JPS6056762U - スパツタリング用タ−ゲツト - Google Patents
スパツタリング用タ−ゲツトInfo
- Publication number
- JPS6056762U JPS6056762U JP14815683U JP14815683U JPS6056762U JP S6056762 U JPS6056762 U JP S6056762U JP 14815683 U JP14815683 U JP 14815683U JP 14815683 U JP14815683 U JP 14815683U JP S6056762 U JPS6056762 U JP S6056762U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- sputtering
- backing plate
- abstract
- magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のターゲットの截断側面図、第２図は本煮
案の実施例の截断側面図である。 １・・・ターゲット、２・・・磁石、３・・・バッキン
グプレート、１ａ・・・表面。
案の実施例の截断側面図である。 １・・・ターゲット、２・・・磁石、３・・・バッキン
グプレート、１ａ・・・表面。
Claims (1)
- 平板状のターゲット１とその背後の磁石２との間にバッ
キングプレート３を介在させ、該ターゲット１の表面１
ａをスパッタする式のものに於て、該バッキングプレー
ト３を該ターゲット１と同一の材料で該ターゲット１と
一体に成形して成るスパッタリング用ターゲット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14815683U JPS6056762U (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | スパツタリング用タ−ゲツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14815683U JPS6056762U (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | スパツタリング用タ−ゲツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6056762U true JPS6056762U (ja) | 1985-04-20 |
Family
ID=30329255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14815683U Pending JPS6056762U (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | スパツタリング用タ−ゲツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6056762U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57207176A (en) * | 1981-06-17 | 1982-12-18 | Hitachi Ltd | Sputtering target |
-
1983
- 1983-09-27 JP JP14815683U patent/JPS6056762U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57207176A (en) * | 1981-06-17 | 1982-12-18 | Hitachi Ltd | Sputtering target |
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