JPS61213781A - 磁気抵抗感知装置 - Google Patents
磁気抵抗感知装置Info
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- JPS61213781A JPS61213781A JP60271736A JP27173685A JPS61213781A JP S61213781 A JPS61213781 A JP S61213781A JP 60271736 A JP60271736 A JP 60271736A JP 27173685 A JP27173685 A JP 27173685A JP S61213781 A JPS61213781 A JP S61213781A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/12—Measuring magnetic properties of articles or specimens of solids or fluids
- G01R33/1223—Measuring permeability, i.e. permeameters
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ、産業上の利用分野
本発明は、磁気抵抗（レラクタンス）感知装置に係る。
Ｂ、従来技術
従来技術に於て１種々の磁気誘導感知装置が存在してお
り、銀行小切手上の磁気インク文字を感知する作業や、
パルスの発生又はタイミングのために適用されている。
り、銀行小切手上の磁気インク文字を感知する作業や、
パルスの発生又はタイミングのために適用されている。
又、自動車の点火システムに於ける点火ロータ位置の誘
導感知、歯車のカウント及び機械制御等にも、一般に適
用されている。
導感知、歯車のカウント及び機械制御等にも、一般に適
用されている。
誘導感知装置は、導電性コイルと交叉する磁束の線の数
の増減により生じる磁束の時間変化率に依存している。
の増減により生じる磁束の時間変化率に依存している。
それらの感知装置に於ては、磁化された媒体又は機械素
子が移動する必要があるにれに対して、磁気抵抗感知装
置は、静止状態に於て、即ち該感知装置と感知すべき媒
体とが相対的に移動していない状態に於て、出力を生じ
ることができるが、磁気回路の磁気抵抗路に於ける変化
により生じる駆動コイル電流又は電圧の変動の精確な測
定に依存している。それらの装置は、電源に於ける電流
及び電圧のゆらぎ、熱による影響等によって生じる変動
が大きいので、保守及び操作が本来的に難しい。
子が移動する必要があるにれに対して、磁気抵抗感知装
置は、静止状態に於て、即ち該感知装置と感知すべき媒
体とが相対的に移動していない状態に於て、出力を生じ
ることができるが、磁気回路の磁気抵抗路に於ける変化
により生じる駆動コイル電流又は電圧の変動の精確な測
定に依存している。それらの装置は、電源に於ける電流
及び電圧のゆらぎ、熱による影響等によって生じる変動
が大きいので、保守及び操作が本来的に難しい。
Ｃ１発明が解決しようとする問題点
本発明の目的は、磁気感知手段が磁気回路に直列又は並
列に挿入され、磁気抵抗を感知すべき媒体又は素子に供
給される磁束の少なくとも一部である実質的に一定の磁
束が上記磁気感知手段に分割されて流され、上記媒体又
は素子が上記磁気回路に挿入されたときに該媒体又は素
子の有無により生じる上記磁気感知手段に流れる磁束の
変動が測定される。改良された磁気抵抗感知装置を提供
することである。
列に挿入され、磁気抵抗を感知すべき媒体又は素子に供
給される磁束の少なくとも一部である実質的に一定の磁
束が上記磁気感知手段に分割されて流され、上記媒体又
は素子が上記磁気回路に挿入されたときに該媒体又は素
子の有無により生じる上記磁気感知手段に流れる磁束の
変動が測定される。改良された磁気抵抗感知装置を提供
することである。
Ｄ０問題点を解決するための手段
本発明は、導電性コイル及び透磁性コア部材を有する電
磁石と、上記コア部材に結合された磁気回路に配置され
ている少なくとも２つの透磁性結合部材と、上記結合部
材に結合された磁気回路に配置されている磁気感知手段
と、上記磁気感知手段に信号電流を供給する手段とを有
している。磁気抵抗の変化を検出する磁気抵抗感知装置
を提供する。
磁石と、上記コア部材に結合された磁気回路に配置され
ている少なくとも２つの透磁性結合部材と、上記結合部
材に結合された磁気回路に配置されている磁気感知手段
と、上記磁気感知手段に信号電流を供給する手段とを有
している。磁気抵抗の変化を検出する磁気抵抗感知装置
を提供する。
本発明の一実施例に於ては、透磁性材料より成る一対の
結合部材即ち結合脚部に一定レベルの磁束を供給する、
実質的に一定の磁束の源が設けられている。それらの透
磁性の脚部には、磁気抵抗効果（ＭＲ効果）による磁気
感知手段が、該脚部に直列に設けられており、又は該脚
部をブリッジするように並列に設けられている。上記磁
気感知手段は、上記脚部の先端に近接して配置されてい
る、磁気抵抗を感知すべき媒体又は素子と、磁気的に直
列又は並列な回路に配置されている。一定、の磁束の源
は、透磁性構造体のコア部材を囲むコイルに於ける、一
定の電流を供給される、一定の巻回数によって供給され
る。
結合部材即ち結合脚部に一定レベルの磁束を供給する、
実質的に一定の磁束の源が設けられている。それらの透
磁性の脚部には、磁気抵抗効果（ＭＲ効果）による磁気
感知手段が、該脚部に直列に設けられており、又は該脚
部をブリッジするように並列に設けられている。上記磁
気感知手段は、上記脚部の先端に近接して配置されてい
る、磁気抵抗を感知すべき媒体又は素子と、磁気的に直
列又は並列な回路に配置されている。一定、の磁束の源
は、透磁性構造体のコア部材を囲むコイルに於ける、一
定の電流を供給される、一定の巻回数によって供給され
る。
Ｅ、実施例
本発明は、磁気を検出及び感知する分野に於て広く適用
することができるが、通常の銀行小切手の自動的読取及
び分類等のために磁気インク文字を感知及び検出する場
合等に於て特に有用である。
することができるが、通常の銀行小切手の自動的読取及
び分類等のために磁気インク文字を感知及び検出する場
合等に於て特に有用である。
以下に、本発明をそのような適用例について更に詳細に
説明するが、磁気抵抗の感知は、磁気インク文字の感知
に限らず、パルスのカウント、タイミング、及び近接測
定のための一般的な磁気感知にも用いられることは明ら
かである。
説明するが、磁気抵抗の感知は、磁気インク文字の感知
に限らず、パルスのカウント、タイミング、及び近接測
定のための一般的な磁気感知にも用いられることは明ら
かである。
自動的に読取られるように銀行小切手に設けられている
磁気インク文字が、極めて小さな残留磁気しか有してい
ないことは周知である。そのような文字が磁化された場
合、典型的なカルボニル鉄インク材料からの感知に用い
られる垂直磁界成分は、数エルステッド程度しかない、
そのようなインク文字のための通常の検出機構には、磁
気誘導感知装置が用いられている。そのような感知装置
に於ては、磁束の微分を感知する技術が用いられている
ことにより、最小限の信号対雑音比を得るためにも、高
速度の輸送及び精巧な周波数フィルタ機構が必要である
。しかしながら、磁気インク文字の材料は、磁界にさら
されたとき、空気よりも低い磁気抵抗路を生じる。カル
ボニル鉄の平均透磁率は、２０ガウスの磁界の存在の下
で略５５であることが、文献に示されている。このこと
から、磁気抵抗の感知は、磁気インク文字の存在を検出
するための極めて好ましい方法である６本発明の好実施
例に於ては、磁気インク文字の有無により生じる磁気抵
抗の差の効果を測定するための他の素子とともに、新規
な結合された磁気抵抗効果による磁気感知手段（ＭＲ磁
気感知手段）が用いられている。例えば、磁気を感知す
るトランジスタ、ダイオード、ホール効果セル等の他の
形の磁気感知手段も用いられるので、上記のＭＲ磁気感
知手段自体については簡単に説明する６日本特願昭５９
−２６６５７７号明細書は、適当なＭＲ磁気感知手段の
構造を詳細に示している。
磁気インク文字が、極めて小さな残留磁気しか有してい
ないことは周知である。そのような文字が磁化された場
合、典型的なカルボニル鉄インク材料からの感知に用い
られる垂直磁界成分は、数エルステッド程度しかない、
そのようなインク文字のための通常の検出機構には、磁
気誘導感知装置が用いられている。そのような感知装置
に於ては、磁束の微分を感知する技術が用いられている
ことにより、最小限の信号対雑音比を得るためにも、高
速度の輸送及び精巧な周波数フィルタ機構が必要である
。しかしながら、磁気インク文字の材料は、磁界にさら
されたとき、空気よりも低い磁気抵抗路を生じる。カル
ボニル鉄の平均透磁率は、２０ガウスの磁界の存在の下
で略５５であることが、文献に示されている。このこと
から、磁気抵抗の感知は、磁気インク文字の存在を検出
するための極めて好ましい方法である６本発明の好実施
例に於ては、磁気インク文字の有無により生じる磁気抵
抗の差の効果を測定するための他の素子とともに、新規
な結合された磁気抵抗効果による磁気感知手段（ＭＲ磁
気感知手段）が用いられている。例えば、磁気を感知す
るトランジスタ、ダイオード、ホール効果セル等の他の
形の磁気感知手段も用いられるので、上記のＭＲ磁気感
知手段自体については簡単に説明する６日本特願昭５９
−２６６５７７号明細書は、適当なＭＲ磁気感知手段の
構造を詳細に示している。
本発明に於て用いられている感知技術は、磁気インク文
字の存在を検出するために交流磁界を用いる必要がなく
、又磁気インク文字の存在を感知しようとする前にそれ
らの文字を予め条件づける必要もない。この技術を用い
た場合には、検出システムが速度により影響されないの
で、銀行小切手を機械で走査しても、手で走査しても、
同一の結果が生じる。直流又は静止状態の磁気抵抗の測
定も可能である。
字の存在を検出するために交流磁界を用いる必要がなく
、又磁気インク文字の存在を感知しようとする前にそれ
らの文字を予め条件づける必要もない。この技術を用い
た場合には、検出システムが速度により影響されないの
で、銀行小切手を機械で走査しても、手で走査しても、
同一の結果が生じる。直流又は静止状態の磁気抵抗の測
定も可能である。
第１Ａ図に於て、本発明の一実施例による磁気抵抗感知
ヘッドが１表面上に成る厚さの透磁性インク層を付着さ
れている、１例として示されている用紙に近接して示さ
れている。
ヘッドが１表面上に成る厚さの透磁性インク層を付着さ
れている、１例として示されている用紙に近接して示さ
れている。
第１Ａ図に示されている実施例は、ＬＳＩ回路技術に於
て一般的に用いられているフォトリソグラフィによる付
着及びエツチングの技術を用いて形成されている。その
技術は、文字の配列体全体を感知するために、多数のＭ
Ｒ磁気感知手段が並列に設けられるように、小さい寸法
のＭＲ磁気感知手段の形成を容易にするために用いられ
ている。
て一般的に用いられているフォトリソグラフィによる付
着及びエツチングの技術を用いて形成されている。その
技術は、文字の配列体全体を感知するために、多数のＭ
Ｒ磁気感知手段が並列に設けられるように、小さい寸法
のＭＲ磁気感知手段の形成を容易にするために用いられ
ている。
従って、上記ＭＲ磁気感知手段３は、半導体基板１の上
面に付着されて示されている。透磁性のＵ字形又はＣ字
形構造体に於ける垂直な結合脚部２は、典型的には１μ
ｍ又はそれ以下の厚さ及び第１Ａ図に於て寸法Ｗ によ
り示されている略Ｏ０１圓の幅を有している、ニッケル
鉄合金で形成することができる。それらの２つの結合脚
部２は、該脚部２の幅と略同−の距離Ｗ８だけ相互に離
隔ている。上記ＭＲ磁気感知手段３は１例えば、２５０
人の厚さを有する中間のチタン分離層５を有している、
各々３００人の厚さを有する一対のニッケル鉄層１４よ
り成る。ＭＲ磁気感知手段３は、透磁性の脚部２に磁気
的に結合されているが１例えば厚さ５０００人の二酸化
シリコン層の如き酸化物層４により電気的に分離されて
いる。酸化物層４は、第１Ａ図に於ては明らかに示され
ていないが、透磁性の脚部２が、結合されたＭＲ磁気感
知手段３と実際に電気的及び物理的に接触しないように
、上記脚部２を分離させている。
面に付着されて示されている。透磁性のＵ字形又はＣ字
形構造体に於ける垂直な結合脚部２は、典型的には１μ
ｍ又はそれ以下の厚さ及び第１Ａ図に於て寸法Ｗ によ
り示されている略Ｏ０１圓の幅を有している、ニッケル
鉄合金で形成することができる。それらの２つの結合脚
部２は、該脚部２の幅と略同−の距離Ｗ８だけ相互に離
隔ている。上記ＭＲ磁気感知手段３は１例えば、２５０
人の厚さを有する中間のチタン分離層５を有している、
各々３００人の厚さを有する一対のニッケル鉄層１４よ
り成る。ＭＲ磁気感知手段３は、透磁性の脚部２に磁気
的に結合されているが１例えば厚さ５０００人の二酸化
シリコン層の如き酸化物層４により電気的に分離されて
いる。酸化物層４は、第１Ａ図に於ては明らかに示され
ていないが、透磁性の脚部２が、結合されたＭＲ磁気感
知手段３と実際に電気的及び物理的に接触しないように
、上記脚部２を分離させている。
、空気間隙９は、透磁性のコア部材６を透磁性の脚部２
から分離させている。空気間隙９は、脚部２の下方端部
からコア部材６を通る磁気抵抗路が。
から分離させている。空気間隙９は、脚部２の下方端部
からコア部材６を通る磁気抵抗路が。
脚部２の下方端部からＭＲ磁気感知手段３を通る磁気抵
抗路よりもずっと大きい磁気抵抗を有するようにするた
めに設けられている。空気間隙９は又、ＭＲ磁気感知手
段３と１脚部２の光端に近接して配置されたとき、実質
的に磁気保持路として働く、磁気抵抗を感知すべき透磁
性材料１３とによって分割される、実質的に一定の磁束
を伝達する手段を与える。典型的には、用紙の基板１２
上に付着された磁気インク層である材料１３は、何分の
１ミクロンから１又は２μｍの程度の距離１０だけ分離
させることができる。磁気インク層１３は１脚部２の先
端から放出される磁束のための実質的磁気保持路として
働く。
抗路よりもずっと大きい磁気抵抗を有するようにするた
めに設けられている。空気間隙９は又、ＭＲ磁気感知手
段３と１脚部２の光端に近接して配置されたとき、実質
的に磁気保持路として働く、磁気抵抗を感知すべき透磁
性材料１３とによって分割される、実質的に一定の磁束
を伝達する手段を与える。典型的には、用紙の基板１２
上に付着された磁気インク層である材料１３は、何分の
１ミクロンから１又は２μｍの程度の距離１０だけ分離
させることができる。磁気インク層１３は１脚部２の先
端から放出される磁束のための実質的磁気保持路として
働く。
コア部材６は、透磁性の脚部２と同様にニッケル鉄合金
より成り、その周囲に、アルミニウムの如き導電性の線
より成る。Ｎ回の巻数の導電性磁化コイル７を付着され
ている。透磁性のコア部材６の上面及び下面には、周知
の如く、適当な酸化物絶縁層が形成されている。簡単に
説明すると、基板１上に酸化物層が付着され、第１Ａ図
に於て点線で示されている如き、導電性磁化コイル７の
下部が設けられ、もう１つの絶縁層が付着されて、その
上にコア部材６の材料が付着される。更に絶縁層が付着
され、導電性コイルを接続すべき位置に開孔がエツチン
グされる。それから、導電性コイル７の上部が゛上記絶
縁層上及び上記のエツチングされた開孔中に付着されて
、導電性コイルの下部に接触される。それから、コイル
電流工を供給するために、電気接点８が設けられる。そ
の結果、ＮＩファンア・回数の起磁力を有する電磁コア
が形成される。
より成り、その周囲に、アルミニウムの如き導電性の線
より成る。Ｎ回の巻数の導電性磁化コイル７を付着され
ている。透磁性のコア部材６の上面及び下面には、周知
の如く、適当な酸化物絶縁層が形成されている。簡単に
説明すると、基板１上に酸化物層が付着され、第１Ａ図
に於て点線で示されている如き、導電性磁化コイル７の
下部が設けられ、もう１つの絶縁層が付着されて、その
上にコア部材６の材料が付着される。更に絶縁層が付着
され、導電性コイルを接続すべき位置に開孔がエツチン
グされる。それから、導電性コイル７の上部が゛上記絶
縁層上及び上記のエツチングされた開孔中に付着されて
、導電性コイルの下部に接触される。それから、コイル
電流工を供給するために、電気接点８が設けられる。そ
の結果、ＮＩファンア・回数の起磁力を有する電磁コア
が形成される。
ＭＲ磁気感知手段３の典型的寸法は、第１Ａ図に示す如
く、幅５μｍ及び長さ１２乃至１５μｍである。
く、幅５μｍ及び長さ１２乃至１５μｍである。
第１Ｂ図は、第１Ａ図の線ＩＢ−ＩＢに於ける断面図で
ある。磁気を感知すべき領域に於て中間のチタン分離層
５により分離された２つのニッケル鉄層より成るＭＲ磁
気感知手段３に電気接点Ａ及びＢが形成されている。第
１Ｂ図に示されている如く、ＭＲ磁気感知手段３が磁気
を感知する領域は、２つの脚部の間の間隙領域である。
ある。磁気を感知すべき領域に於て中間のチタン分離層
５により分離された２つのニッケル鉄層より成るＭＲ磁
気感知手段３に電気接点Ａ及びＢが形成されている。第
１Ｂ図に示されている如く、ＭＲ磁気感知手段３が磁気
を感知する領域は、２つの脚部の間の間隙領域である。
ＭＲ磁気感知手段３のニッケル鉄層は、脚部２の下の領
域に於て電気的及び機械的に接続されている。接点Ａ及
びＢは、好実施例に於ては３ミリアンペア程度の感知電
流Ｉ を供給するために用いられる。
域に於て電気的及び機械的に接続されている。接点Ａ及
びＢは、好実施例に於ては３ミリアンペア程度の感知電
流Ｉ を供給するために用いられる。
再び、第１Ａ図に於て、３ミリアンペアの感知電流がＭ
Ｒ磁気感知手段３の接点Ａ及びＢに加えられるとき、導
電性コイル７に於ける一定の電流■により、コア部材６
に於ける磁束が一定であるとすると、ＭＲ磁気感知手段
３は脚部２の一方の端部に分路を形成し即ちブリッジし
、用紙の基板１２上に付着された磁気インク層１３の如
き透磁性材料に近接する他方の端部はコア部材６からの
磁束の他の部分を流す。磁気インク層１３の磁気抵抗に
応じて、該磁気インク層１３を通る磁気抵抗路は、ＭＲ
磁気感知手段３を通る磁気抵抗路よりも大きく又は小さ
くなる。従って、ＭＲ磁気感知手段３は、各々コア部材
６からの磁束のより多い又はより小さい部分を流す。そ
の結果、ＭＲ磁気感知手段３の導電性に於ける変動を接
点Ａ及びＢを経て観察することができ、脚部２の界面に
於て観察される磁気抵抗が直接示される。磁気を感知す
るトランジスタ、ホール効果セル等の他の多くの感知技
術を用いてもよいことは明らかである。
Ｒ磁気感知手段３の接点Ａ及びＢに加えられるとき、導
電性コイル７に於ける一定の電流■により、コア部材６
に於ける磁束が一定であるとすると、ＭＲ磁気感知手段
３は脚部２の一方の端部に分路を形成し即ちブリッジし
、用紙の基板１２上に付着された磁気インク層１３の如
き透磁性材料に近接する他方の端部はコア部材６からの
磁束の他の部分を流す。磁気インク層１３の磁気抵抗に
応じて、該磁気インク層１３を通る磁気抵抗路は、ＭＲ
磁気感知手段３を通る磁気抵抗路よりも大きく又は小さ
くなる。従って、ＭＲ磁気感知手段３は、各々コア部材
６からの磁束のより多い又はより小さい部分を流す。そ
の結果、ＭＲ磁気感知手段３の導電性に於ける変動を接
点Ａ及びＢを経て観察することができ、脚部２の界面に
於て観察される磁気抵抗が直接示される。磁気を感知す
るトランジスタ、ホール効果セル等の他の多くの感知技
術を用いてもよいことは明らかである。
しかしながら、上述の如き磁気抵抗効果による感知技術
は、磁気構造体の他の部分を形成するために用いられる
銑造技術と容易に適合するので、極めて優れている。
は、磁気構造体の他の部分を形成するために用いられる
銑造技術と容易に適合するので、極めて優れている。
第１Ａ図及び第１Ｂ図から理解される如く、磁気抵抗感
知ヘッド構造体の基本的設計は簡単であり、殆ど全体的
に、マスキング及び付着が容易である簡単なアウトライ
ンを有する、付着された磁性層及び絶縁層から成ってい
る。ＭＲ磁気感知手段３は、摩耗、銑造、及び熱による
影響の問題を最小限にするために、磁気インク文字を有
している用紙との界面から比較的離れた位置に配置され
ている。
知ヘッド構造体の基本的設計は簡単であり、殆ど全体的
に、マスキング及び付着が容易である簡単なアウトライ
ンを有する、付着された磁性層及び絶縁層から成ってい
る。ＭＲ磁気感知手段３は、摩耗、銑造、及び熱による
影響の問題を最小限にするために、磁気インク文字を有
している用紙との界面から比較的離れた位置に配置され
ている。
、ＭＲ磁気感知手段３は、垂直な結合脚部をブリッジし
ている該感知手段全体の長さに垂直に配置された磁化容
易軸を各々有している２つの平行なニッケ、ル鉄層より
成る。されらの２つの暦は、第１Ａ図及び第２図に示さ
れている如く、容易軸に沿って静磁気的に結合されてい
る。第１Ａ図及び第１Ｂ図に於ては、２００乃至３５０
人程度の厚さを有する低導電率の金属層として、チタン
が選択されている。その層は、チタン分離層５として示
されている。その低導電率の金属は、感知電流を著しく
減少させず、ＭＲ磁気感知手段３を形成している２つの
層の間に磁気交換結合機構が生じることを防ぐ。成る密
度の電流がＭＲ磁気感知手段３の２つの層の両方に流れ
ると、その電流は。
ている該感知手段全体の長さに垂直に配置された磁化容
易軸を各々有している２つの平行なニッケ、ル鉄層より
成る。されらの２つの暦は、第１Ａ図及び第２図に示さ
れている如く、容易軸に沿って静磁気的に結合されてい
る。第１Ａ図及び第１Ｂ図に於ては、２００乃至３５０
人程度の厚さを有する低導電率の金属層として、チタン
が選択されている。その層は、チタン分離層５として示
されている。その低導電率の金属は、感知電流を著しく
減少させず、ＭＲ磁気感知手段３を形成している２つの
層の間に磁気交換結合機構が生じることを防ぐ。成る密
度の電流がＭＲ磁気感知手段３の２つの層の両方に流れ
ると、その電流は。
反対方向で平行な方向に磁化容易軸を有する結合を生ゼ
しめる相互磁界を該感知手段３の層に生じる。この相互
磁界は、第１Ａ図及び第２図に示されている如く、磁化
容易軸に沿って配向されている。
しめる相互磁界を該感知手段３の層に生じる。この相互
磁界は、第１Ａ図及び第２図に示されている如く、磁化
容易軸に沿って配向されている。
他方の層に流れる電流Ｉ により一方の層に生しる磁界
強度は、上記一方の層に流れる電流により上記他方の層
に生じる磁界の方向と反対である。
強度は、上記一方の層に流れる電流により上記他方の層
に生じる磁界の方向と反対である。
電流Ｉ は、ＭＲ磁気感知手段３に於て電圧降下を生じ
、その電圧降下は、垂直な結合脚部２の下方端部に於て
生じる媒体への結合による磁気抵抗の変化によって生じ
る、該感知手段３に流れる磁束の割合の変化の影響を受
ける、該感知手段３の抵抗値の変化によって修正される
。結合脚部２の下方端部に於ける磁気抵抗の変動は、上
記感知手段３に流れる磁束に於て、そして該感知手段３
の２つの層の各々の全体的磁気抵抗を修正するそれらの
層に於ける静止状態の全体的磁化ベクトルに於て、比例
する変化を生ぜしめる。
、その電圧降下は、垂直な結合脚部２の下方端部に於て
生じる媒体への結合による磁気抵抗の変化によって生じ
る、該感知手段３に流れる磁束の割合の変化の影響を受
ける、該感知手段３の抵抗値の変化によって修正される
。結合脚部２の下方端部に於ける磁気抵抗の変動は、上
記感知手段３に流れる磁束に於て、そして該感知手段３
の２つの層の各々の全体的磁気抵抗を修正するそれらの
層に於ける静止状態の全体的磁化ベクトルに於て、比例
する変化を生ぜしめる。
ＭＲ磁気感知手段３の断面を示す第１Ｂ図に於て、該感
知手段３の感知部分は脚部２の間である。
知手段３の感知部分は脚部２の間である。
結合されたＭＲ磁気感知手段３は、二酸化シリコン絶縁
層４により脚部２から絶縁されている。該感知手段３の
２つの層の各々の厚さは同一である必要があり、典型的
には３００人である。それらの層の寸法も該感知手段自
体の全体的な磁気抵抗を制御するので、それらの各層の
高さ及び幅も等しい必要がある。当技術分野に於て周知
の如く、上記の型のＭＲ磁気感知手段は、磁化容易軸を
選択さ終た方向に生じるように配向された強い磁界の存
在の下で付着される。この例の場合には、磁化容易軸は
、ＭＲ磁気感知手段３の全体の長さに垂直に選択されて
いる。
層４により脚部２から絶縁されている。該感知手段３の
２つの層の各々の厚さは同一である必要があり、典型的
には３００人である。それらの層の寸法も該感知手段自
体の全体的な磁気抵抗を制御するので、それらの各層の
高さ及び幅も等しい必要がある。当技術分野に於て周知
の如く、上記の型のＭＲ磁気感知手段は、磁化容易軸を
選択さ終た方向に生じるように配向された強い磁界の存
在の下で付着される。この例の場合には、磁化容易軸は
、ＭＲ磁気感知手段３の全体の長さに垂直に選択されて
いる。
導電性コイル７に供給された電流工は磁束を生じ、その
磁束は、空気間隙９を経て垂直な結合脚部２に結合し、
モしてＭＲ磁気感知手段３を経て結合して、該感知手段
の層内の磁化を磁化困難軸の方向（第１Ａ図及び第２図
に於て水平方向）に向って回転させる。ＭＲ磁気感知手
段３は、それらの層内の磁化が磁化困難軸に平行にされ
るとき、飽和状態になる。ＭＲ磁気感知手段３に流れる
電流Ｉ は、該感知手段の２つの層内の磁化を磁化容易
軸に向って回転させようとする。その後の動作に於て、
上記感知手段３の２つの層内の磁化が磁化困難軸に向っ
て均一に回転されるように、電流が導電性コイル７を経
て流される。それらの各層に流れる電流工 は、磁化ベ
クトルが完全に磁化困難軸に達することを防ぐ。この装
置は、磁化ベクトルが磁化困難軸に近いとき、最大の感
度を有し、磁化ベクトルが磁化容易軸に近いとき、最小
の感度を有する。
磁束は、空気間隙９を経て垂直な結合脚部２に結合し、
モしてＭＲ磁気感知手段３を経て結合して、該感知手段
の層内の磁化を磁化困難軸の方向（第１Ａ図及び第２図
に於て水平方向）に向って回転させる。ＭＲ磁気感知手
段３は、それらの層内の磁化が磁化困難軸に平行にされ
るとき、飽和状態になる。ＭＲ磁気感知手段３に流れる
電流Ｉ は、該感知手段の２つの層内の磁化を磁化容易
軸に向って回転させようとする。その後の動作に於て、
上記感知手段３の２つの層内の磁化が磁化困難軸に向っ
て均一に回転されるように、電流が導電性コイル７を経
て流される。それらの各層に流れる電流工 は、磁化ベ
クトルが完全に磁化困難軸に達することを防ぐ。この装
置は、磁化ベクトルが磁化困難軸に近いとき、最大の感
度を有し、磁化ベクトルが磁化容易軸に近いとき、最小
の感度を有する。
結合脚部２の下方端部が磁気インク層を有する媒体に近
接して配置されると、導電性コイル７に流れるコイル電
流工により生じた磁束の一部が５磁気インク層１３に流
れ、ＭＲ磁気感知手段３を分路させて、該感知手段に流
れる磁束を減少させる。これが生じると、ＭＲ磁気感知
手段３の２つの層内の磁化が再び回転して、磁化容易軸
の方向に戻る。その結果、端子Ａ及びＢの間の電気抵抗
に変化が生じ、その変化は一定の電流■ を維持するた
めに必要とされる電圧の変動に於て容易に観察される。
接して配置されると、導電性コイル７に流れるコイル電
流工により生じた磁束の一部が５磁気インク層１３に流
れ、ＭＲ磁気感知手段３を分路させて、該感知手段に流
れる磁束を減少させる。これが生じると、ＭＲ磁気感知
手段３の２つの層内の磁化が再び回転して、磁化容易軸
の方向に戻る。その結果、端子Ａ及びＢの間の電気抵抗
に変化が生じ、その変化は一定の電流■ を維持するた
めに必要とされる電圧の変動に於て容易に観察される。
第２図は、第１Ａ図に示された構造体を少し修正した実
施例を示す。その修正された構造体は。
施例を示す。その修正された構造体は。
垂直な脚部２の下の領域に於けるＭＲ磁気感知手段３内
の磁化の中間的状態を最小限にする。脚部２からＭＲ磁
気感知手段３への磁界の結合は磁束集中効果により増加
し、ＭＲ磁気感知手段の有効長さが増加して、信号の振
幅が少くとも２０％増加する。
の磁化の中間的状態を最小限にする。脚部２からＭＲ磁
気感知手段３への磁界の結合は磁束集中効果により増加
し、ＭＲ磁気感知手段の有効長さが増加して、信号の振
幅が少くとも２０％増加する。
再び第１Ａ図に於て、感知ヘッド構造体と銀行小切手と
の間の高さが距離１０として示されている。その高さは
Ｏ乃至約０．０２５圓の範囲で変化し、その信号応答は
、脚部２が磁気インク層１３と接触するとき、６００μ
Ｖであり１寸法１０の間隔が約００Ｏｏ６ｆｆＩＩ＋で
あるとき、３７０μＶであり、上記間隔が約０００２５
ｍｍであるとき、２４０ｕＶｔ’ある。その場合、Ｉ
Ｘ １０’Ａ／ｃＪの電流密度の電流がＭＲ磁気感知手
段３に流れているものと仮定し、又略４０ｍＡの電流が
導電性コイルに流され、５回の巻数のコイルが用いられ
ているものと仮定する。磁気インクの透磁性は２０ガウ
スに於て５５であり、ＭＲ磁気感知手段の抵抗は略２７
オームであると仮定する。３ ｍ Ａの感知電流が用い
られている。従って、ＭＲ磁気感知手段により消費され
る電力は略２４３μＷである。ショット雑音は、１００
，０００サイクルの帯域幅で０．２６μＶ程度である。
の間の高さが距離１０として示されている。その高さは
Ｏ乃至約０．０２５圓の範囲で変化し、その信号応答は
、脚部２が磁気インク層１３と接触するとき、６００μ
Ｖであり１寸法１０の間隔が約００Ｏｏ６ｆｆＩＩ＋で
あるとき、３７０μＶであり、上記間隔が約０００２５
ｍｍであるとき、２４０ｕＶｔ’ある。その場合、Ｉ
Ｘ １０’Ａ／ｃＪの電流密度の電流がＭＲ磁気感知手
段３に流れているものと仮定し、又略４０ｍＡの電流が
導電性コイルに流され、５回の巻数のコイルが用いられ
ているものと仮定する。磁気インクの透磁性は２０ガウ
スに於て５５であり、ＭＲ磁気感知手段の抵抗は略２７
オームであると仮定する。３ ｍ Ａの感知電流が用い
られている。従って、ＭＲ磁気感知手段により消費され
る電力は略２４３μＷである。ショット雑音は、１００
，０００サイクルの帯域幅で０．２６μＶ程度である。
第３Ａ図に於て、改良された型のＭＲ磁気感知手段が示
されており、第１Ａ図に於けるＭＲ磁気感知手段３の代
りに、２つのＭＲ磁気感知手段３ａ及び３ｂが示されて
いる。又、それらの感知手段は、第１Ａ図に於ける脚部
２に分路即ちブリッジせずに、透磁性の結合脚部２ａ及
び２ｂと直列に配置されている。第３Ａ図及び第３Ｂ図
に示されている構造体は、第１Ａ図、第１Ｂ図、及び第
２図に示されている構造体よりもずっと高い感度を有す
る。もう１つの実施例を示している。このヘッド構造体
は、５５でなく、４程度の小さい透磁性を有する薄い磁
気インク層を、銀行小切手の表面から、前述の実施例に
於て仮定された略０゜００６乃至０．０１２ｍｍの通常
の高さでなく、略０．０５ｍ＋＋の高さで検出すること
ができる。
されており、第１Ａ図に於けるＭＲ磁気感知手段３の代
りに、２つのＭＲ磁気感知手段３ａ及び３ｂが示されて
いる。又、それらの感知手段は、第１Ａ図に於ける脚部
２に分路即ちブリッジせずに、透磁性の結合脚部２ａ及
び２ｂと直列に配置されている。第３Ａ図及び第３Ｂ図
に示されている構造体は、第１Ａ図、第１Ｂ図、及び第
２図に示されている構造体よりもずっと高い感度を有す
る。もう１つの実施例を示している。このヘッド構造体
は、５５でなく、４程度の小さい透磁性を有する薄い磁
気インク層を、銀行小切手の表面から、前述の実施例に
於て仮定された略０゜００６乃至０．０１２ｍｍの通常
の高さでなく、略０．０５ｍ＋＋の高さで検出すること
ができる。
第３Ａ図に於て、この実施例の基本的設計は、第１図の
場合と同様であり、この実施例に於ても。
場合と同様であり、この実施例に於ても。
殆どの素子が、ＬＳＩ回路技術に於て周知である、層を
マスク及び付着する工程を用いて形成される。
マスク及び付着する工程を用いて形成される。
第１Ａ図、第１Ｂ図、第２図、及び第３Ａ図に於て、同
様な素子は同じ番号で示されており、異なる構造及び動
作についてだけ説明する。
様な素子は同じ番号で示されており、異なる構造及び動
作についてだけ説明する。
第３Ａ図に示されている基本的構造体は、逆Ｕ字形であ
る。この構造体に於ては、結合されたＭＲ磁気感知手段
３ａ及び３ｂが、各々の結合脚部２ａ及び２ｂの一部を
形成している。他の図に於ける導電性コイルと同様な導
電性コイル７が、上部部材を包囲しており、ＭＲ磁気感
知手段３ａ及び３ｂを付勢し、結合脚部２ａ及び２ｂの
端部に於ける間隙に磁束を供給する。第３Ａ図に示され
ている如＜−ＭＲ磁気感知手段３ａ及び３ｂの幅は、１
μｍの厚さを有するニッケル鉄の結合脚部２ａ及び２ｂ
の幅よりも小さい、ＭＲ磁気感知手段３ａ及び３ｂの幅
は、導電性コイル７に必要な電流の大きさに著しく影響
するが、全体的な信号の振幅には何ら関係を有していな
い、この構造体のＭＲ磁気感知手段３ａ及び３ｂ並びに
脚部２ａ及び２ｂは、第１Ａ図及び第１Ｂ図に関連して
示したものと同一の型、構造、及び全体的寸法を有する
、一対の平行な車軸性の磁性層より成る。電気的には、
２つの磁気感知手段３ａ及び３ｂは直列に接続されてお
り、電流Ｉ は前述の如く接点Ａ及びＢの間に流れる。
る。この構造体に於ては、結合されたＭＲ磁気感知手段
３ａ及び３ｂが、各々の結合脚部２ａ及び２ｂの一部を
形成している。他の図に於ける導電性コイルと同様な導
電性コイル７が、上部部材を包囲しており、ＭＲ磁気感
知手段３ａ及び３ｂを付勢し、結合脚部２ａ及び２ｂの
端部に於ける間隙に磁束を供給する。第３Ａ図に示され
ている如＜−ＭＲ磁気感知手段３ａ及び３ｂの幅は、１
μｍの厚さを有するニッケル鉄の結合脚部２ａ及び２ｂ
の幅よりも小さい、ＭＲ磁気感知手段３ａ及び３ｂの幅
は、導電性コイル７に必要な電流の大きさに著しく影響
するが、全体的な信号の振幅には何ら関係を有していな
い、この構造体のＭＲ磁気感知手段３ａ及び３ｂ並びに
脚部２ａ及び２ｂは、第１Ａ図及び第１Ｂ図に関連して
示したものと同一の型、構造、及び全体的寸法を有する
、一対の平行な車軸性の磁性層より成る。電気的には、
２つの磁気感知手段３ａ及び３ｂは直列に接続されてお
り、電流Ｉ は前述の如く接点Ａ及びＢの間に流れる。
抵抗の変化により接点Ａは、ＭＲ磁気感知手段３ａ及び
３ｂに流れる磁束の差を示し、結局に於て、脚部２ａ及
び２ｂの端部に於ける間隙に導入される材料の磁気抵抗
を示す。
３ｂに流れる磁束の差を示し、結局に於て、脚部２ａ及
び２ｂの端部に於ける間隙に導入される材料の磁気抵抗
を示す。
本発明の磁気抵抗感知装置の動作は、閉鎖ループに流れ
る磁束と該ループの磁気抵抗Ｒとの積が、該ループを包
囲する巻線の数に比例するという基本的原理に依存する
。第３Ａ図の構造体に於て、逆Ｕ字型構造体に於ける脚
部の２ａ及び２ｂの端部の間に閉鎮された磁気抵抗路の
一部が、磁気インク層によりブリッジされると、その閉
鎮されたループの磁気抵抗は、空気間隙の場合よりも大
きく降下する。上記の基本的原理が充たされるため・に
は、電流と巻数との積が一定であるので、上記閉鎖ルー
プに流れる磁束は、所与の電流に於て。
る磁束と該ループの磁気抵抗Ｒとの積が、該ループを包
囲する巻線の数に比例するという基本的原理に依存する
。第３Ａ図の構造体に於て、逆Ｕ字型構造体に於ける脚
部の２ａ及び２ｂの端部の間に閉鎮された磁気抵抗路の
一部が、磁気インク層によりブリッジされると、その閉
鎮されたループの磁気抵抗は、空気間隙の場合よりも大
きく降下する。上記の基本的原理が充たされるため・に
は、電流と巻数との積が一定であるので、上記閉鎖ルー
プに流れる磁束は、所与の電流に於て。
増加しなければならない、従って、ＭＲ磁気感知手段３
、ａ及び３ｂ内の磁化は、磁化困難軸に関して、安定な
静止状態、の角度から新しい静止状態の角度に回転する
。その結果、ＭＲ磁気感知手段３ａ及び３ｂに於ける抵
抗値が変化し、接点Ａ及びＢの間に生じる電圧が著しく
変化する。
、ａ及び３ｂ内の磁化は、磁化困難軸に関して、安定な
静止状態、の角度から新しい静止状態の角度に回転する
。その結果、ＭＲ磁気感知手段３ａ及び３ｂに於ける抵
抗値が変化し、接点Ａ及びＢの間に生じる電圧が著しく
変化する。
感知電流工 は、第３Ｂ図に於てより明確に示されてい
る如く、脚部２ａ及び２ｂの間の間隙をブリッジし且つ
それらの脚部から酸化物層４によす電気的に分離されて
いる、非透磁性の脚部に流れる。中間のチタン分離層５
が、第３Ｂ図に示されている如く、ＭＲ磁気感知手段３
Ａの２つの層を分離させている。しかしながら１点Ｃに
於ては、上記チタン層は除かれており、上記２つの層が
直接物理的及び電気的に相互に接触している。それらの
点Ｃの一方は、第３Ａ図に示されている導電性部材１１
を経て、第３Ａ図に示されている構造体の他方の脚部２
ｂを占める感知手段に於ける他方の点Ｃに接続されてい
る。導電性部材１１は透磁性を有していないため、コア
部材６からの磁束を何ら分路させず、又磁気的動作と何
ら相互作用しない。
る如く、脚部２ａ及び２ｂの間の間隙をブリッジし且つ
それらの脚部から酸化物層４によす電気的に分離されて
いる、非透磁性の脚部に流れる。中間のチタン分離層５
が、第３Ｂ図に示されている如く、ＭＲ磁気感知手段３
Ａの２つの層を分離させている。しかしながら１点Ｃに
於ては、上記チタン層は除かれており、上記２つの層が
直接物理的及び電気的に相互に接触している。それらの
点Ｃの一方は、第３Ａ図に示されている導電性部材１１
を経て、第３Ａ図に示されている構造体の他方の脚部２
ｂを占める感知手段に於ける他方の点Ｃに接続されてい
る。導電性部材１１は透磁性を有していないため、コア
部材６からの磁束を何ら分路させず、又磁気的動作と何
ら相互作用しない。
第３Ａ図に示されている磁気抵抗感知装置に於て、５回
の巻線のコイル、１１０ｍＡのコイル電流、１５ｍＡの
感知電流、８オームの感知抵抗、２０ガウスに於て５５
の透磁性を有するインク、並びに幅０．０２５−及び長
さ０．１５ｍｍのＭＲ磁気感知手段が用いられたものと
仮定すると、感知ヘッド構造体と銀行小切手との間の高
さ１０に関して計算された信号応答は以下の通りである
。
の巻線のコイル、１１０ｍＡのコイル電流、１５ｍＡの
感知電流、８オームの感知抵抗、２０ガウスに於て５５
の透磁性を有するインク、並びに幅０．０２５−及び長
さ０．１５ｍｍのＭＲ磁気感知手段が用いられたものと
仮定すると、感知ヘッド構造体と銀行小切手との間の高
さ１０に関して計算された信号応答は以下の通りである
。
上記高さが０の場合、３．９４ｍＶの信号が得られる筈
である。０．００６ｍの高さの場合、２゜６８ｍＶの信
号が予測される。０．０１２ａｎの高さの場合には、２
ｍＶの信号、０．０２５ｍｍの高さの場合には、１．２
ｍＶの信号、そして０．０５Ｉの高さの場合には、７２
５μＶの信号が予測される。第１Ａ図及び第１Ｂ図に於
ける構造体の場合に対して、第３Ａ図及び第３Ｂ図に示
されている如き構造体に於ては、１桁以上の大きさの信
号応答振幅の増加が得られる。
である。０．００６ｍの高さの場合、２゜６８ｍＶの信
号が予測される。０．０１２ａｎの高さの場合には、２
ｍＶの信号、０．０２５ｍｍの高さの場合には、１．２
ｍＶの信号、そして０．０５Ｉの高さの場合には、７２
５μＶの信号が予測される。第１Ａ図及び第１Ｂ図に於
ける構造体の場合に対して、第３Ａ図及び第３Ｂ図に示
されている如き構造体に於ては、１桁以上の大きさの信
号応答振幅の増加が得られる。
当業者に明らかな如く、本発明の磁気抵抗感知装置は、
磁気抵抗を感知する種々の作業に適用することができる
。その作業の性質によって、結合部材の構造体の形、Ｍ
Ｒ磁気感知手段の配向、及び用いられる種々の電流及び
電圧の大きさは変化するが、磁気感知手段及び磁気抵抗
に検出する素子の動作モード及び基本的構造は変らない
。従って、本発明の範囲及び要旨を免税することなく、
多くの変更が可能である。
磁気抵抗を感知する種々の作業に適用することができる
。その作業の性質によって、結合部材の構造体の形、Ｍ
Ｒ磁気感知手段の配向、及び用いられる種々の電流及び
電圧の大きさは変化するが、磁気感知手段及び磁気抵抗
に検出する素子の動作モード及び基本的構造は変らない
。従って、本発明の範囲及び要旨を免税することなく、
多くの変更が可能である。
Ｆ６発明の効果
本発明によれば、磁気感知手段が磁気回路に直列又は並
列に挿入され、磁気抵抗を感知すべき媒体又は素子に供
給される磁束の少なくとも一部である実質的に一定の磁
束が上記磁気感知手段に分割されて流され、上記媒体又
は素子が上記磁気回路に挿入されたときに該媒体又は素
子の有無により生じる上記磁気感知手段に流れる磁束の
変動が測定される、改良された磁気抵抗感知装置が得ら
れる。
列に挿入され、磁気抵抗を感知すべき媒体又は素子に供
給される磁束の少なくとも一部である実質的に一定の磁
束が上記磁気感知手段に分割されて流され、上記媒体又
は素子が上記磁気回路に挿入されたときに該媒体又は素
子の有無により生じる上記磁気感知手段に流れる磁束の
変動が測定される、改良された磁気抵抗感知装置が得ら
れる。
【図面の簡単な説明】
第１Ａ図は磁気インク文字に近接して配置されている本
発明の一実施例による磁気抵抗感知ヘッド構造体を示す
概略的立面図、第１Ｂ図は半導体基板上に付着された多
層構造体を示している、第１Ａ図の線ＩＢ−ＩＨに於け
る断面図、第２図は第１Ａ図及び第１Ｂ図の実施例の変
形を示す概略的立面図、第３Ａ図は磁気感知手段が磁気
抵抗感知ヘッド構造体の透磁性の脚部に直列に設けられ
ている、本発明の他の実施例を示す概略的立面図、第３
Ｂ図は第３Ａ図の線３Ｂ −３Ｂに於ける断面図である
。 １・・・・半導体基板、２．２ａ、２ｂ・・・・透磁性
結合脚部、３，３ａ、３ｂ・・・・磁気抵抗効果による
（ＭＲ）磁気感知手段、４・・・・酸化物（二酸化シリ
コン）絶縁層、５・・・・チタン分離層、６・・・・透
磁性コア部材、７・・・・導電性磁化コイル、８、Ａ、
Ｂ・・・・電気接点、９・・・・空気間隙、１ｏ・・・
・磁気抵抗感知ヘッド構造体と磁気インク層との間の距
離、１１・・・・導電性部材、１２・・・・用紙基板。 １３・・・・透磁性材料（磁気インク層）、１４・・・
・一対のニッケル鉄層、工・・・・コイル電流、工 ・
・・・感知電流。 出願人 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ
・コーポレーション 代理人 弁理士 岡 １） 次 生（外１名） ＊（Ａ図の臭施伊Ｊの変形例 第２図 窮３へ図の＃面図 第３８図
発明の一実施例による磁気抵抗感知ヘッド構造体を示す
概略的立面図、第１Ｂ図は半導体基板上に付着された多
層構造体を示している、第１Ａ図の線ＩＢ−ＩＨに於け
る断面図、第２図は第１Ａ図及び第１Ｂ図の実施例の変
形を示す概略的立面図、第３Ａ図は磁気感知手段が磁気
抵抗感知ヘッド構造体の透磁性の脚部に直列に設けられ
ている、本発明の他の実施例を示す概略的立面図、第３
Ｂ図は第３Ａ図の線３Ｂ −３Ｂに於ける断面図である
。 １・・・・半導体基板、２．２ａ、２ｂ・・・・透磁性
結合脚部、３，３ａ、３ｂ・・・・磁気抵抗効果による
（ＭＲ）磁気感知手段、４・・・・酸化物（二酸化シリ
コン）絶縁層、５・・・・チタン分離層、６・・・・透
磁性コア部材、７・・・・導電性磁化コイル、８、Ａ、
Ｂ・・・・電気接点、９・・・・空気間隙、１ｏ・・・
・磁気抵抗感知ヘッド構造体と磁気インク層との間の距
離、１１・・・・導電性部材、１２・・・・用紙基板。 １３・・・・透磁性材料（磁気インク層）、１４・・・
・一対のニッケル鉄層、工・・・・コイル電流、工 ・
・・・感知電流。 出願人 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ
・コーポレーション 代理人 弁理士 岡 １） 次 生（外１名） ＊（Ａ図の臭施伊Ｊの変形例 第２図 窮３へ図の＃面図 第３８図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 導電性コイル及び透磁性コア部材を有する電磁石と、 上記コア部材に結合され且つ磁気レラクタンス回路内に
配置されている少なくとも２つの透磁性結合部材と、 上記結合部材の各々に結合され磁気回路を作るように配
置されている磁気感知手段と、 上記磁気感知手段に電流を供給する手段とを有している
、 磁気レラクタンスの変化を検出する磁気抵抗感知装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/711,864 US4668913A (en) | 1985-03-14 | 1985-03-14 | Constant flux magneto resistive magnetic reluctance sensing apparatus |
| US711864 | 1985-03-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61213781A true JPS61213781A (ja) | 1986-09-22 |
| JPH0431355B2 JPH0431355B2 (ja) | 1992-05-26 |
Family
ID=24859853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60271736A Granted JPS61213781A (ja) | 1985-03-14 | 1985-12-04 | 磁気抵抗感知装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4668913A (ja) |
| EP (1) | EP0195217B1 (ja) |
| JP (1) | JPS61213781A (ja) |
| CA (1) | CA1241058A (ja) |
| DE (1) | DE3676520D1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6661627B1 (en) | 1999-10-19 | 2003-12-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording device, method of adjusting magnetic head, and magnetic recording medium |
| CN109211083A (zh) * | 2018-09-14 | 2019-01-15 | 清华大学 | 一种测量弹性金属密封环的壁厚的方法 |
| JP2020071198A (ja) * | 2018-11-02 | 2020-05-07 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07105006B2 (ja) * | 1985-11-05 | 1995-11-13 | ソニー株式会社 | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
| US4771349A (en) * | 1986-10-31 | 1988-09-13 | International Business Machine Corporation | Magnetoresistive read transducer |
| US5159511A (en) * | 1987-04-01 | 1992-10-27 | Digital Equipment Corporation | Biasing conductor for MR head |
| US4885649A (en) * | 1987-04-01 | 1989-12-05 | Digital Equipment Corporation | Thin film head having a magneto-restrictive read element |
| US5089334A (en) * | 1988-08-03 | 1992-02-18 | Digital Equipment Corporation | Flux spreading thin film magnetic devices |
| US5085935A (en) * | 1988-08-03 | 1992-02-04 | Digital Equipment Corporation | Flux spreading thin film magnetic devices |
| CA1334447C (en) * | 1988-08-03 | 1995-02-14 | Digital Equipment Corporation | Perpendicular anisotropy in thin film devices |
| JP2728487B2 (ja) * | 1989-02-08 | 1998-03-18 | 株式会社日立製作所 | 録再分離複合型磁気ヘッド |
| US5428893A (en) * | 1989-06-02 | 1995-07-04 | Quantum Corporation | Method of making a transducer with improved inductive coupling |
| US5311386A (en) * | 1989-06-02 | 1994-05-10 | Digital Equipment Corporation | Transducer with improved inductive coupling |
| US5195005A (en) * | 1989-06-02 | 1993-03-16 | Digital Equipment Corporation | Tranducer with improved inductive coupling |
| US5184267A (en) * | 1989-06-02 | 1993-02-02 | Digital Equipment Corporation | Transducer with improved inductive coupling |
| US5084794A (en) * | 1990-03-29 | 1992-01-28 | Eastman Kodak Company | Shorted dual element magnetoresistive reproduce head exhibiting high density signal amplification |
| US5258884A (en) * | 1991-10-17 | 1993-11-02 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive read transducer containing a titanium and tungsten alloy spacer layer |
| US5293125A (en) * | 1992-01-17 | 1994-03-08 | Lake Shore Cryotronics, Inc. | Self-aligning tachometer with interchangeable elements for different resolution outputs |
| US5331496A (en) * | 1992-02-14 | 1994-07-19 | Digital Equipment Corporation | Thin-film magnetic transducer with a multitude of magnetic flux interactions |
| US5315246A (en) * | 1992-08-19 | 1994-05-24 | Eastman Kodak Company | Rotating source for generating a magnetic field for use with a currency detector |
| US5336994A (en) * | 1992-11-20 | 1994-08-09 | Lake Shore Cryotronics, Inc. | Magneto-resistive tachometer assembly with reversible cover and related method |
| US5495758A (en) * | 1993-06-17 | 1996-03-05 | Lake Shore Cryotronics, Inc. | Tachometer assembly with integral internal wrench |
| DE4326029C2 (de) * | 1993-08-03 | 1995-05-24 | Amphenol Tuchel Elect | Leser für Informationskarten |
| US5514955A (en) * | 1994-03-11 | 1996-05-07 | Lake Shore Cryotronics, Inc. | Slim profile digital tachometer including planar block and rotor having spokes and clamp |
| JPH07270507A (ja) * | 1994-03-28 | 1995-10-20 | Sony Corp | 地磁気方位センサ |
| US6246233B1 (en) | 1994-12-30 | 2001-06-12 | Northstar Technologies Inc. | Magnetoresistive sensor with reduced output signal jitter and temperature compensation |
| US5729621A (en) * | 1995-08-31 | 1998-03-17 | Ncr Corporation | Method and apparatus for magnetic ink character recognition using a magneto-resistive read head |
| US7759931B2 (en) * | 2005-03-14 | 2010-07-20 | National University Corporation, Okayama University | Device for measuring magnetic impedance |
| US8004275B2 (en) * | 2008-02-07 | 2011-08-23 | GM Global Technology Operations LLC | Position sensor arrangement and method |
| US8579203B1 (en) | 2008-12-19 | 2013-11-12 | Dynamics Inc. | Electronic magnetic recorded media emulators in magnetic card devices |
| EP3220544B1 (en) * | 2016-03-16 | 2018-12-26 | Crocus Technology | Magnetoresistive-based signal shaping circuit for audio applications |
| JP6828676B2 (ja) * | 2017-12-27 | 2021-02-10 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4723656U (ja) * | 1971-04-01 | 1972-11-16 | ||
| JPS5971121A (ja) * | 1982-10-14 | 1984-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 垂直磁化再生ヘツド |
| JPS59112421A (ja) * | 1982-12-16 | 1984-06-28 | Nec Corp | 磁気ヘツド |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3337795A (en) * | 1963-09-23 | 1967-08-22 | Omron Tateisi Electronics Co | Method and apparatus for testing printed matter using differential transformer |
| US3340467A (en) * | 1964-06-23 | 1967-09-05 | Beckman Instruments Inc | Magnetic metal detector utilizing a magnetic bridge formed with permanent magnets and a hall effect sensor |
| CH447629A (de) * | 1966-02-14 | 1967-11-30 | Siemens Ag | Berührungsfreier elektrischer Abstandsmessgeber |
| US3444458A (en) * | 1966-11-21 | 1969-05-13 | Ralph H Scott | Device for detecting variations in magnetic properties of ferromagnetic material |
| JPS5228388B2 (ja) * | 1971-12-16 | 1977-07-26 | ||
| JPS5927115B2 (ja) * | 1974-12-29 | 1984-07-03 | ソニー株式会社 | 情報検出装置 |
| SE7611326L (sv) * | 1976-10-12 | 1978-04-13 | Gustafson Adolf Gunnar | Givare |
| NL7611522A (nl) * | 1976-10-19 | 1978-04-21 | Philips Nv | Magnetoweerstand leeskop met onderdrukking van thermischhe ruis. |
| DE2726370C2 (de) * | 1977-06-10 | 1981-09-24 | Basf Ag, 6700 Ludwigshafen | Meßverfahren und Meßeinrichtung zur Bestimmung der Homogenität von Magnetdispersionen |
| FR2461995A1 (fr) * | 1979-07-20 | 1981-02-06 | Lcc Cice Cie Europ Compo Elect | Transducteur magneto-electrique pour systeme d'enregistrement magnetique, et systeme d'enregistrement comportant un tel transducteur |
| US4566050A (en) * | 1982-12-30 | 1986-01-21 | International Business Machines Corp. (Ibm) | Skew insensitive magnetic read head |
| JPS60157A (ja) * | 1983-06-15 | 1985-01-05 | Canon Inc | 画像入力装置 |
-
1985
- 1985-03-14 US US06/711,864 patent/US4668913A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-09-10 CA CA000490349A patent/CA1241058A/en not_active Expired
- 1985-12-04 JP JP60271736A patent/JPS61213781A/ja active Granted
-
1986
- 1986-02-05 DE DE8686101473T patent/DE3676520D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1986-02-05 EP EP86101473A patent/EP0195217B1/en not_active Expired
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4723656U (ja) * | 1971-04-01 | 1972-11-16 | ||
| JPS5971121A (ja) * | 1982-10-14 | 1984-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 垂直磁化再生ヘツド |
| JPS59112421A (ja) * | 1982-12-16 | 1984-06-28 | Nec Corp | 磁気ヘツド |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6661627B1 (en) | 1999-10-19 | 2003-12-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording device, method of adjusting magnetic head, and magnetic recording medium |
| CN109211083A (zh) * | 2018-09-14 | 2019-01-15 | 清华大学 | 一种测量弹性金属密封环的壁厚的方法 |
| JP2020071198A (ja) * | 2018-11-02 | 2020-05-07 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0195217B1 (en) | 1990-12-27 |
| US4668913A (en) | 1987-05-26 |
| CA1241058A (en) | 1988-08-23 |
| JPH0431355B2 (ja) | 1992-05-26 |
| DE3676520D1 (de) | 1991-02-07 |
| EP0195217A1 (en) | 1986-09-24 |
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