JPS61218613A - クリ−ンル−ム用防蝕保護材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はクリーンルーム用防蝕保護材に関する。

さらに詳しくは、防汚性、透明性、耐蝕性にすぐれた保
護層が設けられてなるクリーンルーム用防蝕保護材に関
する。

〔従来の技術〕

従来より、半導体産業などの製造工場においてゴミ、ホ
コリの害を少なくするためにクリーンルームが使用され
ている。

ところで半導体の製造工程においては、フッ化水素酸、
酢酸、硝酸、リン酸、ハロゲン化ガスなどのエツチング
剤、ハロゲン化シラン、ハロゲン化ボロン、ハロゲン化
リン化合物、水素化シラン、水素化ボロン、水素化リン
、水素化ヒ素などの絶縁皮膜形成剤およびドーパント剤
などのガス類が多く用いられる。それらのガス類あるい
はそれらが分解して発生する腐蝕性ガスは、クリーンル
ーム内の内装材を腐蝕し、ゴミを発生させるので、腐蝕
を防止するためクリーンルーム内にはフェノール樹脂系
などの防蝕保護材が多く用いられている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

フェノール樹脂系などの防蝕保護材は表面が汚染されや
すい性質があり、そのため２〜３力月毎にその補修を要
している。

一方、クリーンルームは密室であるため、内部と外部の
間が見通せる必要があり、そこに用いられる防蝕保護材
はすぐれた透明性が要求される。

しかし従来使用されているポリメタクリレート材、ポリ
カーボネート材は耐食性に問題がある・本発明は耐蝕性
、防汚性および透明性にすぐれたクリーンルーム用防蝕
保護材を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、官能基を有するフッ化ビニリデン共重合体お
よび／または官能基を有するフッ化ビニリデン共重合体
の架橋物を主成分とする保護層が設けられてなるクリー
ンルーム用防蝕保護材に関する。

〔作用および実施例〕

本発明における保護層は、通常官能基を存するフッ化ビ
ニリデン共重合体（以下、含フツ素共重合体という）を
主成分とする重合体組成物および架橋剤からなるフッ素
樹脂塗料を塗布し、常温で架橋硬化させることによって
えられる、膜厚５〜１００μ謡程度のものである。

前記含フツ素共重合体は、従来のフッ素樹脂にない特性
、すなわち常温で硬化して硬い膜を形成し、しかも形成
された塗膜はフッ素系重合体のもつ耐蝕性、透明性、防
汚性などの特性をそのまま保持している。また、木やプ
ラスチックスあるいは金属への接着性も良好なものであ
る。かかる含フツ素共重合体の各成分、組成などについ
ては、特願昭５８−１７５１２３号明細書に詳細に説明
されている。

本発明において、含フツ素共重合体は、通常フッ化ビニ
リデン５０〜９９モル％好ましくは６５〜８５モル％と
官能基を存するビニル単量体１〜５０モル％好ましくは
１〜１０モル％、またはフッ化ビニリデン５０〜９９モ
ル％好ましくは６５〜８５モル％、官能基を有するビニ
ル単量体１〜５０モル％好ましくは１〜１０モル％およ
びフッ化ビニリデン以外のフルオロオレフィン３０モル
％未満好ましくは１０〜２５モル％からなるものである
。

上記フッ化ビニリデンを主成分とし官能基を有する含フ
ツ素共重合体のゲルパーミニ−シランクロマトグラフィ
ーＣＧＰＣ，ポリスチレン基準）で測定した分子量は、
通常１万〜５０万の範囲にある。

上記官能基を有するビニル単量体は、通常式：％式％） （式中、Ｘはヒドロキシル基、カルボキシル基またはグ
リシジル基、ｋはＯまたは１、ｍは０〜ｌＯの整数、ｎ
は０〜４〔但し、Ｘがヒドロキシル基の場合１〜４〕の
整数を示す、）で表わされる化合物、式： ％式％） （式中、Ｘおよびｎは前記とおなし。）で表わされる化
合物、式： ％式％） （式中、Ｙは水素またはメチル基、ｐは１〜４の整数、
Ｘは前記とおなし。） で表わされる化合物または式： ％式％ （式中、Ｙは前記とおなし。） で表わされる化合物である。

上記フッ化ビニリデン以外のフルオロオレフィンは通常
テトラフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン
、モノフルオロエチレン、トリフルオロエチレン、□ヘ
キサルオロブロペン、低級フルオロアルキルビニルエー
テル等で、好ましくはテトラフルオロエチレンまたはク
ロロトリフルオロエチレンである。

本発明に用いる含フツ素共重合体を製造する方法として
は、たとえば各成分を溶媒の存在下、重合触媒を用い一
２０〜１５０℃、好ましくは５〜９５℃の温度および０
〜３０に＋ｒ／ｃｓＪＧ、好ましくは１０ｋｇ／ｃｄＧ
以下の圧力条件での水性媒体中における乳化重合、ｇ：
！Ｊ重合または溶液重合などの方法が採用されうる。

また、本発明の含フツ素共重合体は、アクリル樹脂と相
溶性がよ（、アクリル樹脂と混合して用いることもでき
る。

上記アクリル樹脂は、炭素数１〜８のアルキル基を含有
するアクリレートまたはメタクリレートの単独または共
重合体を意味する０例えば、メチルメタクリレート、エ
チルメタクリレート、ブチルメタクリレート、シクＩ：
ｔヘキシルアクリレート等の単独あるいは共重合体、上
記アクリレートまたはメタクリレートとヒドロキシエチ
ルメタクリレート、メタクリル酸、グリシジルメタクリ
レート、スチレン、アクリロニトリル等の共重合体等、
市販のアクリル樹脂としてはヒタロイド３００４、ヒタ
ロイド３０１８、ヒタロイド３０４６Ｃ（いずれも日立
化成工業製）、アクリゾインクＡ３１Ｏ−４５、アクリ
ディックＡ３１４　、アクリディック４７−５４０　（
いずれも大日本インキ化学工業製）等が挙げられるがこ
れらに限定されない。

アクリル樹脂は、メチルメタクリレートを５０重量％以
上含有する分子量（ＧＰＣ）５千〜３０万のものが含フ
ツ素共重合体との相溶性の点で好ましい。

上記含フツ素共重合体とアクリル樹脂の配合割合は、通
常含フツ素共重合体１００重量部に対しアクリル樹脂１
０〜１９００重量部、好ましくは２５〜４００重量部で
ある。この範囲で配合すると、塗料の耐候性、透光性、
顔料分散性等がよい。

本発明における保護層は、通常前記のごとく含フツ素共
重合体に架ＩＩＭを配合し、適当な溶媒に均一に混合、
溶解させてえられる塗料組成物を木製、プラスチックス
製あるいは金属製などのクリーンルーム用の内装材や内
装品に塗布し、常温で架橋、硬化させて形成される。硬
化は常温で速やかに進行し、通常１〜１０日間で硬い塗
膜かえられるが、一般外装基材に悪影響を与えない程度
まで一度を上げ乾燥すると、硬化に要する時・間が短縮
できる。

架橋剤は、通常含フツ素共重合体に含有される官能基（
ヒドロキシル基、カルボキシル基またはグリシジル基）
と反応し、含フツ素重合体を架橋することができる基を
二以上有する化合物である。

架橋剤は、官能基がヒドロキシル基の場合通常イソシア
ネート類、酸無水物類等である。官能基がカルボキシル
基の場合通常インシアネート類、アミン類、アミノ樹脂
類、グリシジル基を含有する化合物等である。官能基が
グリシジル基の場合通常アミン類である。イソシアネー
ト類の例としてはへキサメチレンジイソシアネート、ト
リレンジイソシアネート、水素添加トリレンジイソシア
ネート等やこれらのブロックイソシアネート等が挙げら
れるがこれらに限定されない、アミン類の例としてはジ
エチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、キシレ
ンジアミン、メタフェニレンジアミン、ベンジルジメチ
ルアミン、ビスアミノプロピルテトラオキサスピロウン
デカン等が挙げられるがこれらに限定されない、酸無水
物類め例としては無水フタール酸、無水とロメリット酸
、無水メリット酸等が挙げられるがこれらに限定されな
い。アミノ樹脂類の例としてはアルキルエーテル化メチ
ロールメラミン、アルキルエーテル化メチロール尿素、
アルキルエーテル化ベンゾイルグアナミン等が挙げられ
るがこれらに限定されない。

グリシジル基を含有する化合物の例としては式：％式％ （式中、Ｚはグリシジル基、Ｒ１は炭素数２〜１０のア
ルキレン基または炭素数６〜１０の二価の芳香族基を示
す。）で表わされる脂肪族ジエポキシドまたは芳香族ジ
エポキシド、式： ％式％ （式中、Ｒｔは三価の芳香族基、Ｚは前記と同じ、）で
表わされる芳香族トリエポキシド等が挙げられるがこれ
らに限定されない。

架橋剤の配合量は、含フツ素共重合体中およびアクリル
樹脂中の全官能基に対して０．５〜２当量となるように
調整するのが好ましい。

溶媒としては従来の含フツ素共重合体とは異なり、通常
の溶媒が広く使用できる。具体例としては、たとえば酢
酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸セロソル
ブなどのエステル類；アセトン、メチルエチルケトン、
メチルイソブチルケトンなどのケトン類；テトラヒドロ
フランなどの環状エーテル［、Ｎ−ジメチルホルムアミ
ド、Ｎ−ジメチルアセトアミドなどのアミド類；メチル
アルコール、エチルアルコール、ブチルアルコールなど
のアルコール類；１ルエン、キシレンなどの芳香族炭化
水素類などの１種または２種以上があげられる。

含フツ素共重合体の濃度としては、塗装方法および塗料
製造方法などにより異なるが、通常５〜７０重量％、好
ましくは２０〜６０重量％が採用される。

前記含フツ素共重合体塗料組成物に、必要に応じて他の
重合体、硬化促進剤、充填剤、粘度調整剤、レベリング
剤、ゲル化防止剤、紫外線吸収剤、耐光安定剤、皮パリ
防止剤、分散剤、消泡剤などを添加してもよい０着色の
必要があるばあいは、一般塗料に使用されている顔料、
染料などを添加するとよい。また物性を損なわない範囲
で帯電防止剤などを添加してもよい。

本発明のクリーンルーム用防蝕保護材は、通常水、プラ
スチックス、ＦＲＰ、金属などからなる内装材などに、
官能基を有するフッ化ビニリデン共重合体を主成分とす
る重合体組成物および架橋、剤を含むフッ素樹脂塗料を
塗布し、常温〜加温下で架橋硬化させることによってえ
られる。

塗料に際しては、直接内装材などに塗布してもよい。ま
た金属製内装材などのばあいには、要すれば他の層、た
とえばウォッシュブライマー、ジンクリッチペイントな
どの通常用いられる下塗り塗料を１層または２層以上設
け、その上に本発明に用いる保護層を形成してもよい。

内装材などへの塗布は、スプレー法、ハケ塗り法、ディ
ーピング法、ロールコート法、ナイフコート法など通常
の方法により行われうる。

そのようにしてクリーンルーム内の内装材などに直接塗
布してもよ（、またあらかじめ塗布しておいたボードや
シートなどをクリーンルーム内に取りつけるようにして
もよい。さらに補修のばあいは補修箇所を重ね塗りして
もよい。

本発明のクリーンルーム用防蝕保護材はクリーンルーム
内の壁材や窓ガラス材などの内装材、クリーンルーム内
で用いられるガラス部品や各種装ｗ頻などの内装品の保
護材として適用される。

つぎに実施例をあげて本発明を説明するが、本発明はか
かる実施例のみに限定されるものではない。

実施例Ｉ ＶｄＦ７０モル％、ＣＴＦ２２０モル％およびＭ５ＦＰ
ＩＯモル％よりなる含フツ素共重合体５０部（重量部、
以下同様）をメチルイソブチルケトン５０部に加えて均
一に混合し、さらに架橋剤としてコロネートＥＨ（日本
ポリウレタン工業■製のポリイソシアネート系架橋剤）
を含フツ素共重合体の０６価１に対してコロネートＥＨ
のＮＣ０価１．１相当量および硬化促進剤としてジブチ
ルチンジラウレート０．０５　ｇ加えて均一に混合し、
塗料組成物を調製した。

一方、長さｌｏｏｍｎ＋、幅５０ｍｍ、厚さ２ｆｉＩＩ
＋のガラス板の表面をフロン系溶剤（ダイキン工業■製
のグイフロン１１３）で脱脂洗浄したガラス基板を作製
した。

このガラス基板に前記塗料組成物をハケにて塗布して膜
厚２７μｍの塗膜を形成し、２５℃で７日間硬化させて
保護層を形成した。

実施例２ 実施例１に示した塗料組成物を日本テストパネル工業■
製の化成処理したアルミニウム板（ＢＴ７１２）に塗布
したほかは実施例１と同様にして保護層を形成した。

実施例３ 実施例１に示した塗料組成物をポリメタクリレート基板
（三菱レイヨン■製アクリライトし）に塗布したほかは
実施例１と同様にして保護層を形成した。

実施例４ 実施例１に示した塗料組成物をポリカーボネート基板（
奇人化成■製パンライト）に塗布したほかは実施例１と
同様にして保ｉｌｌを形成した。

実施例５〜２２ 第１表に示した組成の重合体のメチルイソブチルケトン
５０重量％溶液に実施例１と同様に硬化剤、硬化促進剤
を混合し、実施例１と同様な方法にしてガラス基板に塗
布し保護層を形成した。

比較例１〜３ 実施例１、実施例３および実施例４で用いたガラス基板
、ポリメタクリレート基板およびポリカーボネート基板
をそれぞれ比較例１〜３の試料とした。

比較例４ 実施例１と同様な方法にて基材ガラス板番こ関西ペイン
ト■製ニューアクノンを３７μｍの膜厚に塗布し、２５
℃で７日間硬化させ保ｒ１層を形成した。

なお、単量体を示す各略号はつぎの化合物を示す。

ＶｄＦ：フッ化ビニリデン ＣＴＦＥ：クロロトリフルオルエチレンＴＦＥ　：テト
ラフルオロエチレン Ｍ５　ＦＰ　：　ＣＦｔ−ＣＦＣＦｔＣＨｚＯＨ３ＦＨ
Ａ：ＣＦｔ−ＣＦＣＨｘＣＨｔＯＨＨＢＶＥニヒドロキ
シブチルビニルエーテルＧＶＥニゲリシジルビニルエー
テル ７　Ｆ　ＨＡ　：　ＣＦ　ｔ　”　ＣＦ　ＣＦ　ｔ　Ｃ
Ｆ　ｚ　ＣＨ＊　ＣＨｔ　ＯＨＭＭＡ：メチルメタクリ
レート ＥＭＡ　：エチルメタクリレート ＨＥＨＡ　：ヒドロキシエチルメタクリレートＨＭＡ　
ニブチルメタクリレート ＭＡ：メタクリル酸 ＧＭＡ　ニゲリシジルメタクリレート ５　Ｆ　Ｂ　Ａ　　：　ＣＦｚ−ＣＦ　ＣＦｚＣＯＯＨ
実施例１〜２２および比較例１〜４でそれぞれえられた
試料につき、つぎの試験を行なった。

〔接触角〕

試料に水およびｎ−セタンをそれぞれ１滴滴下し、エル
マ光学■製のゴニオメータ−を使用して接触角を測定、
結果を第１表に示す。接触角が大きければ防汚性にすぐ
れる目安となる。

〔透明性〕

試料の光線透過率を■東洋精機製作新製のダイレクトリ
ーディングフェイズメーター（標準光源Ｃ）で測定した
。結果を第１表に示す。

〔耐蝕性〕

試料面をフッ化水素酸ガス２０％、酢酸ガス２０％およ
び塩素ガス２０％をそれぞれ含む湿潤空気中に１０日間
さらして異常の有無を判定。結果を第１表に示す。

〔発明の効果〕

以上のごとく、官能基を存するフッ化ビニリデン共重合
体を主成分とする含フツ素共重合体組成物は常温で硬化
させることができ、しかも透明性、防汚性、耐蝕性にす
ぐれた塗膜をクリーンルームの内装材や内装品の種類を
問わず形成することができるので、その塗膜が保護層と
して設けられている本発明のクリーンルーム用防蝕保護
材はきわめてすぐれた、透明性、防汚性、耐蝕性を有し
、耐久性にもすぐれている。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、官能基を有するフッ化ビニリデン共重合体および／
   または官能基を有するフッ化ビニリデン共重合体の架橋
   物を主成分とする保護層が設けられてなるクリーンルー
   ム用防蝕保護材。