JPS61193013A - 表面の微小変位検出方法 - Google Patents
表面の微小変位検出方法Info
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- JPS61193013A JPS61193013A JP3264985A JP3264985A JPS61193013A JP S61193013 A JPS61193013 A JP S61193013A JP 3264985 A JP3264985 A JP 3264985A JP 3264985 A JP3264985 A JP 3264985A JP S61193013 A JPS61193013 A JP S61193013A
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- JP
- Japan
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- image
- focus
- displacement
- amount
- signal
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、表面の微小変位の計測に係り、特に非接触で
断面形状を測定するのに好適な表面の微小変位を検出す
る方法に関する。
断面形状を測定するのに好適な表面の微小変位を検出す
る方法に関する。
従来より用いられている触針式の表面変位測定法は、針
が直接表面に触れるため触針に圧力があり、測定対象の
表面を損傷することなく測定することは、不可能である
。
が直接表面に触れるため触針に圧力があり、測定対象の
表面を損傷することなく測定することは、不可能である
。
このため2表面を非接触で光学的に測定する方式がある
。その1つとして、昭58年度精機学会秋季大会学術講
演会論文集P391〜392河野他4名「超精密金属鏡
の開発−非接触、光学式微小変位計ヘッド−」に記載の
ように、臨界角によるフォーカスエラー検出法を応用し
たものがあり、2分割したフォトダイオードで臨界角プ
リズムを通過した対象からの入射光を受光し、各フォト
ダイオードの受光量の差を、焦点ずれ即ち微小変位とす
る方法である。しかし、臨界角プリズム等光学系の構成
が複雑であり、また表面像を観察するための光学系との
併用は考えられていない。
。その1つとして、昭58年度精機学会秋季大会学術講
演会論文集P391〜392河野他4名「超精密金属鏡
の開発−非接触、光学式微小変位計ヘッド−」に記載の
ように、臨界角によるフォーカスエラー検出法を応用し
たものがあり、2分割したフォトダイオードで臨界角プ
リズムを通過した対象からの入射光を受光し、各フォト
ダイオードの受光量の差を、焦点ずれ即ち微小変位とす
る方法である。しかし、臨界角プリズム等光学系の構成
が複雑であり、また表面像を観察するための光学系との
併用は考えられていない。
本発明の目的は、非接触で対象表面を損傷することなく
微小な変位を測定する方法を提供することにある。
微小な変位を測定する方法を提供することにある。
撮像対象の表面像を絞り込む対物レンズの光軸に対して
一定の角度をもたせた撮像素子によって表面像を撮像し
、撮像した表面像より焦点状態を示す焦点量を検出し、
焦点をもとに表面の変位を算出する方法である。
一定の角度をもたせた撮像素子によって表面像を撮像し
、撮像した表面像より焦点状態を示す焦点量を検出し、
焦点をもとに表面の変位を算出する方法である。
以下、本発明の一実施例を、第3図により説明する。第
3図は、本発明の全体構成を示す図である。対象とする
表面102に対し、対物レンズ101、撮像素子100
よりなる撮像装置300によって表面像を撮像する。撮
像装置300の光学系の構成を第1図に示す、撮像素子
100は。
3図は、本発明の全体構成を示す図である。対象とする
表面102に対し、対物レンズ101、撮像素子100
よりなる撮像装置300によって表面像を撮像する。撮
像装置300の光学系の構成を第1図に示す、撮像素子
100は。
−次元のラインセンサもしくは二次元のカメラ用センサ
であり、光軸103に対して一定の角度θ(以下あおり
角という)112だけ傾けて、設定されている。このた
め、対象面102が子軸111であられされる基準奥行
面にある場合では1合焦点状態の像が、撮像面の中央1
06の位置で得られる。また、撮像面が対物レンズ10
1に近い点104では、対物レンズ101を通った光は
収束光来となり、焦点がずれた状態の像とな゛る。さら
に、撮像面が、対物レンズ101に遠い点105では発
散光束となり、やはり焦点がずれた状態の像となる。一
方、対象面が、基準奥行面になく、例えば、対物レンズ
側にある場合は、撮像面上の合焦点の位置は、あおりを
もたせた撮像面の対物レンズから遠い点、即ち、X軸1
10の正方向側となり、収束光束は、この点よりX軸1
10の負方向側にさらに発散光束は、X軸110のさら
に正方向側にあられれる。
であり、光軸103に対して一定の角度θ(以下あおり
角という)112だけ傾けて、設定されている。このた
め、対象面102が子軸111であられされる基準奥行
面にある場合では1合焦点状態の像が、撮像面の中央1
06の位置で得られる。また、撮像面が対物レンズ10
1に近い点104では、対物レンズ101を通った光は
収束光来となり、焦点がずれた状態の像とな゛る。さら
に、撮像面が、対物レンズ101に遠い点105では発
散光束となり、やはり焦点がずれた状態の像となる。一
方、対象面が、基準奥行面になく、例えば、対物レンズ
側にある場合は、撮像面上の合焦点の位置は、あおりを
もたせた撮像面の対物レンズから遠い点、即ち、X軸1
10の正方向側となり、収束光束は、この点よりX軸1
10の負方向側にさらに発散光束は、X軸110のさら
に正方向側にあられれる。
そこで、第3図で示すように、焦点ずれの状態でその値
が小さく撮像装置300より得られる映像信号320を
、もとに焦点量即ち、焦点が合っているかどうかを示す
値で焦点ずれの状態でその値が小さく合焦点状態でその
値が最大となる量を検出し、対象面の基準奥行面からの
がれ即ち変位を算出する。
が小さく撮像装置300より得られる映像信号320を
、もとに焦点量即ち、焦点が合っているかどうかを示す
値で焦点ずれの状態でその値が小さく合焦点状態でその
値が最大となる量を検出し、対象面の基準奥行面からの
がれ即ち変位を算出する。
該映像信号320は、アナログ・ディジタル変換器30
1によってディジタル化され、画像メモリ302に格納
される。このため、対物レンズ101の視野内にある表
面102の一部の像が。
1によってディジタル化され、画像メモリ302に格納
される。このため、対物レンズ101の視野内にある表
面102の一部の像が。
画像メモリ302に記憶されることになる。画像メモリ
302は、アドレス制御部304の指示に従い、画素デ
ータ310を、焦点検出部303に送出する。アドレス
制御部304では、画像メモリ302のアドレスを指示
するとともに、焦点検出部303に対し、フィルタリン
グの実行信号306及び、焦点を検出する画面の範囲を
指定する領域信号307を送出する。さらに、中央処理
袋ff1305に対して焦点検出処理の終了を指示する
信号309を送出する。
302は、アドレス制御部304の指示に従い、画素デ
ータ310を、焦点検出部303に送出する。アドレス
制御部304では、画像メモリ302のアドレスを指示
するとともに、焦点検出部303に対し、フィルタリン
グの実行信号306及び、焦点を検出する画面の範囲を
指定する領域信号307を送出する。さらに、中央処理
袋ff1305に対して焦点検出処理の終了を指示する
信号309を送出する。
中央処理装置305では、焦点量308を焦点検出部3
03より受は取るとともに、変位の量を算出する。
03より受は取るとともに、変位の量を算出する。
第2図は、画像メモリ302に格納されている画像の分
割を説明する図である。画像200は。
割を説明する図である。画像200は。
第1図で示したX軸方向110に対して、2M+1個の
領域20に分割する。X軸方向110の原点−202は
、画像200の中央にある領域203に対応している0
画像200は、二次元のカメラ用撮像素子を用いている
が、−次元のラインセンサであってもよい、その場合は
、画像200の横方向の大きさが1画素となる。縦方向
、即ちX軸方向について、同様に2M+1個の領域に分
割すればよい。
領域20に分割する。X軸方向110の原点−202は
、画像200の中央にある領域203に対応している0
画像200は、二次元のカメラ用撮像素子を用いている
が、−次元のラインセンサであってもよい、その場合は
、画像200の横方向の大きさが1画素となる。縦方向
、即ちX軸方向について、同様に2M+1個の領域に分
割すればよい。
この領域201に対して焦点量308をそれぞれ、焦点
検出部303において検出し、その最大となる領域の位
置(X軸方向)を中央処理装置305で求め、変位の量
を算出する。
検出部303において検出し、その最大となる領域の位
置(X軸方向)を中央処理装置305で求め、変位の量
を算出する。
第4図は、焦点検出部303の構成を示す図である。映
像信号320をもとに焦点量、即ち焦点が合っているか
どうかを示す量で、合焦点状態で最大となる量、を求め
る方式としては、従来より幾通りのもの方法が知られて
いる0例えば、特許出願公告57−51648、宮武他
による映像信号の微分値を2値化し、そのラン長の総計
を焦点量とする方法、さらに、特開昭53−10084
6、嶋他による映像信号の微分値の時間平均を焦点量と
する方法などがある0本実施例では、ディジタル化した
映像信号、これを画素データ310と呼ぶが、画素デー
タ310に対し、2次元の微分的なフィルタリング処理
を行ない、そのフィルタリングの出力値の領域201内
の総計を焦点量とする方式を示す。もちろん、先に述べ
た2つの公知の方法による焦点量を用いてもよい。
像信号320をもとに焦点量、即ち焦点が合っているか
どうかを示す量で、合焦点状態で最大となる量、を求め
る方式としては、従来より幾通りのもの方法が知られて
いる0例えば、特許出願公告57−51648、宮武他
による映像信号の微分値を2値化し、そのラン長の総計
を焦点量とする方法、さらに、特開昭53−10084
6、嶋他による映像信号の微分値の時間平均を焦点量と
する方法などがある0本実施例では、ディジタル化した
映像信号、これを画素データ310と呼ぶが、画素デー
タ310に対し、2次元の微分的なフィルタリング処理
を行ない、そのフィルタリングの出力値の領域201内
の総計を焦点量とする方式を示す。もちろん、先に述べ
た2つの公知の方法による焦点量を用いてもよい。
画素データ310は、フィルタリング係数テーブルメモ
リ401に格納されている2次元機分処理を行なう係数
との乗算を乗算器400で行ない、例えば3×3画素の
局所的なフィルタリングでは、その乗算結果の9回の加
算を、加算器402で実行する。加算結果は、フィルタ
リング結果レジスタ403に格納される。フィルタリン
グ処理の指令は、アドレス制御部304よりフィルタリ
ング実行信号306として供給される。該信号306は
、フィルタリング結果レジスタ403の更新。
リ401に格納されている2次元機分処理を行なう係数
との乗算を乗算器400で行ない、例えば3×3画素の
局所的なフィルタリングでは、その乗算結果の9回の加
算を、加算器402で実行する。加算結果は、フィルタ
リング結果レジスタ403に格納される。フィルタリン
グ処理の指令は、アドレス制御部304よりフィルタリ
ング実行信号306として供給される。該信号306は
、フィルタリング結果レジスタ403の更新。
初期化をおこなう、さらにフィルタリングの出力値41
0は、領域201ごとに合計する必要があるため、アド
レス制御部304から供給される領域信号307に従い
、これらの出力値410は、加算器404によって加算
され、領域内の焦点量が、焦点量レジスタ405に格納
される。該信号307は焦点量レジスタ405の内容の
更新、初期化をおこなう。各領域の焦点量信号308は
、中央処理装置305に送出される。
0は、領域201ごとに合計する必要があるため、アド
レス制御部304から供給される領域信号307に従い
、これらの出力値410は、加算器404によって加算
され、領域内の焦点量が、焦点量レジスタ405に格納
される。該信号307は焦点量レジスタ405の内容の
更新、初期化をおこなう。各領域の焦点量信号308は
、中央処理装置305に送出される。
第5図は、画素データ310より、焦点量を検出するま
でのタイムチャートを示した図である。
でのタイムチャートを示した図である。
フィルタリング実行信号306がON状態の時に。
画素データ310が、焦点検出部303に入力される。
本実施例では、2次元の局所フィルタリング実行信号が
ONである状態で、9個の画素データが入力される。さ
らに領域信号307がON状態において、フィルタリン
グの出力値410を加算器404で加算する。アドレス
制御部では領域信号307がOFFになるとともに、そ
の領域での焦点量の検出処理は終了したとして焦点検出
終了信号309を中央処理装置305に供給する。
ONである状態で、9個の画素データが入力される。さ
らに領域信号307がON状態において、フィルタリン
グの出力値410を加算器404で加算する。アドレス
制御部では領域信号307がOFFになるとともに、そ
の領域での焦点量の検出処理は終了したとして焦点検出
終了信号309を中央処理装置305に供給する。
中央処理装置305では、この終了信号309をもとに
、焦点量308を読み出す。
、焦点量308を読み出す。
第6図は、変位を求める手順を示す図である。
ステップ600で、撮像素子より得られた画像を画像メ
モリ302に入力する。ステップ601で。
モリ302に入力する。ステップ601で。
入力した画像に対し、領域201に分割する。ステップ
602では、各分割した領域201において、焦点量を
検出する。ステップ603で示すように、2M+1個の
領域すべてについて焦点量が求まれば、ステップ604
を実行するが、そうでなければ、ステップ602に戻る
。ステップ604では、焦点量が最大となる領域の位置
Xを中央処理袋9305によって求める。これは、簡単
な最大値探索プログラムによって実行できる。さらにス
テップ605によって、焦点量が最大となる領域の位r
11xをもとに、基準奥行面からのずれ量2を算出する
。算出の方法は、予め、x=Mから。
602では、各分割した領域201において、焦点量を
検出する。ステップ603で示すように、2M+1個の
領域すべてについて焦点量が求まれば、ステップ604
を実行するが、そうでなければ、ステップ602に戻る
。ステップ604では、焦点量が最大となる領域の位置
Xを中央処理袋9305によって求める。これは、簡単
な最大値探索プログラムによって実行できる。さらにス
テップ605によって、焦点量が最大となる領域の位r
11xをもとに、基準奥行面からのずれ量2を算出する
。算出の方法は、予め、x=Mから。
x=−Mまで合焦点となる場合、即ち焦点量が最大とな
る場合の変位量を、変位が即知である表面に対して求め
ておき、その変位量をデータテーブルとしてプログラム
に格納して用いる方法である。
る場合の変位量を、変位が即知である表面に対して求め
ておき、その変位量をデータテーブルとしてプログラム
に格納して用いる方法である。
第7図は、別の実施例を説明する図である。撮像装置3
00によって得られた映像信号320は、微分回路70
0によって微分され、さらに加算回路701でアナログ
量を算出する。加算する範囲は、領域設定部703より
指示される領域信号705がONの状態である。加算回
路701の出力値は、アナログ・ディジタル変換回路7
02によってディジタル量706として、中央処理装置
に読み込まれる。読み込みタイミングは、領域設定部7
03から送出される焦点検出終了信号707で指示され
る。この実施例では、焦点量を、映像信号の微分値の総
計としており、合焦点状態で最大となる。
00によって得られた映像信号320は、微分回路70
0によって微分され、さらに加算回路701でアナログ
量を算出する。加算する範囲は、領域設定部703より
指示される領域信号705がONの状態である。加算回
路701の出力値は、アナログ・ディジタル変換回路7
02によってディジタル量706として、中央処理装置
に読み込まれる。読み込みタイミングは、領域設定部7
03から送出される焦点検出終了信号707で指示され
る。この実施例では、焦点量を、映像信号の微分値の総
計としており、合焦点状態で最大となる。
第8図は、本実施例で述べた微小変位検出方法を用いて
部品の表面の凸凹を検査する装置の構成である。被検査
対象部品800の表面を撮像装置300によって撮像す
る。部品800の表面には806で示したような凸凹部
欠陥があり、この欠陥806を検出する。撮像装置30
0は、対物レンズ101とあおり角をもたせた撮像素子
100より構成されており、その映像信号は、アナログ
ディジタル変換器809でディジタル化され、焦点検出
部810に送られる。焦点検出部では、撮像画面の分割
領域ごどに焦点量を検出し、これらの焦点量を中央処理
袋@811に送る。中央処理装置811では部品800
の観測点816における奥行き、即ちZ方向815の変
位を算出する。
部品の表面の凸凹を検査する装置の構成である。被検査
対象部品800の表面を撮像装置300によって撮像す
る。部品800の表面には806で示したような凸凹部
欠陥があり、この欠陥806を検出する。撮像装置30
0は、対物レンズ101とあおり角をもたせた撮像素子
100より構成されており、その映像信号は、アナログ
ディジタル変換器809でディジタル化され、焦点検出
部810に送られる。焦点検出部では、撮像画面の分割
領域ごどに焦点量を検出し、これらの焦点量を中央処理
袋@811に送る。中央処理装置811では部品800
の観測点816における奥行き、即ちZ方向815の変
位を算出する。
さらにこの観測点における変位が所定値より小さいかど
うかを従走し、もし大きければ該部品800は不良品と
判断する。観測点816は1部品800の表面全面を走
査できるよう、撮像装[300は、移動テーブル803
に保持されている。移動テーブルは、804及び805
で示した駆動モータによりX方向及びY方向に移動する
ことができ、カメラ移動制御部812によって制御され
る。
うかを従走し、もし大きければ該部品800は不良品と
判断する。観測点816は1部品800の表面全面を走
査できるよう、撮像装[300は、移動テーブル803
に保持されている。移動テーブルは、804及び805
で示した駆動モータによりX方向及びY方向に移動する
ことができ、カメラ移動制御部812によって制御され
る。
検査対象の部品800,801,802は、搬送台80
7に搭載されており、順次検査域に供給される。搬送台
807は、部品搬送制御部813によって制御され、部
品の間欠送りを行なう0部品のレジエクト部808は、
部品リジェクト制御部814により制御されており、中
央処理装置811によって不良と判断された部品を、搬
送台807により排出する。
7に搭載されており、順次検査域に供給される。搬送台
807は、部品搬送制御部813によって制御され、部
品の間欠送りを行なう0部品のレジエクト部808は、
部品リジェクト制御部814により制御されており、中
央処理装置811によって不良と判断された部品を、搬
送台807により排出する。
なお、必ずしも撮像装置300をXY方向に移動させる
方法に限定する必要はなく、他の実施例として部品80
0をXY方向に移動させる方法でもよい。
方法に限定する必要はなく、他の実施例として部品80
0をXY方向に移動させる方法でもよい。
第9図は、部品の表面を検査する手順を示す図である。
ステップ900で1部品を搭載だ搬送台807を移動さ
せ部品を検査域に供給する。ステップ901では、部品
の表面のある箇所を撮像するため、撮像装置300をX
Y方向に移動させる。
せ部品を検査域に供給する。ステップ901では、部品
の表面のある箇所を撮像するため、撮像装置300をX
Y方向に移動させる。
ステップ902では、表面のある箇所を撮像し。
Z方向の表面の微小変位を検出する。
ステップ903では、検出した表面のある箇所の変位と
所定値とを比較する。変位が所定値より小さければ、ス
テップ904に移る。また、変位が所定値より大きけれ
ば、ステップ907で不良と判定する。ステップ904
では、撮像装置1300をXY方向に移動させ、部品表
面全体の走査終らしたかどうかを判定し、もし、走査表
面があればステップ901に移る。表面全体の走査が終
了すると、ステップ905で良品と判定され、ステップ
906で部品を次工程に送出する。
所定値とを比較する。変位が所定値より小さければ、ス
テップ904に移る。また、変位が所定値より大きけれ
ば、ステップ907で不良と判定する。ステップ904
では、撮像装置1300をXY方向に移動させ、部品表
面全体の走査終らしたかどうかを判定し、もし、走査表
面があればステップ901に移る。表面全体の走査が終
了すると、ステップ905で良品と判定され、ステップ
906で部品を次工程に送出する。
一方、ステップ907で不良品と判定された部品は、ス
テップ908で不良品を排除する。
テップ908で不良品を排除する。
本発明によれば、対物レンズと撮像素子のみで撮像全学
系が構成されているため、光学系が小型化される。また
1重力式は、対物レンズを交換することによって、顕微
鏡的な微少な変位から、風景画像の奥行まで、広い範囲
にわたる奥行情報を検出できる効果がある。さらに、対
物レンズと撮像素子を一体化して、対象表面を相対的に
平行移動させ、対象表面の各点の奥行き方向の変位を検
出することにより、対像表面の多点における奥行き位置
を求めることができる。
系が構成されているため、光学系が小型化される。また
1重力式は、対物レンズを交換することによって、顕微
鏡的な微少な変位から、風景画像の奥行まで、広い範囲
にわたる奥行情報を検出できる効果がある。さらに、対
物レンズと撮像素子を一体化して、対象表面を相対的に
平行移動させ、対象表面の各点の奥行き方向の変位を検
出することにより、対像表面の多点における奥行き位置
を求めることができる。
第1図は、変位検出用の光学系の構成図、第2図は、画
像の分割を説明する図、第3図は、全体構成図、第4図
は、焦点検出部の構成図、第5図は、焦点量検出のタイ
ミングを説明する図、第6図は、変位検出の手順を示す
図、第7図は、他の焦点量検出方式を説明する図、第8
図は部品表面の凹凸を検査する装置の構成図、第9図は
部品表面を検査する手順を示す図である。 100・・・撮像素子、102・・・対象面、101・
・・対物レンズ、112・・・撮像素子のあおり角、2
01・・・分割した画像領域、3o3・・・焦点検出部
、305茗 1 図 基輝奥行面 面 ヒ 1 ズ 夏 、i 図 ?pl、鳩′J御浮 第 S 図 jθ6 山(倍た4 T3 乙 口 第 7 図 不 3 図 1?/7
像の分割を説明する図、第3図は、全体構成図、第4図
は、焦点検出部の構成図、第5図は、焦点量検出のタイ
ミングを説明する図、第6図は、変位検出の手順を示す
図、第7図は、他の焦点量検出方式を説明する図、第8
図は部品表面の凹凸を検査する装置の構成図、第9図は
部品表面を検査する手順を示す図である。 100・・・撮像素子、102・・・対象面、101・
・・対物レンズ、112・・・撮像素子のあおり角、2
01・・・分割した画像領域、3o3・・・焦点検出部
、305茗 1 図 基輝奥行面 面 ヒ 1 ズ 夏 、i 図 ?pl、鳩′J御浮 第 S 図 jθ6 山(倍た4 T3 乙 口 第 7 図 不 3 図 1?/7
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、撮像対象の表面像を絞り込む対物レンズの光軸に対
して撮像素子を一定の角度傾け、撮像した表面画像より
焦点状態を示す焦点量を検出し、該焦点量をもとに前記
表面の変位を算出することを特徴とする表面微小変位検
出方法。 2、特許請求の範囲第1項の焦点量の検出において、画
像を分割し、分割した各領域ごとに焦点量を検出したこ
とを特徴とする表面の微小変位検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3264985A JPS61193013A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 表面の微小変位検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3264985A JPS61193013A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 表面の微小変位検出方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61193013A true JPS61193013A (ja) | 1986-08-27 |
Family
ID=12364704
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3264985A Pending JPS61193013A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 表面の微小変位検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61193013A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11344321A (ja) * | 1998-06-01 | 1999-12-14 | Akira Ishii | 非接触三次元物体形状測定方法および装置 |
JP2010008265A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Panasonic Corp | 形状測定装置 |
CN103528522A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-01-22 | 北京理工大学 | 一种嵌入式机床刀具图像检测装置 |
-
1985
- 1985-02-22 JP JP3264985A patent/JPS61193013A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11344321A (ja) * | 1998-06-01 | 1999-12-14 | Akira Ishii | 非接触三次元物体形状測定方法および装置 |
JP2010008265A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Panasonic Corp | 形状測定装置 |
CN103528522A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-01-22 | 北京理工大学 | 一种嵌入式机床刀具图像检测装置 |
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