JPS61223906A - プラントの異常診断装置 - Google Patents

プラントの異常診断装置

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JPS61223906A
JPS61223906A JP60063907A JP6390785A JPS61223906A JP S61223906 A JPS61223906 A JP S61223906A JP 60063907 A JP60063907 A JP 60063907A JP 6390785 A JP6390785 A JP 6390785A JP S61223906 A JPS61223906 A JP S61223906A
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JP
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reference data
balance
plant
monitoring
data
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JP60063907A
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English (en)
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Junichi Tabata
淳一 田畑
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02Electric testing or monitoring
    • G05B23/0205Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
    • G05B23/0218Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults
    • G05B23/0224Process history based detection method, e.g. whereby history implies the availability of large amounts of data
    • G05B23/024Quantitative history assessment, e.g. mathematical relationships between available data; Functions therefor; Principal component analysis [PCA]; Partial least square [PLS]; Statistical classifiers, e.g. Bayesian networks, linear regression or correlation analysis; Neural networks

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] 本発明は、プラントの異常を検知する診断装置に関する
[発明の技術的背景] プラントの異常を検知する診断装置において。
異常を検知する方法には、制限値監視、変化率監視、実
行値監視等多くの方法がある。これらは、1信号単位の
監視であるため、相互に無関係な独立した信号に対して
は有効である。しかし、プラントの特性を考えると、多
くの信号は、相互に関係し合い、バランス関係(例えば
、X信号の値が決まればY信号の値が決まるといったよ
うな関係)を持っている。そのため、より正確なプラン
トの異常を検知するため、このバランス関係について監
視する方法がとられる場合がある。
従来のこのバランス関係を監視(以下バランス監視と称
す)する方法としては、2信号X、Yの関係を単純な一
次式Y=aX+bとして定義し、入力信号の値Xi、Y
iニ対シテ偏差Ei = l Yi −aXi −b 
lを計算し、この偏差Eiに対してしきい値EAを設け
てEi≧EAで異常を検知している。この関係を図に示
すと、第11図に示す様になり、X−Yの関係が斜線部
分に入ると異常としている。この様な信号の組合せを数
多く設定することでプラント全体のバランス監視を行な
っている。
また、各信号の組合せで、設定される関係式の定数a、
b、及び、しきい値EA等は、基準データといわれ、こ
の基準データは、プラント起動時等による広い範囲の運
転操作時、プロセス信号のデータを収集して作成される
基準データの作成方法としては、収集されたデータにつ
いて最小2乗法を用いて一次式Y=aX+bとしてフィ
ッティングして求める。この時の定数a、bは下記式に
より求まる。
lsl         l謬1 1諺1        1−11 ・・・・・・(2) n:収集されたデータ点数 この時のデータのばらつきを表わす標準偏差6は。
下記のように表わされる。
6=八「i貰π;π;五 ・・・・・・(3)また異常
検知に使用されるしきい値EAは、データのばらつきを
考え、上記標準偏差の何倍かを設定するのが通常である
。式で示すと EA=K・6             ・・・・・・
(4)K:パラメータ これらの関係を図に示すと第12図の様に示される。
ここで、第12図中のAの直線はフィッティング操作で
求められたX−Yの関係を表わす一次式Y=aX+bで
あり、B、Cの境界線は、しきい値EAに対する一次式
Y = aX + b + HA及びY = aX +
 b −EAを表わしている。
次に、これらの基準データを使用した実際の異常検知方
法を説明する。まず、前記にようにして求まった基準デ
ータを使用し、プロセス信号のサンプリング周期毎に下
記計算式により偏差を求める。
Et = Yt −aXt −b          
    −−(5)Et:時刻tにおける偏差 xt、vt:時刻tにおけるプロセス値a、b  :基
準データ作成で求められた定数 この偏差Etについて時定数を加味し重みによる移動平
均を計算する。
Et’ =七ユEt’ −1+ IEt       
  ・・・・・・(6)V    υ ただし’d = Tm / At Et’  :移動平均された今回の偏差Et’−t:移
動平均された前回の偏差Et:時刻tでの偏差 Ta+  :時定数 At :更新周期 求めたEt’について異常判定を行なう。
lEt’l≧EAで異常         ・・・・・
・(7)IEt’ l <E八で正常        
  ・・・・・・(8)このようにして、サンプリング
周期毎に上記計算を行なうことにより正常/異常の検知
を行なっている。
以上バランス監視の基本的な考えを述べたが、実際には
、2信号X−Yの関係は、1つの一次式により定義する
ことが困難な場合があり、この様な場合は、信号Xの値
により領域を分割し、その領域ごとに一次式を定義する
必要がある。この時の基準データ作成も前記同様の考え
で行なっている。
例えば、信号X−Yのバランス関係を信号Xの値により
領域に分割した場合を第13図に示す6図中で領域分割
を決めるxlの値は、X−Yの特性を考えたパラメータ
として与えられ、それぞれ領域1,2別々にフィッティ
ングされ下記のような2つの一次式で定義される。
領域I   Y=aIX+bz  (X<)h)領域2
   Y = azX + bz  (X≧Xi)[背
景技術の問題点] しかしながらこの様なバランス監視の従来技術において
は、以下の様な問題点があった。
(1)実際には、プラント運転操作の繰り返しによりバ
ランス特性は、検出器の特性劣化等によるドリフト成分
により徐々に変化することがある。
このドリフト成分は、基準データより式(5)により求
められる偏差に対してバイアスを加えたかたちとなり、
プラント異常を正確にとらえることができなくなる問題
点があった。
例えば、第14図の様に基準データY=aX+b(直線
A)に対してドリフト成分Δbが常に発生している場合
、2信号X、Yは、Y=aX+b+Ab(点線A’)テ
バランスがとれていることになる。つまり式(5) 、
 (6)での偏差はΔbの値で安定していることになる
この状態で2信号X、Yの突発変化に対して異常となる
偏差の変動量は、上限(境界線B)に対して(しきい値
E^−ドリフト分Δb)以上、下限(境界線C)に対し
て(しきい値EA+ドリフト分Δb)以上の変化があれ
ば異常と見なされる。いいかえれば、ドリフト成分が発
生することにより、真の変動量を検知することができな
くなる。
(2)信号X−Yの関係が、複数領域によって定義され
る場合、その領域分割付近では、第15図のように2本
の基準データは、分割点x1線上で交わらない可能性が
ある。これは、実入力されたデータをフィッティングし
ているため発生するもので、この様なずれは、例えば第
15図中のa点は正常だがb点は異常ということになり
、基準データの連続性がなくなり、異常検知の正確さが
損なわれる問題点があった。
[発明の目的コ 本発明は、このような問題点を解消するため。
突発的なバランスのみだれ、および、徐々に変化するバ
ランスのみだれを分離して監視することを可能とし、ま
た、基準データを補正することで連続性を持たせ、より
正確な異常検知を可能とした診断装置を提供することを
目的とする。
[発明の概要] 本発明は、バランス監視手段において、プロセス信号の
正常、異常を判定するための基準データの変化を補正す
る手段と、その基準データが複数領域に分割されるとき
、領域間の連続性を保つように補正する手段とを設ける
ことにより、プラント運転操作の繰り返しにより発生す
るドリフト成分とは無関係に真の変動量について突発的
バランスのみだれを検知することができ、より正確な突
変検知を可能としたものである。
[発明の実施例] 以下、添付図面を参照しながら本発明の実施例を詳細に
説明する。
第1図は、本発明の一実施例ブロック図を示したもので
5診断装置lは、プロセス入出力制御装置2を介してプ
ラント3と接続されている。
診断装置1は、プラント3よりプロセス信号をプロセス
入出力制御装置2を介して入力するサンプリング処理部
4と、そのサンプリング処理部4から起動されバランス
監視用の基準データを作成するためのプロセス信号デー
タを収集するデータ収集処理部5と、このデータ収集処
理部5により必要な点数分データ収集が完了すると起動
され基準データを作成するための基準データ作成処理部
6と、この基準データ作成処理部6の基準データ作成完
の情報を受け、サンプリング処理部4より現在のプロセ
ス信号データを入力し、突発的なバランスのみだれを検
知するためのバランス突変監視処理部7と、このバラン
ス突変監視処理部7により異常検知のとき起動され、そ
の異常情報を出力するための異常情報出力処理部8と、
前記バランス突変監視処理部7から監視タイミング毎に
起動されバランス突変監視処理部7に使用されている基
準データを補正するための基準データ補正処理部9と。
この基準データ補正処理部9により補正された基準デー
タと前基準データ作成処理部6により作成された初期の
基準データとの比較により徐々に変化するバランスのみ
だれを検知するためのバランス偏差監視処理部10とか
らなり、さらにデータ記憶部としてバランス監視の基準
データを作成するためのプロセス信号データを収集して
保存するための収集データ記憶部11と、この収集デー
タ記憶部11のデータをもとに作成された基準データを
保存する作成基準データ記憶部12と、初期にはこの作
成基準データ記憶部12と同じデータが保存され以後基
準データ補正処理部9により逐次補正された基準データ
を保存する補正基準データ記憶部13と、前記バランス
突変監視処理部7および前記バランス偏差監視処理部1
0により異常を検知した時、その情報を保存する監視情
報データ記憶部14とからなる。また出力装置15及び
警報表示装置16は前記異常情報出力処理部8から情報
を受けとり、実際に各種情報を出力するための装置であ
る。この第1図の中で実線の矢印で示したものが各処理
部間の起動制御の流れで1点線の矢印で示したものが各
処理部で使用する情報データの流れを示している。また
一点鎖線で囲まれた部分が本実施例の特徴部分をなす処
理部及び記憶部である。
以上の構成で、診断装置1は、第2図のフロー図に示す
ように、プロセス入出力制御装置2を介してプラント3
から加えられるプロセス信号をサンプリング処理部4に
より周期的に入力している(201)。そして、初期状
態時つまりバランス監視用の基準データが作成されてい
ない時は(202のNo)、データ収集処理部5を起動
する(203)、一方、基準データが既に作成済みの場
合は(202のYES)、バランス突変監視処理部7を
起動しく204)、サンプリング処理部4を次回サンプ
リング周期まで待機させる(206)。この処理は、基
準データ作成に必要なデータ点数分を収集するまで繰り
返され、停止要求があったとき終了する(206)。
データ収集処理部5は、サンプリング処理部4より周期
的に入力されるプロセスデータを収集データ記憶部11
へ保存し、必要点数収集されると、基準データを作成す
るため、基準データ作成処理部6を起動する。
即ち、第3図のフロー図に示すように、データ収集処理
部5は、サンプリング処理部4から入力されるプロセス
データを入力しく301)、前回値と今回値を比較しプ
ロセス量の変動をチェックする(302)、そのプロセ
ス量即ちプラント3に変動があったか否か判断しく30
3)、変動があった場合は全プロセスデータを収集デー
タ記憶部11へ保存する。
その都度データカウンタを更新しく305)、必要点数
のデータを収集した場合は(306のYES)、基準デ
ータ作成処理部6を起動する(307)。
起動された基準データ作成処理部6は、第4図のフロー
図に示すように、基準データを作成するためデータ収集
処理部5によって保存されたプロセス信号のデータ群を
収集データ記憶部11より入力しく401)、信号X−
Yの組合せ番号をりIJ 71. (402)、更に領
域番号をクリアしたのち(403)、従来技術と同様に
最小2乗法により前記式(1) 、 (2) 、 (3
) 、 (4)を使用して基準データである一次式Y=
aX+bのa。
b定数、及び、しきい値EAを求める(404)。これ
らは、従来技術でも述べたように信号Xあ値により基準
データが分割される場合その分割された領域ごとに求め
られる。このようにしてすべての指定される信号の組み
合わせについて基準データを作成すると、この基準デー
タを作成基準データ記憶部12へ保存する(405)。
この様な処理を全ての信号X−Yの組合せの全ての領域
について行なったのち(406,407)、この作成さ
れた基準データと同じデータを補正基準データ記憶部1
3にも保存して(408)、基準データ作成済みとする
(409)。この2つの基準データは、作成時のバラン
ス特性を保持するための基準データ(作成基準データ記
憶部12側)と徐々に変化するバランス特性を考慮して
逐次更新される基準データ(補正基準データ記憶部13
側)として使用される。
この様にして作成された基準データである作成基準デー
タ記憶部12及び補正基準データ記憶部13を使用して
バランス監視を行なうが、バランス突変監視処理部7は
第5図のフロー図に示すように、まず、基準データ作成
完の情報を受けて(501)、補正基準データ記憶部1
3の基準データと、サンプリング処理部4からの現在の
プロセス信号を受は取ると(502)、信号X−Yの組
合せ番号をクリアしたのち(503)、 X側信号のプ
ロセスデータにより領域判定を行なう(504)。次い
で、従来と同様に式(5) 、 (6)により偏差を求
めて(505)、式(7)、(8)により突発的なバラ
ンスのみだれを検知する(506)。
もし、異常を検知した場合は(507のYES)、その
異常情報を監視情報データ記憶部14に保存する(50
8)、この様な処理を全信号の組合わせについて実行し
く509) 、プラントに異常が生じたか否か判断した
のち(510)、異常が発生した場合は、異常情報出力
処理部8を起動する(511)、異常情報出力処理部8
は、この情報に従って出力袋w15及び警報表示装置1
6への出力を行なう。次いで、バランス突変監視処理部
7は、監視タイミングごとに基準データ補正処理部9を
起動する。
本実施例の基本的な処理である基準データ補正処理部9
は、プラント運転操作によるバランス特性のドラフト分
を考慮し、補正基準データ記憶部13の基準データを逐
次更新している。この補正処理について以下に説明する
基準データ補正処理部9は、第6図のフロー図に示すよ
うに、補正基準データ記憶部13から現在の全基準デー
タを受は取り、サンプリング処理部4から現在の全プロ
セス信号を受は取る(601)。次いで、信号の組合せ
番号、領域番号をクリアしたのち(602)、X側信号
のプロセスデータより領域判定を行なう(603)。
「背景技術の問題点」でも述べたように基準データY=
aX+bに対してドリフト分Δbを考えると突変検知用
の基準データとしてはY=aX+b+Δbを使用する必
要がある。そのため基準データの補正として定数すをb
+Δbの値に近づけることを考える。
本実施例では、式(6)でも行なっているように。
時定数を加味した重みによる移動平均を考えると、補正
された基準データの定数b′は下記式により示される。
ト11 b’ = −7−b + y(b+Δb)” b + 
w・Δb           ・旧・・(9)ただし
W=Tm/Δt b:前回使用した基準データの定数 Δb= ドリフト成分 子l:時定数 Δt:更新周期 上記式で考えたドリフト成分Δbは、基準データ’1=
aX+bに対する偏差であるE = Y −aX −b
と考えることができ、基準データ補正処理部9は、現在
の信号データをXt、Ytに対して基準データの定数b
mを下記式(10)により補正する(604)。
bt+1=bt+V(Yt−axt−bt)・・・・・
・(10)bt:今回基準データとして使用した 定数b bt◆に次回基準データとして使用する定数す このようにしてバランス突変監視処理部7は使用する補
正基準データ記憶部13の基準データを更新する。
次に基準データが信号Xの値により数頭域あった場合の
基準データの補正について説明する。
従来技術のもう一つの問題点である基準データの分割に
よる不連続性をなくすため本実施例では下記の方法によ
り基準データの補正を行なっている。
いま2信号X、Yに対して基準データが下記のように2
領域に分割される場合を考える。
領域(1)   Y=atX+bz  (X<Xi)領
域(2)   ’l =azX+bz  (X≧X1)
xl:領域分割点 この2つの一次式でX=XX線上の偏差Eは次のように
示される。
E==(atXx+bx)−(azXz+bz)   
  −−(11)この偏差Eを0とすることで2つの一
次式はxl点で交わることになる。つまり基準データに
連続性をもたせることができる。現在のプロセス値Xt
の値によりバランス突変監視処理部7が使用している領
域がきまり、その領域の基準データの定数すは、式(1
0)により常に補正され更新されている。そのため式(
11)の偏差Eを0にするには、使用されていない領域
の基準データを使用している基準データに合わせること
により可能である。これは、使用されていない基準デー
タの定数すの値を補正することにより行なわれるが、補
正されている基準データは、突発的なバランスのみだれ
を検知するために使用されることはもちろんのこと、以
下に説明するが徐々に変化するバランスのみだれを検知
するためにも使用されていて、常に正常な補正がされて
いるか比較されているため、この補正された基準データ
に合わせることによって基準データは領域を越えて連続
性を持たせることができる。
本実施例の補正方法としては、プロセス値XtがXt<
)hで領域(1)側にある時は領域(2)の基準データ
の定数b2を下記式により補正する。
b2= (ax−az)Xt+bx また同様にXtaXuの時は、領域1の基準データの定
数b1を下記式により補正する。
bz = (az −ax)Xx + bz上記2つの
式は、式(11)でE=Oとすることで簡単にもとまる
以上、基準データが2領域に分割されている時の基準デ
ータの補正について説明したが、第7図に示すように基
準データカ酊領域に分割されている時には、式(10)
により補正されている領域mの両隣の領域11−1.l
l+1について下記式(12) 、 (13)により補
正する(605)。
bm−x = (am−am−x)Xs−x +bm 
    −−(12)bm+x= (am−am+x)
Xm+b+s          −−(13)第7図
で、現在のプロセスデータ(Xt、Yt)が0点にある
時、Xtは、領域分割点X11−1〜x11の間にある
ため、領域■の基準データ(直線A+++)の定数bm
は式(1o)により補正され、下限の分割点X−−1線
上で交わる基準データ(直線A鵬−1)の定数bm−t
は式(12)により補正され、また、上限の分割点x1
1線上で交わる基、準データ(直線Aト1)の定数bv
g+ 1は式(13)により補正されることになる。こ
れにより分割された基準データAm−x@Am、A■+
1は、連続性を保ちながら、式(10)により時定数を
もって徐々に補正される。
基準データ補正処理部9はこの補正した基準データを再
び補正基準データ記憶部13へ戻すことでデータの補正
を行ない(606)、全信号の組合せ、全領域について
このような処理を行なう(607)。
これにより従来の問題となっていた基準データの不連続
性はなくなり、連続的にとりあっかうことができるよう
になり、従来の問題点が解消されることになる。
このようにして補正基準データ記憶部13のデータを補
正することで、この基準データを使用しているバランス
突変監視処理部7は、徐々に変化するバランスのみだれ
とは関係なく突発的に発生するバランスのみだれのみを
検知することができる。
更に、本実施例では、徐々に変化するバランスのみだれ
を検知するため、バランス偏差監視処理部10がもうけ
られている。このバランス偏差監視処理部10は、突発
的なバランスの変化を検知するために高周期で周期処理
しているバランス突変監視処理部7に比べ、徐々に変化
するバランスのみだれを検知するのが目的なため、低周
期により周期処理されている。次に、このバランス偏差
監視処理部10での異常検知方法について説明する。
バランス偏差監視処理部10は、第8図のフロー図に示
すように、作成基準データ記憶部12.補正基準データ
記憶部13にそれぞれ基準データが作成保存されると(
got)、これらのデータを順次入力すると共に(80
2)、サンプリング処理部4から現在のプロセスデータ
を順次入力する(803)。次いで。
信号の全組合せ番号、全領域番号をクリアしたのち(8
04)、X側信号のプロセスデータにより領域判定を行
ない(805)、この領域における作成基準データ記憶
部12と、補正基準データ記憶部13のデータを比較す
る(806)。
補正基準データ記憶部13の基準データをY=aX+b
’とし、作成基準データ記憶部12の基準データをY=
aX十すとするとb’−bがドリフトによるバランスの
みだれということになり、下記式を満たした時バランス
のみだれとみなすことができる。
Ib’−bl≧EB            ・・・・
・・(14)EB:  Lきい値 これらの関係を図で示すと第9図のようになる。
この判定式は、基準データが数頭域に分割されている場
合には、現在のプロセス値の存在する領域の基準データ
についてのみ行なっている。
上記判定式(14)により、バランスのみだれを検知す
ると(807)、バランス偏差監視処理部10は、その
情報を監視情報データ記憶部14へ保存しく808)、
このような処理を信号の全組合せ、全領域について行な
ったのち(809)、プラント異常を検知すると(81
0のYES)、異常情報出力処理部8を起動する(81
1)。
異常情報出力処理部8は、第10図のフロー図で示すよ
うに、その情報を監視情報データ記憶部14より取り出
しく1001)、出力装置15及び警報表示袋!16へ
出力する(1002)。
このように基準データ補正処理部9及びバランス偏差監
視処理部10を設けることにより1診断装置1では、突
発的なバランスの変化と徐々にみだれるバランスの変化
とを分離して検知することができ、さらに分割された基
準データを連続して取扱うことができ、より正確なプラ
ントの異常診断が可能となる。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、バランス監視を
行なっている診断装置において、連続性のある基準デー
タを使用して、突発的なバランス変化と徐々にみだれる
バランス変化とを区別した監視が可能となり、プラント
異常をより正確に診断することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
第1図は1本発明の一実施例に係るプラントの異常診断
装置のブロック構成図、第2図は第1図のサンプリング
処理部の動作フロー図、第3図は第1図のデータ収集処
理部の動作フロー図、第4図は第1図の基準データ作成
処理部の動作フロー図。 第5図は第1図のバランス突変監視処理部の動作フロー
図、第6図は第1図の基準データ補正処理部の動作フロ
ー図、第7図は第6図の処理動作を説明するための基準
データ分割領域の説明図、第8図は第1図のバランス偏
差監視処理部の動作フロー図。 第9図は第8図の処理動作を説明するための基準データ
と補正データの関係説明図、第10図は第1図の異常情
報出力処理部の動作フロー図、第11図〜第15図は、
バランス監視での従来技術を説明するための基準データ
を示す一次式と異常領域の関係図である。 1・・・診断装置、2・・・プロセス入出力制御装置、
3・・・プラント、4・・・サンプリング処理部、5・
・・データ収集処理部、6・・・基準データ作成処理部
、7・・・バランス突変監視処理部、8・・・異常情報
出力処理部。 9・・・基準データ補正処理部、10・・・バランス偏
差監視処理部、11・・・収集データ記憶部、12・・
・作成基準データ記憶部、13・・・補正基準、データ
記憶部、14・・・監視情報データ記憶部、15・・・
出力装置、16・・・警報表示装置、A・・・基準デー
タを示す一次式の直線、 B、C・・・異常レベルを示
す境界線。 代理人 弁理士  紋 1) 誠  、1−1・′ 第2図 第3図 第4図 第6図 第7図 一訂一一;冷詠「− 第8図 第9図 第10図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)プラントより入力されるプロセス信号間に所定の
    関係が成立することを利用して各プロセス信号の正常、
    異常を判定することにより、プラント異常を診断するプ
    ラントの異常診断装置において、プロセス信号の正常、
    異常を判定するための基準データの変化を補正する手段
    と、その基準データが複数領域に分割されるとき、領域
    間の連続性を保つように補正する手段とを設けたことを
    特徴とするプラントの異常診断装置。
  2. (2)特許請求の範囲第1項記載において、徐々に変化
    する基準データの異常を検知する手段を設けたことを特
    徴とするプラントの異常診断装置。
  3. (3)特許請求の範囲第1項記載において、プラントよ
    りプロセス信号を入力するためのプロセス入出力制御手
    段と、そのプロセス入出力制御手段より入力されたプロ
    セス信号について、信号相互間に所定の関数関係が成立
    することを利用してプロセス信号の正常、異常を判定す
    るための基準データを作成するための基準データ作成手
    段と、その基準データの変化を補正するための基準デー
    タ補正手段と、その補正された基準データを基にプロセ
    ス信号の突発的変化による信号相互間のバランス関係の
    みだれを監視するためのバランス突変監視手段と、徐々
    に変化する信号相互間のバランス関係のみだれを監視す
    るためのバランス偏差監視手段と、その監視情報を出力
    するための情報出力手段を備えることを特徴とするプラ
    ントの異常診断装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2016045797A (ja) * 2014-08-25 2016-04-04 東芝三菱電機産業システム株式会社 プラント監視システム及びプラント監視方法
JP2018173883A (ja) * 2017-03-31 2018-11-08 オムロン株式会社 制御装置、制御プログラム、制御システム、および制御方法

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