JPS61218608A - 反応性重合体 - Google Patents
反応性重合体Info
- Publication number
- JPS61218608A JPS61218608A JP5955585A JP5955585A JPS61218608A JP S61218608 A JPS61218608 A JP S61218608A JP 5955585 A JP5955585 A JP 5955585A JP 5955585 A JP5955585 A JP 5955585A JP S61218608 A JPS61218608 A JP S61218608A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polymer
- monomer units
- divinylbenzene
- chloroform
- product
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は紫外線、Ｘ線、γ線などの照射によって架橋反
応し不溶化する反応性の重合体に関する。
応し不溶化する反応性の重合体に関する。
レジストなどの用途に反応性の重合体が用いられており
、例えば、アクリル酸素の重合体、メタアクリル酸素の
重合体、フェノール系の重合体、スチレン系の重合体な
どが知られている。これらの重合体は、必要に応じ適当
な増感剤を組み合せることで、広く半導体ディバイス製
造などの用途に用いられている。
、例えば、アクリル酸素の重合体、メタアクリル酸素の
重合体、フェノール系の重合体、スチレン系の重合体な
どが知られている。これらの重合体は、必要に応じ適当
な増感剤を組み合せることで、広く半導体ディバイス製
造などの用途に用いられている。
半導体ディバイスの高集積化などにより反応性重合体に
対して高感度化、高解像力化などの改良が望まれている
。
対して高感度化、高解像力化などの改良が望まれている
。
本発明者は、上記課題特に高感度化について鋭意検討し
、特定の重合体が極めて反応性が高いことを見い出し、
本発明を完成した。
、特定の重合体が極めて反応性が高いことを見い出し、
本発明を完成した。
すなわち１本発明は、ジビニルベンゼンと他の重合性芳
香族ビニル化合物との共重合体であって、ビニル基含有
単量体単位の全重合体中の単量体単位に対する比率と３
０℃トルエン溶液で測定した極限粘度数の積が０．００
５以上である反応性重合体である。
香族ビニル化合物との共重合体であって、ビニル基含有
単量体単位の全重合体中の単量体単位に対する比率と３
０℃トルエン溶液で測定した極限粘度数の積が０．００
５以上である反応性重合体である。
本発明の重合体中のジビニルベンゼン以外の重合性芳香
族ビニル化合物としては、具体的にはスチレン、α−メ
チルスチレンおよびそれらの置換体が好ましい化合物と
して挙げられる。それらの置換体としてはベンゼン環の
水素の１つ又ハソれ以上がアルキル基、アルコキシ基、
シアノ基あるいはハロゲン原子で置換したものが例示で
きる。
族ビニル化合物としては、具体的にはスチレン、α−メ
チルスチレンおよびそれらの置換体が好ましい化合物と
して挙げられる。それらの置換体としてはベンゼン環の
水素の１つ又ハソれ以上がアルキル基、アルコキシ基、
シアノ基あるいはハロゲン原子で置換したものが例示で
きる。
全重合体中の単量体単位に対するビニル基含有単量体単
位の割合としては、好ましくは０．０２以上、特に好ま
しくは０．０５以上である。また、重合体の３０℃トル
エン溶液で測定した極限粘度数としては、重合体の塗膜
性など使用上の取り扱いやすさから考えて、０．１０以
上であるのが好ましい。
位の割合としては、好ましくは０．０２以上、特に好ま
しくは０．０５以上である。また、重合体の３０℃トル
エン溶液で測定した極限粘度数としては、重合体の塗膜
性など使用上の取り扱いやすさから考えて、０．１０以
上であるのが好ましい。
本発明において重要なのは、上述のビニル基含有単量体
単位の全重合体中の単量体単位に対する比率と３０℃ト
ルエン溶液で測定した極限粘度数の積（以後、単に積の
値という。）が０．００５以上であることである。好ま
しい積の値としては０．０１以上である。０．００５よ
り小さいと適当な反応増感剤を用いてもほとんど反応せ
ず、特に、ネガタイプのレジストなどの用途に用いた時
、架橋反応が充分に進行せず好ましくない。
単位の全重合体中の単量体単位に対する比率と３０℃ト
ルエン溶液で測定した極限粘度数の積（以後、単に積の
値という。）が０．００５以上であることである。好ま
しい積の値としては０．０１以上である。０．００５よ
り小さいと適当な反応増感剤を用いてもほとんど反応せ
ず、特に、ネガタイプのレジストなどの用途に用いた時
、架橋反応が充分に進行せず好ましくない。
本発明の重合体の製造法としては、通常のスチレンまた
はその誘導体を重合するのに用いる重合法、例えばラジ
カル重合法、カチオン重合法、アニオン重合法が採用で
きる。好ましくは、比較的低温でのラジカル重合が可能
なアゾビスイソブチロニトリルあるいは過酸化物と電子
供与性化合物を組み合せたレドックス系の開始剤を用い
るラジカル重合法およびブチルリチウム、ナトリウムナ
フタレンなどのアニオン重合開始剤を用いるアニオン重
合法を採用することである。上記重合反応を比較的単量
体濃度の薄い条件下で行うことで、実質的に溶剤に不溶
な重合体を生成することなく本発明の重合体を得ること
ができる。
はその誘導体を重合するのに用いる重合法、例えばラジ
カル重合法、カチオン重合法、アニオン重合法が採用で
きる。好ましくは、比較的低温でのラジカル重合が可能
なアゾビスイソブチロニトリルあるいは過酸化物と電子
供与性化合物を組み合せたレドックス系の開始剤を用い
るラジカル重合法およびブチルリチウム、ナトリウムナ
フタレンなどのアニオン重合開始剤を用いるアニオン重
合法を採用することである。上記重合反応を比較的単量
体濃度の薄い条件下で行うことで、実質的に溶剤に不溶
な重合体を生成することなく本発明の重合体を得ること
ができる。
本発明の重合体は、紫外線、Ｘ線、γ線などを照射する
ことで高感度で架橋反応を起し、レジスト用の樹脂とし
て工業的に極めて価値のあるものである。
ことで高感度で架橋反応を起し、レジスト用の樹脂とし
て工業的に極めて価値のあるものである。
以下、実施例を挙げ本発明をさらに・説明する。
実施例１
５００ｄの丸底フラスコに、トルエン６００ゴ、スチレ
ン７２ｍ１！、ジビニルベンゼン（市販（１） ｍ 一
体、ｐ一体の混合物で、ジビニルベンゼン５５チとエチ
ルビニルベンゼン４５％よすする。ノ１６Ｍ１アゾビス
イソブチロニトリル１．５ｇｋ入れ、６０℃で３時間重
合し、室温でろ過した後、ろ液をメタノール中に投じ、
重合体を析出分離した。
ン７２ｍ１！、ジビニルベンゼン（市販（１） ｍ 一
体、ｐ一体の混合物で、ジビニルベンゼン５５チとエチ
ルビニルベンゼン４５％よすする。ノ１６Ｍ１アゾビス
イソブチロニトリル１．５ｇｋ入れ、６０℃で３時間重
合し、室温でろ過した後、ろ液をメタノール中に投じ、
重合体を析出分離した。
乾燥秤量したところ１９６Ｉの重合体が得られた。
ビニル基含有単量体単位が全重合体中の単量体単位の０
．０９であり（プロトンＮＭＲによる。）、３０℃トル
エン溶液で測定した極限粘度数は０．９２であった。従
って積の値は０．０８３である。
．０９であり（プロトンＮＭＲによる。）、３０℃トル
エン溶液で測定した極限粘度数は０．９２であった。従
って積の値は０．０８３である。
この重合体のクロロホルム溶液をガラス板上に塗布し、
クロロホルムを蒸発除去することで厚み約１０μｍの重
合体膜を作った。１ ｔｎｍ間隔のスリット状のアルミ
板を置き、３００Ｗ高圧水銀灯を２゜ｃｍの距離から照
射した。１時間後クロロホルムで処理したところ、光照
射した部分はクロロホルムに不溶であった。
クロロホルムを蒸発除去することで厚み約１０μｍの重
合体膜を作った。１ ｔｎｍ間隔のスリット状のアルミ
板を置き、３００Ｗ高圧水銀灯を２゜ｃｍの距離から照
射した。１時間後クロロホルムで処理したところ、光照
射した部分はクロロホルムに不溶であった。
実施例２〜４．比較例１〜２
重合反応の際にジビニルベンゼン及びアゾビスイソブチ
ロニトリルの仕込み量を変更することで表−１に示すビ
ニル基含有単量体単位の比及び極限粘度数の異る重合体
を得、同様にガラス板上に塗膜を形成した。
ロニトリルの仕込み量を変更することで表−１に示すビ
ニル基含有単量体単位の比及び極限粘度数の異る重合体
を得、同様にガラス板上に塗膜を形成した。
これらの塗膜の上に実施例１と同様に実施例１で用いた
のと同一のアルミ板を置き、水銀灯で照射した。２時間
後に、クロロホルムで処理して評価を行った。結果を表
−１に示す。
のと同一のアルミ板を置き、水銀灯で照射した。２時間
後に、クロロホルムで処理して評価を行った。結果を表
−１に示す。
表−１
実施例５
２００１１の丸底フラスコに、α−メチルスチレン１０
０７ｄ、ジビニルベンゼン（実施例１と同シもの）８ｍ
ｌ、アゾビスイソブチロニトリルｏ、ｓ！ｊを入れ、６
０℃で６時間重合し、室温でろ過した後ろ液をメタノー
ル中に投じ、重合体を析出分離した。乾燥秤量したとこ
ろ５．８ｇの重合体が得られ、プロトンＮＭＲによれば
ビニル基単量体単位が全重合体中の単量体単位の０．１
６であり、３０℃トルエン溶液の極限粘度数は０．３８
であった。従って積の値は０．０６１である。
０７ｄ、ジビニルベンゼン（実施例１と同シもの）８ｍ
ｌ、アゾビスイソブチロニトリルｏ、ｓ！ｊを入れ、６
０℃で６時間重合し、室温でろ過した後ろ液をメタノー
ル中に投じ、重合体を析出分離した。乾燥秤量したとこ
ろ５．８ｇの重合体が得られ、プロトンＮＭＲによれば
ビニル基単量体単位が全重合体中の単量体単位の０．１
６であり、３０℃トルエン溶液の極限粘度数は０．３８
であった。従って積の値は０．０６１である。
この重合体を実施例１と同様にガラス板に塗布し、同様
の光照射を行ったところ、２時間の光照射で光照射部は
不溶化した（対クロロホルム〕。
の光照射を行ったところ、２時間の光照射で光照射部は
不溶化した（対クロロホルム〕。
又、増感剤としてアゾビスイソブチロニトリルを対重合
体２ｗｔ％添加し、同様の反応を行ったところ、２０分
の光照射で不溶化した（対クロロホルム）。
体２ｗｔ％添加し、同様の反応を行ったところ、２０分
の光照射で不溶化した（対クロロホルム）。
Claims (1)
- １、ジビニルベンゼンと他の重合性芳香族ビニル化合物
との共重合体であつて、ビニル基含有単量体単位の全重
合体中の単量体単位に対する比率と３０℃トルエン溶液
で測定した極限粘度数の積が０．００５以上である反応
性重合体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5955585A JPS61218608A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 反応性重合体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5955585A JPS61218608A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 反応性重合体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61218608A true JPS61218608A (ja) | 1986-09-29 |
Family
ID=13116612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5955585A Pending JPS61218608A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 反応性重合体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61218608A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0460225A1 (en) * | 1989-12-19 | 1991-12-11 | MITSUI TOATSU CHEMICALS, Inc. | Electrophotographic toner composition |
-
1985
- 1985-03-26 JP JP5955585A patent/JPS61218608A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0460225A1 (en) * | 1989-12-19 | 1991-12-11 | MITSUI TOATSU CHEMICALS, Inc. | Electrophotographic toner composition |
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