JPS61196248U - - Google Patents

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JPS61196248U
JPS61196248U JP7932985U JP7932985U JPS61196248U JP S61196248 U JPS61196248 U JP S61196248U JP 7932985 U JP7932985 U JP 7932985U JP 7932985 U JP7932985 U JP 7932985U JP S61196248 U JPS61196248 U JP S61196248U
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
図は、本考案の両面焼付装置の一実施例を示す
縦断面図で、第1図は下側透明板上に、被露光材
料と上下側のパターン用フイルム原板を重合した
ものを載置し、かつ上枠を上昇させた状態、第2
図は、同じく上枠を閉じた状態、第3図は、上下
の枠の間を排気し始めた状態、第4図は、上下の
枠の間をさらに排気した状態を、それぞれ示す。 1…被露光材料、2,3…フイルム原板、4…
下側透明板、5…上側透明板、6…シール部材、
7…パツキング、8…下枠、9…スペーサ、10
…弾性材料、11…上枠、12…フレーム。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被露光材料の表裏両面にそれぞれ所要のパ
    ターンを有する上下フイルム原板を密着させ、被
    露光材料の表裏両方向にそれぞれ付設された光源
    により、被露光材料を両面焼付けする装置におい
    て、 上下各面に、それぞれパターン用フイルム原板
    を重ね合せた被露光材料を載置するための下側透
    明板と、 該下側透明板上の有効焼付領域外周縁に付設さ
    れ、前記被露光材料及びパターン用フイルム原板
    と同一厚さ、あるいはそれと若干厚さを異にする
    スペーサと、 該下側透明板を支持するための下枠と、 該下枠上において、下側透明板の周端に近接し
    て設けられた気密用パツキングと、 下側透明板より大寸で、蝶番、その他の適宜の
    機構により、気密用パツキングを介して当該下側
    透明板の上部に重ね合せることができる上側透明
    板と、 上側透明板を保持するための上枠と、 前記上側及び下側透明板と、気密用パツキング
    と、下枠とから形成される気密部を排気するため
    の手段 とを備えてなる両面焼付装置。 (2) 上側透明板を、弾性材料を介して上枠に取
    付けた実用新案登録請求の範囲第(1)項に記載の
    両面焼付装置。
JP7932985U 1985-05-29 1985-05-29 Pending JPS61196248U (ja)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5323721A (en) * 1976-08-12 1978-03-04 Hitoshi Wakabayashi Drawing operation sensor and method of use
JPS5655706U (ja) * 1979-10-05 1981-05-14
JPS5634368B2 (ja) * 1977-07-27 1981-08-10

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5323721A (en) * 1976-08-12 1978-03-04 Hitoshi Wakabayashi Drawing operation sensor and method of use
JPS5634368B2 (ja) * 1977-07-27 1981-08-10
JPS5655706U (ja) * 1979-10-05 1981-05-14

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