KR920010275B1 - 퇴적 개스 방출 제어방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

퇴적 개스 방출 제어방법

제1도는 본 발명의 방법을 사용하여 퇴적개스 방출시 NOx 및 SO₂를 동시에 제거하기 위한 장치의 개략도.

제2도는 배기도관내에 설치된 본 발명에 따른 방출 제어장치가 제어되는 것을 도시한 단면도.

제3도는 모듈형태로 이용한 본 발명의 방출 제어장치의 개략적인 평면도.

제4a, b, c도 및 (d)도는 제3도의 방출 제어장치에 이용되고, 본 발명의 방법에 따라 구성된 여러가지 모듈의 실시예를 나타내는 개략도.

제5도는 연소장치의 배기도관에 설치된 본 발명의 방출 제어장치의 또다른 실시예의 개략적인 정면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 연료 공급장치 13 : 연소장치

33,35 : 생성입자 수집수단 25 : 분진백

47 : 분석기 55 : 전원

본 발명은 일반적으로 개스에 의한 공기 오염을 조절하기 위한 방법 및 장치에 관한 것으로, 특히 SOx 및 NOx개스를 방출하는 연소 장치가 그 SOx 및 NOx개스를 열동적으로 안정하고 해롭지 않은 배기 물로 환원시켜 손쉽게 수집되고 처분할 수 있도록 한 방법 및 장치에 관한 것이다.

종래의 공기오염 물질을 조절하기 위한 몇가지 방법들은 화학작용을 일으키지 않는 분리, 문질러 없애기, 여과, 정전적인 침전, 전자빔 조사, 광전자 이온화 및 촉매작용에 의한 것이다. 빠르게 흐르는 개스의 방향에서 급격한 변화를 발생시키는 사이클론 분리장치는 유입된 개스에 비해 유입된 고체에 작용하는 불활성 힘의 차이에 의해서 그 유입된 고체를 분리시키게 한다. 사이클론은 그 설계가 간단하고, 대용량 및 유지보수가 쉬운 장점이 있다. 그러나, 이와같은 사이클론은 유입된 개스로부터 비교적 큰 입자들을 추출해 내는 데 유효할 뿐이므로, 본체내의 오염된 개스를 분리시키는 것은 거의 불가능하다. 반면에, 문질러 없애기 또는 오염된 개스를 물이나 화학적 침전물과 같은 액체의 미세한 분무와 접촉 되도록 반응시키는것은 비교적 저렴한 가격의 장치로서 구성할 수 있는 이점이 있다. 그러나, 여기에는 문지르는 사람의 조작상의 결함이 존재하는바, 즉, 생성되는 침전물 또는 찌꺼기를 조작하면서 장비가 부식되고, 미생물의 증식에 대한 문제가 발생한다. 다시말해서, 이러한 장치들은 오염된 입자들을 제거하는데 제한을 받고, SO₂개스 오염물질의 분리가 오염물질의 용해성과 물 또는 다른 액체내의 중요 개스 성분에 의존하고 있다. 촉매 베드 역시 다양한 개스방출 시스템에 채택되고 있으나, 반응물질 및 상보촉매가 매우 특별하고 이것은 정밀한 온도조절을 요하며 독성에 극히 민감한 결점을 가진다. 또한 개스 물질이나 입자들은 촉매 물질을 독성으로 만들고 촉매작용을 저감시킨다.

정전적인 침전 방법은 장비의 높은 설치 비용에도 불구하고 광범위하게 사용되며, 이 시스템은 대기로 배출되는 개스 또는 공기의 흐름에서 저레벨의 고체 입자를 수집하기 위한 공정만을 필요로 한다. 또한 이 공정은 고전압을 전극 어레이에 인가하여 그 전극 부근의 개스가 이온화 되고 개스내에 유동되는 입자가 개스이온과 접촉되므로써 전하를 띄게 된다. 그러한 하전된 입자들은 개스 이온과 함깨 전극에서 이동한다. 그후 하전된 입자들은 반대편 전극 단부로 이동하고 개스가 전극 어레이를 통과해 흐를때 하전된 입자들은 전극에 부착된다. 누적된 고체 입자들의 제거는 모든 경우에 있어 전극을 기계적으로 진동시켜 집적된 먼지 덩어리를 집진통속으로 떨어지게 하므로서 행해지고 있다. 이러한 시스템은 입자의 크기가 매우 작은 경우에 적은량의 고체입자를 제거하는데는 적용성이 크고 효율적이지만 몇가지 중대한 결점을 가지고 있다. 즉, 그 가장큰 결점은 오직 입자 물질만이 제거될 수 있다는 사실에 있다. 더욱이, 몇몇의 입자물질의 물리적이고 전기적인 특성때문에 그 입자들은 정전적 침전기에 의해 충분히 수집되지 못하게 된다.

전자 빔 방사 시스템은 높은 전자 에너지(500KeV 이상)를 사용하는 점에서 몇가지 단점이 있다. 그것은 빔을 개스 도관내로 집속하기 위해 깨지기 쉬운 빔 윈도우를 설치해야 하고, 개스 도관 외부의 전자빔 가속기의 가격이 비싸며, 이 가속기에의해 발생되는 X-선을 차폐하기 위한 설비가 필요해지는 것이다.

또한 광전자 이온화에 의한 방법은 고밀도의 전계 및 전자방사에 의한 개스 흐름의 통과로 오염 물질을 제거하는 것으로서 이에 의해 고체 오염 물질의 정전적 침전과 전기 화학적 및 광화학적인 작용으로 오염된 개스가 기본물질 또는 비오염 물질로 변환되는 것이다. 상기 전계는 반대로 하전된 2개의 전극에 의해 유도되는데, 이 전극은 입자 및 오염 개스 입자를 그 사이에서 암전류 및/또는 글로우 방전을 일으키는 상대로 여기시킨다. 그러한 고전압이 여기됨과, 동시에, 개스 흐름은 전기 화학적 및 광화학적인 변환을 유지하는 광 이온화를 발생시키도록 자외선 영역내에서 전자 방사를 일으키게 된다.

오염된 개스 또는 공기로 부터 해로운 입자를 제거하기 위한 종래 기술에 따른 몇개의 특허 및 공보가 있다.

즉, 미합중국 특허 제3,917,470호는 정전적 침전기에 대한 것으로서, 광학적인 정전 발생기를 사용하고 있으며, 그 장치는 액체 표면을 갖는 수집 전극을 포함하고 있다. 미합중국 특허 제3,979,193호는 내연기관의 배기관내의 오염물질의 내부 연소 배기관내에 있는 오염 물질의 총합을 조절하고, 여기서 배기관은 코로나 방전실을 통과하게 된다.

미합중국 특허 제3,869,302호는 Nox 및 SO₂를 포함하는 개스를 자외선의 이온화 방사에 조사하는 방법을 개시하고 있는데, 이 방법은 전자 빔 장치의 사용이 필요하다.

한편, 학술지에 발표된 기술로서, “방사 물리·화학”(24권, 제1호 : 1984년 발행)의 177∼127 페이지와 129∼143페이지의 기사는 NOx 및 SO₂의 제거를 위해 개스 흐름을 처리하는 전자빔 장치의 사용에 대해 설명하고 있다. 이러한 종래 기술은 예를들어 6KV의 바람직하지 못한 고전압을 사용하며, 가격이 비싸고 단순성과 함께 신뢰성이 없을 뿐만 아니라 작동 및 보수가 복잡한 결점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 기체 성분을 비개스 물질, 즉, 고체로 변환 시킴으로써 단일의 처리 장치내의 주된 개스의 흐름으로 부터 NOx 및 SOx개체 성분을 동시에 제거하기 위한 간단하고, 저렴하며 효율적인 시스템을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 석유 연료 연소 장비와 같은 대형 설비에서 오염된 개스를 변환시키고 제거 시키기 위한 퇴적 개스 방출시스템을 제공하는데 있다.

본 발명은 광범위하게 말해서, 오염된 개스를 고체로 변환시킴에 의해 연소 장치에서 발생된 배기개스의 오염 물질을 변환시키고 제거하기 위한 방법에 관한 것이며, 이 방법은 연소장치와 연결된 변환 반응장치를 사용하고 이것을 배기개스의 통로에 배치하여 발생된 배기개스가 상기 반응장치를 통해 순환시키게 하며, 상기 반응 장치는 애노우드 및 캐소드 전극을 포함하며 상기 캐소드 및 애노우드 전극은 상기 반응장치에 배치되어 전극 사이를 통해 순환되는 배기개스와 충분히 접촉하게 하고, 상기 캐소드와 애노우드 전극사이에 지정된 직류 전위를 가하고, 배기개수중에서 균일하고 안정한 글로우방전을 유지시켜, 선택적인 전자적 활성화 및 반응을 통해 선택된 오염 개스를 변환시키고 상기 오염 개스를 열동적으로 안정한 고체 물질로 화학적으로 변화시켜 이 고체 생성물을 제거 및 처분할 수 있게 한다.

양호한 실시예에서, 변환 반응 장치 및 그 방법은 석유 연료 연소장치의 배기 스택 또는 도관에 사용되며, 배기 개스중 SOx 및 NOx를 충분히 변환시켜 처분 가능한 고체 물질로 생성시키게 한다. 본 발명의 방법은 분리된 저항성 밸러스트 핀(ballasted pin)과 대향하는 평판전극 또는 동축으로 배치전극 사이에서 전기적으로 동작하는 안정된 글로우 방전을 유지시키고 있다. 본 발명의 변환반응 장치는 전자적으로 활성화 되고 선택된 오염 물질을 화학적으로 변화시켜 열동적으로 안정하고 단단한 물질로 생성시킨다. 이 고체 생성물은 입자 제거를 위하 통상적인 처리 방법으로 제거될 수 있다.

본 발명은 첨부도면을 참고로 한 이하의 양호한 실시예에 따른 상세한 설명으로 부터 보다 명백해질 것이다,

본 발명에 따른 퇴적 개스 방출 제어 시스템의 응용과 일반적인 설치는 제1도의 개스 도관망의 구성도에 의해 먼저 이해가 될 것이다. 본 발명은 글로우 방전 장치의 전자 에너지를 해독될 개스 흐름과 효율적으로 결합되도록 위치시킨 전기 구동 글로우 방전 장치로서 실시되며, 전자 에너지의 평균치는 5eV이며, 따라서 단순한 화학종(species)의 결합에너지와 좀더 근접하게 일치된다. 글로우 방전관을 통해 흐르는 도관 개스 흐름은 전자적으로 활성화 되는 화학종을 발생한다. 이들 종의 반감기는 5ms를 초과하게 되어 초당 80피이트를 초과하는 유속이 글로우 방전 장치의 실질적인 크기 이상으로 반응 용적을 증가시키게 된다.

제1도에 예시된 장치는 도관(17)을 통해 펌프(15)로 부터 연소장치(13)로 들어가는 연료 공급장치(11)를 포함하고 있다. 연소장치(13)는 재래식의 화석연료식 발전소 등에 공급되는 것과 같은 종래의 버너이다. 배기개스는 연소장치(13)에 도관수단(21)에 의해 참고번호(19)로 표시된 본 발명에 따른 변환반응장치 즉, 글로우 방전장치로 전달된다. 보통 종래의 설계로서 된 제1의 집진장치(23)는 글로우 방전장치(19)와 연소장치(13)사이에 배치되어 있다. 제1의 집진장치(23)는 분진백(25)과, 제어밸브(27) 및 바이패스도관(29)을 포함하고 있다. 팬 수단(31)은 도관수단(21)을 따라 설치되어 집진 장치(23)의 작동을 도우며 글로우 방전장치(19)를 통해 흐르는 필요한 배출개스의 흐름을 유지시켜 준다.

글로우 방전장치(19)의 동작을 좀더 상세히 설명하고자 한다. 배출개스는 상기 장치(19)내에서 처리된 후 도관수단(41)을 통해 하나 이상의 생성입자수집창치(33,35)로 전달된다. 하나의 입자 수집장치(35)는 도관수단(37)과 송풍수단(39)을 통해 처리된 배출 개스를 글로우 방전장치(19)으로 되돌려 보내도록 피이드백 루우프에 결합되어 있다. 최후로 처리된 배출 개스는 도관수단(41)과 송풍수단(43)을 통해 대기로 배출되도록 배기연통(45)으로 전달된다. SO₂및/또는 NOx개스 분석기(47)는 글로우 방전장치(19)로부터의 처리된 배기 개스의 배출을 감시하기 위해 배기 도관수단(49)과 연결되어 있다.

글로우 방전장치(19)내에는 서로 간격져 떨어져 있는 전극(51,53)들이 배치되어 있으며, 순환되는 개스가 전기적으로 접지된 평판 애노우드전극(51)과 고전압 직류전원(55)에 연결되고 방전장치의 외부로 각각 밸러스트된 핀형 캐소드 어레이 전극(53)사이로 통과된다. 그러나, 도시된 것과 같은 몇개의 핀은 단일 밸러스트로 장치로부터 동작되게 구성된다. 핀형 전극(53)의 수와 어레이 내에서 그들의 간격, 인가된 전위 및 밸러스트는 방전 장치를 통한 공기의 통로를 따라 애노우드와 캐소드 어레이 사이를 통과하는 개스 속에서 균일한 글로우 방전을 유지하도록 설정된다. 양호하게, 각 핀형 전극과 평판형 애노우드 사이의 간격은 동일하다.

전형적인 화학적 오염 물질은 글로우 방전의 결과에 따라 전자적으로 활성화된다. 전극 양단에 인가된 직류 전위에 의한 전계는 오염 물질은 물론 공기 분자를 활성화시키는 글로우 방전을 발생시킨다. 이 오염물질 및 공기 분자는 방전 장치내에서 화학적으로 변화되거나 환원되어 오염물질을 무해하게 만들고 또 필터효과에 의해 더욱 쉽게 분리될수 있게 만든다.

전극 사이에서 일어나는 균일한 글로우 방전에서의 평균적인 전자 에너지는 오염 물질이 충분한 전자적 활성화가 되도록 설정되어 원하는 화학적 변화를 도모한다. 오염 물질을 포함하는 배기 개스는 전극 사이에서 아크 방전이 야기되지 않을 만큼의 유속으로 글로우 방전 장치를 통해 흐르도록 한다. 이때의 유속은 일반적으로 약 0.5∼1마하의 범위로 된다. 배기 개스의 유속이 더 빨라지면 아크 파괴가 없이 글로우 방전 전류와 입력 전력이 높아진다. 여기서 입력전력이 높아지면 글로우 방전장치의 방출 제어용량이 커진다. 글로우 방전 장치내의 개스 압력은 대기압력과 같거나 약간 더 높다. 이 상태에서 E/N은 50 내지 100Td범위에 있다.

글로우 방전 장치내로 유입되는 개스의 교란을 증가시키기 위해 스크린 또는 그와 유사한 수단(59)가 글로우 방전장치(19)의 입구에 설치된다. 이러한 수단(59)에 의해서 아아크 방전을 피하면서도 더욱 효율적인 전자적 활성화를 증대시키도록 글로우 방전의 입력 전력이 증가될 수 있다.

글로우 방전 장치내의 전극 양단에 인가된 전계는 오염물질의 활성화가 충분히 되도록 약 7∼20KV/㎝의 세기를 갖고, 통상 아아크 방전이 일어나는 1KV/cm보다 훨씬 크게 된다. 이러한 전계의 세기는 개스의 성분 및 속도에 따라 변화할 수 있다.

통상, 개스 흐름과 전계의 세기는 글로우 방전 동작을 계속하는 중에도 변화될 수 있다. 이것은 글로우 방전장치에 매우 효율적인 입력 전력을 공급할 수 있게 하고 전자적인 활성화가 배기 개스로 부터 NOx 및 SOx를 동시에 감소 또는 제거 시킬수 있게 만든다.

제2도를 참조하면, 전극(51) 및 (53)의 배열이 도시되어 있는데, 여기서 각기 밸러스트된 핀들과 전극에 대향하는 평판 사이에서 안정한 글로우 방전이 지속된다. 글로우 방전장치(19)는 배기 스택 또는 도관내에서 위치하는데, 여기서 배기 개스가 대기압력에 가까이 또한 증가된 속도로 방전 장치내로 유입시킨다. 속도의 증가로 방전전류 레벨이 아아크 방전이전의 레벨로 증가된다. 전극의 형상과 각 전극 서로의 물리적인 배치는 도관내의 속도를 증가시키는데 사용된다. 제2도의 단면도는 환형도관부재(61)내에 목적한 바의 글로우 방전장치를 설치한 양호한 실시예를 나타낸다. 제1의 평판전극(51a)은 환형도관부재(61)의 내부벽 주위에 환상으로 배치된다. 또, 제2의 평판전극(51b)은 환형도관부재(61)내의 중심부에 배치된다. 핀 전극(53)들은 보통 평판전극(51a)과 (51b)사이에 환상으로 배치된다. 제3도에서 알수 있는 바와같이 글로우 방전장치(19)는 다수의 개별적인 모듈(71)로 구성되어, 이러한 모듈의 설치가 다양한 스택 크기와 모양에 대해 방출을 적당히 저감할 수 있게 만든다. 제4a,b도 및 (c)도는 핀 전극 모듈(71a, 71b 및 71c)의 각각 다른 실시예를 나타낸 것으로 각자 평판 전극(75a, 75b 및 75c)에 대해 도면부호 73a, 73b 및 73c로 도시된 독특한 핀 전극 배치구조를 가지고 있다. 상기한 바와같이, 핀 전극의 배치는 본 발명의 글로우 방전장치의 동작 용량에 따른 변수로써 작용한다.

제4b도의 실시예에서, 글로우 방전방치의 전극들은 원통형 애노우드 입구 단부에서 그 원통형 애노우드의 종축으로 연장되는 캐소드 핌(73d)과 함께 공기 흐름의 방향과 일치하게 배치된 원통형 애노우드(75d)를 포함한다. 밸러스트된 다수의 캐소드 핀들은 원통형 애노우드의 길이를 따라 간격을 가지고 떨어져 위치하고, 각 캐소드 핀들은 애노우드의 종축을 따라 종단되고 있다. 수장된 다수의 원통형 전극들은 캐소드 핀들과 함께 설치될 수 있고 캐소드 핀은 대응하는 원통형 애노우드의 종축을 따라 각각 애노우드와 결속된다.

제5도는 도관부재의 정단면도를 나타낸 것으로 여기서 또다른 전극의 구조를 가지고 있다. 평판전극(51)은 핀 전극(53)의 양면위에 배치되고, 따라서 배기개스를 통로(65)를 통해 흐르게 하여 전극의 글로우 방전 영역내에서 충분히 연장되어 접촉을 가능하게 한다. 이러한 실시예는 상술한 바와같이 모듈 형태로 적용 시킬수 있다.

본 발명의 퇴적 개스 방출 제어 시스템은 오염물질의 조절중에 일어나는 방전 물리학 및 방전 화학 역학의 이론적인 설명을 숙지 함으로써 잘 이해될 수 있다.

숫자 해석은 공기중의 글로우 방전동작을 설명하기 위하 볼츠만 방정식이다. 전기적 에너지의 통상 예상치는 다음과 같다 ;

N₂의 진동 여기 44%

N₂의 전자적 여기 42%

O₂의 전자적 여기 13%

전리 0.25%

다른손실 0.75%

이것은 55%의 전기적 에너지가 O 및 N과 같은 자유기(radicles)를 생성할수 있는 전자적으로 여기된 N₂및 O₂를 발생하도록 통과되는 것을 나타낸다.

SOx 및 NOx의 최소 성분은 1차 전자의 방사 또는 주성분과의 반응 또는 충돌에 의해 방전 스트림 내에서 반응할 수 있다. 이 후자의 통로는 특히 연쇄 반응이 조절될때 SOx 및 NOx를 함유하는 산출물의 수율(yield)를 보다 높게 만들게 한다. 이러한 이유로, 단순한 방법이 반응 메카니즘에 도달하도록 채택된다. 자유기와의 반응은 단지 그 실험적으로 결정된 반응 상수로 선택될 수 있으며, 연쇄 반응 단계는 가정되지 않는다. 역학메카니즘은 다음과 같다 ;

O₂*→2O (1)

O+2O₂→O₃+O₂(2)

O+O₃→2O₂(3)

2O+O₃→2O₂(4)

N₂*→2N (5)

N+O₂→O+NO (6)

2NO+O₂→2NO₂(7)

O+2SO₂→SO₃+SO₂(8)

SO₂*+SO₂→SO₃+SO (9)

SO+SO₃→2SO₂(10)

SO+O₃→SO₂+O₂(11)

2NO₂+O₃→N₂O₅+O₂(12)

N₂O₅+2SO₃→(NO₂)₂S₂O₇(13)

2SO₂+3NO₂→(NO)₂S₂O₇+NO (14)

상술한 것은 석유 연료 연소장치의 배기 스택 또는 배기 도관내에 설치된 퇴적 개스 방출제어 시스템으로서, 그 배기 개스내의 SOx 및 NOx오염물질을 제거 또는 충분히 감소시키고자 할 것이다. 이 시스템은 분리 저항성의 밸러스트된 핀들과 대향하는 평판 사이에서 전기적으로 동작되는 글로우 방전 장치를 포함한다.

Claims (10)

1. 연소장치(13)에 의해 발생된 배기개스의 기체 오염물질을 기체가 아닌 생성물로 변환시켜 제거하기 위한 방법에 있어서, 연소장치에 연결되며, 배기개스의 통로에 배치되어 발생된 배기개스를 자체를 통해 순환시키는 변환반응장치(19)를 사용하는 단계를 포함하는데, 상기 반응장치는 애노우드 수단(51)과 그로부터 이격진 캐소드수단(53)을 포함하되, 상기 캐소드 및 애노우드 수단은 상기 반응장치를 통해 순환되는 배기개스와 효과적으로 접촉하도록 그 장치내에 배치되어, 상기 장치가 상기 캐소드 수단과 애노드 수단 사이에 소정의 DC 전위를 제공하며 ; 상기 배기개스중에 균일하고 안정된 글로우 방전을 유지시켜 선택적인 전자적 활성화 및 반응을 통해 선택된 오염개스를 변환시키는 단계 ; 및 상기 오염된 개스를 제거 및 처분할 수 있는 열동적으로 안정한 고체 생성물로 화학적으로 변화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 퇴적개스 방출 제어방법.
2. 제1항에 있어서, 배기개스로 부터 안정된 고체 생성물을 여과시키기 위해 여과수단(33, 35)를 상기 변환반응장치(19)에 연결시켜 사용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 퇴적개스 방출 제어방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 캐소드 수단(53)을 평판 애노우드부재(51a, 51b)으로 부터 간격을 가지고 떨어진 핀형, 캐소드 전극 어레이의 형태로 배치하는 단계를 포함하여, 상기 핀형 캐소드 부재가 저항적으로 밸러스트되며 그 캐소드 부재를 고전압 D.C 전원에 접속시키는 것을 특징으로 하는 퇴적개스 방출 제어방법.
4. 제3항에 있어서, 상기 캐소드 수단(53)과 애노우드 수단(51) 사이에 형성된 통로내에서 균일하고 안정된 글로우 방전을 유지하기 위해 그들 사이의 D.C 전위를 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 퇴적개스 방출 제어방법.
5. 제4항에 있어서, 상기 오염된 개스는 연소장치에서 발생된 SOx 및 NOx 방출물인 것을 특징으로 하는 퇴적개스 방출 제어방법.
6. 제3항에 있어서, 상기 간격을 가지고 떨어진 핀형의 캐소드 수단 어레이와 평판 애노우드 부재(51a, 51b)가 상기 반응장치내에서 선별적인 배치가 되도록 모듈형으로 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 퇴적개스 방출 제어방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 반응장치는 소정수의 모듈형 유니트로 구성되는 것을 특징으로 하는 퇴적개스방출 제어방법.
8. 제1항에 있어서, 상기 애노우드 수단(51)을 개스의 순환 방향을 따라 정렬된 원통형의 형태로서 정렬하고, 상기 캐소드 수단을 원통형 애노우드의 종축 방향으로 배치된 적어도 하나의 캐소드 핀(73d)을 포함하도록 배열 시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 퇴적개스 방출 제어방법.
9. 제8항에 있어서, 상기 캐소드 수단(53)을 원통형 애노우드의 길이를 따라 이격된 다수의 밸러스트된 캐소드 핀(73d)의 형태로 배열시키는 단계를 포함하며, 상기 각 캐소드 핀은 애노우드 종축을 따라 중단되는 것을 특징으로 하는 퇴적개스 방출 제어방법.
10. 제8항에 있어서, 복수의 원통형 애노우드 전극을 벌집모양으로 형성하는 단계를 포함하며, 각 원통형 애노우드는 그 종축을 따라 적어도 하나의 캐소드 핀(73d)을 포함하는 것을 특징으로 하는 퇴적개스 방출 제어방법.

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