JPS61177469U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61177469U JPS61177469U JP6163285U JP6163285U JPS61177469U JP S61177469 U JPS61177469 U JP S61177469U JP 6163285 U JP6163285 U JP 6163285U JP 6163285 U JP6163285 U JP 6163285U JP S61177469 U JPS61177469 U JP S61177469U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical semiconductor
- semiconductor device
- optical
- light source
- photodetector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す検査装置であ
り、第２図は従来の検査装置である。 １……被測定光半導体素子（Ｌ．Ｄ）、２……
集光レンズ、３……受光素子、４……ホルダー、
５……ＸＹＺ微動台、６……光―電気変換回路、
７……高周波回路、８……測定機、９……光パワ
ーメータ、１０……光フアイバー、１１……受光
回路、１２……光路切換器、１３……同軸ケーブ
ル。
り、第２図は従来の検査装置である。 １……被測定光半導体素子（Ｌ．Ｄ）、２……
集光レンズ、３……受光素子、４……ホルダー、
５……ＸＹＺ微動台、６……光―電気変換回路、
７……高周波回路、８……測定機、９……光パワ
ーメータ、１０……光フアイバー、１１……受光
回路、１２……光路切換器、１３……同軸ケーブ
ル。
Claims (1)
- 光半導体素子の検査装置で、被測定光半導体素
子を光源とし、これに対向する位置に配置した光
検出器において、光源からの光を集光するレンズ
と受光素子を同一部品上に固定したことを特徴と
する光半導体素子の光―電気特性を測定する検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6163285U JPS61177469U (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6163285U JPS61177469U (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61177469U true JPS61177469U (ja) | 1986-11-05 |
Family
ID=30590083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6163285U Pending JPS61177469U (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61177469U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63212879A (ja) * | 1987-02-28 | 1988-09-05 | Nec Corp | 半導体受光素子の測定装置 |
| JPS6429780A (en) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 | Nec Corp | Optical semiconductor measuring instrument |
| JPH01144872U (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 |
-
1985
- 1985-04-24 JP JP6163285U patent/JPS61177469U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63212879A (ja) * | 1987-02-28 | 1988-09-05 | Nec Corp | 半導体受光素子の測定装置 |
| JPS6429780A (en) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 | Nec Corp | Optical semiconductor measuring instrument |
| JPH01144872U (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 |
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