JPS61187412A - 表面波デバイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、フィルタ、共振子、ディレーラインなどに用
いられる表面波デバイスに関し、特に、スプリアス応答
の原因となるバルク波を確実に抑圧できるようにした表
面波デバイスに関する。

（従来技術） 一般に、表面波デバイスは、ＰＺＴ圧電磁器板、ＬｉＮ
ｂＯ３単結晶基板、Ｚｎ　０１１６１が被着されたガラ
ス基板などの表面波基板上にインターディジタル形状の
トランスジューサを設けて構成されるが、このトランス
ジューサで表面波を励受信する際、同時にバルク波も励
受信される。このバルク波は周波数特性における不要な
スプリアス応答となる。

このようなバルク波を除去するために、従来から、表面
波基板の裏面に表面波伝播方向と直交する溝を形成する
手段が提案され、ざらに、バルク波抑圧効果を高めるた
めに、その溝の長さや幅を変えたり、溝を形成する方向
を伝播方向に沿わせたり、あるいは伝播方向に対し有る
角度をもたせるようにするなど、種々のものが提案され
ている。

（発明が解決しようとする問題点） しかし、いずれの手段も、数１００μの薄い表面　′波
基板に、基板を横切る複数の細長い溝を設けているので
、基板割れが起こりやすく、特に、ＰＺＴ圧電磁器板を
用いた場合にはその割れ現象が顕著になる。また、溝の
底がフラットになるので、その底部分でバルク波が反射
しやすく、バルク波抑圧効果が十分でないという問題も
あった。

それゆえに、本発明の主たる目的は、バルク波抑圧効果
が十分骨られるとともに基板割れもなく、しかも簡単に
加工できるようにした、表面波デバイスを提供すること
である。

（問題点を゛解決するための手段） 本発明は、表面波基板の裏面に、多数の小さな窪みをラ
ンダムに分布させるとともに、その深さもランダムに設
定した、表面波デバイスである。

（作用） インターディジタルトランスジューサで所望の表面波と
ともに励振されるバルク波は、ランダムに分布させた、
ランダム深さをもつ、多数の小さな窪みによって散乱し
、抑圧される。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ詳述する。

図はＶＩＦフィルタに適用した実施例を示し、第１図が
平面図、第２図が底面図、第３図が第１．２図の■−■
線断面図であり、便宜上厚み方向を拡大している。同図
において、１はＰＺＴ圧電磁器基板、ＺｎＯ膜が設けら
れたガラス基板、１−ｉＮｂＯａ単結晶基板などで形成
された表面波基板であり、この基板１の表面１ａ上には
例えばインターディジタル形状の入出力電極２．３が形
成されている。入力電極２に電気信号が加えられ、ここ
で表面波に変換され、変換された表面波は伝播方向く矢
印Ａで示す）に沿って伝播され、出力電極３で再び電気
信号に変換されて出力として取り出される。

基板１の裏面１ｂには、電極２．３に対向する部分およ
び電極２．３間の伝播路に対向する部分にわたって多数
の小さな窪み４が形成されている。

この多数の窪み４は、ランダムに、すなわち何ら規則性
なく分布され、その深さも規則性なくランダムに設定さ
れている。このような窪み４は、超音波加工などにより
容易に形成でき、しかも窪み４の底がフラット面でない
、丸くした断面半円形状や尖らせた断面三角形状に形成
でき、バルク波散乱効果をより大きくできる。また、窪
み４の形成は、場合によっては基板１の成形と同時に行
うようにしてもよい。

（発明の効果） 本発明によれば、バルク波を散乱により確実に抑圧でき
、周波数特性におけるスプリアス応答を大幅に低減でき
る。また、窪みの加工も容易で、基板割れの起こりにく
い構成にすることができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明による表面波デバイスの一実施例を示し、第
１図は平面図、第２図は底面図、第３図は第１．２図の
■−■轢断面図である。 １は表面波基板、２．３は電極、４は窪みである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 表面波基板の裏面に多数の窪みが形成され、かつ、この
   多数の窪みがランダムに分布されるとともに、その深さ
   もランダムに設定されていることを特徴とする表面波デ
   バイス。