JPS61210904A - 回転微動機構 - Google Patents
回転微動機構Info
- Publication number
- JPS61210904A JPS61210904A JP60051661A JP5166185A JPS61210904A JP S61210904 A JPS61210904 A JP S61210904A JP 60051661 A JP60051661 A JP 60051661A JP 5166185 A JP5166185 A JP 5166185A JP S61210904 A JPS61210904 A JP S61210904A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- members
- base
- moving
- rotating
- fine movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、物体の回転を高精度に行わせる回転微動機構
の改良に関する。
の改良に関する。
（発明の技術的背景とその問題点）
近年、半導体ウェハやマスク基板等の試料に微細パター
ンを形成するものとして、電子ビーム描画装置、縮小投
影型転写装置及びＸ線転写装置等が開発されているが、
この種の装置ではサブミクロン単位の精度を保持するた
めに微小に駆動する駆動機構が必要となる。また、上記
装置に限らず測定機器で精密な測定を行う分野等におい
ても、高精度を有する微動駆動機構が必要である。
ンを形成するものとして、電子ビーム描画装置、縮小投
影型転写装置及びＸ線転写装置等が開発されているが、
この種の装置ではサブミクロン単位の精度を保持するた
めに微小に駆動する駆動機構が必要となる。また、上記
装置に限らず測定機器で精密な測定を行う分野等におい
ても、高精度を有する微動駆動機構が必要である。
微動駆動機構としては、−軸方向に移動させるものや回
転運動を行わせるもの等があるが、回転運動を行わせる
従来の回転微動機構にあっては次のような問題がある。
転運動を行わせるもの等があるが、回転運動を行わせる
従来の回転微動機構にあっては次のような問題がある。
即ち、ストロークが長いものは微動駆動が困難で、逆に
微動駆動が可能なものはストロークを長くできない。そ
こで本発明者等は、上記のような問題を解決するものと
して最近、第５図（ａ）〜（Ｃ）に示す如き回転微動機
構を考案した（特開昭５８−１３９６８７号）。
微動駆動が可能なものはストロークを長くできない。そ
こで本発明者等は、上記のような問題を解決するものと
して最近、第５図（ａ）〜（Ｃ）に示す如き回転微動機
構を考案した（特開昭５８−１３９６８７号）。
この方式では回転ストロークを大きく取れ、原理的には
１回転以上の駆動が可能であり、且つ微小ステップ０．
００５ ［μＴｒＬ］程度の微動移動が可能である。
１回転以上の駆動が可能であり、且つ微小ステップ０．
００５ ［μＴｒＬ］程度の微動移動が可能である。
以下、この回転微動機構について説明する。第５図（ａ
）は平面図で、第５図（ｂ）は同図（ａ）の矢視Ａ−Ａ
断面図、第５図（Ｃ）は同図（ａ）の矢視Ｂ−Ｂ断面図
を示している。図中１は回転板であり、この回転板１は
半円板状の第１及び第２の移動部材２，３を弾性ヒンジ
４で接続して構成されている。なお、実際には円板の中
心軸を対称とする該円板の外周部２箇所をそれぞれ一部
切欠すると共に、該切欠部から中心軸に向かってそれぞ
れ切込みを設けることによって、上記移動部材２．３及
び弾性ヒンジ４からなる回転板１が形成される。そして
、回転板１は基台５上に移動自在に載置されると共に、
その中心である弾性ヒンジ４の下面に設けたピン６によ
って回転中心が規定されている。
）は平面図で、第５図（ｂ）は同図（ａ）の矢視Ａ−Ａ
断面図、第５図（Ｃ）は同図（ａ）の矢視Ｂ−Ｂ断面図
を示している。図中１は回転板であり、この回転板１は
半円板状の第１及び第２の移動部材２，３を弾性ヒンジ
４で接続して構成されている。なお、実際には円板の中
心軸を対称とする該円板の外周部２箇所をそれぞれ一部
切欠すると共に、該切欠部から中心軸に向かってそれぞ
れ切込みを設けることによって、上記移動部材２．３及
び弾性ヒンジ４からなる回転板１が形成される。そして
、回転板１は基台５上に移動自在に載置されると共に、
その中心である弾性ヒンジ４の下面に設けたピン６によ
って回転中心が規定されている。
回転板１の前記切欠部には、第１及び第２の駆動部材７
，８がそれぞれ設けられている。これらの駆動部材７．
８はそれぞれ印加電圧に応じて伸縮する圧電素子からな
るもので、その伸縮方向（図中に示す矢印方向）の両端
に前記第１及び第２の移動部材２，３がそれぞれ取着固
定されている。なお、この固定は接着、ねじ止め或いは
圧入等のいずれであってもよい。また、第１の駆動部材
７にはスイッチ９ａを介して可変電圧電源１０ａが接続
され、第２の駆動部材８にはスイッチ９ｂを介して可変
電圧電源１０ｂが接続されるものとなっている。
，８がそれぞれ設けられている。これらの駆動部材７．
８はそれぞれ印加電圧に応じて伸縮する圧電素子からな
るもので、その伸縮方向（図中に示す矢印方向）の両端
に前記第１及び第２の移動部材２，３がそれぞれ取着固
定されている。なお、この固定は接着、ねじ止め或いは
圧入等のいずれであってもよい。また、第１の駆動部材
７にはスイッチ９ａを介して可変電圧電源１０ａが接続
され、第２の駆動部材８にはスイッチ９ｂを介して可変
電圧電源１０ｂが接続されるものとなっている。
一方、前記第１の移動部材２の上方には、前記駆動部材
７．８と同様な圧電素子からなる第１及び第２の固定部
材１１．１２がそれぞれ設けられている。これらの固定
部材１１．１２の伸縮方向は回転板１の主面と直交する
方向に定められており、固定部材１１．１２の伸縮方向
の一端はそれぞれ固定端に固定されている。ざらに、第
１の固定部材１１にはスイッチ１３ａを介して電源１４
ａが接続され、第２の固定部材１２にはスイッチ１３ｂ
を介して電源１４ｂが接続されている。
７．８と同様な圧電素子からなる第１及び第２の固定部
材１１．１２がそれぞれ設けられている。これらの固定
部材１１．１２の伸縮方向は回転板１の主面と直交する
方向に定められており、固定部材１１．１２の伸縮方向
の一端はそれぞれ固定端に固定されている。ざらに、第
１の固定部材１１にはスイッチ１３ａを介して電源１４
ａが接続され、第２の固定部材１２にはスイッチ１３ｂ
を介して電源１４ｂが接続されている。
そして、固定部材１１．１２は電圧を印加されることに
より、その他端（自由端）で前記回転板１を基台５上に
押し付けて固定するものとなっている。
より、その他端（自由端）で前記回転板１を基台５上に
押し付けて固定するものとなっている。
このように構成された回転微動機構では、まず前記第２
の固定部材１２を伸長させて第２の移動部材３を基台５
上に押し付けて固定する。この状態で第１の駆動部材７
を伸長させると共に、第２の駆動部材８を縮長させる。
の固定部材１２を伸長させて第２の移動部材３を基台５
上に押し付けて固定する。この状態で第１の駆動部材７
を伸長させると共に、第２の駆動部材８を縮長させる。
これにより、第１の移動部材２は第６図（ａ）に示す如
く、弾性ヒンジ４の歪みにより同ヒンジ４を中心として
矢印Ｐ方向に微小回転する。次に、前記第１の固定部材
１１を伸長させて第１の移動部材２を基台５上に固定し
、その後筒２の固定部材１２を縮長させとて第２の移動
部材３の固定を解除する。この状態で第１の駆動部材７
を縮長させると共に第２の駆動部材８を伸長させると、
第２の移動部材３が第６図（ｂ）に示す如く、弾性ヒン
ジ４を中心として矢印Ｐ方向に微小回転する。以上の操
作を繰返すことによって、第１及び第２の移動部材２．
３からなる回転板１は、弾性ヒンジ４の歪みによりピン
６を中心として矢印Ｐ方向に回転せしめられることにな
る。
く、弾性ヒンジ４の歪みにより同ヒンジ４を中心として
矢印Ｐ方向に微小回転する。次に、前記第１の固定部材
１１を伸長させて第１の移動部材２を基台５上に固定し
、その後筒２の固定部材１２を縮長させとて第２の移動
部材３の固定を解除する。この状態で第１の駆動部材７
を縮長させると共に第２の駆動部材８を伸長させると、
第２の移動部材３が第６図（ｂ）に示す如く、弾性ヒン
ジ４を中心として矢印Ｐ方向に微小回転する。以上の操
作を繰返すことによって、第１及び第２の移動部材２．
３からなる回転板１は、弾性ヒンジ４の歪みによりピン
６を中心として矢印Ｐ方向に回転せしめられることにな
る。
かくして回転板１を微動駆動し得ると共にこの繰返し操
作によって回転ストロークを長くすることができる。さ
らに、駆動部材７．８に印加する電圧を調整することに
よって、回転板１の粗動及び超微動を容易に行うことが
できる。
作によって回転ストロークを長くすることができる。さ
らに、駆動部材７．８に印加する電圧を調整することに
よって、回転板１の粗動及び超微動を容易に行うことが
できる。
ところで、この種の機構では、前記移動部材２．３が基
台５と面接触しているために、例えば固定部材１２を伸
長させて移動部材３を基台５に押し付けて固定し、駆動
部材７を伸長させたとき、移動部材２と基台５との間に
摩擦抵抗が働く。この摩擦抵抗は、回転微動駆動に対し
て次の■〜■のような障害をもたらす。
台５と面接触しているために、例えば固定部材１２を伸
長させて移動部材３を基台５に押し付けて固定し、駆動
部材７を伸長させたとき、移動部材２と基台５との間に
摩擦抵抗が働く。この摩擦抵抗は、回転微動駆動に対し
て次の■〜■のような障害をもたらす。
■ 摩擦抵抗が反力として働き、十分な負荷トルクが得
られない。
られない。
■ 回転板が回転移動すると、回転板と基台との接触状
態が逐次変化するため、位置によって摩擦抵抗が変化し
、回転ムラを生じる。
態が逐次変化するため、位置によって摩擦抵抗が変化し
、回転ムラを生じる。
■ Ｈ擦抵抗が増加するような条件（例えば真空中）に
おいて回転する場合に、所望の回転性能（回転速度、負
荷トルク等）が得られなくなる。
おいて回転する場合に、所望の回転性能（回転速度、負
荷トルク等）が得られなくなる。
（発明の目的〕
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、その目的
とするところは、移動部材と基台との摩擦抵抗を軽減す
ることができ、回転性能及び微動精度の向上をはかり得
、且つ負荷トルクの増大をはかり得る回転微動機構を提
供することにある。
とするところは、移動部材と基台との摩擦抵抗を軽減す
ることができ、回転性能及び微動精度の向上をはかり得
、且つ負荷トルクの増大をはかり得る回転微動機構を提
供することにある。
（発明の概要）
本発明の骨子は、移動部材と基台との面接触を避けるた
めに、コロガリ軸受や非接触軸受等のスラスト軸受を用
いることにある。
めに、コロガリ軸受や非接触軸受等のスラスト軸受を用
いることにある。
即ち本発明は、基台上に移動自在に載置された第１及び
第２の移動部材と、印加電圧に応じて伸縮する圧電素子
からなりその伸縮方向両端に上記第１及び第２の移動部
材が取着された駆動部材と、前記第１及び第２の移動部
材を前記基台上に交互に固定すると共にこれらの移動部
材の少なくとも一方を常に固定する固定部材と、前記第
１及び第２の移動部材の回転中心を決定する手段とを具
備し、前記駆動部材の伸縮作用及び前記固定部材の固定
作用により前記第１及び第２の移動部材を単一の軸心を
中心として回転せしめる回転微動機構において、前記第
１及び第２の移動部材を該部材と前記基台との間に設け
たスラスト軸受により支持するようにしたものである。
第２の移動部材と、印加電圧に応じて伸縮する圧電素子
からなりその伸縮方向両端に上記第１及び第２の移動部
材が取着された駆動部材と、前記第１及び第２の移動部
材を前記基台上に交互に固定すると共にこれらの移動部
材の少なくとも一方を常に固定する固定部材と、前記第
１及び第２の移動部材の回転中心を決定する手段とを具
備し、前記駆動部材の伸縮作用及び前記固定部材の固定
作用により前記第１及び第２の移動部材を単一の軸心を
中心として回転せしめる回転微動機構において、前記第
１及び第２の移動部材を該部材と前記基台との間に設け
たスラスト軸受により支持するようにしたものである。
本発明によれば、移動部材がコロガリ軸受や非接触軸受
等のスラスト軸受により支持されているので、移動部材
の回転に際しての該部材と基台との間の摩擦抵抗を著し
く小さくすることができる。
等のスラスト軸受により支持されているので、移動部材
の回転に際しての該部材と基台との間の摩擦抵抗を著し
く小さくすることができる。
このため、負荷トルクが増大し、回転性能が向上する。
また、移動部材と基台との接触状態が一定であるので、
位置によって摩擦抵抗が変化する等の問題もなく、微動
精度の向上をはかり得る。
位置によって摩擦抵抗が変化する等の問題もなく、微動
精度の向上をはかり得る。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の詳細を図示の実施例によって説明する。
第１図（ａ）〜（Ｃ）は本発明の一実施例に係わる回転
微動機構の概略構成を説明するためのもので、第１図（
ａ）は平面図、第１図（ｂ）（Ｃ）はそれぞれ同図（ａ
＞の矢視Ａ−Ａ断面図である。
微動機構の概略構成を説明するためのもので、第１図（
ａ）は平面図、第１図（ｂ）（Ｃ）はそれぞれ同図（ａ
＞の矢視Ａ−Ａ断面図である。
なお、前記第５図と同一部分には同一符号を付して、そ
の詳しい説明は省略する。
の詳しい説明は省略する。
この実施例は前記第５図に示すものと基本的な構成は同
様であり、第５図に示すものと異なる点は、移動部材と
基台との間にコロガリ軸受を設けたことにある。即ち、
第１及び第２の移動部材２．３から回転板１が形成され
、移動部材２，３間には第１及び第２の駆動部材７，８
が接続されている。また、固定端には、第１及び第２の
固定部材１１．１２が設けられている。ざらに、スイッ
チ９．１３及び電源１０．１４等が先と同様に接続され
ている。
様であり、第５図に示すものと異なる点は、移動部材と
基台との間にコロガリ軸受を設けたことにある。即ち、
第１及び第２の移動部材２．３から回転板１が形成され
、移動部材２，３間には第１及び第２の駆動部材７，８
が接続されている。また、固定端には、第１及び第２の
固定部材１１．１２が設けられている。ざらに、スイッ
チ９．１３及び電源１０．１４等が先と同様に接続され
ている。
一方、基台５の上面には前記ピン６の位置を中心とした
円周方向に沿って案内溝１６が設けられている。そして
、この溝１６内にリテーナ１７によって保持された球状
の転動体１５が複数個はめ込まれている。ここで、転動
体１５はその上端が基台５の表面より僅かに突出し、移
動部材２，３の下面と接触するものとなっている。また
、上記案内溝１６は前記固定部材１１．１２の直下に位
置するものとなっている。
円周方向に沿って案内溝１６が設けられている。そして
、この溝１６内にリテーナ１７によって保持された球状
の転動体１５が複数個はめ込まれている。ここで、転動
体１５はその上端が基台５の表面より僅かに突出し、移
動部材２，３の下面と接触するものとなっている。また
、上記案内溝１６は前記固定部材１１．１２の直下に位
置するものとなっている。
このような構成であれば、従来機構と同様に駆動部材７
．８及び固定部材１１．１２の作用により回転微動がで
きるのは勿論のこと、次のような効果が得られる。即ち
、転動体１５．リテーナ１７及び案内溝１６からなるコ
ロガリ軸受（スラスト軸受）により、移動部材２，３等
の荷重を支えているので、移動部材２．３の基台５に対
する摩擦抵抗を著しく低減することができる。このため
、移動部材２，３からなる回転板１の回転性能及び微動
精度の向上をはかり得、且つ負荷トルクの増大をはかり
得る。また、コロガリ軸受は基台上の任意の位置に任意
の構成で配置できるので、移動部材２．３の固定時の固
定位置を回転板１の回転中心から遠ざけることができ、
これにより負荷トルクのより一層の増大をはかり得る。
．８及び固定部材１１．１２の作用により回転微動がで
きるのは勿論のこと、次のような効果が得られる。即ち
、転動体１５．リテーナ１７及び案内溝１６からなるコ
ロガリ軸受（スラスト軸受）により、移動部材２，３等
の荷重を支えているので、移動部材２．３の基台５に対
する摩擦抵抗を著しく低減することができる。このため
、移動部材２，３からなる回転板１の回転性能及び微動
精度の向上をはかり得、且つ負荷トルクの増大をはかり
得る。また、コロガリ軸受は基台上の任意の位置に任意
の構成で配置できるので、移動部材２．３の固定時の固
定位置を回転板１の回転中心から遠ざけることができ、
これにより負荷トルクのより一層の増大をはかり得る。
また本実施例では、固定部材１１．１２による移動部材
２．３の固定位置が案内溝１６上であるため、回転板１
′の回転中心に対する曲げ等の不必要且つ有害な応力発
生を未然に防止することができる。このため、回転中心
を規定する弾性ヒンジ４や軸に対して無理な力が加わら
ず、耐久性を損うことなく、また回転部を変形させ微動
の精度を低下させることもない。
２．３の固定位置が案内溝１６上であるため、回転板１
′の回転中心に対する曲げ等の不必要且つ有害な応力発
生を未然に防止することができる。このため、回転中心
を規定する弾性ヒンジ４や軸に対して無理な力が加わら
ず、耐久性を損うことなく、また回転部を変形させ微動
の精度を低下させることもない。
なお、上記の説明ではコロガリ軸受を基台５の上面に設
けているが、この軸受を第１図（Ｃ）に示す如く移動部
材２．３の下面側に設けるようにしてもよい。この場合
も、上記と同様の効果が得られるのは、勿論のことであ
る。
けているが、この軸受を第１図（Ｃ）に示す如く移動部
材２．３の下面側に設けるようにしてもよい。この場合
も、上記と同様の効果が得られるのは、勿論のことであ
る。
第２図（ａ）（ｂ）は他の実施例を説明するためのもの
で、第゛２図（ａ）は平面図、第２図（ｂ）は同図（ａ
）の矢視Ａ−Ａ断面図である。
で、第゛２図（ａ）は平面図、第２図（ｂ）は同図（ａ
）の矢視Ａ−Ａ断面図である。
この実施例は、先に説明した実施例に更にラジアル軸受
を付加するようにしたものである。即ち、基台５の表面
には、円周上に案内溝１６が設けられており、この溝１
６に先と同様にリテーナ１７で保持された転動体１５が
配置されている。また、基台５には、軸体１９が突設さ
れており、この軸体１９にラジアル軸受が設けられてい
る。ここで、前記第１及び第２の移動部材２．３は回転
部材２０を介して接続されており、各移動部材２，３と
回転部材２０との間には複数の弾性ヒンジ４が設けられ
ている。そして、この回転部材２０の中芯部には上記軸
体１９が挿通される貫通孔が設けられており、この孔内
で軸体１９と回転部材２０との間に球状の転動体１８が
配置されている。即ち、回転部材２０が軸体１９及び転
動体１８等からなるラジアル軸受によって支持されてい
る。
を付加するようにしたものである。即ち、基台５の表面
には、円周上に案内溝１６が設けられており、この溝１
６に先と同様にリテーナ１７で保持された転動体１５が
配置されている。また、基台５には、軸体１９が突設さ
れており、この軸体１９にラジアル軸受が設けられてい
る。ここで、前記第１及び第２の移動部材２．３は回転
部材２０を介して接続されており、各移動部材２，３と
回転部材２０との間には複数の弾性ヒンジ４が設けられ
ている。そして、この回転部材２０の中芯部には上記軸
体１９が挿通される貫通孔が設けられており、この孔内
で軸体１９と回転部材２０との間に球状の転動体１８が
配置されている。即ち、回転部材２０が軸体１９及び転
動体１８等からなるラジアル軸受によって支持されてい
る。
このような構成であれば、先の第１の実施例と同様の効
果が得られるのは勿論のこと、次のような効果が得られ
る。即ち、ラジアル軸受を設けたことにより、スラスト
方向は勿論ラジアル方向の摩擦抵抗も小さくすることが
でき、これにより回転性能及び負荷トルクのより一層の
向上゛をはかり得る。
果が得られるのは勿論のこと、次のような効果が得られ
る。即ち、ラジアル軸受を設けたことにより、スラスト
方向は勿論ラジアル方向の摩擦抵抗も小さくすることが
でき、これにより回転性能及び負荷トルクのより一層の
向上゛をはかり得る。
なお、本発明は上述した各実施例に限定されるものでは
ない。例えば、前記スラスト軸受を構成する転動体は球
体に限るものではなく、第３図に示す如く転動体として
ローラ２１を用いるようにしてもよい。さらに、スラス
ト軸受を構成するために、基台側或いは移動部材側の一
方でなく、第４図に示す如くこれらの両方に案内溝を設
けるようにしてもよい。この場合、スラスト軸受がラジ
アル方向の移動も規定することになるので、回転中心を
決定する手段が不要となる。また、スラスト軸受はコロ
ガリ軸受に限るものではなく、空気軸受や磁気軸受等の
非接触軸受であってもよい。
ない。例えば、前記スラスト軸受を構成する転動体は球
体に限るものではなく、第３図に示す如く転動体として
ローラ２１を用いるようにしてもよい。さらに、スラス
ト軸受を構成するために、基台側或いは移動部材側の一
方でなく、第４図に示す如くこれらの両方に案内溝を設
けるようにしてもよい。この場合、スラスト軸受がラジ
アル方向の移動も規定することになるので、回転中心を
決定する手段が不要となる。また、スラスト軸受はコロ
ガリ軸受に限るものではなく、空気軸受や磁気軸受等の
非接触軸受であってもよい。
ま献固定部材として静電チャック、真空チャック或いは
電磁チャック等を用いることも可能である。その他、本
発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施する
ことができる。
電磁チャック等を用いることも可能である。その他、本
発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施する
ことができる。
第１図（ａ）〜（Ｃ）は本発明の一実施例に係わる回転
微動機構の概略構成を説明するためのもので第１図（ａ
）は平面図、第１図（ｂ）（Ｃ）はそれぞれ同図（ａ）
の矢視Ａ−Ａ断面図、第２図（ａ）（ｂ）は他の実施例
を説明するためのもので第２図（ａ）は平面図、第２図
（ｂ）は同図（ａ）の矢視Ａ−Ａ断面図、第３図及び第
４図はそれぞれ変形例を説明するための断面図、第５図
（ａ）〜（Ｃ）及び第６図（ａ）（ｂ）はそれぞれ従来
機構を説明するための図でおる。 １・・・回転板、２．３・・・移動部材、４・・・弾性
ヒンジ、５・・・基台、６・・・ビン、７０．８・・・
駆動部材、９．１３・・・スイッチ、１０．１４・・・
電源、１１゜１２・・・固定部材、１５，１８．２１・
・・転動体、１６・・・案内溝、１７・・・リテーナ、
１９・・・軸体、２０・・・回転部材。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 （ａ） （Ｃ） 第２図 （ａ） 第３図 第４図 第５図 １１６図 （ａ） （ａ）
微動機構の概略構成を説明するためのもので第１図（ａ
）は平面図、第１図（ｂ）（Ｃ）はそれぞれ同図（ａ）
の矢視Ａ−Ａ断面図、第２図（ａ）（ｂ）は他の実施例
を説明するためのもので第２図（ａ）は平面図、第２図
（ｂ）は同図（ａ）の矢視Ａ−Ａ断面図、第３図及び第
４図はそれぞれ変形例を説明するための断面図、第５図
（ａ）〜（Ｃ）及び第６図（ａ）（ｂ）はそれぞれ従来
機構を説明するための図でおる。 １・・・回転板、２．３・・・移動部材、４・・・弾性
ヒンジ、５・・・基台、６・・・ビン、７０．８・・・
駆動部材、９．１３・・・スイッチ、１０．１４・・・
電源、１１゜１２・・・固定部材、１５，１８．２１・
・・転動体、１６・・・案内溝、１７・・・リテーナ、
１９・・・軸体、２０・・・回転部材。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 （ａ） （Ｃ） 第２図 （ａ） 第３図 第４図 第５図 １１６図 （ａ） （ａ）
Claims (4)
- （１）基台上に移動自在に載置された第１及び第２の移
動部材と、印加電圧に応じて伸縮する圧電素子からなり
その伸縮方向両端に上記第１及び第２の移動部材が取着
された駆動部材と、前記第１及び第２の移動部材を前記
基台上に交互に固定すると共にこれらの移動部材の少な
くとも一方を常に固定する固定部材と、前記第１及び第
２の移動部材の回転中心を決定する手段と、前記第１及
び第２の移動部材と前記基台との間に設けられ上記各移
動部材を支持するスラスト軸受とを具備し、前記駆動部
材の伸縮作用及び前記固定部材の固定作用により前記第
１及び第２の移動部材を単一の軸心を中心として回転せ
しめることを特徴とする回転微動機構。 - （２）前記移動部材を支持するスラスト軸受は、コロガ
リ軸受からなるものであることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の回転微動機構。 - （３）前記移動部材を支持するスラスト軸受は、非接触
軸受からなるものであることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の回転微動機構。 - （４）前記回転中心を決定する手段として前記第１及び
第２の移動部材を弾性ヒンジで接続した回転部材を用い
、この回転部材を前記基台との間に設けたラジアル軸受
によつて支持したことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の回転微動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60051661A JPS61210904A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | 回転微動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60051661A JPS61210904A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | 回転微動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61210904A true JPS61210904A (ja) | 1986-09-19 |
| JPH0412838B2 JPH0412838B2 (ja) | 1992-03-05 |
Family
ID=12893056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60051661A Granted JPS61210904A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | 回転微動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61210904A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010057225A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Chuo Seiki Kk | 圧電アクチュエータ |
| CN106297900A (zh) * | 2016-08-04 | 2017-01-04 | 苏州大学 | 一种z轴微旋转平台 |
| WO2021152897A1 (ja) * | 2020-01-30 | 2021-08-05 | 株式会社村田製作所 | リニア振動モータ、それを用いた電子機器、振動子および振動子の製造方法 |
-
1985
- 1985-03-15 JP JP60051661A patent/JPS61210904A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010057225A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Chuo Seiki Kk | 圧電アクチュエータ |
| CN106297900A (zh) * | 2016-08-04 | 2017-01-04 | 苏州大学 | 一种z轴微旋转平台 |
| WO2021152897A1 (ja) * | 2020-01-30 | 2021-08-05 | 株式会社村田製作所 | リニア振動モータ、それを用いた電子機器、振動子および振動子の製造方法 |
| CN114829023A (zh) * | 2020-01-30 | 2022-07-29 | 株式会社村田制作所 | 直线振动电机、使用该直线振动电机的电子设备、振子和振子的制造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0412838B2 (ja) | 1992-03-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2601834B2 (ja) | テーブル装置 | |
| US20160373029A1 (en) | Piezo ceramic planar motor and driving method thereof | |
| EP0160707B1 (en) | Piezoelectric stepping rotator | |
| EP0143549A1 (en) | Precise rotation mechanism for slightly rotating an object | |
| Wang et al. | A novel stick-slip piezoelectric rotary actuator designed by employing a centrosymmetric flexure hinge mechanism | |
| JP3844114B2 (ja) | 無限軌道並進回転ステージ | |
| JPS58139681A (ja) | 回転微動機構 | |
| JPS61210904A (ja) | 回転微動機構 | |
| US6302585B1 (en) | Two Axis stage with arcuate surface bearings | |
| JP3179369B2 (ja) | 微小領域走査装置 | |
| JPH0527034Y2 (ja) | ||
| JP2000009867A (ja) | ステージ移動装置 | |
| JPS58190080A (ja) | 回転微動機構 | |
| JPH0543439Y2 (ja) | ||
| JPS60130124A (ja) | 回転微動機構 | |
| JP2587116Y2 (ja) | 気体ジャーナル軸受 | |
| JP2570672B2 (ja) | 微小回転装置 | |
| JPH0725673Y2 (ja) | 曲げ試験機 | |
| JP3581433B2 (ja) | 角度変位機構 | |
| JPS6279645A (ja) | 回転微動ステ−ジ | |
| JPS60145613A (ja) | 回転微動機構 | |
| JPH02142365A (ja) | バイモルフモータ | |
| TWI300733B (ja) | ||
| JP3104890B2 (ja) | トンネル電子顕微鏡探針の粗動位置決めアクチュエータ | |
| JPH06307439A (ja) | 電動モータ用転がり軸受装置 |