JPS61194840A - 封止装置 - Google Patents
封止装置Info
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- JPS61194840A JPS61194840A JP3582085A JP3582085A JPS61194840A JP S61194840 A JPS61194840 A JP S61194840A JP 3582085 A JP3582085 A JP 3582085A JP 3582085 A JP3582085 A JP 3582085A JP S61194840 A JPS61194840 A JP S61194840A
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- resin
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/565—Moulds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/4847—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野」
この発明は混成集積回路基板上に塔載した裸の半導体素
子(以下ペアチップ)を樹脂封止する技術に関する。
子(以下ペアチップ)を樹脂封止する技術に関する。
第1図に示すのは混成集積回路基板(1)(以下基板と
いう)で、プリント回路(2)、端子用ランド(3)、
チップ搭載部(4)等を形成し、このチップ搭載部(4
)にペアチップ(5)を塔載している。(6)はワイヤ
ーポンド用のワイヤーである。
いう)で、プリント回路(2)、端子用ランド(3)、
チップ搭載部(4)等を形成し、このチップ搭載部(4
)にペアチップ(5)を塔載している。(6)はワイヤ
ーポンド用のワイヤーである。
このペアチップ(5)の封止方法は、第2図又は第3図
の如く液状の樹脂(7)を滴下しておこなっている。而
して樹脂(7)の流動性が大きいと第2図の如く流れて
広が9周囲の端子用ランド(3)t−おおってしまう欠
点が6D、流動性が低いと(粘度が高いと)第3図の如
く不均一に盛シ上が〕後の操作取扱いに不都合を生じる
欠点がめった。(9)は樹脂(7)の滴下用のノズルで
ある。
の如く液状の樹脂(7)を滴下しておこなっている。而
して樹脂(7)の流動性が大きいと第2図の如く流れて
広が9周囲の端子用ランド(3)t−おおってしまう欠
点が6D、流動性が低いと(粘度が高いと)第3図の如
く不均一に盛シ上が〕後の操作取扱いに不都合を生じる
欠点がめった。(9)は樹脂(7)の滴下用のノズルで
ある。
この改良方法として第4図の如く枠@)全載置し、この
枠(8)内に充填する方法が採用されている。しかしい
ちいち枠但)を七フトしてそこに樹脂を充填する作業を
用い、工程が煩雑になるという欠点があった。
枠(8)内に充填する方法が採用されている。しかしい
ちいち枠但)を七フトしてそこに樹脂を充填する作業を
用い、工程が煩雑になるという欠点があった。
この発明はペアチップを一定の形に整然と樹脂封止でき
る封止装置を提供せんとするものである。
る封止装置を提供せんとするものである。
この発明は上記欠点を除去せんとするものであり、その
要旨とするところは、ノズル(9)の先端を下方に略半
球状の凹部0■を開口せるアタッチメン) Ql)に接
続せる封止装置である。
要旨とするところは、ノズル(9)の先端を下方に略半
球状の凹部0■を開口せるアタッチメン) Ql)に接
続せる封止装置である。
第5図に示すのはこの一実施例である。
ノズ/v(9)としては細い金属や合成樹脂等のパイプ
が使用される。
が使用される。
アタッチメントα1)は金属やテフロン等で、滴下する
樹脂の離 性の良いものが使用される。
樹脂の離 性の良いものが使用される。
以下この封止装置の使用方法を説明する。
凹部QO)を基板(1)のチップ搭載部(4)上にベア
チップ(5) ’(r g mするようにのせる。しか
るのちノズル(9)よシ粘度の高い樹脂を凹部0の内に
送シ込む。この状態をしばらく保持する等して樹脂(7
)が略半円形の山型に付型された時点でノズ/l’(9
)を引上げアタッチメント(1υt−基板(1)上より
引離なす。樹脂(7)の粘度が高いときはアタッチメン
) (11)の引離なしはただちに行うことができる。
チップ(5) ’(r g mするようにのせる。しか
るのちノズル(9)よシ粘度の高い樹脂を凹部0の内に
送シ込む。この状態をしばらく保持する等して樹脂(7
)が略半円形の山型に付型された時点でノズ/l’(9
)を引上げアタッチメント(1υt−基板(1)上より
引離なす。樹脂(7)の粘度が高いときはアタッチメン
) (11)の引離なしはただちに行うことができる。
以上の如くしてベアチップ(5)は形よく付形された山
形の樹脂(7)にて整然と封止される。
形の樹脂(7)にて整然と封止される。
そしてこの封止装置は従前のノズμのみの移動動作と同
様に基板(1)上を移動させるのみでよいから作東工程
が何ら煩雑になることはないのである。
様に基板(1)上を移動させるのみでよいから作東工程
が何ら煩雑になることはないのである。
以上のようにこの発明の封止装置によれば、基板に塔載
したベアチップを樹脂にて整然と略半球形の山形に封止
することができる。
したベアチップを樹脂にて整然と略半球形の山形に封止
することができる。
第1図乃至第4図は従来例を示す図で、第1図は平面図
、第2図及び第今図は斜視図、第3図は側面図、第5図
は本発明の一実施例を示す断面図である。 (1)・・・基板、(2)・・・プリント回路、(5)
・・・ペア+ッ −グ、(7)・・・樹脂、(9)・・
・ノズ〃、q■・・・凹部、Ql)・・・アタッチメン
ト。
、第2図及び第今図は斜視図、第3図は側面図、第5図
は本発明の一実施例を示す断面図である。 (1)・・・基板、(2)・・・プリント回路、(5)
・・・ペア+ッ −グ、(7)・・・樹脂、(9)・・
・ノズ〃、q■・・・凹部、Ql)・・・アタッチメン
ト。
Claims (1)
- (1)ノズル(9)の先端を下方に略半球状の凹部(1
0)を開口せるアタッチメント(11)に接続して成る
封止装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3582085A JPS61194840A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | 封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3582085A JPS61194840A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | 封止装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61194840A true JPS61194840A (ja) | 1986-08-29 |
Family
ID=12452581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3582085A Pending JPS61194840A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | 封止装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61194840A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03145144A (ja) * | 1989-10-31 | 1991-06-20 | Sony Corp | 回路部品の封止方法 |
-
1985
- 1985-02-25 JP JP3582085A patent/JPS61194840A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03145144A (ja) * | 1989-10-31 | 1991-06-20 | Sony Corp | 回路部品の封止方法 |
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