JPS61223314A - 微粒子流の流れ制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、微粒子の移送や吹き伺は等に利用される微粒
子流の流れ制御方法に関するもので、例えば、微粒子に
よる、成膜加工、複合素材の形成、ドープ加工、または
微粒子の新たな形成場等への応用が期待されるものであ
る。

本明細書において、微粒子とは、原子、分子、超微粒子
及び一般微粒子をいう。ここで超微粒子とは、例えば、
気相反応を利用した、ガス中蒸発法、プラズマ蒸発法、
気相化学反応法、更には液相反応を利用した、コロイド
学的な沈殿法、溶液噴霧熱分解法等によって得られる、
超微細な（一般には０．５ｋｍ以下）粒子をいう。一般
微粒子とは、機械的粉砕や析出沈殿処理等の一般的手法
によって得られる微細粒子をいう。また、ビームとは、
流れ方向に断面積がほぼ一定の噴流のことをいい、その
断面形状は問わないものである。

［従来の技術］ 一般に微粒子は、キャリアガス中に分散浮遊されて、キ
ャリアガスの流れによって移送されている。

従来、」−記微粒子の移送に伴う微粒子の流れ制御は、
−Ｌ流側と下流側の差圧によって、キャリアガスと共に
流れる微粒子の全流路を、管材又は筺体で区画すること
によって行われているに過ぎない。従って、微粒子の流
れは、その強弱はあるものの必然的に、微粒子の流路を
区画する管材又は筐体内全体に分散した状態で生ずるこ
とになる。

また、微粒子を基体へ吹き付ける場合等においては、ノ
ズルを介してキャリアガスと共に微粒子を噴出させるこ
とが行われている。この微粒子の吹き付けに用いられて
いるノズルは、巾なるＷ竹管又は先細ノズルで、確かに
噴出直後の微粒子の噴流断面はノズル端目面の面積に応
じて絞られる。しかし、ｙＩｉ流はノズルの出口面で拡
散されるので、単に−・時的に流路を絞っただけのもの
に過ぎず、また噴流の速度が音速を越えることはない。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、微粒子の全流路を管材又は筺体で区画し、−
に流側と下流側の差圧によって、この流路に沿ってキャ
リアガスと共に微粒子を移送するの・　　　　では、そ
れほど高速の移送速度は望み得ない。また、微粒子の流
路を区画する管材や筺体の壁面と微粒子の接触を、全移
送区間に亘って避は難い。

このため、特に活性を有する微粒子をその捕集位置まで
移動させる際に、経時的活性の消失や、管材や筺体の壁
面との接触による活性の消失を生みやすい問題がある。

また、管材や筐体で微粒子の全流路を区画したのでは、
流れのデッドスペースの発生等によって、移送微粒子の
捕集率が低下したり、キャリアガスの微粒子移送への利
用効率も低下する。

一方、従来の平行管や先細ノズルは、流過した噴流内の
微粒子の密度分布が大きい拡散流となる。従って、微粒
子を基体へ吹き付ける場合等において、均一な吹き付は
制御が行い難い問題がある。また、均一な吹き付は領域
の制御も困難である。

［問題点を解決するための手段１ 上記問題点を解決するために講じられた手段を、本発明
の基本原理の説明図である第１図で説明すると、流路に
縮小拡大ノズルＩを設け、該微粒子流の速度分布を一様
化する微粒子流の流れ制御方法で、微粒子の流れを均一
・化し、かつビーム化できるようにしたことによって上
記問題点を解決したものである。

本発明における縮小拡大ノズルｌとは、流入口１ａから
中間部に向って徐々に開口面積が絞られてのど部２とな
り、こののど部２から流出口１ｂに向って徐々に開口面
積が拡大されているノズルをいう。第１図においては、
説明の便宜上、縮小拡大ノズル１の流入側と流出側は、
各々密閉系である」−流室３と下流室４に痺結されてい
る。しかし、本発明における縮小拡大ノズルｌの流入側
と流出側は、両者間に圧力比を生じさせて、キャリアガ
スと共に微粒子を流過させることがりきれば、密閉系で
あっても開放系であってもよい。

［作　用］ 例えば第１図に示されるように、上流室３内に微粒子を
分散浮遊させたキャリアガスを供給する一方、下流室４
内を真空ポンプ５で排気し、上流室３と下流室４間の圧
力比を発生させる。供給された微粒子を含むキャリアガ
スは、差圧によって、上流室３から縮小拡大ノズルｌを
流過して下流室４へと流入することになる。

ところで縮小拡大ノズルｌは、単に上流側と下流側の圧
力差に応じてキャリアガスと共に微粒子を噴出させるだ
けでなく、噴出されるキャリアガス及び微粒子の流れを
均一化する作用を成すものである。従って、この均一化
された微粒子の流れによって、基体６上へ微粒子を吹き
付けるようにすれば、基体６上へ均一に微粒子を吹き付
けることができる。

また、縮小拡大ノズル１は、上流室３と下流室４内の圧
力比と、のど部２の開口面積ａと流出口１ｂの開口面積
Ａとの比Ａ／ａとを調節することによって、キャリアガ
スと共に噴出する微粒子の流れを高速化できる。そして
、上流室３と下流室４内の圧力比が臨界圧力比未満であ
れば、縮小拡大ノズルｌの出口流速が亜音速以下の流れ
となり、キャリアガスと共に微粒子は減速噴出される。

また、上記圧力比が臨界圧力比以上であれば、縮小拡大
ノズル１の出口流速は超音速流となり、キャリアガスと
共に微粒子を超高速にて噴出させることができる。

上述のような圧力比が臨界圧力比未満の噴出においては
、噴出されるキャリアガスと微粒子は均一な拡散流とな
り、比較的広い範囲に亘って一度に均一に微粒子を吹き
付けることが可能となる。

一方、前述のような超音速の流れとしてキャリアガスと
共に微粒子を一定方向へ噴出させると、キャリアガスと
微粒子は速度分布のほぼ一様な流れとなって、噴出直後
の噴流断面をほぼ保ちながら直進し、ビーム化される。

従って、このキャリアガスによって運ばれる微粒子の流
れもビーム化され、最小限の拡散でド流室４内の空間中
を、下流室４の壁面とのモ渉のない空間的に独立状態で
、かつ超高速で移送されることになる。

このようなことから、例えば上流室３内で活性を有する
微★ｑ子を形成して、これを直に縮小拡大ノズルｌでビ
ーム化移送したり、縮小拡大ノズル１内又は縮小拡大ノ
ズルｌの直後で活性を有する微粒子を形成して、これを
そのままビーム化移送すれば、超音速による、しかも空
間的に独立状態にあるビームとして移送することができ
、例えば下流室４内に設けた基体６−１−に付着捕集す
ることができる。従って、良好な活性状態のまま微粒子
を捕集することが可能となる。また、噴流断面が流れ方
向にほぼ一定のビームとして微粒子が基板６上に吹き付
けられるので、この吹き付は領域を容易に制御できるも
のである。

［実施例］ 第２図は本発明の方法を超微粒子にょる成膜に利用した
場合の一実施例の概略図で、図中１は縮小拡大ノズル、
３は上流室、４ａは第一下流室、４ｂは第二下流室であ
る。

上流室３と第一下流室４ａは、一体のユニットとして構
成されており、第一下流室４ａに、やはり各々ユニット
化されたスキマー７、ゲートバルブ８及び第二下流室４
ｂが、全て共通した径のフランジ（以下「共通フランジ
」という）を介して、相互に連結分離可能に順次連結さ
れている。」二流室３、第一下流室４ａ及び第二下流室
４ｂは、後述する排気系によって、上流室３から第二下
流室４ｂへと、段階的に高い真空度に保たれているもの
である。

上流室３の一側には、共通フランジを介して気相励起装
置９が取付けられている。この気相励起装置９は、プラ
ズマによって活性な超微粒子を発生させると共に、例え
ば水素、ヘリウム、アルゴン、窒素等のキャリアガスと
共にこの超微粒子を、対向側に位置する縮小拡大ノズル
ｌへと送り出すものである。この形成された超微粒子が
、上流室３の内面に付着しないよう、付着防止処理を内
面に施しておいてもよい。また、発生した超微粒子は、
１−流室３に比して第一下流室４ａが高い真空度にある
ため、両者間の圧力差によって、キャリアガスと共に直
に縮小拡大ノズル１内を流過して第一下流室４ａと流れ
ることになる。

気相励起装置９は、第３図（ａ）に示されるように、棒
状の第−ｍ−電極８ａを管状の第二電極９ｂ内に設け、
第二電極９ｂ内にキャリアガスと原料ガスを供給して、
両電極９ａ、　Ｓｂ間で放電させるものとなっている。

また、気相励起装置９は、第３図（ｂ）に示されるよう
に、第二電極８ｂ内に設けられている第一電極９ａを多
孔管として、第一電極９ａ内を介しテ両電極９ａ、　９
ｂ間にキャリアガスと原料ガスを供給するものとしたり
、同（Ｃ）に示されるように、半割管状の両電極９ａ、
　９ｂを絶縁材８ｃを介して管状に接合し、両電極９ａ
、　９ｂで形成された管内にキャリアガスと原料ガスを
供給するものとすることもできる。

縮小拡大ノズル１は、第一下流室４ａの」二流室３側の
側端に、上流室３に流入口１ａを開口させ、第一下流室
４ａに流出口１ｂを開口させて、」二流室３内に突出し
た状態で、共通フランジを介して取付けられている。但
しこの縮小拡大ノズルｌは、第一下流室４ａ内に突出し
た状態で取付けるようにしてもよい。縮小拡大ノズルｌ
をいずれに突出させるかは、移送する超微粒子の大きさ
、量、性質等に応じて選択すればよい。

縮小拡大ノズル１としては、前述のように、流入口１ａ
から徐々に開口面積が絞られてのど部２となり、再び徐
々に開口面積が拡大して流出口１ｂとなっているもので
あればよいが、第４図（ａ）に拡大して示しであるよう
に、流出口ｌｂ付近の内周面が、中心軸に対してほぼ平
行であることが好ましい。これは、噴出されるキャリア
ガス及び超微粒子の流れ方向が、ある程度流出口ｌｂ付
近の内周面の方向によって影響を受けるので、できるだ
けｆ折流にさせやすくするためである。しかし、第４図
（ｂ）に示されるように、のど部２から流出口１ｂへ至
る内周面の中心軸に対する角度αを、７°以下好ましく
は５°以下とすれば、剥離現象を生じにくく、噴出する
キャリアガス及び超微粒子の流れはほぼ均一に維持され
るので、この場合はことさら上記平行部を形成しなくと
もよい。モ行部の形成を省略することにより、縮小拡大
ノズルｌの作製が容易となる。また、縮小拡大ノズルｌ
を第４図（Ｃ）に示されるような矩形のものとすれ・　
　　　ば、スリット状にキャリアガス及び超微粒子を噴
出させることができる。

ここで、前記剥離現象とは縮小拡大ノズル１の内面に突
起物等があった場合に、縮小拡大ノズルｌの内面と流過
流体間の境界層が大きくなって、流れが不均一になる現
象をいい、噴出流が高速になるほど生じやすい。前述の
角度αは、この剥離現象防止のために、縮小拡大ノズル
ｌの内面仕上げ精度が劣るものほど小さくすることが好
ましい。縮小拡大ノズル１の内面は、ＪＩＳ　８０６０
１に定められる、表面仕上げ精度を表わす逆三角形マー
クで三つ以上、最適には四つ以上が好ましい。特に、縮
小拡大ノズル１の拡大部における剥離現象が、その後の
キャリアガス及び超微粒子の流れに大きく影響するので
、上記仕上げ精度を、この拡大部を重点にして定めるこ
とによって、縮小拡大ノズル１の作製を容易にできる。

また、やはり剥離現象の発生防止のため、のど部２は滑
らかな湾曲面とし、断面積変化率における微係数が美と
ならないようにする必要がある。

縮小拡大ノズルｌの材質としては、例えば鉄、ステンレ
ススチールその他の金属の他、アクＩＪ　）Ｌｔ樹脂ポ
リ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロ
ピレン等の合成樹脂、セラミック材料、石英、ガラス等
、広く用いることができる。

この材質の選択は、生成される超微粒子との非反応性、
加工性、真空系内におけるガス放出性等を考慮して行え
ばよい。また、縮小拡大ノズル１の内面に、超微粒子の
付着・反応を生じに＜１／）材料をメッキ又はコートす
ることもできる。具体例としては、ポリフッ化エチレン
のコート等を挙げることができる。

縮小拡大ノズルｌの長さは、装置の大きさ等によって任
意に定めることができる。ところで、縮小拡大ノズル１
を流過するときに、キャリアガス及び超微粒子は、保有
する熱エネルギーが連動エネルギーに変換される。そし
て、特に超音速で噴出される場合、熱エネルギーは著し
く小さくなって過冷却状態となる。従って、キャリアガ
ス中に凝縮成分が含まれている場合、上記過冷却状態に
よって積極的にこれらを凝縮させ、これによって超微粒
子を形成させることも可能である。これによる超微粒子
の形成は、均質核形成であるので。

均質な超微粒子が得やすい。また、この場合、十分な凝
縮を行うために、縮小拡大ノズル１は長し）方が好まし
い。一方、上記のような凝縮を生ずると、これによって
熱エネルギーが増加して速度エネルギーは低下する。従
って、高速噴出の維持を　・１３　　　　。

図る上では、縮小、拡大ノズル１は短い方が好ましい。

上流室３と下流室４内の圧力比と、のど部２の開口面積
ａと流出口１ｂの開口面積との比Ａ／ａとの関係を適宜
に調整して、上記縮小拡大ノズルｌ内を流過させること
により、超微粒子を含むキャリアガスはビーム化され、
第一下流室４ａから第二下流室４ｂへと超高速で流れる
ことになる。

スキマー７は、第二下流室４ｂが第一下流室４ａよりも
十分高真空度を保つことができるよう、第一下流室４ａ
と第二下流室４ｂとの間の開口面積を調整できるように
するためのものである。具体的には、第５図に示される
ように、各々〈字形の切欠部１０，１０’を有する二枚
の調整板ｔｉ、　ｔｉ”を、切欠部ｔｏ、ｔｏ’を向き
合わせてすれ違いスライド可能に設けたものとなってい
る。この調整板１１゜１１′は、外部からスライドさせ
ることができ、両切架部１０，１０’の重なり具合で、
ビームの通過を許容しかつ第二下流室の十分な真空度を
維持し得る開口度に調整されるものである。尚、スキマ
ー’１４ ７の切欠部１０．１０′及び調整板１１，１１′の形状
は、図示される形状の他、半円形その他の形状でもよい
。

ゲートバルブ８は、ハンドル１２を回すことによって昇
降される堰状の弁体１３を有するもので、ビーム走行時
には開放されているものである。このゲートバルブ８を
閉じることによって、上流室３及び第一下流室４ａ内の
真空度を保ちながら第−下流室４ｂのユニット交換が行
える。また、本実施例の装置において、超微粒子は第二
下流室４ｂ内で捕集されるが、ゲートバルブ８をポール
バルブ等としておけば、特に超微粒子が酸化されやすい
金、　　　　　超微粒子であるときに、このポールバル
ブと共に第二下流室４ｂのユニット交換を行うことによ
り、急激な酸化作用による危険を伴うことなくユニット
交換を行える利点がある。

第二下流室４ｂ内には、ビームとして移送されて来る超
微粒子を受けて付着させ、これを成膜状態で捕集するた
めの基体６が位置している。この基体６は、共通フラン
ジを介して第二下流室４ｂに取付けられて、シリンダ１
４によってスライドされるスライド軸１５先端の基体ホ
ルダー１６に取付けられている。基体６の前面にはシャ
ッター１７が位置していて、必要なときはいつでもビー
ムを遮断できるようになっている。また、基体ホルダー
１６は、超微粒子の捕集の最適温度条件下に基体６を加
熱又は冷却でるようになっている。

尚、上流室３及び第二下流室４ｂの上下には、図示され
るように各々共通フランジを介してガラス窓１８が取付
けられていて、内部観察ができるようになっている。ま
た、図示はされていないが、上流室３、第一下流室４ａ
及び第二下流室の前後にも各々同様のガラス窓（図中の
１８と同様）が共通フランジを介して取付けられている
。これらのガラス窓１８は、これを取外すことによって
、共通フランジを介して各種の測定装置、ロードロック
室等と付は替えができるものである。

次に、本実施例における排気系について説明する。

上流室３は、圧力調整弁１８を介してメインパルブ２０
ａに接続されている。第一下流室４ａは直接メインバル
ブ２０ａに接続されており、このメインバルブ２０ａは
真空ポンプ５ａに接続されている。第二下流室４ｂはメ
インバルブ２０ｂに接続されており、更にこのメインバ
ルブ２０ｂは真空ポンプ５ｂに接続されている。尚、２
１ａ、　２１ｂは、各々メインバルブ２０ａ、　２０ｂ
のすぐ上流側にあらびきバルブ２２ａ、　２２ｂを介し
て接続されていると共に、補助バルブ２３ａ。

２３ｂを介して真空ポンプ５ａに接続された減圧ポンプ
↑、上流室３、第一下流室４ａ及び第二下流室４ｂ内の
あらびきを行うものである。尚、２４ａ〜２４ｈは、各
室３　、４ａ、　４ｂ及びポンプ５ａ、　５ｂ、　２１
ａ、　２１ｂのリーク及びパージ用バルブである。

まず、あらびきバルブ２１ａ、　２１ｂと圧力調整弁１
８を開いて、上流室３、第−及び第二下流室４ａ、　４
ｂ内のあらびきを減圧ポンプ２０ａ、　２０ｂで行う。

次いで、あらびきバルブ２１ａ、　２１ｂを閉じ、補助
バルブ２３ａ、　２３ｂ及びメインバルブ２０ａ、　２
０ｂを開いて、真空ポンプ５ａ、　５ｂで上流室３、第
−及び第二下流室４ａ、　４ｂ内を十分な真空度とする
。このとき、圧力調節弁１９の開度を調整することによ
って、上流室３より第一下流室４ａの真空度を高くし、
次にキャリアガス及び原料ガスを流し、更に第一下流室
４ａより第二下流室４ｂの真空度が高くなるよう、スキ
マー７で調整する。この調整は、メインバルブ２０ｂの
開度調整で行うこともできる。そして、超微粒子の形成
並びにそのビーム化噴射による成膜作業中を通じて、各
室３　、４ａ、　４ｂが一定の真空度を保つよう制御す
る。この制御は、手動でもよいが、各室３　、４ａ、　
４ｂ内の圧力を検出して、この検出圧力に基づいて圧力
調整弁１９．メインバルブ２０ａ、　２０ｂ、スキマー
７等を自動的に開閉制御することによって行ってもよい
。

上記真空度の制御は、上流室３と第一下流室４ａの真空
ポンプ５ａを各室３，４ａ毎に分けて設けて制御を行う
ようにしてもよい、しかし、本実施例のように、一台の
真空ポンプ５ａでビームの流れ方向に排気し、上流室３
と第一下流室４ａの真空度を制御するようにすると、多
少真空ポンプ５ａに脈動等があっても１両者間の圧力比
を一定に保ちやすＢ い。従って、この圧力比の変動の影響を受けやすい流れ
状態を、　一定に保ちやすい利点がある。

真空ポンプ５ａ、　５ｂによる吸引は、特に第−及び第
二下流室４ａ、　４ｂにおいては、その−Ｌ方より行う
ことが好ましい。上方から吸引を行うことによって、ビ
ームの重力による降下をある程度抑１トすることができ
る。

本実施例に係る装置は以上のようなものであるが、次の
ような変更が可能である。

まず、縮小拡大ノズル１は、上下左右への傾動や一定間
隔・でのスキャン可能゛とすることもでき。

広い範囲に亘って成膜を行えるようにすることも・　　
　　できる。特にこの傾動やスキャンは、第４図（ｃ）
の矩形ノズルと組合わせると有利である。

縮小拡大ノズル１を石英等の絶縁体で形成し、そこにマ
イクロ波を付午して、縮小拡大ノズルｌ内で活性超微粒
子を形成したり、透光体で形成して紫外、赤外、レーザ
ー光等の各種の波長を持つ光を流れに照射することもで
きる。また、縮小拡大ノズル１を複数個設けて、一度に
複数のビームを発生させることもできる。特に、複数個
の縮小拡大ノズルｌを設ける場合、各々独立した一Ｆ流
室３に接続しておくことによって、異なる微粒子のビー
ムを同詩に走行させることができ、異なる微粒子の積層
又は混合捕集や、ビーム同志を交差させることによる、
異なる微粒子同志の衝突によって、新たな微粒子を形成
させることも可能となる。

基体６を、上下左右に移動可能又は回転可能に保持し、
広い範囲に亘ってビームを受けられるようにすることも
できる。また、基体６をロール状に巻取って、これを順
次送り出しながらビームを受けるようにすることによっ
て、長尺の基体６に微粒子による処理を施すこともでき
る。′更には、ドラム状の基体６を回転させながら微粒
子による処理を施してもよい。

本実施例では、発生室３、第一下流室４ａ及び第二下流
室４ｂで構成されているが、第二下流室４ｂを省略した
り、第二下流室の下流側に更に第三。

第四・・・・・・下流室を接続することもできる。また
、上流室３を加圧すれば、第一下流室４ａは開放系とす
ることができ、第一下流室４ａを減圧して上流室３を開
放系とすることもできる。特にオートクレーブのように
、上流室３を加圧し、第一下流室４ａ以下を減圧するこ
、ともできる。

本実施例では、上流室３で活性な超微粒子を形成してい
るが、必ずしもこのよう゛な必要はなく、□゛別途形成
した微粒子を−Ｌ流室３ヘキャリ□アガスと共に送り込
むように、してもよい。ま７た、縮小拡大ノズル１を開
閉する弁を設け１．上流室３側に・一時微粒子を溜めな
がら、上、配弁を断続的に開閉して、微粒子を得ること
もできる。前記縮小拡大ノズルｌののど部２を含む下流
側で行うエネルギー付与と同期させて、上記弁をＩ！１
１１ｍすれば、排気系の負担が大幅に低減される・と共
に、・原料ガスの有効利用を図りつつパルス状の：微粒
子流を得ることができる。尚、同一排気条件下とすれば
、上述の断続的開閉の方が、下流側を高真空に保持しや
すい利点がある。断続的開閉の場合に有効で、下流側の
排気エネルギーを節減できる利点がある。こ２　ｌ、 の場・合、゛上パ流室３と縮小拡大ノズルｌの間に、微
粒子を一時溜める室を設けておいてもよい。

ま″た、縮小拡大ノズル１を複数個直列位置に配し、各
々上流側と下流側の圧力比を調整して、ビニム、速度の
維持を図ったり、各室を球形化して、デッドスペースの
発生を極力防止することもできる。

［発明の効果］ 本発明によれば２、微粒子を均一な分散状態の超音速の
ビームとじて移送することができるので、空間的に独立
した状態でかつ超高速で微粒子を移送することができる
。従って計活性微粒子□をそのままの状態で捕集位置ま
で確実に移送できると共に、ビニ・ムの照射面を・制御
することによって、その吹き付゛け領域を正確に制御す
ることができる□。

また、ビームという集束した超高速平行流となることや
、ビームイビされると・きに熱エネルギーが運動エネル
ギーに変換さ者て、ビーム内の微粒子″は凍結状態どな
るので・、これらを利用した新しい反応場を得ることに
も大きな期待を有するも゛のである。更に、本発明の流
れ制御装置によれば、上記凍結状態になることから、流
体中の分子のミクロな状態を規定し、−・りの状態から
ある状態への遷移を取り扱うことも可能である。即ち、
分子の持つ各種のエネルギー準位までも規定し、その準
位に相当するエネルギーを伺！ｊするという、新たな方
式による気相の化学反応が可能である。また、従来とは
異なるエネルギー授受の場が提供されることにより、水
素結合やファンデアワールス結合等の比較的弱い分子間
で形成される分子間化合物を容易に生み出すこともでき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の基本原理の説明図、第２図は本発明を
超微粒子による成膜に利用した場合の一実施例を示す概
略図、第３図（ａ）〜（Ｃ）は各々気相励起装置の例を
示す図、第４図（ａ）〜（Ｃ）は各々縮小拡大ノズルの
形状例を示す図、第５図はスキマーの説明図である。 ■＝縮小拡大ノズル、ｌａ：流入口、 １ｂ＝流出口、２：のど部、３：上流室、４：下流室、
４ａ：第一下流室、 ４ｂ＝第二下流室、５　、５ａ、　５ｂ：真空ポンプ、
６：基体、７：スキマー、８：ゲートパルプ、９：気相
励起装置、９ａ：第一電極、 ９ｂ＝第二電極、１０．１０′：切欠部、１１、１１′
：調整板、１２：ハンドル、１３：弁体、１４ニジリン
ダ、１５ニスライド軸、 １６二基体ホルダー、１７：シャッター、１８ニガラス
窓、１８：圧力調整弁、 ２０ａ、　２０ｂ：　メイ７バルフ、 ２１ａ、　２１ｂ：減圧ポンプ、 ２２ａ、　２２ｂ：あらびきバルブ、 ２３ａ、　２３ｂ：補助バルブ、 ２４ａ〜２４ｈ：リーク及びパージ用バルブ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）微粒子流の経路に縮小拡大ノズルを設け、該微粒子
   流の速度分布を一様化することを特徴とする微粒子流の
   流れ制御方法。