JPS61177740A - 真空型ウエ−ハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の利用分野） 本発明は、真空型ウェーハ搬送装置に関する。

本発明は、ウェーハの搬送を真空内で処理可能にするた
めに利用される。特に、ウェーハの検査工程に利用する
のに好適である。

（従来技術とその問題点） ウェーハを搬送する手段として、特開昭５３−１２９９
６４号公報に開示される手段があるが、この手段は、ウ
ェーハ拡散処理のための炉やウェーハを収めるカセット
の位置が、ウェーハ搬送装置によって決められ、その選
定位置を任意に決められないことに加えで、最大の欠点
は、空気中のホコリが、ウェーハに付着し、ウェーハの
品質を落とすことである。ウェーハを真空槽で搬送すれ
ば良いと簡単に考えるが、搬送機構が複雑な動きをする
ことから、多くの電気信号を各機構に送墨必要があり、
電気配線も多く、真空槽から外部に延出するこの電気配
線部から空気が洩れ、真空が維持できず、結局、真空処
理をすることができないま−となっている。

（本発明の技術的課題） 本発明は、ウェーハ搬送機構を収めるケース内を真空に
することを可能にすることを、解決すべき技術的課題と
する。

（本発明の技術的手段とその作用効果）本発明は、前述
した技術的課題を解決するために、箱型ケースの下部を
閉じる底板にハーメチックフランジ及びハーメチックを
固定し、これらを樹脂層で覆い、これらの部分から電気
配線を延出させる技術的手段を用いる。この手段の採用
は、底板の内側にコネクターを配することで、底板をケ
ースから外すと同時に、ケース内の電気配線とケース側
に延出する電気配線とが、完全に且つ容易に分離できる
ので、ケース内の搬送機構の保守点検が、簡単である。

又、ケースを底板に固定すると同時に、電気結合が成さ
れ且つ気密が確実に維持される。

（実施例） 第１図および第２図を参照する。方形成いは円形に構成
された側板１の頂部に、中央開口２を有する頂板３をボ
ルト止めさせる。頂板３には下向きの１の吊ボルト４を
設け、該吊ボルト４の下部にベース板５を固定させる。

ベース板５の適所に第１の電動モータ６を有する第１の
枠部材７を固定する。第１の枠部材７から側方に延出す
る対の板ばね８の先端に第２の枠部材９を固定し、第１
の枠部材７に対し第２の枠部材９を板ばね８を介して支
持する。第１の電動モータ６の出力軸は、カム機構１０
を介して第２の枠部材９に連結され、該出力軸へ制御さ
れた回転は、カム機構１０によって、第２の枠部材９を
上下動させる。

第２の枠部材９に保持された第２の電動モータ１１の出
力軸は、第２の枠部材９の上方の第３の枠部材１２に固
定する。即ち、第２の電動モータ１１の回転は、第３の
枠部材１２を第２の枠部材９に対し回動させる。

第３の枠部材１２には第３の電動モータ１３が保持され
、該第３の電動モータ１３の出力軸は、減速機構１４を
介してリンク１５に連結される。

リンク１５のまわりは、リンク１５の動きを可能にする
部分とウェーハカセット（図示なし）の設置部分とを含
めてカバー２３を配し、内部を真空可能にする。

側板１の下部に底板１６をボルト止めさせる。

側板１内の移送機構用の電気配線をコネクター１７′を
介して外部に取出し、制御部分１８′に連結し、制御部
分１８′からの信号に応じ各電動モータが所定の動きを
する。

第１の電動モータ６に送られた信号は、該モータ６を回
転させカム機構ｌＯによって、第２の枠部材９を所定量
上下動させ、第３の枠部材１２およびリンク１５を上下
動させ、その高さを変える。

第２の電動モータ１１に送られた信号は、該モータ１１
の出力軸に固定された第３の枠部材１２を、　　　　回
動させ、リンク１５それ自身を回動させ、リンク１５の
位置を決める。第３のモータ１３に送られた信号は、所
定位置にあるリンク１５を伸縮させる。

リンク１５を第３のモータによって伸縮させる機構を第
３〜５図を参照して説明する。リンク１５は左右対称に
配された第１のアーム１７と、該第１のアーム１７より
長く且つ第１のアームに枢着された左右対称の第２のア
ーム１８より、第１のアーム１７の端部は互いに噛合う
セグメント１９に固定される。セグメント１９の一方は
、第３のモータ１３の出力軸側に連結される。対の第２
のアーム１８の自由端側に、同様に、セグメント２０を
配し、対の第２のアーム１８の自由端側を連結し且つウ
ェーハ支持台２１を設ける。

第３図に示す状態のリンク伸縮状態時に、第３のモータ
１３を回転させ、一方のセグメント１９に回転動を伝え
ると、互いに噛合うセグメント１９によって、第１のア
ーム１７は、該セグメント１９を中心に側方に拡がるよ
うに拡大する（第４図参照）。さらに、セグメント１９
が回転すると、両アーム１７．１８が互いに平行となる
ように動いて、第５図に示すように、リンク１５は伸び
た状態となる。２２はリンク収縮時のストッパである。

ウェーハを収めるカセット（図示なし）からつ゛アーム
を取り出し、別のカセット震いは拡散処理炉にウェーハ
を移送、又はその逆のウェーハ移送について述べる。第
２の電動モータ１１を駆動させて処理するウェーハと同
一線上にリンク１５を回動させ且つ第１の電動モータ６
によりリンクの高すをウェーハの位置に合わせる。次い
で、第３の電動モータ１３を駆動し、セグメント１９を
回転させ、リンク１５を第３図の状態から第５図の状態
にし、ウェーハ支持台２１をウェーハの下部に配置する
。第１のモータ６を再度駆動して、リンク１５を若干持
上げ、ウェーハをウェーハ支持台２１上にのせる。ウェ
ーハを支持台２１にのせた状態で、再び、第３のモータ
１３を逆方向に駆動し、リンク１５を第５図の状態から
第３図の状態に戻す。次いで、第２の電動モータ１３を
駆動して、ウェーハを移送させるための次のカセット或
いは処理炉と同一線上にリンク１５が位置するように、
第３の枠部材１２を回動させる。次いで、前述した如く
、第３の電動モータ１３を駆動して、第３図の状態から
第５図の状態へとなし、ウェーハが置かれるべき位置の
若干上方にウェーハ支持台２１を位置させる。次いで、
第１のモータ６を駆動して、リンク１５を下げ、所定位
置にウェーハを置き、第５図の状態から第３図の状態へ
とリンク１５を収縮させ、次の作業に備える。

第１図に戻るが、底板１６には、コネクター１７′の一
方から外部へと延出しよとする電気配線２３を受けるハ
ーメチックフランジ２４とハーメチック２５とが固定さ
れ、これらハーメチックフランジ２４やハーメチック２
５には、その接触部からの空気洩れを防止するために、
樹脂層を設け、空気道を完全に塞ぐ。底板１６と側板１
とは、ボルト２６で固定されるがシール材２７が側板１
と底板１６との間の気密を確保する。この結果、底板１
６を外すと、コネクター１７′が電気配線の一部をケー
ス内に留め、ケース外の電気配線２３は、ハーメチック
フランジ２４とハーメチック２５と共に底板１６と一体
となってケース１から離すことができる。底板１６を取
外す作業では、ハーメチック部分２４．２５に何んら手
を加えないので、この部分の傷みがなく、初期の気密度
合いを常時保つことができ、装置の寿命を長いものとす
る。又、制御部分１Ｂ’をケース外に配するので、この
部分の設計変更にも容易に対応できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一例の断面図、第２図は第１図の矢視
■−■よりみた図、第３図はリンクの収縮時を示す平面
図、第４図はリンクの中間拡大位置を示す平面図、およ
び第５図はリンクの伸びた状態を示す平面図である。 図中：１・・・側板　　　３・・・頂板４・・・吊ボル
ト　５・・・ベース板 ６．１１．１３・・・電動モータ ７．９．１２・・・枠部材 ８・・・ばね板　　１５・・・リンク １７′・・・コネクター ２４・・・ハーメチックフランジ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　真空源に接続され且つ下部開放可能な箱型ケース、該
   ケース内に吊下されたウェーハ搬送機構、前記箱型ケー
   スの下部にボルト止めされた底板、前記底板に固定され
   たハーメチックフランジ及びハーメチック、前記ハーメ
   チックフランジ及びハーメチックを被覆した樹脂層から
   なり、前記ウェーハ搬送機構の配線が前記ハーメチック
   から外部に取出されることを特徴とする真空型ウェーハ
   搬送機構。