JPS6118424A - 排気ガス除染方法 - Google Patents

排気ガス除染方法

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JPS6118424A
JPS6118424A JP60090779A JP9077985A JPS6118424A JP S6118424 A JPS6118424 A JP S6118424A JP 60090779 A JP60090779 A JP 60090779A JP 9077985 A JP9077985 A JP 9077985A JP S6118424 A JPS6118424 A JP S6118424A
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JP
Japan
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anode
reactor
exhaust gas
gaseous
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JP60090779A
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イラ・エストン・カンター
リチヤード・レオン・ハンドスタツド
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CBS Corp
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Westinghouse Electric Corp
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Publication date
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    • B03SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03CMAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/02Plant or installations having external electricity supply
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46Removing components of defined structure
    • B01D53/60Simultaneously removing sulfur oxides and nitrogen oxides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34Chemical or biological purification of waste gases
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02ATECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A50/00TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
    • Y02A50/20Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、気体による汚染を制御する方法及び装置に関
する。より詳細には、本発明は、 SOx及びNOX放
出物を含有する燃焼装置の排気ガス流を反応させてSO
x及びNOxを熱力学的に安定で問題が少なくかつ容易
に集めて廃棄できる排出生成物に転換させる方法及び技
術を提供する。
空気中に含まれる汚染物制御のためには、現在いくつか
の技術が知られている。公知の技術の例どしては、慣性
力を利用した分離、洗気(スクラッピング)、濾過、静
電沈澱、電子ビーム照射 、電子/光イオン化及び触媒
反応等がある。高速度で流れるガス流の方向を急激に変
化させるサイクロン分離器は、搬送ガスと随伴固状物と
に働く慣性力の相違を利用して随伴固状物を分離する。
サイクロンの利点は、設計が簡単であること、容量が大
きいこと及び保守が容易なことである。しかしながら、
この種の慣性力を利用する分離装置は、最良の場合でも
、41送ガスから比較的大きな粒子を除去できるだけで
あり、勿論、処理対象であるガスまたは空気中に存在す
る汚染ガス類を分離することは全く不可能でる。一方、
スクラッピングまたは水もしくは化学品スラリーのよう
な液体の微細なスプレーとガスとを接触させてガスを反
応させる方法には、設備にかかる費用が比較的少ないと
いう利点がある。しか15ながら、スフラッパーには、
結果として生じるスラリーまたはスラッジ取扱いの問題
、設備の腐食の問題、微生物の繁殖の問題といった運転
操作上の欠点がある。はとんどの場合、この種の装置の
利用は、実際には、ガスからの比較的粗い粒子の除去に
限定されており、気体状汚染物であるS02の分離は、
水その他の液体中へのこの汚染物と主要ガス成分との溶
解度の相対比を利用することになる0種々の気体系の処
理に触媒床が広く採用されている。しかし触媒床は反応
剤及び補助触媒に関して各々非常に特有であり、正確な
温度制御を必要とし、触媒毒に対して極めて鋭敏である
。気体状の化学種及び粒子の双方が触媒毒となり易く、
触媒活性の低下をもたらす。
静電沈澱法は、初期に投下する設備コストが大きく運転
コストが高いにも拘らず、広く利用されており、この種
のシステムは、大気中に排出されるガス流または空気流
中に含まれる固体粒子の濃度を許容できる程度に低い水
準にできる実際上唯一のシステムであるかもしれない、
勿論、この方法は、列状に配置された複数の電極に高電
圧を印加して、電極付近のガスをイオン化し、ガス・イ
オンとの接触によりガス中に懸濁している粒子を帯電さ
せる。その後、帯電した粒子は、ガス・イオンと接触し
なくなる0次いで、帯電粒子は、ガス流が電極列を通過
する際に、反対電位の電極に移行し帯電粒子自体が電極
に付着する。各電極を機械的に振動させて集積した塵埃
ケーキを回収容器に排出することにより、蓄積固体粒子
を除去する方法をとることが多い。このシステムは汎用
性があり、粒子寸法が極めて小さい場合に大気中から小
さな固体粒子を除去するためには効果的なシステムでは
あるが、いくつかの重大な制約があり、なかでも最も大
きな制約は、粒子状の物体しか除去できないということ
である。加えて、成る種の粒子状物質は、その物理的及
び電気的特性により、静電性W141゛によっては効率
的に集積させることができない、電子ビーム照射法は、
高エネルギー(500KeV以上)の電子の使用、ビー
ムをガス状塵埃に照射できるようにするために脆弱なビ
ーム窓を使用する必要があること、気体状塵埃の外部に
高価な電子ビーム加速器を配置し、加速器から出るX線
から保護するために遮蔽を行う必要があること等のいく
つかの大きな欠点がある。電子/光イオン化法は、ガス
流に高密度の電界と電磁照射とを作用させて複合作用に
より汚染物を除去するものであり、固体汚染物は静電作
用により沈澱し、気体状汚染物は電子化学的及び光化学
的に転換されて元素状即ち非汚染物の形に変わる。粒子
及び気体状汚染物を励起させて電極間で暗電極放電及び
/またはグロー放電が起こる状態または条件にする逆電
荷に帯電した電極によって電界がつくられる。通常は、
このように高電圧で励起することにより、ガス流は紫外
線領域の電磁照射を受けて、電子化学的及び光化学的変
換を持続させる光学的イオン化を生じさせる。現状では
、eビーム作動型のシステムを除いては、上記の全ての
システムは主要な気体状化学種であるSO2/No!の
1種だけを除去するものであり、各方法は一連の操作を
続けて行う必要がある。
ガスまたは空気を含むプレナム(plenum)から塵
埃粒子のような粒子状物を除去する方法に関するいくつ
かの先行特許及び刊行物がある。
クリスムリス他(Xmris et at)に付与され
た米国特許第3,917,470号は、光学的な静電発
生器を用いる静電沈澱装置に関する。この装置は、液体
表面を持つ集積電極を有する。
米国特許第3,979.1113号は、内燃機関の排気
中における汚染物質の内燃排気物中の汚染物質量を制御
する装置を教示しており、排気はコロナ発生室を通過す
る。
マチ他(Machi et al)に付与された米国特
許第3,889,302号は、Now −So、含有ガ
ス類に紫外線のイオン化放射線を照射することを教示し
ている。この方法では、電子ビーム・ユニットを使用す
る必要がある。ラジエーション・フィジカル中ケミスト
リー(RadiationPhys、 Chem、)の
第24巻、第1号(1984年刊)の117〜127頁
及び128〜143頁「それぞれ、シュイ他(Shui
 et al)及びフェルトマン他(Feldman 
et al)による報文」に記載された二つの論文は、
同一の趣旨において、電子ビーム・ユニットを使用して
煙道ガスを処理してNOx及びSO,を除去する技術に
関する。
上記の先行技術の装置は、たとえば8KVという望まし
くない高電圧を用い、非常に高価であり、操作及び保守
が煩雑であるとともに、簡単な構造でないために、完全
な信頼性に欠ける。
本発明の目的は、気体状成分を固体などの非気体生成物
に変換することにより、一工程反応器中で、主ガス流か
ら気体状のNor及びSOxを同時に除去する簡単で安
価で効率の高いシステムを提供することである。
本発明の一つの実施例によれば、化石燃料燃焼装置等と
いった大規模な装置内の気体状汚染物を変換し除去する
放出物制御システムが提供される。
本発明は、広義には、燃焼装置から発生する排気ガス中
の気体状汚染物のうちの選定した1種またはそれ以上の
汚染物を気体状でない生成物に転化することにより、特
定の選定した気体状汚染物の転化・除去を行う方法であ
って、前記燃焼装置と連通し前記排気ガスの流路内に配
設された転化反応器を用いて燃焼装置から発生する排気
ガスを前記反応器に還流させ、反応器には電子的陽極部
材と該陽極部材から離間させて配設した陰極部材とを配
置し、前記陽極及び陰極は前記の転化反応器の内部に配
設されていて反応器を通って還流される排気ガスと実質
的に接触しており、前記陽極部材と前記陰極部材との間
に印加される電圧を所定の直流電圧にし、排気ガス中に
均一で安定なグロー放電を生起させて選択的に電子的に
活性化させ反応させることにより選定しも気体状汚染物
を転化または変換させ、前記の気体状汚染物を化学的に
変性して除去し排気できる熱力学的に安定な固体生成物
にすることを特徴とする方法である。
好ましい実施例においては、化石燃料燃焼装置の煙突ま
たは煙道ダクト内部で使用してSOx及びNOX放出物
を除去するかもしくは除去可能な固状物に実質的に変換
する転化反応器及び転化方法が記載されている。本発明
の方法は、抵抗バラストをかけた複数のピンとこれらの
ピンと対向する平面状電極または同(く 軸に並べた電極との間で、電気的傘作動される安定なグ
ロー放電を維持する工程を含む。
本発明の転化反応器は、選択した汚染物を電子的に活性
化させ化学的に変性して熱力学的に安定な固体状生成物
にする。次いで、粒子の除去に利用できる標準的な方法
により、固体状生成物を除去する。
実例として示す以下の好ましい実施例についての以下の
記載を添付の図面を参照することにより、本発明につい
てのより詳細な理解が得られるものと考える。
本発明による煙突ガス放出物制御装置の枡用及び一般的
な配置については、第1図のガス煙突ダクト網を概略図
で示す第1図を参照することにより理解できる0本発明
は、グロー −放電装置の電子エネルギーを無毒化すべ
きガス流と効率よく組合わせるように位置させた電気駆
動グロー放電システムである。平均的な電子エネルギー
は5Veであり、簡単な化学種の結合エネルギーと非常
に近い。煙道ガス流はグロー放電部分を流れ、そこで電
子的に活性化された化学種がつくられる。これらの化学
種の半減期は5+ms以上であり、流速を毎秒24.4
■ (80フイート)以上にすれぼ、グロー放電装置の
実寸法よりも反応部分容積のほうを大きくとることがで
きる。
第1図に概要を示す装置は、ポンプ15により流路17
を通って燃焼装置13に導入す燃料供給源11を含む。
燃焼装置13は、化石燃料燃焼発電プラント等で使われ
ている従来型のバーナーである。燃焼装置13からの排
気は、ダク)21によって参照符号19で示す転化反応
器即ちグロー放電装置に運ばれる。一般には、グロー放
電装置19と燃焼装置13の間に、従来法の設計による
第一集塵装置23を配設する。この第一集塵装置23は
、ダスト・/<ツク25と、制御弁27と、バイパス・
ダクト28とから成る。ダクト21に沿ってファン31
が配設してあり、集塵装置23の動作を助け、グロー放
電装置19を通過する排気ガス流を所望の流速に保つ次
に、グロー放電装置19の動作を詳細に説明する。しか
しながら、内部の排気ガスは処る。処理後の排気ガスを
グロー放電装置18に戻すために、ダクト37及び送風
4+139を介して、粒状物集積装置の一方35をフィ
ード/<ツク・ルーズにつなぐこともできる。最終的に
処理の終った排気ガスは、ダクト41及び送風機43に
より、排気煙突45に送られて大気中に排出される。グ
ロー放電装置18から出る処理済排気ガス吐出量を監視
するために、排気ダクトの個所48にS02及び/また
はNOxガス分析装置47を連通配置しておくことがで
きる。
−反応器19は、離間した電極5】、53を有し、これ
らの電極は反応器内部に配設されていて、還流ガス流が
電気的には接地されている平板状の陽極51と、好まし
くは反応器の外部で別々に抵抗バラストされ高電圧直流
源55に接続されたピン形の電極53との間を流れる。
しかしながら、幾本かのピンは、図示したように、1本
の負荷装置から突き出す形にすることもできる。ピン形
電極53の数、電極列間の間隔並びに印加する電位及び
負荷は、反応器を通過する空気の流路に沿ってガスが陽
極と陰極の列の間を通過する間に均一なグロー放電が保
持できるように定める。好ましくは、ピン形の各電極と
平面状の陽極との間隔をほぼ等しくする。
汚染物を含有するガス流中でグロー放電を維持する結果
、一般的な化学汚染物は電子的に活性化される。電極間
に印加された直流電界によってグロー放電が生じ、その
結果として空気の成分及び汚染物が活性化され、活性化
された汚染物はメロ−放電反応器の内部で化学的に変性
されて、汚染物は無害物に変わるかあるいは濾過によっ
て分離し易いものに変わる。
電極間で生じる均一なグロー放電中に存在する電子の平
均エネルギーは、汚染物を電子的に活性化して所望する
化学変化を起こすに充分なエネルギーにする。汚染物を
含有する。
排気ガスは、電極間でアークを生じさせない程度の流速
でグロー放電反応器を流過させるように強制流過させら
れるが、流速は一般的には約0.1−1マー/ ハ数(
Nach number) cy)範囲にする。排気ガ
スの流速が高くなればなるほど、アークによる絶縁破壊
を起こさないグロー放電電流量及び電力入力体高くなる
。電力入力を高くすれば、反応器の放出物制御能力はそ
れに応じて高くなる。グロー放電反応器内のガス圧力は
、ほぼ大気圧に等しいから僅かに高くする。その結果、
上記の条件下におけるE/Nは50〜100Tdの範囲
内になる。
反応器の入口部に、グロー放電反応器に流入するガス流
ん乱れを増大させるスクリーンその他の部材を配置する
こともでき、スクリーンその他の部材はガス流の乱れを
増大させ、アーク放電を生起させることなく、グロー放
電の電力入力を増してより一層効果的な電子的活性化を
行なわせることができる。
グロー放電反応器の電極の間に印加される電界の強さは
、汚染物を電子的に活性化させるに充分な強さにし、典
型的な電界勾配は約7〜20KV/c+e 、一般的に
はIKV/c+w以上ニI、、電界勾配の上限はアーク
放電が起きる勾配である。電界勾配の上限は、ガス流の
組成及び速度によって変わる。
一般には、グロー放電領域で動作を続けながら、ガス流
及び電界に関するノぐラメータを変動させることができ
る。このようにノくラメータを変動させることにより、
グロー放電に対する電力入力の効率を高め、排気ガスか
ら成分中のNOx及びSOxを同時に減少させ除去対向
電極との間に安定なグロー放電を生じさせ維持できる電
極51及び53の配置構成を第2図に示しである。転化
反応器18は排気煙突または煙道ダクトの内部に配置さ
れてI/′1て、排気ガスは大気付近の圧力で排出部に
強制的に送り込まれて速度が増してしする。既に開示し
たように、速度が増すと、絶縁破壊またt±アーク放電
が生じる以前の放電電流レベルが高くなる。ダクト内部
の流速が高くなるように、電極形状及び電極相互の物理
的配置を定める。第2図の立面図は、円形ダクト部材6
1の内部に配置する本発明の転化反応器の好ましい実施
例である。第一の平板状電極51aをダクト部材81の
内壁の周囲に円周状に配設し、第二の平板状電極51b
をダクト部材の内部中心部に配設しである。ピン形電極
53は、平板状電極51a及び51bの中間部分にほぼ
円周状に配設しである。第3図に示すように、複数の独
立したモジュール71から電気化学的反応器18を構成
して、種々の煙突の寸法及び形状に合わせて適切に放出
物を減少できるように多数のモジュールを組込むことが
できる。第4A図〜第4C図には、平板状電極75a 
、 75b及び75cに対して、それぞれ、位置73a
 、 73b、74Cにピン形電極を配置した特異な形
状のピン形電極モジュール71a、71b、71cの実
施例を示す、上述したように、複数のピン形電極の配置
構成は1本発明による電気化学的反応器の動作能力を高
めるために寄与するところの大きな因子の二つである。
第4I1図に示す実施例の場合1反応器の電極は、空気
流の方向に沿って並べられた円筒形の陽極75dと1円
筒形の陽極入口端部位置で円筒形陽極の長手方向軸に向
かって延伸して陰極ピンを間隔を開けて配設することが
できる。複数の入れ子犬に配置した円筒形陽極を設け、
円筒形陽極の各々の長手方向軸に沿って複数の陰極ピン
を各陽極と組合わせた構成にすることもできる。
第5図に立面図で示すダクト部材の内部には、電極の変
形構造例が配置されている。平板状の複数の電極51が
ピン形電極53の両側に配置されて排気ガス流路85が
つくられ、その流路の内部で、電極間のグロー放電領域
内部で実質的に長時間にわたる接触が行なわれる、この
変形実施例は、上述のモジュール型で使用することもで
きる。
本発明の煙突ガス放出制御システムは、汚染物制御時の
排出物理学及び排出化学力学の理論的記述を考慮に入れ
ると、その価値を認めることができるものと思う。
空気中のグロー放電動作を記述するポルツマン(Bol
zmann)の式について数値解析を行った。電気エネ
ルギーのチャンネリング(Cbanneling)につ
いての予想値は以下の通りであるN、の振動励起   
  44 K N2の電子励起     42z O7の電子励起     13 % イオン化        0.25 %その他の損失分
     0.751 上記の数値は、電気エネルギーの55zがチャンネリン
グを起こして、電子的に励起されたN2及び02を生じ
、これにより0及び肩のような遊離ラジカルがつくられ
る可能性がある。
量的に(k少量の成分であるSOx及びNOxは、−次
電子作用によりあるいは主要成分との反応または衝突に
より排気流中で反応するも戴 のと考えらセる。後述の道をとるものとすrば、特に連
鎖反応が制御されているならばSOx及びNOxを含む
生成物の収率が高くなる、このような理°由から、反応
機構を解明するために、簡単な方法をとった。遊離ラジ
カルとの反応は、実験的に定まる反応速度定数を利用で
きるものだけについて選定できるものと考えた。連鎖反
応工程は予期の内に入れなかった。動力学的機構は以下
のようになる。
02准→20          (1)0+202 
  →      0 ツ   ◆  2      
            (2)0◆ 0!→202 
        (3)20◆ 0. → 2o2(4
) N2本 →2N          (5)N+ 02
 →o 、 No        (8)2NO+O,
→2NO2(7) 0 +2 Sow  → SOり + SO2(5)3
0、本生SO鵞 → SOコ +so      (9
)SO◆ SO,→2SO2(10) SO” Os   →SO2”02(11)2N0 2
  ”Oy   →N2 0.”Ov      (1
2)N、   0.   +2  SOコ → (NO
2)2 .5x   O?     (13)2502
  +  3NO2→(NO)2  S2 0F  +
 NO(14)上に説明したシステムは、化石燃料燃焼
システムの煙突または煙道ダクトに組込み、排気ガス中
のSOx及びNO!汚染物を除去あるいは実質的に減少
させることができるシステムである。このシステムは、
個別に離間し抵抗バラストを付加した複数のピンとこれ
らのピンに対向する平板との間で電気的に作動される安
定なグロー放電を維持させるものである
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の教示を用いた。煙突ガス放出物から
NOX及びS02を同時に除去する装置の概要を示す説
明図である。 第2図は、制御対象の排気流中に本発明による放出物制
御装置を示す概略立面図である第3図は、モジュール型
の実施例中で使用する本発明による放出物制御装置の概
略平面図である。 第4A図、第4B図及び第4C図は、本発明の教示に従
って構成したいくつかのモジュールの例であって、第3
図の放出物制御装置中で利用できる実施例の概略説明図
である。 第5図は、燃焼装置の排気流中に配置した本発明による
放出物制御装置の変形実施例の概略立面図である− 11・・・・燃料 13・・・・バーナー 25.33.35・・・・集塵機 47・・・・分析器 55・・・・電源 FIG、4D            FIG、5昭和
60年2月1日 20発明の名称   排気ガス除染方法3、補正をする
者 事件との関係特許出願人 住 所    アメリカ合衆国、ペンシルベニア州、ピ
ッツバーグ。 ゲイトウェイ・センター(番地ナシ) 名 称(711)  ウェスチングハウス会エレクトリ
ック・コーポレーシ言ン 代表者    ディー・ディー・スターク国 籍   
 アメリカ合衆国 4、代理人 住 所   神戸市中央区京町76の2番地入江ビルウ
ェスチングハウス・エレクトリック・ジャパン7、補正
の内容  1.明細書第24頁4行、「第4B図」の後
に「、第4C図」を挿入する。 2、明細書第24頁4行、「第4C図」を「第4D図」
に訂正する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、燃焼装置から発生する排気ガス中の気体状汚染物の
    うちの選定した1種またはそれ以上の汚染物を気体状で
    ない生成物に転化することにより、特定の選定した気体
    状汚染物の転化、除去を行う方法であって、前記燃焼装
    置と連通し前記排気ガスの流路内に配設された転化反応
    器を用いて燃焼装置から発生する排気ガスを前記反応器
    に還流させ、反応器には電子的陽極部材と該陽極部材か
    ら離間させて配設した陰極部材とを配置し、前記陽極及
    び陰極は前記の転化反応器の内部に配設されていて反応
    器を通って還流される排気ガスと実質的に接触しており
    、前記陽極部材と前記陰極部材との間に印加される電圧
    を所定の直流電圧にし、排気ガス中に均一で安定なグロ
    ー放電を生起させて選択的に電子的に活性化させ反応さ
    せることにより選定した気体状汚染物を転化または変換
    させ、前記の気体状汚染物を化学的に変性して除去し排
    気できる熱力学的に安定な固体生成物にすることを特徴
    とする方法。 2、反応器と連通しており排気ガスから安定な固体状生
    成物を濾過するフィルタ部材を使用する工程を有するこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の方法。 3、前記の電子的陰極部材が、ほぼ平面状の陰極部材か
    ら離間させて配設した列状の離間したピン型陰極部材で
    あり、前記ピン型陰極部材には抵抗によりバラストが入
    れられていて前記陰極部材は高電圧直流電源に接続され
    ていることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の
    方法。 4、排気ガスの圧力、線速度及び前記気体状汚染物の流
    量を制御し、陰極部材と陽極部材間の直流電圧を制御し
    て陰極部材と陽極部材の中間に画成された前記流路内に
    均一で安定なグロー放電を維持させることを特徴とする
    特許請求の範囲第3項に記載の方法。 5、汚染物が、燃焼装置から出るSOx及びNOx放出
    物であることを特徴とする特許請求の範囲第4項に記載
    の方法。 6、前記の離間したピン型陰極部材及び平面状の陽極部
    材が、反応器内部で選択的沈積を行わせるモジューラー
    ユニットを構成していることを特徴とする特許請求の範
    囲第3項に記載の方法。 7、反応器が所定数のモジューラーユニットを有するこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第6項に記載の装置。 8、前記陽極部材をガス還流方向に沿った円筒形陽極の
    形状の並べ、かつ前記陰極部材を少なくとも1本の陰極
    ピンが円筒形陽極の長手方向軸に向かう方向に配置する
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の方法。 9、陰極部材を円筒形陽極の長さ方向に沿って離間させ
    た複数のバラスト付加陰極ピンから構成されるように配
    量し、前記の各陰極ピンが陽極の長さ方向軸に沿った部
    分で終端するようにすることを特徴とする特許請求の範
    囲第8項に記載の方法。 10、複数の円筒形陽極を入れ子形式で配置し、前記の
    円筒形の各陽極の各長手方向に沿った少なくとも1本の
    陰極ピンを収納することを特徴とする特許請求の範囲第
    8項に記載の方法。
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GB2158055B (en) 1988-02-10
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