JPS61193336A - 撮像管タ−ゲツト - Google Patents
撮像管タ−ゲツトInfo
- Publication number
- JPS61193336A JPS61193336A JP3039185A JP3039185A JPS61193336A JP S61193336 A JPS61193336 A JP S61193336A JP 3039185 A JP3039185 A JP 3039185A JP 3039185 A JP3039185 A JP 3039185A JP S61193336 A JPS61193336 A JP S61193336A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- thickness
- lif
- image pickup
- photoconductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、8 e + A s + T eを主成分と
する光導電膜を備えた撮像管ターゲットに関するもので
ある。
する光導電膜を備えた撮像管ターゲットに関するもので
ある。
従来、この種の光導電膜を備えた撮像管においては、ハ
イライトスティッキング、すなわち面輝度被写体の撮像
時に生ずる尾引き現象に対する対策としてLiF+ca
F2のようなフッ化物を、透明導電膜上に形成したSe
、Asを主成分とする第1層からTe含有の第2層にか
けて、ドーピングすることが行なわれている(特願昭5
5−157084号)。
イライトスティッキング、すなわち面輝度被写体の撮像
時に生ずる尾引き現象に対する対策としてLiF+ca
F2のようなフッ化物を、透明導電膜上に形成したSe
、Asを主成分とする第1層からTe含有の第2層にか
けて、ドーピングすることが行なわれている(特願昭5
5−157084号)。
しかしながら、このような不純物のドーピングにより上
記ハイライトスティッキングは減少するものの、ハイラ
イト焼付、すなわち高輝度被写体撮像後その像が残って
消えない現象を十分に防止することができず、背色光は
ポジに焼付き(背景画面よ9明るく残る)、赤色光はネ
ガに焼付く(背景画面より暗く残る)という問題があっ
た。
記ハイライトスティッキングは減少するものの、ハイラ
イト焼付、すなわち高輝度被写体撮像後その像が残って
消えない現象を十分に防止することができず、背色光は
ポジに焼付き(背景画面よ9明るく残る)、赤色光はネ
ガに焼付く(背景画面より暗く残る)という問題があっ
た。
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり
、その目的は、ハイライトm付を有効に抑えることが可
能な撮像管ターゲットを提供することKある。
、その目的は、ハイライトm付を有効に抑えることが可
能な撮像管ターゲットを提供することKある。
このような目的を達成するために、本発明は、透明導電
膜とTe含有第2層との間の8 e + A sを主成
分とする第1層の厚さを9〜24nmとしたものである
。
膜とTe含有第2層との間の8 e + A sを主成
分とする第1層の厚さを9〜24nmとしたものである
。
前述したように、ハイライト焼付レベルには色依存性が
あるが、これは、従来透明導電膜とTe含有第2層との
間に存在する8 e 、 A sを主成分とする厚さ3
Qnmの第1層で短波長の青色光の吸収が大きく、逆に
赤色光はこの層での吸収が少なく殆んど第2膚で吸収さ
れることによるものと考えられる。
あるが、これは、従来透明導電膜とTe含有第2層との
間に存在する8 e 、 A sを主成分とする厚さ3
Qnmの第1層で短波長の青色光の吸収が大きく、逆に
赤色光はこの層での吸収が少なく殆んど第2膚で吸収さ
れることによるものと考えられる。
そこで、青色光の吸収率の大きい第1層の厚さを小さく
し、第2層を透明導電膜側に近付けてこの第2層でも青
色光を吸収させるようにすることにより、波長による吸
収領域の違いを少なくしてハイライト焼付の色依存性を
無くし、青色光によるポジ、赤色光によるネガの各焼付
を打ち消すことが可能である。次にその厚さの限定根拠
について説明する。 。
し、第2層を透明導電膜側に近付けてこの第2層でも青
色光を吸収させるようにすることにより、波長による吸
収領域の違いを少なくしてハイライト焼付の色依存性を
無くし、青色光によるポジ、赤色光によるネガの各焼付
を打ち消すことが可能である。次にその厚さの限定根拠
について説明する。 。
第1図は、光導電形の撮像管ターゲットの構造例を示す
図、第2図は光導電膜の濃度分布を示す図である。第1
図において、透光性基板としてのガラス面板1の上に透
明導電膜2を形成し、その上に順次積層した第1層3.
第2層4.第3層5からなる光導電膜を形成しである。
図、第2図は光導電膜の濃度分布を示す図である。第1
図において、透光性基板としてのガラス面板1の上に透
明導電膜2を形成し、その上に順次積層した第1層3.
第2層4.第3層5からなる光導電膜を形成しである。
上記第1 jd 3は、Asを6〜l OW tj%含
有しかつLiFを0.4〜0.8wtXドーピングした
5e−As−、LiFからなる光導電層であシ、@2層
4はTeを約3QwtX含有すると共にAsを約3 w
196含有しかつ厚みの約1/2までLiFを0.4
wt% ドーピングした5e−As−Te−L i F
カらナル。また、第3層5Fi8e−Asからなシ、
As濃度を一定の勾配で漸時減少させた領域5aと一定
As 5度の領域5bとによって構成される。
有しかつLiFを0.4〜0.8wtXドーピングした
5e−As−、LiFからなる光導電層であシ、@2層
4はTeを約3QwtX含有すると共にAsを約3 w
196含有しかつ厚みの約1/2までLiFを0.4
wt% ドーピングした5e−As−Te−L i F
カらナル。また、第3層5Fi8e−Asからなシ、
As濃度を一定の勾配で漸時減少させた領域5aと一定
As 5度の領域5bとによって構成される。
ここで、−1層3の厚さtを変えて、赤色光と青色光と
の焼付差、すなわち焼付の色依存性と、暗電流、すなわ
ち光しゃ断時て流れる信号電侃との変化を調べた結果を
第3図に示す。なお、上記焼付差を示す、数値は青緑赤
色光の焼付において、ポジ焼付を正、ネガ焼付を負とし
、それぞれの焼付量の最大と最小の差として算出したも
のである。
の焼付差、すなわち焼付の色依存性と、暗電流、すなわ
ち光しゃ断時て流れる信号電侃との変化を調べた結果を
第3図に示す。なお、上記焼付差を示す、数値は青緑赤
色光の焼付において、ポジ焼付を正、ネガ焼付を負とし
、それぞれの焼付量の最大と最小の差として算出したも
のである。
また、同図中(イ)が焼付差、(ロ)が暗電流を示す。
同図から明らか′々ように、sgt層3の厚さを従来の
約30 n mから次第に小さくして行くと、高輝度被
写体による赤色光と青色光で生ずる焼付の差は、(イ)
のように減少する。しかし、このように第1層3の厚さ
が小さくなるに伴って、他方で(ロ)に示すよう□に暗
電流が増大する。この暗電流は増大しすぎるとS/N比
が低くなシ、曳好な撮像画面が得にく、くなる。したが
って、ハイライト焼付を実用上問題とならないレベルま
で改善し、かつ暗電流の許容・限度を越えない範囲とし
て、第1層3の厚さは9〜24nm’が適当であること
が分る。
約30 n mから次第に小さくして行くと、高輝度被
写体による赤色光と青色光で生ずる焼付の差は、(イ)
のように減少する。しかし、このように第1層3の厚さ
が小さくなるに伴って、他方で(ロ)に示すよう□に暗
電流が増大する。この暗電流は増大しすぎるとS/N比
が低くなシ、曳好な撮像画面が得にく、くなる。したが
って、ハイライト焼付を実用上問題とならないレベルま
で改善し、かつ暗電流の許容・限度を越えない範囲とし
て、第1層3の厚さは9〜24nm’が適当であること
が分る。
す彦わち、第1層3の厚さを上記の範囲にするの場合で
0.5%以下と十分無視できるレベルまで改善すること
ができる。
0.5%以下と十分無視できるレベルまで改善すること
ができる。
なお、以上の説明は第1層および第2層にノ・イライト
スティッキング防止用の不純物としてLiFを含有させ
た場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、上記不純・物としては他にもCaP
2のようなフッ化物を用いてもよく、さらにI n*o
sのような金属酸化物等を加えた2種類以上の不純物を
含有した光導電膜にも □適用できる。また、この
ような不純物を含有させない場合でも、/%イライ)A
付の焼付差防止の効果は得られることは言うまでもない
。
スティッキング防止用の不純物としてLiFを含有させ
た場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、上記不純・物としては他にもCaP
2のようなフッ化物を用いてもよく、さらにI n*o
sのような金属酸化物等を加えた2種類以上の不純物を
含有した光導電膜にも □適用できる。また、この
ような不純物を含有させない場合でも、/%イライ)A
付の焼付差防止の効果は得られることは言うまでもない
。
〔発明の効果〕 ・′
以上説明したように、本発明によれば、透明導電膜とT
e含有第2・層との間の5e−Asからなる第1層の厚
さを従来の3Qnmから9〜24nmと減縮したことに
より、ノ1イライト焼付を有効に抑えた撮像管を得るこ
とができる。
e含有第2・層との間の5e−Asからなる第1層の厚
さを従来の3Qnmから9〜24nmと減縮したことに
より、ノ1イライト焼付を有効に抑えた撮像管を得るこ
とができる。
第1図は光導電形の撮像管ターゲットの構造例を示す図
、第2図は光導i!膜の濃度分布を示す図、第3図はハ
イライト焼付差および暗電流の第1層膜厚依存性を示す
図である。 ト・・・ガラス面板(透光性基板)、2・・・・透明導
電膜、3・・・・第1層、4・・・;第2層、5・・・
・第3層。
、第2図は光導i!膜の濃度分布を示す図、第3図はハ
イライト焼付差および暗電流の第1層膜厚依存性を示す
図である。 ト・・・ガラス面板(透光性基板)、2・・・・透明導
電膜、3・・・・第1層、4・・・;第2層、5・・・
・第3層。
Claims (1)
- 透光性基板上に形成した透明導電膜と、この透明導電膜
上に形成したSe、As、Teを主成分とする光導電膜
とを備えた撮像管ターゲットにおいて、光導電膜は、S
eとAsとを主成分とする第1層と、Teを主成分とす
る第2層と、Se、Asを主成分とする第3層とを備え
、第1層の厚さを9〜24nmにしたことを特徴とする
撮像管ターゲット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3039185A JPS61193336A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 撮像管タ−ゲツト |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3039185A JPS61193336A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 撮像管タ−ゲツト |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61193336A true JPS61193336A (ja) | 1986-08-27 |
Family
ID=12302614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3039185A Pending JPS61193336A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 撮像管タ−ゲツト |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61193336A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51829A (ja) * | 1974-06-21 | 1976-01-07 | Hitachi Ltd |
-
1985
- 1985-02-20 JP JP3039185A patent/JPS61193336A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51829A (ja) * | 1974-06-21 | 1976-01-07 | Hitachi Ltd |
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