JPS61183527U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61183527U JPS61183527U JP6673486U JP6673486U JPS61183527U JP S61183527 U JPS61183527 U JP S61183527U JP 6673486 U JP6673486 U JP 6673486U JP 6673486 U JP6673486 U JP 6673486U JP S61183527 U JPS61183527 U JP S61183527U
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- JP
- Japan
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- oxide film
- film formed
- convex
- silicon
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- Pending
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims 1
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Description
第1図は、従来技術における半導体装置の第1
実施例を示す図である。第2図は、本願考案の半
導体装置の一実施例を示す図である。第3図は、
本願考案の他の実施例を示す図である。 1……シリコン基板、2……シリコン酸化膜、
4……凸部、5……シリコン酸化膜、6……シリ
コン窒化膜。
実施例を示す図である。第2図は、本願考案の半
導体装置の一実施例を示す図である。第3図は、
本願考案の他の実施例を示す図である。 1……シリコン基板、2……シリコン酸化膜、
4……凸部、5……シリコン酸化膜、6……シリ
コン窒化膜。
Claims (1)
- シリコン基板上に形成された凸形シリコン段段
部、少なくとも前記凸形シリコン段差部上に形成
された酸化膜、前記酸化膜上に形成された窒化膜
からなる位置合せマークを有することを特徴とす
る半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6673486U JPS61183527U (ja) | 1986-05-01 | 1986-05-01 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6673486U JPS61183527U (ja) | 1986-05-01 | 1986-05-01 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61183527U true JPS61183527U (ja) | 1986-11-15 |
Family
ID=30599910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6673486U Pending JPS61183527U (ja) | 1986-05-01 | 1986-05-01 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61183527U (ja) |
-
1986
- 1986-05-01 JP JP6673486U patent/JPS61183527U/ja active Pending