JPS61219812A - 真円度計測プロ−ブを有する計測装置 - Google Patents

真円度計測プロ−ブを有する計測装置

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JPS61219812A
JPS61219812A JP6085085A JP6085085A JPS61219812A JP S61219812 A JPS61219812 A JP S61219812A JP 6085085 A JP6085085 A JP 6085085A JP 6085085 A JP6085085 A JP 6085085A JP S61219812 A JPS61219812 A JP S61219812A
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JP
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roundness
probe
measurement
measuring
radius
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JP6085085A
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English (en)
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Fumio Kamado
釜洞 文夫
Takeo Yamamoto
豪夫 山本
Satoshi Kumamoto
聰 熊本
Takao Manabe
真鍋 鷹男
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
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Agency of Industrial Science and Technology
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/20Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B5/201Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures for measuring roundness

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、真円度計測プローブを有する計測装置に係り
、軸や穴等の異なる径の真円度計測を経済的かつ効率的
に行なうのに利用できる。
[背景技術とその問題点] 機械加工されたワークの軸や穴等の真円度を計測するに
は、三次元測定機等の計測装置が用いられている。
従来の計測装置では、計測主軸中心からプローブ先端ま
での距#(回転半径)が異なる複数の真円度計Jlll
プローブを予め用意しておき、ワークの軸や穴等の径に
応じてそれに適した真円度肝Jl11プローブを使用し
て真円度計測を行うようにしている。
しかし、予め複数の真円度肝411プローブを用意して
おくことは経済的負担が大きく、かつそれらをストック
するためのスペースを確保しなければ−ならないので、
装置の大型化を招く問題があった。更に、ワークの径が
異なる都度、プローブ交換を行わなければならないので
、作業能率が極めて悪かった。
[発明の目的] ローブを有する計測装置を提供することにある。
[問題点を解決するための手段および作用]そのため、
本発明では、回転可能な計測主軸が予め設定された手順
に従って多次元力向へ自動的に移動される計測機本体と
、この計測機本体の計測主軸に着脱自在に装着されるプ
ローブ本体、このプローブ本体に前記計測主軸の軸線に
対して直交する方向へ移動可能に設けられかつ送りねじ
軸の回動により移動されるアナログ変位検出器および送
りねじ軸に回転を伝達する回転伝達手段を含む真円度計
測プローブと、この真円度計al+lグローブのアナロ
グ変位検出器の検出端から前記計測主軸の中心軸までの
半径を記憶する記憶手段と、前記計測機本体の一部に設
けられ前記真円度計測プローブの回転伝達手段と係合す
る他方の回転伝達手段を有する回転駆動装置と、被測定
物の計測径に応じて与えられる指令半径と前記記憶手段
に記憶された真円度計測プローブの現在の半径との差を
求め、真円度肝fl11プローブの回転伝達手段が前7
i>回転駆動装置の回転伝達手段に係合した状態にお1
いて、前記差に相当する場だけ前記回転駆動装置、を駆
動させる制御装置と、を具備したことを特徴としている
[実施例] 第1図は本発明の計測装置の一実施例を示している。同
図において、ベッドlの上面後部には。
案内溝2に沿ってサドル3が駆動装置4の駆動によりベ
ッドlの左右方向(X4dl方向)へ移動自在に設けら
れている。前記駆動装置4は、前記ベッドlのE面にX
軸方向に沿って回転可能に支持されかつ前記サドル3と
螺合する送りねじ軸5と、この送りねじ軸5を回転させ
るモータ6とから構成されている。
また、前記サドル3の上面には、案内溝12に沿ってコ
ラム13が駆動装置14の駆動によりベッド1の前後方
向(X軸方向)へ移動自在に設けられている。前記駆動
装置14は、前記サドル3の−F面にX軸方向に沿って
回転=r能に支持されかつ前記コラム13と螺合する送
りねじ軸15と、この送りねじ軸15を回転させるモー
タ16とから構成されている。
また、前記コラム13には、図示しない案内をム13に
Y軸方向に沿って回転可能に支持されかつ前記主軸頭2
1と螺合する送りねじ軸25と、この送りねじ軸25を
回転させるモータ26とから構成されている。
更に、前記主軸頭21には、先端に複数種の計測プロー
ブ221〜22、+、22nを選択的に装着する計測主
軸23が回転可能に支持されている。ここにおいて、以
上説明したベッドl、サドル3、コラム13、主軸頭2
1、計測主軸23およびこれらの駆動装置4,14.2
4により、計測機本体30が構成されている。
一方、前記ベッド1の上面前部には、予め複数種の計測
ズa−ブ22.〜224,22nをストックしそれを選
択的に前記計測主軸23へ取付ける計測プローブ自動交
換装置31と、較正スタンド32とがそれぞれ設けられ
ている。計測プローブ自動交換装置31は、複数種の計
測プローブ221〜224.22nを予め保持する複数
のプローブストッカ331〜335を有し、これらと、
その計測プローブ221のプローブストッカ331と空
のプローブストッカ335とがト昇される。この状態に
おいて、計測主軸23に装着されている計測プローブ2
2nが空のプローブストッカ335に保持された後、計
Δ14主軸23の三次元方向への移動によりプローブス
ト−y力33+の計測プローブ221が計測主軸23へ
装着される。この後、上昇したプローブストッカ331
 。
335が元の位置まで下降され、一連のプローブ交換が
終了する。
前記複数の計測プローブ221〜224,22nのうち
、真円度計測プローブ222は、第2図に示す如く、プ
ローブ本体41と、このプローブ本体41に移動機構4
2を介してプローブ本体41の軸線を通りかつその軸線
に対して直交する方向へ移動自在に取付けられた電気マ
イクロ等のアナログ変位検出器43とを含む。
前記移動機構42は、前記プローブ本体41の先端面に
箱体81が固定され、この箱体81内にウオームホイー
ル84が固定されているとともに、中間部分に前記箱体
81に図示しないガイドを介して送りねじ軸83と同方
向へ移動可能に設けられた可動ブロック85が螺合され
ている。可動ブロック85には、略コ字型のブラケット
86を介して前記アナログ変位検出器43が取付けられ
ている。これにより、送りねじ軸83が回動されると、
可動ブロック85がその送りねじ軸83の軸方向へ移動
するので、プローブ本体41(7)中心からアナログ変
位検出器43のスタイラス43A先端、つまり検出端ま
での距離が変化される。
また、前記ウオームホイール84には、そのボス部分に
前記箱体81内に一定の回動抵抗をもって回動可能に設
けられた摩擦車87が摺接されているとともに、tM車
部分にウオームギヤ88が噛合されている。ウオームギ
ヤ88の軸89は、第3図に示す如く、両端がベアリン
グ90を介して前記箱体41内に回転自在に支持され、
かつ一端また。前記プローブ本体41は、)バJ記計7
111主軸23の先端にその中心軸と同軸上に嵌合され
るテーパシャンク51を有する第1の筒部52と、この
第1の筒部52に連結された第2の筒部53と、この7
52の筒部53の開口端に装着された端板54とを含む
。前記第1の筒部52には、その基端に前記テーパシャ
ンク51が前記計測主軸23に装着された際その計測主
軸23内のチャックに係1ヒされる係止ピン56が設け
られているとともに、外周面に回転トランスの二次側5
7が設けられている。
ここで、他の計測プローブ22+  、223.224
.2211についても、真円度計測プローブ222と同
様に回転トランスの二次側が設けられている。そして、
これらが計測主軸23に装着された状態において、回転
トランスの二次側57と対応する計測主軸23の内周面
には回転トランスの一次側が設けられ、この回転トラン
スの一次側および二次側を通じて、後述するNC装置6
2と各軸用の真円度マスク101と大川の真円度マスク
102とがそれぞれ設けられているとともに、下部に真
円度計測プローブ222の半径確認用の較正ゲージ10
3と真円度計測プローブ222の半径調整装置104と
がそれぞれ設けられている。
前記軸用の真円度マスタ101は、径の異なる円盤が径
の大きいものから順に積み重ねられた形状に形成されて
いる。また、前記大川の真円度マスタ102は、中心軸
方向へ向って径が段階的に小さくなる穴が順次形成され
ている。更に、前記較正ゲージ103は、上下面間の幅
寸法Bが一定寸法に正確に仕上げられたブロックゲージ
によって構成されている。
前記半径調整装置104は、第5図に示す如く、較正ス
タンド32の計測主軸23と対向する面側に筒111の
基端が固定されている。筒111には、その内部中心方
向に沿って2つのベアリング112を介して回転軸11
3が回転自在に支持されているとともに、先端にL字型
のプラケッ突出された先端側に前記真円度計測プローブ
222のカップリング91と係合する回転伝達手段とし
てのカップリング117が軸方向へ変位可能に設けられ
ている。カップリング117は、スプリング118によ
り第5図中左方へ付勢され、常時は回転軸113の先端
のストッパ119に当接されている。また、前記ブラケ
ット114には、その垂直部分に半径調整量の上下限を
検出する2つの近接スイッチ120,121を有する検
出器122が取(1けられているとともに、水平部分に
両カップリング91.117の保合状態を検出する状態
検出器としての第1および第2の近接スイッチ123.
124が設けられている。
第1.第2の近接スイッチ123,124は、7第6図
に示す如く、カップリング91,117の異なる状態を
それぞれ検知することができる。即ち、第6図(A)に
示す如く、カップリング91.117が正しく係合した
状%Jでは、第1の近接スイッチ123がオン、第2の
近接スイッチlに抗して変位するので、第1.第2の近
接スイッチ123.124が共にオンとなる。更に、第
6図(C)に示す如く、カップリング117に対してカ
ップリング91が接していない状態では、第1、第2の
近接スイッチ123,1.24は共にオフとなる。従っ
て、第1の近接スイッチ123がオンで、かつ第2の近
接スイッチ124がオフであれば、カップリング91,
117が正しく係合−した状態と判定することができる
。この判定は。
第1.第2の近接スイッチ123,124からの信号を
入力とするNC装置62において行なわれる。
NC装置62は、第7図に示す如く、前記第1、第2の
近接スイッチ123,124が共にオンしたときゲート
回路64を通じて前記半径調整9i104のパルスモー
タ116を駆動するパルスモータドライブ回路65へ微
速回転指令を与える一方、前記第1の近接スイッチ12
3がオンで、かつ第2の近接スイッチ124がオフのと
きゲート回路63を通じて前記パルスモータドライつ第
2の近接スイッチ124がオフのとき開放されるように
なっている。ゲート回路64は、第1、第2の近接スイ
ッチ123,124が共にオンのとき開放されるように
なっている。
また、NC装置62には、前記真円度計測プローブ22
2からのタッチ信号によって開放されるゲート回路66
を通じて、サドル3のX軸方向の位置、コラム13のX
軸方向の位置および主軸頭21のY軸方向の位置を検出
するフィードバックスケール67からの座標データが与
えられているとともに、計測プローブからの検出信号が
与えられている。これによってNC装置62内へ取込ま
れた各種計測データは、記憶装置68内へ記憶される。
記憶装置68には、計測機本体を制御する各種データを
記憶するエリア等のほか、2つの座標データ記憶エリア
711.712.真円度計測プローブ222の現在の半
径rを記憶している半径記憶エリア72、較正ゲージ1
03の上下面間の幅−j法Bを記憶しているノ^憎値記
憶エリア7の計11+11プローブ22+〜224.2
2nが選択的に計測主軸23に取付けられ、ワークの寸
法や形状等が自動的に計測されていく過程において、ワ
ークの真円度計測の工程に進むと、NC装置62により
、第8図のフローチャートに示す処理が行なわれる。
即ち、まず、半径調整量の算出が行なわれる。
これには、記憶装置68の半径記憶エリア72に記憶さ
れた真円度計測プローブ222の現在の≠径rと被測定
物の軸径や穴径等によって指令された指令半径Rとの差
(R−r)が求められる。続いて、計測主軸23に指定
された真円度針alllプローブ222が取付けられた
後、半径調整装置104の半径調整位置、つまり真円度
計測プローブ222のカップリング91が半径調整装置
104のカップリングl 1.7°と係合する位置へ移
動され、ここでカップリング91,117との係合が正
常であるか否かが判断される。
この判断に当っては、第1の近接スイッチ12ルスモー
ク116が微速回転される。パルスモータ116が微速
回転すると、真円度計測プローブ222の送りねじ83
のウオームホイール84が摩擦車87によって回動抵抗
が与えられているので、カップリング91に対してカッ
プリング117が回転し、両カップリング91,117
が正しく係合される。
カップリング91,117の係合が正常であると、パル
スモータ116は微速回転が停止された後、所定量つま
り前記半径調整量の算出で求められた差に相当する歇だ
け回転される。これにより、パルスモータ116の回転
はカンプリング91.117を介して!b89へ伝達さ
れる。すると、軸89のウォームキャ88およびウオー
ムホイール84を介して送りねじ軸83が回転するので
、可動ブロック85の移動に伴ってアナログ変位検出器
43が計測主軸23の中心軸線に対して直交する方向へ
移動される。つまり、計測主軸23の中心軸線からアナ
ログ変位検出器43の検出端までの距#(+径)が調整
される。
同席計測プローブ222が較正ゲージ103の」二面に
当接すると、そこからタッチ信号がゲート回路66へ与
えられるので、ゲート回路66を通じてフィードバック
スケール67の座標データA1がNC装置62へ取込ま
れ、更に記憶装置68の座標データ記憶エリア71+へ
記憶される。続いて、計測主軸23が180度回転した
後、主軸頭21がY軸方向へ上昇される。すると、真円
度計測プローブ222が較正ゲージ103の下面に当接
され、そこからタッチ信号がゲート回路66へ与えられ
るので、ゲート回路66を通じてフィードバックスケー
ル67の座標データA2がNC装置62へ取込まれ、更
に記憶装置68の座標データ記憶エリア712へ記憶さ
れる。
ここで、座標データ記憶エリア71+  、712の座
標データAI、A2と基準値記憶エリア74の較正ゲー
ジ幅Bとから半径が計算される。つまり、(IAI −
A21+B)/2により半径riが求められる。求めら
れた半径riは、記憶装置−シて、真円度計測ルーチン
の処理が行なわれや・ 真円度計測ルーチンでは、真円度計測プローブ222が
ワークの軸または穴中心へ位置された後、計測主軸23
の回転により行なわれる。この計測による真円度測定デ
ータはNC装置62内へ取込まれた後、通常と同様に処
理される。。
従って、本実施例によれば、被測定物の軸や穴の径が異
なるものであっても、予め複数の真円度計測プローブを
用意しておかなくてもよいので。
経済的であり、またその都度プローブの交換を行なわな
くてもよいので、真円度計測を効率的にか行うことがで
きる。
また、真円度計測プローブ222には、カップリング9
1を有する移動機構42を設け、計測機本体30の一部
にパルスモータ116を有する半径調整装置104を設
けたので、有効計測半径が異なる複数の真円度計・測プ
ローブを用意した場合でも、半径調整装置104を共用
できる利点がある。つまり、このことは、各真円度計測
ブローブグ91と半径調整装置104のカップリング1
17との係合状態を検出する近接スイッチ123゜12
4を設け、この近接スイッチ123,124によってカ
ップリング91,117の係合状態が正常であることが
検出されたことを条件として。
半径調整装置104のパルスモータ116を所定機駆動
させるようにしたので、カップリング91.117の係
合状態が異常なまま駆動されることがないので4半径調
整を正確かつ確実に行なうことができる。
しかも、カップリング91.117の係合状態が正常で
ない場合では、カップリング117を微速回転させるよ
うにしたので、カップリングの係合状態を容易に正常な
状態へ修正できる。
更に、較正ゲージ103を設け、この較正ゲージ103
によって確認された真円度計測プローブの半径が許容値
内であることを条件として、真円度計測を行なうように
したので、真円度計41gを高粘度に行なうことができ
る。
なお、実施に当って、計Jilt主軸23の移動軸につ
いては、上記実施例で述べた三次元に限られるものでな
く、例えば被JIIJ定物を三次元の一軸方向へ移動自
在にすれば、他の二軸方向へ移動できればよい。
また、上記実施例では、カップリング91,117の係
合状態を2つの近接スイッチ123,124により検知
するようにしたが、例えば一方のカップリングの谷の部
分に圧力スイッチを設け、この圧力スイッチが他方のカ
ップリングの山によってオンされるようにすれば、より
簡単である。
[発明の効果] 以上の通り、本発明によれば、1つの真円度計測プロー
ブによって異なる径の真円度を経済的かつ効率的に計測
できる真円度計測プローブを有する計測装置を提供する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の計測装置の一実施例を示すもので、第1図
は全体の外観を示す斜視図、第2図は真円度計測プロー
ブを示す断面図、第3図は第2第6図は近接スイッチの
作用を示す説明図、第7図は回路構成を示すブロック′
図、第8図はフローチャートである。 22、・・・真円度計測プローブ、23・・・計測主軸
、30・・・計測機本体、41・・・プローブ本体、4
3・・・アナログ変位検出器、62・・・制御装置とし
てのNC装置、83・・・送りねじ軸、91・・・回転
伝達手段としてのカップリング、103・・・較正ゲー
ジ、116・・・回転駆動装置としてのパルスモータ、
117・・・回転伝達手段としてのカップリンク、12
3,124・・・状態検出器としての第1゜第2の近接
スイッチ。 特許出願人 工業技術院長 等々力 達第1図 第4図 第5図 第6図 +A) (B) 123−[1日−″124 (C1 第7図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)回転可能な計測主軸が予め設定された手順に従っ
    て多次元力向へ自動的に移動される計測機本体と、 この計測機本体の計測主軸に着脱自在に装着されるプロ
    ーブ本体、このプローブ本体に前記計測主軸の軸線に対
    して直交する方向へ移動可能に設けられかつ送りねじ軸
    の回動により移動されるアナログ変位検出器および送り
    ねじ軸に回転を伝達する回転伝達手段を含む真円度計測
    プローブと、 この真円度計測プローブのアナログ変位検出器の検出端
    から前記計測主軸の中心軸までの半径を記憶する記憶手
    段と、 前記計測機本体の一部に設けられ前記真円度計測プロー
    ブの回転伝達手段と係合する他方の回転伝達手段を有す
    る回転駆動装置と、 被測定物の計測径に応じて与えられる指令半径と前記記
    憶手段に記憶された真円度計測プローブの現在の半径と
    の差を求め、真円度計測プローブの回転伝達手段が前記
    回転駆動装置の回転伝達手段に係合した状態において、
    前記差に相当する量だけ前記回転駆動装置を駆動させる
    制御装置と、 を具備したことを特徴とする真円度計測プローブを有す
    る計測装置。
  2. (2)特許請求の範囲第1項において、前記真円度計測
    プローブの回転伝達手段と前記回転駆動装置の回転伝達
    手段との係合状態を検出する状態検出器を設け、この状
    態検出器からの信号により係合状態の正常が検出された
    ことを条件として、前記回転駆動装置を駆動させるよう
    に前記制御装置を構成したことを特徴とする真円度計測
    プローブを有する計測装置。
  3. (3)特許請求の範囲第2項において、前記状態検出器
    からの信号により係合状態の異常が検出された際、前記
    回転駆動装置を微速回転させるように前記制御装置を構
    成したことを特徴とする真円度計測プローブを有する計
    測装置。
  4. (4)特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに
    おいて、前記真円度計測プローブの半径調整量を確認す
    るための較正ゲージを設け、この較正ゲージによって確
    認された真円度計測プローブの半径が予め設定された許
    容値内であることを条件として、真円度計測を行なうよ
    うに前記制御装置を構成したことを特徴とする真円度計
    測プローブを有する計測装置。
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