JPS61216440A - ペレツト治具自動供給機構 - Google Patents
ペレツト治具自動供給機構Info
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- JPS61216440A JPS61216440A JP5606485A JP5606485A JPS61216440A JP S61216440 A JPS61216440 A JP S61216440A JP 5606485 A JP5606485 A JP 5606485A JP 5606485 A JP5606485 A JP 5606485A JP S61216440 A JPS61216440 A JP S61216440A
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- jig
- loader
- pellet jig
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体製造工程等においてペレット治具にペ
レットを充てんするためのセットテーブルにペレット治
具を搭載又は却下するペレット治具自動供給機構く関し
、特にセットテーブルへの搭載又は却下な一つの運動系
で同時に行う、ことができるペレット治具自動供給機構
に関する。
レットを充てんするためのセットテーブルにペレット治
具を搭載又は却下するペレット治具自動供給機構く関し
、特にセットテーブルへの搭載又は却下な一つの運動系
で同時に行う、ことができるペレット治具自動供給機構
に関する。
従来の技術
従来のペレット治具自動供給機構は、第４図に示すよ５
に、ペレット治具を積層したローダ部１と、ペレットを
充てん後のペレット治具な受けて収納するアンローダ部
２とが横に並んで配置され、これに対してセットテーブ
ル３．が矢印Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄのように移動して、ペレ、
ットのチャージ位置４ヘペレツト治具を搬送したり、こ
のチャージ位置４で充てん後のペレット治 −具
をアンローダ部２へ搬送するようになってい ゛
た。
に、ペレット治具を積層したローダ部１と、ペレットを
充てん後のペレット治具な受けて収納するアンローダ部
２とが横に並んで配置され、これに対してセットテーブ
ル３．が矢印Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄのように移動して、ペレ、
ットのチャージ位置４ヘペレツト治具を搬送したり、こ
のチャージ位置４で充てん後のペレット治 −具
をアンローダ部２へ搬送するようになってい ゛
た。
ここで、セットテーブル３に空のベレット治 −具を
搭載するには、上記セットテーブル３を矢印Ａ方向に移
動させてローダ部１に隣接して位置させ（３ａ）、この
位置３ａで一枚のペレット治具を搭載し、その復液セッ
トテーブル３を矢印Ｂのように移動してチャージ位置４
へ搬送していた。また、セットテーブル３からペレット
充てん後のペレット治具をアンローダ部２へ収納するに
は、上記チャージ位置４からセットテーブル３を矢印Ｃ
のように移動させてアンローダ部２に隣接して位置させ
（３ｃ）、この位置３ｃで充てん後のペレット治具を上
記アンローダ部２へ移し換えていた。そして、その後セ
ットテーブル３を矢印りのように移動して再びローダ部
１忙隣接し、空のペレット治具を搭載しなければならな
かった。
搭載するには、上記セットテーブル３を矢印Ａ方向に移
動させてローダ部１に隣接して位置させ（３ａ）、この
位置３ａで一枚のペレット治具を搭載し、その復液セッ
トテーブル３を矢印Ｂのように移動してチャージ位置４
へ搬送していた。また、セットテーブル３からペレット
充てん後のペレット治具をアンローダ部２へ収納するに
は、上記チャージ位置４からセットテーブル３を矢印Ｃ
のように移動させてアンローダ部２に隣接して位置させ
（３ｃ）、この位置３ｃで充てん後のペレット治具を上
記アンローダ部２へ移し換えていた。そして、その後セ
ットテーブル３を矢印りのように移動して再びローダ部
１忙隣接し、空のペレット治具を搭載しなければならな
かった。
発明が解決しようとする間燻点
しかし、このようなペレット治具自動供給機構において
は、空のペレット治具なセットテーブル３に搭載する運
動系５と、光てん後のペレット治具をアンローダ部２へ
収納する運動系６との二つの運動系があるので、それぞ
れの運動系５又は６ごとにセットテーブル３とローダ部
１又はアンローダ部２との間でペレット治具の受は渡し
を別々に行わなければならず、移動の回数が多いと共に
各動作量のロス時間が積算されて、全体として動作時間
が多くかかるものであった。また、二つの独立した運動
系５，６があるため、それぞれの駆動部及び位置決めの
ための検出部等も多くなり、部品点数が多く構造が複雑
であると共に機構全体が大形化するものであった。そこ
で、本発明はこのような問題点を解決することを目的と
する。
は、空のペレット治具なセットテーブル３に搭載する運
動系５と、光てん後のペレット治具をアンローダ部２へ
収納する運動系６との二つの運動系があるので、それぞ
れの運動系５又は６ごとにセットテーブル３とローダ部
１又はアンローダ部２との間でペレット治具の受は渡し
を別々に行わなければならず、移動の回数が多いと共に
各動作量のロス時間が積算されて、全体として動作時間
が多くかかるものであった。また、二つの独立した運動
系５，６があるため、それぞれの駆動部及び位置決めの
ための検出部等も多くなり、部品点数が多く構造が複雑
であると共に機構全体が大形化するものであった。そこ
で、本発明はこのような問題点を解決することを目的と
する。
問題点を解決するための手段
上記の問題点を解決する本発明の手段は、ペレット治具
を積層したローダ部と、このローダ部からペレット治具
を搭載する位置とチャージ位置の間で移動すると共に上
記チャージ位置でペレット治具たベレットを充てんする
セットテーブルと、このセットテーブルから上記光てん
後のペレット治具を受けて収納するアンローダ部とを有
して成るベレット治具自動供給機構において、上記ロー
ダ部とアンローダ部を、該両者の間にセットテーブルが
一直線状に並んで位置し得る間隔をあけて同一直線上に
配置すると共に、この配置ラインに沿って動作し上記ロ
ーダ部及びセットテーブル上のペレット治具を同時に移
し換えるアーム装置を設けたことを特徴とするベレット
治具自動供給機構によってなされる。
を積層したローダ部と、このローダ部からペレット治具
を搭載する位置とチャージ位置の間で移動すると共に上
記チャージ位置でペレット治具たベレットを充てんする
セットテーブルと、このセットテーブルから上記光てん
後のペレット治具を受けて収納するアンローダ部とを有
して成るベレット治具自動供給機構において、上記ロー
ダ部とアンローダ部を、該両者の間にセットテーブルが
一直線状に並んで位置し得る間隔をあけて同一直線上に
配置すると共に、この配置ラインに沿って動作し上記ロ
ーダ部及びセットテーブル上のペレット治具を同時に移
し換えるアーム装置を設けたことを特徴とするベレット
治具自動供給機構によってなされる。
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面に基いて詳細忙説明す
る。
る。
第１図は本発明によるベレット治具自動供給機構の実施
例を示す斜視図である。このベレット治具自動供給機構
は、ローダ部１１と、セットテーブル１２と、アンロー
ダ部１３と、アーム装置１４とを有して成る。上記ロー
ダ部１１は、これからその表面のポケット〈ベレットを
充てんすべきペレット治具１５を積層しておくもので、
第２図に示すように、矩形状の底板１６を有すると共に
、その上方には断面コ字形のガイド部材１７，１７が上
記ペレット治具１５を両側方から抱え込むように設けら
れている。
例を示す斜視図である。このベレット治具自動供給機構
は、ローダ部１１と、セットテーブル１２と、アンロー
ダ部１３と、アーム装置１４とを有して成る。上記ロー
ダ部１１は、これからその表面のポケット〈ベレットを
充てんすべきペレット治具１５を積層しておくもので、
第２図に示すように、矩形状の底板１６を有すると共に
、その上方には断面コ字形のガイド部材１７，１７が上
記ペレット治具１５を両側方から抱え込むように設けら
れている。
ここで、上記ガイド部材１７は、底板１６の上方に上記
ペレット治具１５の一枚分のすき間をあげて設けられ、
このすき間からペレット治具１５、が一枚ずつ側方へ送
り出されるよう釦なっている。前記セットテーブル１２
は、上記ローダ部１１からペレット治具１５をその上面
に搭載すると共にチャージ位置１８まで移動し且つアン
ローダ部１３へ移動してペレット治具１５を移し換える
もので、第１図に示すように、矩形状板の上面が横＠′
ｒｒｉ二字形に凹んでおりこの凹所内にペレット治具１
５を長手方向に沿って搭載するようになっている。前記
アン０−ダ部１３は、上記セットテーブル１２からベレ
ットを充てん後のペレット治具１５を受けて収納するも
ので、第１図に示すように、上面が開口した箱状のラッ
ク１９を有すると共に、第２図に示すようにその内部に
は底部から上下動するエレベータ２０が設けられている
。
ペレット治具１５の一枚分のすき間をあげて設けられ、
このすき間からペレット治具１５、が一枚ずつ側方へ送
り出されるよう釦なっている。前記セットテーブル１２
は、上記ローダ部１１からペレット治具１５をその上面
に搭載すると共にチャージ位置１８まで移動し且つアン
ローダ部１３へ移動してペレット治具１５を移し換える
もので、第１図に示すように、矩形状板の上面が横＠′
ｒｒｉ二字形に凹んでおりこの凹所内にペレット治具１
５を長手方向に沿って搭載するようになっている。前記
アン０−ダ部１３は、上記セットテーブル１２からベレ
ットを充てん後のペレット治具１５を受けて収納するも
ので、第１図に示すように、上面が開口した箱状のラッ
ク１９を有すると共に、第２図に示すようにその内部に
は底部から上下動するエレベータ２０が設けられている
。
ここで、本発明においては、上記ローダ部１１とアンロ
ーダ部１３とは、第１図に示すように、該両者の間にセ
ットテーブル１２が一直Ｍ状に並んで位置し得る間隔を
あけて同一直線上に配置されている。従って、上記ロー
ダ部１１からセットテーブル１２上へ空のペレット治具
１５を送り出して搭載する方向と、該セットテーブル１
２からアンローダ部１３内へ充てん後のペレット治具１
５を移し換えて収納する方向とが一致することとなる。
ーダ部１３とは、第１図に示すように、該両者の間にセ
ットテーブル１２が一直Ｍ状に並んで位置し得る間隔を
あけて同一直線上に配置されている。従って、上記ロー
ダ部１１からセットテーブル１２上へ空のペレット治具
１５を送り出して搭載する方向と、該セットテーブル１
２からアンローダ部１３内へ充てん後のペレット治具１
５を移し換えて収納する方向とが一致することとなる。
また、上記ローダ部１１とアンローダ部１３の一直線状
の配置ラインに沿って、アーム装置１４が設けられてい
る。このアーム装置１４は、上記ローダ部１１からセッ
トテーブル１２へ空のペレット治具１５を送り出す動作
と、該セットテーブル１２からアンローダ部１３へ充て
ん後のペレット治具１５を移し換える動作とを同時に行
うもので、第一のアーム２１と、第二のアーム２２と、
第三のアーム２３と、これらのアームを連結するレバー
２４ａｊ ２４ｂとからなる。上記第一のアーム２１は
、第２図に示すように、ローダ部１１内のペレット治具
１５を下層の段から一枚ずつセットテーブル１２上へ送
り出すもので、先端くは略丁字形の送出し部２５を有し
ている。
の配置ラインに沿って、アーム装置１４が設けられてい
る。このアーム装置１４は、上記ローダ部１１からセッ
トテーブル１２へ空のペレット治具１５を送り出す動作
と、該セットテーブル１２からアンローダ部１３へ充て
ん後のペレット治具１５を移し換える動作とを同時に行
うもので、第一のアーム２１と、第二のアーム２２と、
第三のアーム２３と、これらのアームを連結するレバー
２４ａｊ ２４ｂとからなる。上記第一のアーム２１は
、第２図に示すように、ローダ部１１内のペレット治具
１５を下層の段から一枚ずつセットテーブル１２上へ送
り出すもので、先端くは略丁字形の送出し部２５を有し
ている。
上記第二のアーム２２と第三のアーム２３は、セツ、ト
チープル１２上忙位置する充てん後のペレット治具１５
を両側方から挾持してアンローダ部１３の上方へ移し換
えるもので、先端忙はやや下方へ垂下する板状の挟持部
２６．２７を有している。そして、上記アンローダ部１
３０セットテーブル１２が位置する近傍には、ストッパ
２８が上下動可能忙設けられており、上記第二のアーム
２２と第三のアーム２３とで挟持してきたペレット治具
１５をアンローダ部１３内へ収納するときに上記第二の
アーム２２の動きを停止するようになっている。
チープル１２上忙位置する充てん後のペレット治具１５
を両側方から挾持してアンローダ部１３の上方へ移し換
えるもので、先端忙はやや下方へ垂下する板状の挟持部
２６．２７を有している。そして、上記アンローダ部１
３０セットテーブル１２が位置する近傍には、ストッパ
２８が上下動可能忙設けられており、上記第二のアーム
２２と第三のアーム２３とで挟持してきたペレット治具
１５をアンローダ部１３内へ収納するときに上記第二の
アーム２２の動きを停止するようになっている。
なお、第２図に示すように、セットテーブル１２の上面
には、セットピン゛２９，２９が出没可能に設けられて
おり、ローダ部１１から上記セットテーブル１２上へ空
のペレット治具１５を搭載したときは上記セットピン２
９．２９が突出して該ペレット治具１５を固定し、充て
ん後のペレット治具１５を搭載したセットテーブル１２
からアンローダ部１３へ収納するときは上記セットピン
２９．２９が没して該ペレット治具１５を解除するよう
になっている。
には、セットピン゛２９，２９が出没可能に設けられて
おり、ローダ部１１から上記セットテーブル１２上へ空
のペレット治具１５を搭載したときは上記セットピン２
９．２９が突出して該ペレット治具１５を固定し、充て
ん後のペレット治具１５を搭載したセットテーブル１２
からアンローダ部１３へ収納するときは上記セットピン
２９．２９が没して該ペレット治具１５を解除するよう
になっている。
次に、このように構成されたペレット治具自動供給機構
の動作について第３（ａ）図ないし第３（ｇ）図を参照
して説明する。まず、第１図に示すように、すでにチャ
ージ位置１８１Ｃ一枚のペレット治具１５を搭載したセ
ットテーブル１２が位置しているとし、このペレット治
具１５のポケットにコレット３０で順次ペレットを図示
外の所定位置から取り出して充てんしているとする。こ
のようにして、上記ペレット治具１５にペレットの充て
んが終了すると、図示外の駆動装置により上記セットテ
ーブル１２が矢印Ｅのように搬送されてくる（第３（ａ
）図参照）。そして、第３（ｂ）図に示すように、上記
セットテーブル１２がローダ部１１とアンローダ８１３
との間に入り、−直線状く並んだところで停止する。次
に、この状態で図示省略の駆動装置によりアーム装置１
４の第二のアーム２２のみが矢印Ｆ方向へ移動する。す
ると、第３ｃｃ）図のように、第二のアーム２２と第三
のアーム２３とでセットテーブル１２上のペレット治具
１５をその両側方から挟持する。この状態で、第２図く
示すセットピン２９．２９がセットテーブル１２
′の上面から下方へ没し、ペレット治具１５の固定を
解除する。次に、第３（ｃ）図に示すよ５Ｋ。
の動作について第３（ａ）図ないし第３（ｇ）図を参照
して説明する。まず、第１図に示すように、すでにチャ
ージ位置１８１Ｃ一枚のペレット治具１５を搭載したセ
ットテーブル１２が位置しているとし、このペレット治
具１５のポケットにコレット３０で順次ペレットを図示
外の所定位置から取り出して充てんしているとする。こ
のようにして、上記ペレット治具１５にペレットの充て
んが終了すると、図示外の駆動装置により上記セットテ
ーブル１２が矢印Ｅのように搬送されてくる（第３（ａ
）図参照）。そして、第３（ｂ）図に示すように、上記
セットテーブル１２がローダ部１１とアンローダ８１３
との間に入り、−直線状く並んだところで停止する。次
に、この状態で図示省略の駆動装置によりアーム装置１
４の第二のアーム２２のみが矢印Ｆ方向へ移動する。す
ると、第３ｃｃ）図のように、第二のアーム２２と第三
のアーム２３とでセットテーブル１２上のペレット治具
１５をその両側方から挟持する。この状態で、第２図く
示すセットピン２９．２９がセットテーブル１２
′の上面から下方へ没し、ペレット治具１５の固定を
解除する。次に、第３（ｃ）図に示すよ５Ｋ。
第一のアーム２１と、第二のアーム２２と、第三のアー
ム２３とを連動して矢印Ｇ、Ｈ，Ｉ方向へ同時に移動さ
せる。すると、第２図に示すよう釦、第一のアーム２１
の送出し板２５でローダ部１１の最下層の空のペレット
治具１５をセットテーブル１２上に送り出すと共に、第
二のアーム２２と第三のアーム２３とでセットテーブル
１２上の充てん後のペレット治具１５をアンローダ部１
３上へ移してリミット位置で停止する。このとき、第３
（ｄ）図に示すよ５に、第二のアーム２２は上昇してき
たストッパ２８に当ってアンローダ部１３の側部で停止
させられ、これによりペレット治具１５に対する挟持が
解かれて該ペレット治４１５はアンローダ部１３内へ降
下収納される。これと同時°に、第２図に示すセットピ
ン２９．２９がセットテーブル１２の上面に突出し、該
セットテーブル１２上に送り出された空のペレット治具
１５を固定する。次に、第３（ｄ）図に示すように、第
三のアーム２３と第一のアーム２１とが矢印Ｊ、にのよ
うくわずかく逆戻りして、第３（ｅ）図に示すように第
一のアーム２１の送出し板２５の一端部がセットテーブ
ル１２上のペレット治具１５から離れる。この状態で図
示外の駆動装置により、上記セットテーブル１２は矢印
し方向に搬送され、第１図に示すチャージ位置１８ヘセ
ツトされる。その後、第３（ｆ）図に示すよう釦、第三
のアーム２３及び第二のアーム２２並びに第一のアーム
２１は、それぞれ矢印Ｍ、Ｎ、Ｏ方向へ移動する。この
とき、第一のアーム２１は、その送出し板２５の他端部
がローダ部１１に積層されたペレット治具１５の最下位
に入り込んだままとなっているので、そのまま上記ペレ
ット治具１５の最下位を移動することとなる。そして、
全アーム２１，２２，２３は原点のリミット位置まで移
動し、第３（ｇ）図に示すよ５［、初期状態に復帰する
。以下、上記の動作を繰り返 ゛すことにより、セ
ットテーブル１２ヘペレツト治具１５を自動供給する。
ム２３とを連動して矢印Ｇ、Ｈ，Ｉ方向へ同時に移動さ
せる。すると、第２図に示すよう釦、第一のアーム２１
の送出し板２５でローダ部１１の最下層の空のペレット
治具１５をセットテーブル１２上に送り出すと共に、第
二のアーム２２と第三のアーム２３とでセットテーブル
１２上の充てん後のペレット治具１５をアンローダ部１
３上へ移してリミット位置で停止する。このとき、第３
（ｄ）図に示すよ５に、第二のアーム２２は上昇してき
たストッパ２８に当ってアンローダ部１３の側部で停止
させられ、これによりペレット治具１５に対する挟持が
解かれて該ペレット治４１５はアンローダ部１３内へ降
下収納される。これと同時°に、第２図に示すセットピ
ン２９．２９がセットテーブル１２の上面に突出し、該
セットテーブル１２上に送り出された空のペレット治具
１５を固定する。次に、第３（ｄ）図に示すように、第
三のアーム２３と第一のアーム２１とが矢印Ｊ、にのよ
うくわずかく逆戻りして、第３（ｅ）図に示すように第
一のアーム２１の送出し板２５の一端部がセットテーブ
ル１２上のペレット治具１５から離れる。この状態で図
示外の駆動装置により、上記セットテーブル１２は矢印
し方向に搬送され、第１図に示すチャージ位置１８ヘセ
ツトされる。その後、第３（ｆ）図に示すよう釦、第三
のアーム２３及び第二のアーム２２並びに第一のアーム
２１は、それぞれ矢印Ｍ、Ｎ、Ｏ方向へ移動する。この
とき、第一のアーム２１は、その送出し板２５の他端部
がローダ部１１に積層されたペレット治具１５の最下位
に入り込んだままとなっているので、そのまま上記ペレ
ット治具１５の最下位を移動することとなる。そして、
全アーム２１，２２，２３は原点のリミット位置まで移
動し、第３（ｇ）図に示すよ５［、初期状態に復帰する
。以下、上記の動作を繰り返 ゛すことにより、セ
ットテーブル１２ヘペレツト治具１５を自動供給する。
発明の効果
本発明は以上説明したように、ローダ部１１とアンロー
ダ部１３をこれらの間にセットテーブル１２が一直線状
に並んで位置しうる間隔をあけて同一直線上に配置する
と共に、この配置ラインに沿って動作するアーム装置１
４を設けたので、ローダ部１１がら空のペレット治具１
５をセットテーブル１２へ搭載する運動系と、充てん後
のペレット治具１５をセットテーブル１２からアンロー
ダ部１３へ収納する運動系とを一つの運動系にまとめる
ことができる。従つて、ローダ部１１及びセットテーブ
ル１２上のペレット治４１５をそれぞれ次のステーショ
ンであるセットテーブル１２又はアンローダ部１３へ同
時に移し換えることができる。このことから、セットテ
ーブル１２は、上記ローダ部１１とアンローダ部１３と
の間に位置するだけでよく、移動の回数を少（すること
ができると共に、各動作量のロス時間を少くでき、全体
として動作時間を短縮することができる。また、ペレッ
ト治具１５の搭載、収納の運動系を一つくまとめたので
、その駆動部及び位置決めのための検出部も少くするこ
とができ、部品点数を少くして構造を簡単とすると共に
、機構全体を小形化することができる。
ダ部１３をこれらの間にセットテーブル１２が一直線状
に並んで位置しうる間隔をあけて同一直線上に配置する
と共に、この配置ラインに沿って動作するアーム装置１
４を設けたので、ローダ部１１がら空のペレット治具１
５をセットテーブル１２へ搭載する運動系と、充てん後
のペレット治具１５をセットテーブル１２からアンロー
ダ部１３へ収納する運動系とを一つの運動系にまとめる
ことができる。従つて、ローダ部１１及びセットテーブ
ル１２上のペレット治４１５をそれぞれ次のステーショ
ンであるセットテーブル１２又はアンローダ部１３へ同
時に移し換えることができる。このことから、セットテ
ーブル１２は、上記ローダ部１１とアンローダ部１３と
の間に位置するだけでよく、移動の回数を少（すること
ができると共に、各動作量のロス時間を少くでき、全体
として動作時間を短縮することができる。また、ペレッ
ト治具１５の搭載、収納の運動系を一つくまとめたので
、その駆動部及び位置決めのための検出部も少くするこ
とができ、部品点数を少くして構造を簡単とすると共に
、機構全体を小形化することができる。
第１図は本発明によるペレット治具自動供給機構の実施
例を示す斜視図、第２図はその要部を示す第１図の■−
■細断面図、第３（ａ）図ないし第３（ｇ）図は動作を
示す平面説明図、第４図は従来例を示す説明図である。 １１・・・ローダ部、 １２−・セットテーブル、 １３・・・アンローダ部、 １４・・・アーム装置、 １５・・・ペレット治具、 １８・・・チャージ位置、 ２１・・・第一のアーム、 ２２・・・第二のアーム、 ２３・・・第三のアーム、 ２４ａ、２４ｂ・”レバー、 ２８・・・ストッパ。
例を示す斜視図、第２図はその要部を示す第１図の■−
■細断面図、第３（ａ）図ないし第３（ｇ）図は動作を
示す平面説明図、第４図は従来例を示す説明図である。 １１・・・ローダ部、 １２−・セットテーブル、 １３・・・アンローダ部、 １４・・・アーム装置、 １５・・・ペレット治具、 １８・・・チャージ位置、 ２１・・・第一のアーム、 ２２・・・第二のアーム、 ２３・・・第三のアーム、 ２４ａ、２４ｂ・”レバー、 ２８・・・ストッパ。
Claims (1)
- ペレット治具を積層するローダ部と、このローダ部から
ペレット治具を搭載する位置とチャージ位置の間で移動
すると共に上記チャージ位置でペレット治具にペレット
を充てんするセットテーブルと、このセットテーブルか
ら上記充てん後のペレット治具を受けて収納するアンロ
ーダ部とを有して成るペレット治具自動供給機構におい
て、上記ローダ部とアンローダ部を、該両者の間にセッ
トテーブルが一直線状に並んで位置し得る間隔をあけて
同一直線上に配置すると共に、この配置ラインに沿つて
動作し上記ローダ部及びセットテーブル上のペレット治
具を同時に移し換えるアーム装置を設けたことを特徴と
するペレット治具自動供給機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5606485A JPS61216440A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | ペレツト治具自動供給機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5606485A JPS61216440A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | ペレツト治具自動供給機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61216440A true JPS61216440A (ja) | 1986-09-26 |
| JPH0226381B2 JPH0226381B2 (ja) | 1990-06-08 |
Family
ID=13016650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5606485A Granted JPS61216440A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | ペレツト治具自動供給機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61216440A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56130931A (en) * | 1980-03-17 | 1981-10-14 | Nec Kyushu Ltd | Assembling apparatus |
-
1985
- 1985-03-22 JP JP5606485A patent/JPS61216440A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56130931A (en) * | 1980-03-17 | 1981-10-14 | Nec Kyushu Ltd | Assembling apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0226381B2 (ja) | 1990-06-08 |
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