JPS6119246U - フオトエツチング用露光装置 - Google Patents

フオトエツチング用露光装置

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Publication number
JPS6119246U
JPS6119246U JP10398784U JP10398784U JPS6119246U JP S6119246 U JPS6119246 U JP S6119246U JP 10398784 U JP10398784 U JP 10398784U JP 10398784 U JP10398784 U JP 10398784U JP S6119246 U JPS6119246 U JP S6119246U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
exposure equipment
photoetching
exposure
etching
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10398784U
Other languages
English (en)
Inventor
浩治 楊井
Original Assignee
マツダ株式会社
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図り本考案の一実施例における露光装置を示す中央
縦断面図、第２図はその平面図、第３図は露光状態を示
す拡大模式断面図、第４図は複数のワークを同時露光す
るための変形例を示す断面図である。 １・・・露光襄置、２，１７・・・ワーク、２ａ，１７
ａ・・・内周叩、３・・・露光箱、６・・・光源ランプ
、１０・・・遮光板、１３・・・フォトレジスト、１５
・・・フォトマスク。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １つのワークもしくは複数のワークを集合する一饗Ｚ叡
    冨＝＝９■〃 上記ワークの内周面に設け−られたフオトレジストをフ
    ォトマスクを介して露光するフォトエッチング用露光装
    置であって、上記光源ランプとワーク内周面との間に形
    成された間隙内に、該間隙を軸方向に複数に分断する遮
    光板を配設してなることを特徴とするフォトエッチング
    用露光装置。 １
JP10398784U 1984-07-10 1984-07-10 フオトエツチング用露光装置 Pending JPS6119246U (ja)

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JP10398784U JPS6119246U (ja) 1984-07-10 1984-07-10 フオトエツチング用露光装置

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JPS6119246U true JPS6119246U (ja) 1986-02-04

Family

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JP (1) JPS6119246U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0471873U (ja) * 1990-10-29 1992-06-25

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0471873U (ja) * 1990-10-29 1992-06-25

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