JPS61201438A - プリアライメントロ−ラ駆動装置 - Google Patents
プリアライメントロ−ラ駆動装置Info
- Publication number
- JPS61201438A JPS61201438A JP60041077A JP4107785A JPS61201438A JP S61201438 A JPS61201438 A JP S61201438A JP 60041077 A JP60041077 A JP 60041077A JP 4107785 A JP4107785 A JP 4107785A JP S61201438 A JPS61201438 A JP S61201438A
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- JP
- Japan
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- roller
- wafer
- rollers
- orientation flat
- pulley
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、オリ７うを設けた半導体ウェハをプリアライ
メントする為の３点ローラを駆動する装置に関するもの
である。
メントする為の３点ローラを駆動する装置に関するもの
である。
半導体９エバｌは一般に第３図に示すごとく、はぼ円形
の薄板に構成され、粗位置決め（プリアライメント）を
行う為の切欠（オリフラ）１ａが設けられている。
の薄板に構成され、粗位置決め（プリアライメント）を
行う為の切欠（オリフラ）１ａが設けられている。
このウェハｌを自動機器に供給して露光などの加工を行
う場合、精密な位置決めをする為の準備工程としてプリ
アライメントが行われる。
う場合、精密な位置決めをする為の準備工程としてプリ
アライメントが行われる。
上記のプリアライメントの技術として、第４図に示すよ
うな３点ローラ式のプリアライメント装置が公知である
。
うな３点ローラ式のプリアライメント装置が公知である
。
本第４図に仮想線で描いたｌは９エバの外形を対比する
為に示したものであシ、所望のプリアライメント位置を
表わしている。
為に示したものであシ、所望のプリアライメント位置を
表わしている。
オリ７う１ａＫ沿って３個のローラ２ａ、 ２ｂｌ ２
Ｃが設けられている。詳しくは、両端のローラ２ｍ。
Ｃが設けられている。詳しくは、両端のローラ２ｍ。
２Ｃがオリフラｌａに接し、中央のロー２２ｂはオリ７
う１ａから微小寸法ｄだけ離間するようにオフセットさ
れている。
う１ａから微小寸法ｄだけ離間するようにオフセットさ
れている。
左端のローラ２ａは図の左回シに、中央のロー２２ｂと
右端のローラ２Ｃとは右回シに、それぞれ回転せしめら
れる。
右端のローラ２Ｃとは右回シに、それぞれ回転せしめら
れる。
上記３個のローラ（３点ローラと呼ぶ）２ａ。
２ｂ、２Ｃに対して適宜に離れた位置に、位置決め用の
ロー２３が設けられ、かつ、ウエノ・ｌを矢印Ａの如く
（即ち、位置決めローラと３点ローラとの中間に向かう
方向に）押動する手段が設けられ、る。
ロー２３が設けられ、かつ、ウエノ・ｌを矢印Ａの如く
（即ち、位置決めローラと３点ローラとの中間に向かう
方向に）押動する手段が設けられ、る。
上記の矢印Ａ方向の押動手段としては、プリアライメン
トの途中では例えばエアーを吹きつける方法が用いられ
、プリアライメントを終了する時点ではブツシャなどの
機械的部材が用いられる。
トの途中では例えばエアーを吹きつける方法が用いられ
、プリアライメントを終了する時点ではブツシャなどの
機械的部材が用いられる。
第５図に示すごとく、任意の姿勢に９二ノ１１を供給し
て矢印入方向に押しつけると（偶然にオリ７う１ａが３
点ローラ２ａ〜２Ｃに正対した場合を除き）ウェハ１の
周囲の円弧部分が中央のローラ２ｂＫｇする。この状態
（第５図）において両端のローラ２ａ、２ｃは９エバｌ
に接触しないので、ウェハ１は中央のローラ２ｂによっ
て矢印Ｌ゛の如く図示左回多方向に回動せしめられる。
て矢印入方向に押しつけると（偶然にオリ７う１ａが３
点ローラ２ａ〜２Ｃに正対した場合を除き）ウェハ１の
周囲の円弧部分が中央のローラ２ｂＫｇする。この状態
（第５図）において両端のローラ２ａ、２ｃは９エバｌ
に接触しないので、ウェハ１は中央のローラ２ｂによっ
て矢印Ｌ゛の如く図示左回多方向に回動せしめられる。
ウェハ１が回動して、第４図に示したようにオリフラｌ
ａが３点ローラ２ａ〜２Ｃに正対する姿勢になると、該
オリフラｌａは中央のローラ２ｂから離間して、両端の
ローラ２ａ、２ｃの接触を受ける。ところが、この状態
（第４図）においては両端（ＤＯ−ラ２ａと同２Ｃとが
それぞれ反対方向に回転しているので、ウェハｌが受け
る回転駆動力が相殺され、該９エバｌが静止する。
ａが３点ローラ２ａ〜２Ｃに正対する姿勢になると、該
オリフラｌａは中央のローラ２ｂから離間して、両端の
ローラ２ａ、２ｃの接触を受ける。ところが、この状態
（第４図）においては両端（ＤＯ−ラ２ａと同２Ｃとが
それぞれ反対方向に回転しているので、ウェハｌが受け
る回転駆動力が相殺され、該９エバｌが静止する。
第４図に示したように、ウェハ１がオリ７う１ａを両端
のローラ２ａ、２Ｃに接せしめた姿勢となったときに該
オリ７うＩａに近接するイー所に正対する位置に光セン
サ８が設けてあシ、この光センサ８がウェハｌを検知す
ると両端のローラ２ａ、２Ｃの駆動を停止し、矢印Ａ方
向の押動力によってウェハ１をローラ２ａ、 ２ＣＩ３
に押しつけてプリアライメントを完了する。
のローラ２ａ、２Ｃに接せしめた姿勢となったときに該
オリ７うＩａに近接するイー所に正対する位置に光セン
サ８が設けてあシ、この光センサ８がウェハｌを検知す
ると両端のローラ２ａ、２Ｃの駆動を停止し、矢印Ａ方
向の押動力によってウェハ１をローラ２ａ、 ２ＣＩ３
に押しつけてプリアライメントを完了する。
上に述べた構造機能から明らかなように、従来技術に係
る３点ローラ式のプリアライメント装置においては、３
個のローラ３ａ〜３Ｃの内の両端のロー２３ ａ ＋
３ ｃを互いに反対方向に、中央のローラ３ｂを何れか
一方の方向にそれぞれ回転駆動する装置が必要であシ、
かつ、°上記３個のローラはそれぞれ回転・停止の制御
ができる構造でなければならない。
る３点ローラ式のプリアライメント装置においては、３
個のローラ３ａ〜３Ｃの内の両端のロー２３ ａ ＋
３ ｃを互いに反対方向に、中央のローラ３ｂを何れか
一方の方向にそれぞれ回転駆動する装置が必要であシ、
かつ、°上記３個のローラはそれぞれ回転・停止の制御
ができる構造でなければならない。
上述の条件を満足させるように３個のローラ３ａ〜３Ｃ
を駆動・制御するには、各ローラにそれぞれモータを設
けることも考えられるが、これでは装置全体が大形、大
重量となり、制御機構も複雑になる。
を駆動・制御するには、各ローラにそれぞれモータを設
けることも考えられるが、これでは装置全体が大形、大
重量となり、制御機構も複雑になる。
比較的小形、軽量で、制御が容易な駆動方法として第６
図に示す構成が公知である。本第６図において、４は駆
動プーリ、５はテンションプーリ、６はテンションスプ
リングである。環状の無端ベルト７を前記のローラ２ｂ
、 ２Ｃ，駆動プーリ４゜及ヒテンションプーリに巻回
して張り渡す。これ−によシ上記のローラ２ｂｌ ２Ｃ
，プーリ４．５はベル）７に対して内接する。更に、上
記のベルト７の１辺にローラ２ａを外接せしめて接触さ
せる。こ６れによシ右端のローラ２Ｃと中央のローラ２
ｂは図の・右回シに、左端のローラ２ａは左回シに、そ
れぞれ回転駆動される。
図に示す構成が公知である。本第６図において、４は駆
動プーリ、５はテンションプーリ、６はテンションスプ
リングである。環状の無端ベルト７を前記のローラ２ｂ
、 ２Ｃ，駆動プーリ４゜及ヒテンションプーリに巻回
して張り渡す。これ−によシ上記のローラ２ｂｌ ２Ｃ
，プーリ４．５はベル）７に対して内接する。更に、上
記のベルト７の１辺にローラ２ａを外接せしめて接触さ
せる。こ６れによシ右端のローラ２Ｃと中央のローラ２
ｂは図の・右回シに、左端のローラ２ａは左回シに、そ
れぞれ回転駆動される。
しかし、上述の駆動機構（第６図）においては、プリア
ライメント作動の末期に駆動プーリ４の回転を停止し、
次のサイクルの作動を始めるため該駆動プーリ４の回転
を再開させなければならないので、この駆動プーリ４用
のモータ、及び該モータ用の電気的制御系統を設けなけ
ればならない。
ライメント作動の末期に駆動プーリ４の回転を停止し、
次のサイクルの作動を始めるため該駆動プーリ４の回転
を再開させなければならないので、この駆動プーリ４用
のモータ、及び該モータ用の電気的制御系統を設けなけ
ればならない。
即ち、隣接機器の定常回転軸から回転を伝動させて利用
することが困難（不可能ではないがクラッチ手段を設け
なければならない）である。
することが困難（不可能ではないがクラッチ手段を設け
なければならない）である。
本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので、駆動プー
リを連続的に回転させたままで３点プーリを駆動、制御
してプリアライメント機能を果たさしめ得る簡単外構成
の駆動装置を提供しようとするものである。
リを連続的に回転させたままで３点プーリを駆動、制御
してプリアライメント機能を果たさしめ得る簡単外構成
の駆動装置を提供しようとするものである。
上記の目的を達成する為、本発明の駆動装置は、半導体
ウェハの外周に摺触して、該ウェハに設けたオリ７うの
方向を自動的に位置決めする３点ローラ式プリアライメ
ントローラの駆動装置において、３個のローラをそれぞ
れ回転自在に支承するとともに、中央のローラに環状の
無端ベルトを巻き掛け、上記の環状無端ベルトを更にド
ライブプーリに巻回して張り渡し、一方、傾動駆動し得
るように枢支したレバーにアイドラプーリを軸着し、上
記のレバーを傾動せしめると上記アイドラプーリが無端
ベルト及び３個のローラ中の端部のローラに摺触して該
端部のローラに回転を伝動したり、離間して伝動を遮断
したシするように構成したことを特徴とする。
ウェハの外周に摺触して、該ウェハに設けたオリ７うの
方向を自動的に位置決めする３点ローラ式プリアライメ
ントローラの駆動装置において、３個のローラをそれぞ
れ回転自在に支承するとともに、中央のローラに環状の
無端ベルトを巻き掛け、上記の環状無端ベルトを更にド
ライブプーリに巻回して張り渡し、一方、傾動駆動し得
るように枢支したレバーにアイドラプーリを軸着し、上
記のレバーを傾動せしめると上記アイドラプーリが無端
ベルト及び３個のローラ中の端部のローラに摺触して該
端部のローラに回転を伝動したり、離間して伝動を遮断
したシするように構成したことを特徴とする。
次に、本発明の１実施例を第１図について説明する。
２ ａ ＋ ２ ｂｙ ２ ｃは前述の３点ローラ、３
は位置決めローラである。
は位置決めローラである。
駆動プーリ４′を設けて図示の右回りに回転せしめ、中
央のローラ２ｂとの間に環状の無端ベルト７′を巻回す
る。これにより該中央のローラ２ｂは連続的に図示右回
多方向に回転駆動される。
央のローラ２ｂとの間に環状の無端ベルト７′を巻回す
る。これにより該中央のローラ２ｂは連続的に図示右回
多方向に回転駆動される。
一方、枢支軸９によってＬ字形レバー１０を回動自在に
枢支するとともＫ、エアシリンダ１１を設けて上記り字
形レバー１０を在住回動せしめ得るように構成する。
枢支するとともＫ、エアシリンダ１１を設けて上記り字
形レバー１０を在住回動せしめ得るように構成する。
上記り字形レバー１０の１端にアイドラプーリ戎を軸着
する。
する。
本第１図はエアシリンダ１１を伸長せしめてＬ字形レバ
ー１０を右回多方向に回動させた状態を描いてあり、こ
の状態でアイドラプーリ１２が無端ベルト７′および右
端のローラ２Ｃに摺触するように構成する。これによシ
、本第１図の状態においては右端のローラ２Ｃが図示の
右回多方向に駆動される。
ー１０を右回多方向に回動させた状態を描いてあり、こ
の状態でアイドラプーリ１２が無端ベルト７′および右
端のローラ２Ｃに摺触するように構成する。これによシ
、本第１図の状態においては右端のローラ２Ｃが図示の
右回多方向に駆動される。
エアシリンダ１１を収縮せしめてＬ字形レバー１０を左
回り方向に回動させると、第２図に示したようにアイド
ラプーリ校が右端のローラ２Ｃから離間し、該右端のロ
ーラ２Ｃは伝動を遮断されて７１Ｊ−の状態となる。
回り方向に回動させると、第２図に示したようにアイド
ラプーリ校が右端のローラ２Ｃから離間し、該右端のロ
ーラ２Ｃは伝動を遮断されて７１Ｊ−の状態となる。
次に１上述の如く構成した実施例の装置を用いてプリア
ライメント（ウェハｌの粗位置決め）を行う方法と作用
、効果について説明する。
ライメント（ウェハｌの粗位置決め）を行う方法と作用
、効果について説明する。
第１図に実線で示したｌは、ウェハを任意の方向ならし
めて（詳しくは、水平姿勢においてオリフラ１ａを任意
方向にして）供給した状態を表わしている。偶然にオリ
７うｌａが３点ローラ２ａ〜２Ｃに正対した場合を除き
、一般には実線１の如く、オリフラ１ａ以外の円周部が
３点ローラ２ａ〜２Ｃに対向する。この状態でウェハ１
を矢印に方向に押しつけると、実線で示したウェハｌは
中央のローラ２ｂに当接し、摩擦伝動によって図示左回
り方向に回動せしめられる。
めて（詳しくは、水平姿勢においてオリフラ１ａを任意
方向にして）供給した状態を表わしている。偶然にオリ
７うｌａが３点ローラ２ａ〜２Ｃに正対した場合を除き
、一般には実線１の如く、オリフラ１ａ以外の円周部が
３点ローラ２ａ〜２Ｃに対向する。この状態でウェハ１
を矢印に方向に押しつけると、実線で示したウェハｌは
中央のローラ２ｂに当接し、摩擦伝動によって図示左回
り方向に回動せしめられる。
９エバｌが左回り方向に回動してオリフラｌａが中央の
ローラ２ｂに差しかかると、本第１図に鎖線で示した１
′の如く右端のローラ２Ｃに摺触し、該右端のローラ２
Ｃとの摩擦伝動によって左回シを継続する。
ローラ２ｂに差しかかると、本第１図に鎖線で示した１
′の如く右端のローラ２Ｃに摺触し、該右端のローラ２
Ｃとの摩擦伝動によって左回シを継続する。
第１図の鎖線１′姿勢のウェハが爽に左回りすると、第
２図に示したようにウェハ１′が光センサ８によって検
知されるので、該光センサ８の検出信号によってエアシ
リンダ１１を収縮させ、右端のローラ２Ｃをフリーにす
る。
２図に示したようにウェハ１′が光センサ８によって検
知されるので、該光センサ８の検出信号によってエアシ
リンダ１１を収縮させ、右端のローラ２Ｃをフリーにす
る。
この状態（第２図）において、オリフラ１３′は両端の
ローラ２ａ、 ２Ｃに当接しており、かつ、上記両端の
ロー２２ ａ ＊ ２ ｃはフリー（回動自在）である
為、９エバｌ′を矢印入方向に押しつけると、ウェハｌ
′はオリフラｌａ’をローラ２ａｌ ２Ｃに当接せしめ
つつ円弧部を位置決めローラ３に当接せしめて位置決め
される。この場合、中央のローラ２ｂはオリフラｌａ１
から離間しているので、回転を続けていてもプリアライ
メント作用に影響を及ぼさない。
ローラ２ａ、 ２Ｃに当接しており、かつ、上記両端の
ロー２２ ａ ＊ ２ ｃはフリー（回動自在）である
為、９エバｌ′を矢印入方向に押しつけると、ウェハｌ
′はオリフラｌａ’をローラ２ａｌ ２Ｃに当接せしめ
つつ円弧部を位置決めローラ３に当接せしめて位置決め
される。この場合、中央のローラ２ｂはオリフラｌａ１
から離間しているので、回転を続けていてもプリアライ
メント作用に影響を及ぼさない。
以上詳述したように、本発明を適用すると、簡単な構成
によシ、駆動プーリを連続的に回転させたままで３点プ
ーリを駆動、制御して（詳しくは３点ローラ中の中央ロ
ーラを連続的に回転駆動しつつ、ｌ端のローラを駆動、
制御して）プリアライメント機能を果たさしめ得るとい
う優れた実用的効果を奏する。
によシ、駆動プーリを連続的に回転させたままで３点プ
ーリを駆動、制御して（詳しくは３点ローラ中の中央ロ
ーラを連続的に回転駆動しつつ、ｌ端のローラを駆動、
制御して）プリアライメント機能を果たさしめ得るとい
う優れた実用的効果を奏する。
第１図及び第２図は本発明の１実施例におけるＩＩｔ要
的な平面図を示し、第１図はプリアライメント作動初期
の状態、第２図は同じく作動完了時の状態である。 第３図はウェハの外観図、第４図は３点ローラ式プリア
ライメント装置におけるローラの配置を示す平面図、第
５図は同じく作動を説明する為の概要的な平面図である
。 第６図は公知の３点ローラ駆動装置の１例の説明図であ
る。 １ 、 １’、 ｌ’−・・ウェハ、ｌ ａ ＋ ｌ
ｆｌ’、 ｌａｅ 、、・オリフラ、２ａｔ ２ｂ＊
２ｃ・・・ローラ、３・・・位置決め用ローラ、４．
４′・・・躯動プーリ、５・・・テンションプーリ、７
゜７／・・・環状の無端ベルト、８・・・光センサ、１
０・・・Ｌ字形レバー、 １１・・・エアシリンダ、ル
・・・アイドラプーリ。 特 許 出 願 人 日立電子エンジニアリング株式会
社代理人 ｆＰ理士 秋 本 正 実第１図 第２図 第３図 ａ 第４図
的な平面図を示し、第１図はプリアライメント作動初期
の状態、第２図は同じく作動完了時の状態である。 第３図はウェハの外観図、第４図は３点ローラ式プリア
ライメント装置におけるローラの配置を示す平面図、第
５図は同じく作動を説明する為の概要的な平面図である
。 第６図は公知の３点ローラ駆動装置の１例の説明図であ
る。 １ 、 １’、 ｌ’−・・ウェハ、ｌ ａ ＋ ｌ
ｆｌ’、 ｌａｅ 、、・オリフラ、２ａｔ ２ｂ＊
２ｃ・・・ローラ、３・・・位置決め用ローラ、４．
４′・・・躯動プーリ、５・・・テンションプーリ、７
゜７／・・・環状の無端ベルト、８・・・光センサ、１
０・・・Ｌ字形レバー、 １１・・・エアシリンダ、ル
・・・アイドラプーリ。 特 許 出 願 人 日立電子エンジニアリング株式会
社代理人 ｆＰ理士 秋 本 正 実第１図 第２図 第３図 ａ 第４図
Claims (1)
- 半導体ウェハの外周に摺触して、該ウェハに設けたオリ
フラの方向を自動的に位置決めする３点ローラ式プリア
ライメントローラの駆動装置において、３個のローラを
それぞれ回転自在に支承するとともに、中央のローラに
環状の無端ベルトを巻き掛け、上記の環状無端ベルトを
更にドライブプリーに巻回して張り渡し、一方、傾動駆
動し得るように枢支したレバーにアイドラプーリを軸着
し、上記のレバーを傾動せしめると上記アイドラプーリ
が無端ベルト及び３個のローラ中の端部のローラに摺触
して該端部のローラに回転を伝動したり、離間して伝動
を遮断したりするように構成したことを特徴とするプリ
アライメントローラ駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60041077A JPS61201438A (ja) | 1985-03-04 | 1985-03-04 | プリアライメントロ−ラ駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60041077A JPS61201438A (ja) | 1985-03-04 | 1985-03-04 | プリアライメントロ−ラ駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61201438A true JPS61201438A (ja) | 1986-09-06 |
Family
ID=12598396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60041077A Pending JPS61201438A (ja) | 1985-03-04 | 1985-03-04 | プリアライメントロ−ラ駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61201438A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0303404A2 (en) * | 1987-08-11 | 1989-02-15 | Applied Materials, Inc. | Method of aligning wafers and device therefor |
| CN102830574A (zh) * | 2011-06-13 | 2012-12-19 | 万里科技股份有限公司 | 具有转盘驱动机构的摄影棚 |
| JP2013041176A (ja) * | 2011-08-18 | 2013-02-28 | Manri Kagi Kofun Yugenkoshi | 回転盤駆動機構を具えた撮影棚 |
| DE102011051518B4 (de) * | 2011-07-02 | 2016-08-04 | Ortery Technologies, Inc. | Fotostudio mit einem Antriebsmechanismus für einen Drehtisch |
| CN113976498A (zh) * | 2021-10-19 | 2022-01-28 | 华海清科股份有限公司 | 一种晶圆滚刷清洗方法及晶圆清洗装置 |
-
1985
- 1985-03-04 JP JP60041077A patent/JPS61201438A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0303404A2 (en) * | 1987-08-11 | 1989-02-15 | Applied Materials, Inc. | Method of aligning wafers and device therefor |
| JPH01133332A (ja) * | 1987-08-11 | 1989-05-25 | Applied Materials Inc | ウエハの心出し方法及び同方法に使用する装置 |
| CN102830574A (zh) * | 2011-06-13 | 2012-12-19 | 万里科技股份有限公司 | 具有转盘驱动机构的摄影棚 |
| DE102011051518B4 (de) * | 2011-07-02 | 2016-08-04 | Ortery Technologies, Inc. | Fotostudio mit einem Antriebsmechanismus für einen Drehtisch |
| JP2013041176A (ja) * | 2011-08-18 | 2013-02-28 | Manri Kagi Kofun Yugenkoshi | 回転盤駆動機構を具えた撮影棚 |
| CN113976498A (zh) * | 2021-10-19 | 2022-01-28 | 华海清科股份有限公司 | 一种晶圆滚刷清洗方法及晶圆清洗装置 |
| CN113976498B (zh) * | 2021-10-19 | 2022-08-02 | 华海清科股份有限公司 | 一种晶圆滚刷清洗方法及晶圆清洗装置 |
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