜１６の厚さは７５μｍでアシ、セラミック基板上
で陶土であった。このようにして、セラミック基板上に
ガラス被膜を形成した所謂グレーズドセラミック基板が
製造される。
上にガラス被膜１６が形成される。焼成前のグリーンシ
ート１１の厚みは１５０μｍであったが、焼成後のガラ
ス被膜１６の厚さは７５μｍでアシ、セラミック基板上
で陶土であった。このようにして、セラミック基板上に
ガラス被膜を形成した所謂グレーズドセラミック基板が
製造される。
以上説明したように１本発明の方法によりグレーズドセ
ラミック基板のガラス被膜の厚みを、ガラスフリットを
含むグリーンシートの厚みによシ管理することができる
ので、ガラス被膜の厚みを均一化することが容易である
。
ラミック基板のガラス被膜の厚みを、ガラスフリットを
含むグリーンシートの厚みによシ管理することができる
ので、ガラス被膜の厚みを均一化することが容易である
。
また、グリーンシートをセラミック基板に圧着している
ので、セラミック基板の反シや凹凸に関係なく、均一な
厚さを有するガラス被膜が得られる０ 本発明では、ガラスフリットを含むグリーンシートを使
用しているが、グリーンシートは雰囲気さえコントロー
ルすれば長期間保管できるので。
ので、セラミック基板の反シや凹凸に関係なく、均一な
厚さを有するガラス被膜が得られる０ 本発明では、ガラスフリットを含むグリーンシートを使
用しているが、グリーンシートは雰囲気さえコントロー
ルすれば長期間保管できるので。
少量生産にも適しておシ、また分散物と比較してグリー
ンシートは保管スペースが小さいので、保管スペースを
心配する必要がないという利点がある。
ンシートは保管スペースが小さいので、保管スペースを
心配する必要がないという利点がある。
さらに、グリーンシートは、有機フィルム上に形成され
ているので、グリーンシートの不良は検出しやすく、圧
着前に削除でき、グレーズドセラミック基板の製造歩留
まシを向上させることができる。
ているので、グリーンシートの不良は検出しやすく、圧
着前に削除でき、グレーズドセラミック基板の製造歩留
まシを向上させることができる。
また２本発明の方法によシグレーズドセラミック基板の
製造工程を自動化できるので、大量生産に適するととも
に、製造工程が汚染されにくいという利点がある。
製造工程を自動化できるので、大量生産に適するととも
に、製造工程が汚染されにくいという利点がある。
本発明を実施する装置は、スケールアップすることなし
に、長手方向の大型化に対応できるので。
に、長手方向の大型化に対応できるので。
当初から長手方向の大きさを考慮しなくても、将来の量
産化に対応できる。
産化に対応できる。
また、ガラス７リツトを含むグリーンシートを用いると
、セラミック基板上に穴加工がされていても、基板の裏
にガラスが廻シ込み、付着することはない。
、セラミック基板上に穴加工がされていても、基板の裏
にガラスが廻シ込み、付着することはない。
なお前記説明では、グリーンシートの厚みを第１図にお
ける製造工程中でチェックする例について説明したが、
グリーンシートの厚みの管理は第２図に示す使用時でも
よい。
ける製造工程中でチェックする例について説明したが、
グリーンシートの厚みの管理は第２図に示す使用時でも
よい。
第１図〜第３図は１本発明によるグレーズドセラミック
基板の製造工程を示す概略説明図である。 １・・・・・・グリーンシート製造装置 ２，２′・
・・・・・ローラー３・・・・・・ベル）
４ 、４’・・・・・・ロール５・・・・・・有
機フィルム ６・・・・・・ドクターブレード
７・・・・・・容器 ８・・・・・・タ
ンク９・・・・・・分散物 １０・・・・・
・加熱装置１１・・・・・・グリーンシート １
２・・・・・・ロール１３・・・・・・支持部材
１４・・・・・・セラミック基板１５・・・・・
・圧着ローラー １６・・・・・・ガラス被膜ト 区 区 区 −へ の 味 法 味 手続補正書（自発） 昭和５９年１０月 ５日 ２、発明の名称 グレーズドセラミック基板の製造方
法 ３、 ？ｌｉ正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都中央区日本橋−丁目１３番１号名称 （３
０６）ティーディーケイ株式会社代表者 大 歳 寛 ４、代理人 住所 東京都千代田区神田淡路町１丁目１９番８号６、
補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄補正の内容
、 １、明細書第５頁第１２行の「ヤシ脂肪酸ジェタノール
アマイド」を「ヤシ脂肪酸ジェタノールアマイド」と補
正する。 ２、同頁第１４行の「ジエチルフタル酸」をフタル酸ジ
エチル」と補正する。 ３、同頁末行〜第６頁１行の「ジエチルフタル酸」を「
フタル酸ジエチル」と補正する。 以上
基板の製造工程を示す概略説明図である。 １・・・・・・グリーンシート製造装置 ２，２′・
・・・・・ローラー３・・・・・・ベル）
４ 、４’・・・・・・ロール５・・・・・・有
機フィルム ６・・・・・・ドクターブレード
７・・・・・・容器 ８・・・・・・タ
ンク９・・・・・・分散物 １０・・・・・
・加熱装置１１・・・・・・グリーンシート １
２・・・・・・ロール１３・・・・・・支持部材
１４・・・・・・セラミック基板１５・・・・・
・圧着ローラー １６・・・・・・ガラス被膜ト 区 区 区 −へ の 味 法 味 手続補正書（自発） 昭和５９年１０月 ５日 ２、発明の名称 グレーズドセラミック基板の製造方
法 ３、 ？ｌｉ正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都中央区日本橋−丁目１３番１号名称 （３
０６）ティーディーケイ株式会社代表者 大 歳 寛 ４、代理人 住所 東京都千代田区神田淡路町１丁目１９番８号６、
補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄補正の内容
、 １、明細書第５頁第１２行の「ヤシ脂肪酸ジェタノール
アマイド」を「ヤシ脂肪酸ジェタノールアマイド」と補
正する。 ２、同頁第１４行の「ジエチルフタル酸」をフタル酸ジ
エチル」と補正する。 ３、同頁末行〜第６頁１行の「ジエチルフタル酸」を「
フタル酸ジエチル」と補正する。 以上
Claims (1)
- ガラスフリットまたはガラス化可能な物質を含む分散物
をベルトまたはフィルム上に成膜してガラスフリットま
たはガラス化可能な鉱物を含むグリーンシートを形成し
、このグリーンシートをセラミック基板上に圧着し、こ
れを加熱して溶融固着させることによりセラミック基板
上にガラス層を形成したことを特徴とするグレーズドセ
ラミックス基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14257684A JPS6122682A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | グレ−ズドセラミツク基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14257684A JPS6122682A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | グレ−ズドセラミツク基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6122682A true JPS6122682A (ja) | 1986-01-31 |
Family
ID=15318526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14257684A Pending JPS6122682A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | グレ−ズドセラミツク基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6122682A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS642389A (en) * | 1987-06-25 | 1989-01-06 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Formation of glazed layer |
| JPH01194492A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-04 | Shinko Electric Ind Co Ltd | ガラスグレーズ基板の製造方法 |
| JP2004509832A (ja) * | 2000-09-28 | 2004-04-02 | トレシド、ソシエダッド、アノニマ | セラミック工業における装飾エナメルシート、該シートの製造方法および使用 |
-
1984
- 1984-07-10 JP JP14257684A patent/JPS6122682A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS642389A (en) * | 1987-06-25 | 1989-01-06 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Formation of glazed layer |
| JPH01194492A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-04 | Shinko Electric Ind Co Ltd | ガラスグレーズ基板の製造方法 |
| JP2004509832A (ja) * | 2000-09-28 | 2004-04-02 | トレシド、ソシエダッド、アノニマ | セラミック工業における装飾エナメルシート、該シートの製造方法および使用 |
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