JPS6120559U - スパツタ装置 - Google Patents

スパツタ装置

Info

Publication number
JPS6120559U
JPS6120559U JP10125984U JP10125984U JPS6120559U JP S6120559 U JPS6120559 U JP S6120559U JP 10125984 U JP10125984 U JP 10125984U JP 10125984 U JP10125984 U JP 10125984U JP S6120559 U JPS6120559 U JP S6120559U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sputtering device
film thickness
correction plate
sputtered
utility
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10125984U
Other languages
English (en)
Inventor
好治 山口
Original Assignee
株式会社日立製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP10125984U priority Critical patent/JPS6120559U/ja
Publication of JPS6120559U publication Critical patent/JPS6120559U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は従来のスパツタ装置の構造図、第３図
は従来の膜厚分布の説明図、第４図、第５図は本考案の
一実施例のスバッタ装置の構造図、第６図は本考案の同
じく膜厚分布の説明図である。 １・・・被スパッタ物、２・・・ターゲット、３・・・
膜厚補正板、４・・・取付金具、５・・・取付ネジ、６
・・・工口− −ションエリア、７・・・スバツタ膜厚
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転する被スパツタ物とプレーナマグネトロン型ターケ
    ットとの間に膜厚補正板を設けたことを特徴とするスパ
    ツタ装置。
JP10125984U 1984-07-06 1984-07-06 スパツタ装置 Pending JPS6120559U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10125984U JPS6120559U (ja) 1984-07-06 1984-07-06 スパツタ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10125984U JPS6120559U (ja) 1984-07-06 1984-07-06 スパツタ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6120559U true JPS6120559U (ja) 1986-02-06

Family

ID=30660698

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10125984U Pending JPS6120559U (ja) 1984-07-06 1984-07-06 スパツタ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6120559U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014129602A (ja) * 2012-12-29 2014-07-10 Shenzhen Futaihong Precision Industrial Co Ltd マグネトロンスパッタ蒸着装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014129602A (ja) * 2012-12-29 2014-07-10 Shenzhen Futaihong Precision Industrial Co Ltd マグネトロンスパッタ蒸着装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6120559U (ja) スパツタ装置
JPS6120556U (ja) マスク治具
JPS5852308U (ja) 溶接ネジ
JPS6060454U (ja) スパツタリング用タ−ゲツト
JPS5861461U (ja) スパツタリング装置
JPS59159944U (ja) 薄膜製造装置
JPS582703U (ja) Ｖｔｒのシヤ−シ
JPS60102249U (ja) スパツタリング用タ−ゲツト装置
JPS5956738U (ja) スパツタ用タ−ゲツト
JPS60143771U (ja) スパツタ用基板ホルダ
JPS5996197U (ja) 缶切り具
JPS6056762U (ja) スパツタリング用タ−ゲツト
JPS60191042U (ja) 原稿載置装置
JPS58129309U (ja) 板端部取付用ねじ構造
JPS60178577U (ja) スライド式板金スパナ
JPS60133690U (ja) 電子部品用基板
JPS59185274U (ja) メツキ用カソ−ド電極装置
JPS6041621U (ja) タッピング・ビス
JPS5812435U (ja) 銅調金属板材
JPH01119056U (ja)
JPS5852514U (ja) 表示パネル
JPS59129305U (ja) 制御盤のフレ−ム構造
JPS6139954U (ja) パワ−ｉｃの放熱装置
JPS5811833U (ja) デ−タタブレツト
JPS5866434U (ja) 操作盤