JPS6117472A - 多孔質炭化けい素焼結体の製造方法 - Google Patents
多孔質炭化けい素焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6117472A JPS6117472A JP59138825A JP13882584A JPS6117472A JP S6117472 A JPS6117472 A JP S6117472A JP 59138825 A JP59138825 A JP 59138825A JP 13882584 A JP13882584 A JP 13882584A JP S6117472 A JPS6117472 A JP S6117472A
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- Japan
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- sintering
- sintered body
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- porous silicon
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は多孔質炭化けい素焼給体、特には各種フィルタ
ー、触媒担持体、各種薄膜用支持体として有用とされる
多孔質の炭化けい素焼給体に関するものである。
ー、触媒担持体、各種薄膜用支持体として有用とされる
多孔質の炭化けい素焼給体に関するものである。
（従来の技術）
炭化けい素は化学的、物理的にきわめて安定な性質を有
しており、特に高温における耐酸化性。
しており、特に高温における耐酸化性。
耐蝕性、熱伝導性１強度にすぐれ、熱膨張係数も低いと
いうことから、ガスタービン翼、自動車用部材、腐蝕性
流体用部材、耐火材、高温反応炉用部材、電気・電子用
部材１機械的部材などに有用とされている。そしてこの
炭化けい素は焼結体として供給されている力ζこれはそ
の使用目的上から高密産品が要求されるためにこの高密
度化焼結法が種々提案されている。
いうことから、ガスタービン翼、自動車用部材、腐蝕性
流体用部材、耐火材、高温反応炉用部材、電気・電子用
部材１機械的部材などに有用とされている。そしてこの
炭化けい素は焼結体として供給されている力ζこれはそ
の使用目的上から高密産品が要求されるためにこの高密
度化焼結法が種々提案されている。
他方−この炭化けい素については化学的、物理的に安定
な性質をもっていることから高密度化していない多孔質
焼結体が各種フィルター、触媒担持体、各種薄膜用支持
体として要求されているが。
な性質をもっていることから高密度化していない多孔質
焼結体が各種フィルター、触媒担持体、各種薄膜用支持
体として要求されているが。
これについての焼結例はない。
（発明の構成）
本発明はこのような不利を解決した多孔質炭化けい素焼
給体に関するものであり、これは結晶子が５０ＡＪ２を
下のβ型炭化けい素の集合体であり。
給体に関するものであり、これは結晶子が５０ＡＪ２を
下のβ型炭化けい素の集合体であり。
平均粒径が０．０１〜１μである球状形状の超微粒子
４、状β型多結晶炭化けい素に、平均粒径が６μ以下の
多結晶炭化けい素微粉末を混合し、１，７５０〜２．５
００℃の温度で焼成してなることケ特徴とするものであ
る。
多結晶炭化けい素微粉末を混合し、１，７５０〜２．５
００℃の温度で焼成してなることケ特徴とするものであ
る。
これを説明すると１本発明者らはさきに分子中に少なく
とも１個のけい素−水素結合を有し。
とも１個のけい素−水素結合を有し。
５ｉＸ（Ｘはハロゲン原子または酸素原子）結合を含ま
ない有機けい素化合物を７５０℃以上で熱分解させれば
粉砕工程を経ることなしで超微粒子状の炭化けい素を高
純度でしかも収率よ（得ることができることを見出しく
特開昭５９−３９７０８号公報、特願昭５８−１５５９
１１号、特願昭５８−２０１２０２号明細書参照）、こ
のようにして得た炭化けい素は焼結助剤の添加なしでも
焼結するし、従来公知の炭化ゆい累との混合物も極めて
装置の焼結助剤で焼結できることを見出した（特願昭５
８−１５５９１０号、特願昭５８−２１３４７７号明細
書径照）。そして、これについてさらに研究を進めたと
ころ、上記した気相熱子 分解法で得られた超微乳状のβ型炭化けい素に市販され
ている微粉状の炭化けい素を混合して焼結すると１両者
の焼結特性の相違によってこの焼結体が多孔質となるこ
とを見出すと共に、超微粒子状β型炭化けい素に混合す
る炭化けい素の種類。
ない有機けい素化合物を７５０℃以上で熱分解させれば
粉砕工程を経ることなしで超微粒子状の炭化けい素を高
純度でしかも収率よ（得ることができることを見出しく
特開昭５９−３９７０８号公報、特願昭５８−１５５９
１１号、特願昭５８−２０１２０２号明細書参照）、こ
のようにして得た炭化けい素は焼結助剤の添加なしでも
焼結するし、従来公知の炭化ゆい累との混合物も極めて
装置の焼結助剤で焼結できることを見出した（特願昭５
８−１５５９１０号、特願昭５８−２１３４７７号明細
書径照）。そして、これについてさらに研究を進めたと
ころ、上記した気相熱子 分解法で得られた超微乳状のβ型炭化けい素に市販され
ている微粉状の炭化けい素を混合して焼結すると１両者
の焼結特性の相違によってこの焼結体が多孔質となるこ
とを見出すと共に、超微粒子状β型炭化けい素に混合す
る炭化けい素の種類。
これらの配合比、焼結条件などを選択すれば高焼結度で
しかも多孔質の炭化けい素焼給体を工業的に容易に得る
ことができるということを確認して本発明を完成させた
。
しかも多孔質の炭化けい素焼給体を工業的に容易に得る
ことができるということを確認して本発明を完成させた
。
本発明の多孔質炭化けい素焼給体を作るための始発材料
とされる超微粒子状β型炭化けい素は有機けい素化合物
の気相熱分解反応によって得られるが、この有機げい素
化合物はその分子中に少なくとも１個の５ｉ−Ｈ結合を
含むが、しかしＳｉＸ結合を含まないものであり、これ
は例えば一般式 Ｒ（Ｓｉ）（こ＼にＲはその少なｚｎ
−Ｈｎ くとも１個が水素原子であり、その他はメチル基。
とされる超微粒子状β型炭化けい素は有機けい素化合物
の気相熱分解反応によって得られるが、この有機げい素
化合物はその分子中に少なくとも１個の５ｉ−Ｈ結合を
含むが、しかしＳｉＸ結合を含まないものであり、これ
は例えば一般式 Ｒ（Ｓｉ）（こ＼にＲはその少なｚｎ
−Ｈｎ くとも１個が水素原子であり、その他はメチル基。
エチル基、プロピル基、フェニル基、ビニル基などから
選ばれる１価の炭化水素基、ｎは１〜４の正数〕で示さ
れるシランまたはボリン２ン類、お〔こ＼にＲは前記と
同じ、Ｒ１はメチレン基、エチレン基またはフェニレン
基１ｍは１〜２の正数〕で示されるシルアルキレン化合
物またはシル７工４ニレン化合物、あるいは同一分子中
にこの両者の主骨格をもつ化合物があげられる。そして
、この有機けい素化合物としては６次式 ％式％ で示されるシラン−ポリシランが例示され、これらはそ
の１種または２種あるいは２種以上の混合物として使用
されるが、これらについては式れるジメチルポリシラン
を３５０℃以上の温度で熱分解させて得られるジメチル
ポリシランを主体トスるメチルハイドロジエンシラン類
が好ましいものとされる。なお、これらの有機けい素化
合物は従来公知の方法で製造することができるが、これ
らは蒸留工程で容昌に高純度化することができ。
選ばれる１価の炭化水素基、ｎは１〜４の正数〕で示さ
れるシランまたはボリン２ン類、お〔こ＼にＲは前記と
同じ、Ｒ１はメチレン基、エチレン基またはフェニレン
基１ｍは１〜２の正数〕で示されるシルアルキレン化合
物またはシル７工４ニレン化合物、あるいは同一分子中
にこの両者の主骨格をもつ化合物があげられる。そして
、この有機けい素化合物としては６次式 ％式％ で示されるシラン−ポリシランが例示され、これらはそ
の１種または２種あるいは２種以上の混合物として使用
されるが、これらについては式れるジメチルポリシラン
を３５０℃以上の温度で熱分解させて得られるジメチル
ポリシランを主体トスるメチルハイドロジエンシラン類
が好ましいものとされる。なお、これらの有機けい素化
合物は従来公知の方法で製造することができるが、これ
らは蒸留工程で容昌に高純度化することができ。
粉砕工程が不要なために本反応によって得られる炭化け
い素も極めて純度の高いものになるという有利性が与え
られる。
い素も極めて純度の高いものになるという有利性が与え
られる。
この有機けい素化合物の気相熱分解反応はこれを７５０
〜１．５００℃に加熱した反応帯域に水素ガスまたは窒
素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスをキャリヤー
ガスと共に導入して熱分解させればよく、この反応によ
れば結晶子が５０Ａ以下のβ型炭化けい素の集合体で、
平均粒径が０．０１〜１μである球状形状をもつ超微粒
子状のβ型多結晶炭化けい素が得られる。
〜１．５００℃に加熱した反応帯域に水素ガスまたは窒
素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスをキャリヤー
ガスと共に導入して熱分解させればよく、この反応によ
れば結晶子が５０Ａ以下のβ型炭化けい素の集合体で、
平均粒径が０．０１〜１μである球状形状をもつ超微粒
子状のβ型多結晶炭化けい素が得られる。
本発明の多孔質炭化けい素焼給体はこのようにして得た
超微粒子状β型炭化けい素に通常市販されている微粉末
状の炭化けい素を混合し焼結することによって作られる
が、これらの配合比は超微粒子状β型炭化けい素あるい
は微粉末状炭化け（・素が１重量部以下では焼結体が多
孔質とならない。
超微粒子状β型炭化けい素に通常市販されている微粉末
状の炭化けい素を混合し焼結することによって作られる
が、これらの配合比は超微粒子状β型炭化けい素あるい
は微粉末状炭化け（・素が１重量部以下では焼結体が多
孔質とならない。
また−こ−に使用される微粉状炭化けい素は一般に市販
されているａ型−β型のいずれであってもよく、目的と
する多孔静焼結体の孔径な均一とするためにはできるだ
け平均粒径の細かいものとすることがよいが、これには
機械的粉砕のために限度があるし、６μ以上の成分が多
くなる（粘度分布の広いもの）と、孔径も不均一になる
ので平均粒径が６μ以下のものとすることがよい。この
ものは結晶子が成長したα、β構造の多結晶体を粉砕し
たもののため非球状形状をしており、焼結温度は前記し
た超微粉状炭化けい素と異なった値を有している。
されているａ型−β型のいずれであってもよく、目的と
する多孔静焼結体の孔径な均一とするためにはできるだ
け平均粒径の細かいものとすることがよいが、これには
機械的粉砕のために限度があるし、６μ以上の成分が多
くなる（粘度分布の広いもの）と、孔径も不均一になる
ので平均粒径が６μ以下のものとすることがよい。この
ものは結晶子が成長したα、β構造の多結晶体を粉砕し
たもののため非球状形状をしており、焼結温度は前記し
た超微粉状炭化けい素と異なった値を有している。
こ＼に配合された超微粒子状β型炭化けい素と微粉状炭
化けい素との混合物はついで成形し焼結すればよいが−
この成形はセラミック業界で公知の方法で行えばよく、
これは例えばグイプレス法で行なえばよい。この成形に
は結合剤として、加熱により分解生成物が残存しないよ
うな有機化合物１例えばパラフィン−低分子量セルロー
ス誘導体、フェノール樹脂などを単独で、あるいはアセ
トンなどに溶解して使用してもよいがこれら結合剤を使
用せずに直接加圧、成形してもよい。また。
化けい素との混合物はついで成形し焼結すればよいが−
この成形はセラミック業界で公知の方法で行えばよく、
これは例えばグイプレス法で行なえばよい。この成形に
は結合剤として、加熱により分解生成物が残存しないよ
うな有機化合物１例えばパラフィン−低分子量セルロー
ス誘導体、フェノール樹脂などを単独で、あるいはアセ
トンなどに溶解して使用してもよいがこれら結合剤を使
用せずに直接加圧、成形してもよい。また。
これをチューブ、ルツボなどの複雑な成形品とするため
にはラバープレスなどを用いて成形すればよいが、より
精密な成形品を得るためには生の賦形体をその焼結前に
研削するか、あるいはスライスなどの機械加工を施すこ
とがよい。なお、この成形はスリップキャスト法で行な
ってもよいが。
にはラバープレスなどを用いて成形すればよいが、より
精密な成形品を得るためには生の賦形体をその焼結前に
研削するか、あるいはスライスなどの機械加工を施すこ
とがよい。なお、この成形はスリップキャスト法で行な
ってもよいが。
この場合には炭化けい素粉末にポリエチレングリコール
、低分子量セルロース誘導体、パラフィンなどの可塑剤
とポリビニルブチラールなどの結合剤を添加し、水中に
分散させてから焼石こう型内に流し込めばよい。またセ
ルロース誘導体などと水との混合物からなる成形可能な
ペーストは押出成形、射出成形、ロール成形などを行な
ってもよい。
、低分子量セルロース誘導体、パラフィンなどの可塑剤
とポリビニルブチラールなどの結合剤を添加し、水中に
分散させてから焼石こう型内に流し込めばよい。またセ
ルロース誘導体などと水との混合物からなる成形可能な
ペーストは押出成形、射出成形、ロール成形などを行な
ってもよい。
また、このようにして得られた成形体はついで焼結する
ことによって焼結体とされるが、これには焼結に先立っ
て添加した有機化合物を揮発させたのち、常圧または真
空下のいずれかの方法で行えばよい。しかし、この加熱
温度についてはこれを１，７５０℃以下とすると焼結不
足となって焼結体の強度が低下するばか得られる多孔質
焼結体の孔径が一定にならないという不利が生じ。
ことによって焼結体とされるが、これには焼結に先立っ
て添加した有機化合物を揮発させたのち、常圧または真
空下のいずれかの方法で行えばよい。しかし、この加熱
温度についてはこれを１，７５０℃以下とすると焼結不
足となって焼結体の強度が低下するばか得られる多孔質
焼結体の孔径が一定にならないという不利が生じ。
２．５００℃以上とすると粒子の成長によって多孔質焼
結体の孔がみだれたり、一部に炭化けい累の昇華によっ
て粗大孔が発生するので、これは１．７５０〜２，５０
０℃の範囲、好ましくは１．９００〜２，３００℃の範
囲とすることがよい。
結体の孔がみだれたり、一部に炭化けい累の昇華によっ
て粗大孔が発生するので、これは１．７５０〜２，５０
０℃の範囲、好ましくは１．９００〜２，３００℃の範
囲とすることがよい。
また、この焼結は窒素、アルゴン、ヘリウムなどの不活
性雰囲気下あるいは真空下とすることが必要とされるが
、この焼結工程に先立って前記した成形品についての切
削加工を実施する場合には。
性雰囲気下あるいは真空下とすることが必要とされるが
、この焼結工程に先立って前記した成形品についての切
削加工を実施する場合には。
これを必要に応じ仮焼してもよいが、この温度は１．５
００℃以下とすることがよく−この温度はその機械加工
に必要とされる強度に応じて定めればよい。
００℃以下とすることがよく−この温度はその機械加工
に必要とされる強度に応じて定めればよい。
なお、この焼結時にはこれが超微粒子状β型炭化けい素
と市販品のような微粉状の炭化けい素との焼結速度の差
を利用して多孔質焼結体を得るものであるということか
ら、特に焼結助剤を添加する必要はないが、焼結密度を
あげ、孔径な小さくするような目的には焼結助剤として
のほう素を０．０３〜１，０重量部添加してもよい。こ
の焼結助剤の添加により任意の密度を有する焼結体を得
ることができるが、この場合に添加するほう素置は前記
した量と同一とすればよく、このほう素としては金属は
う素、はう素化合物のいずれであってもよい。
と市販品のような微粉状の炭化けい素との焼結速度の差
を利用して多孔質焼結体を得るものであるということか
ら、特に焼結助剤を添加する必要はないが、焼結密度を
あげ、孔径な小さくするような目的には焼結助剤として
のほう素を０．０３〜１，０重量部添加してもよい。こ
の焼結助剤の添加により任意の密度を有する焼結体を得
ることができるが、この場合に添加するほう素置は前記
した量と同一とすればよく、このほう素としては金属は
う素、はう素化合物のいずれであってもよい。
これを要する忙１本発明は結晶子が５０Ａ以下のβ型炭
化けい集果合体で平均粒径が０．０１−１μである球状
形状をもつ超微粒子状β型多結晶炭化けい素と平均粒径
が６μ以下の微粉状炭化けい素との混合物を１，７５０
〜Ｚ５００℃で焼結させて得られる多孔質炭化けい素焼
給体に関するものであるが、このものは多孔性体である
ことから密度は１．７０〜２．５０１７ ／ ０．０．
となるが、七の孔径が０．０５〜１００μｍのはゾ均一
な孔径をもつものとされるので各種フィルター−触媒担
持体、各種薄膜用支持体として有用とされる。
化けい集果合体で平均粒径が０．０１−１μである球状
形状をもつ超微粒子状β型多結晶炭化けい素と平均粒径
が６μ以下の微粉状炭化けい素との混合物を１，７５０
〜Ｚ５００℃で焼結させて得られる多孔質炭化けい素焼
給体に関するものであるが、このものは多孔性体である
ことから密度は１．７０〜２．５０１７ ／ ０．０．
となるが、七の孔径が０．０５〜１００μｍのはゾ均一
な孔径をもつものとされるので各種フィルター−触媒担
持体、各種薄膜用支持体として有用とされる。
つぎに本発明の実施例をあげる。
実施例１
内径７０ｍｍ−長さ１，５００ｊ＋ｍのムライト製炉心
管を備えた縦型管状電気炉を１，４００℃に加熱し。
管を備えた縦型管状電気炉を１，４００℃に加熱し。
こ−にテトラメチルクシ２ンｌＯ容量チを含む水素ガス
を２００１１時で導入して８時間反応させたところ、炭
化けい素粉末ｓａ７ｇ（収率８７％）が得られた。
を２００１１時で導入して８時間反応させたところ、炭
化けい素粉末ｓａ７ｇ（収率８７％）が得られた。
このものは電子顕微鏡のβ−ＢｉＯ（１，Ｌｓｌ）回折
による暗視野像の測定結果から５０Ｘ以下のβ型炭化け
い素の集合体で平均粒径が０．３μである球状形状をも
つ超微粒子状のβ型多結晶炭化けい素であることが確認
された。
による暗視野像の測定結果から５０Ｘ以下のβ型炭化け
い素の集合体で平均粒径が０．３μである球状形状をも
つ超微粒子状のβ型多結晶炭化けい素であることが確認
された。
つぎにこの超微粒子状β型多結晶炭化けい素５ｇと市販
のβ型炭化けい累・β−ランダム（イビ電社裂商品名、
最大粒径６μ）９５ｇとをパラフィン１重量％を含むア
セトン溶液５０ Ｃ，Ｏ，に溶解し。
のβ型炭化けい累・β−ランダム（イビ電社裂商品名、
最大粒径６μ）９５ｇとをパラフィン１重量％を含むア
セトン溶液５０ Ｃ，Ｏ，に溶解し。
超音波混合を行なったのち＋ ３５ｉｉＸ ３５ｍｚＸ
１０ｍの金型に入れ一１５０Ｋｙ／ｅｆｆｌでプレスし
。
１０ｍの金型に入れ一１５０Ｋｙ／ｅｆｆｌでプレスし
。
ついでラバープレスで１．５ｔ／ｃｒＩの加圧処理を行
ない、常圧焼結用カーボン型に入れてアルゴン雰囲気中
で大気圧下に２，１００℃で１時間無加圧焼結を行なっ
た。
ない、常圧焼結用カーボン型に入れてアルゴン雰囲気中
で大気圧下に２，１００℃で１時間無加圧焼結を行なっ
た。
得られた焼結体は密度が１．８２１１０．０・、酸素透
過量が１．２ Ｘ １０ ｏ−ｏ−／ ｄｉ−ａ、ｅ
ａ、ｃｍＨｌであり、このものは第１図の電子顕微鏡写
真からきれいに焼結した多孔質焼結体と認められたが−
比較のために市販の炭化けい素のみで同様に焼結処理し
たものは一部に粒の成長が認められたものの。
過量が１．２ Ｘ １０ ｏ−ｏ−／ ｄｉ−ａ、ｅ
ａ、ｃｍＨｌであり、このものは第１図の電子顕微鏡写
真からきれいに焼結した多孔質焼結体と認められたが−
比較のために市販の炭化けい素のみで同様に焼結処理し
たものは一部に粒の成長が認められたものの。
焼結に伴なう収縮がなく焼結体は得られな力）つた。
実施例２〜６
子
実施例１で得た超微量β型多結晶炭イヒけ（・素因と実
施例１で使用した市販の微粉末炭（しけ（・素（Ｂｌま
たはこれとは別種の市販の微粉末α復炭イヒけ８゛−′
（″１１ゝ′″−−４゛０−“゛ イμ）（Ｃ）とを第
１表に示した配合比で混合し、実施例１と同じ方法で成
型し、焼結したところ、多孔 ７質炭化ゆ゛素焼結
体力′得６れ−これらをま第１表に 昧併記したと
おりの密度−酸素透過量を示した。
施例１で使用した市販の微粉末炭（しけ（・素（Ｂｌま
たはこれとは別種の市販の微粉末α復炭イヒけ８゛−′
（″１１ゝ′″−−４゛０−“゛ イμ）（Ｃ）とを第
１表に示した配合比で混合し、実施例１と同じ方法で成
型し、焼結したところ、多孔 ７質炭化ゆ゛素焼結
体力′得６れ−これらをま第１表に 昧併記したと
おりの密度−酸素透過量を示した。
実施例７
実施例１におけるテトラメチルシランをジメチルシラン
としたほかは同様にしたところ結晶子が４゜ ５０Ａ以下のβ型炭化けい素の集合体であり、平均粒径
が０．１−０．７μである球状形状をもつ超微粒子状β
型多結晶炭化けい素が得られたので、この５重量部に実
施例１で使用した市販の法化けい素９５部とメチルセル
ロース・６０ＳＨ−４０００〔信越化学工業（株）製商
品名〕５重量部、グリセリン８重量部、水１９重量部を
１５〜２０℃の温度でヘンシェルミキサーを用いて混合
したのち。
としたほかは同様にしたところ結晶子が４゜ ５０Ａ以下のβ型炭化けい素の集合体であり、平均粒径
が０．１−０．７μである球状形状をもつ超微粒子状β
型多結晶炭化けい素が得られたので、この５重量部に実
施例１で使用した市販の法化けい素９５部とメチルセル
ロース・６０ＳＨ−４０００〔信越化学工業（株）製商
品名〕５重量部、グリセリン８重量部、水１９重量部を
１５〜２０℃の温度でヘンシェルミキサーを用いて混合
したのち。
三本ロールを１０回バスさせて均一混合物とした。
つぎにこの混合物をスクリュー押出機を用いて巾５０．
．．厚さ２Ｈのシートとし、これを５０順の長さに切断
してからラバープレスで１．５ｔ／ｃｄの加圧処理し、
ついで７００℃で３０分間加熱して有機質物を除去後、
窒素ガス雰囲気中において２．１００℃で１時間常圧焼
結を行なったところ。
．．厚さ２Ｈのシートとし、これを５０順の長さに切断
してからラバープレスで１．５ｔ／ｃｄの加圧処理し、
ついで７００℃で３０分間加熱して有機質物を除去後、
窒素ガス雰囲気中において２．１００℃で１時間常圧焼
結を行なったところ。
密度が１．６４１１１０．０．で酸素透過量が２．５
Ｘ ｌ Ｏ”０、Ｏｊ−・８ｅＣ−ｃｒｎＨ，Ｉの多孔
質焼結体が得られた。
Ｘ ｌ Ｏ”０、Ｏｊ−・８ｅＣ−ｃｒｎＨ，Ｉの多孔
質焼結体が得られた。
第１図は実施例１の方法で得られた本発明の多孔質炭化
けい素焼給体の電子顕微鏡写真を示したものである。
けい素焼給体の電子顕微鏡写真を示したものである。
Claims (1)
- １、結晶子が５０Å以下のβ型炭化けい素の集合体であ
り、平均粒子径が０．０１〜１μである球状形状の超微
粒子状β型多結晶炭化けい素に、平均粒径が６μ以下の
多結晶炭化けい素微粉末を混合し、１，７５０〜２，５
００℃の温度で焼成してなることを特徴とする多孔質炭
化けい素焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59138825A JPS6117472A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 多孔質炭化けい素焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59138825A JPS6117472A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 多孔質炭化けい素焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6117472A true JPS6117472A (ja) | 1986-01-25 |
| JPH0224785B2 JPH0224785B2 (ja) | 1990-05-30 |
Family
ID=15231100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59138825A Granted JPS6117472A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 多孔質炭化けい素焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6117472A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6236067A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-02-17 | 東海高熱工業株式会社 | 高純度な再結晶炭化珪素質焼成体の製造方法 |
| JPS62260772A (ja) * | 1986-05-06 | 1987-11-13 | 科学技術庁無機材質研究所長 | 高純度炭化珪素焼結体の製造方法 |
| JP2007526819A (ja) * | 2003-07-09 | 2007-09-20 | サント−ゴバイン・インドステイ・ケラミク・ロテンタルゲーエムベーハー | 多孔質セラミック体およびその製造方法 |
-
1984
- 1984-07-04 JP JP59138825A patent/JPS6117472A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6236067A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-02-17 | 東海高熱工業株式会社 | 高純度な再結晶炭化珪素質焼成体の製造方法 |
| JPS62260772A (ja) * | 1986-05-06 | 1987-11-13 | 科学技術庁無機材質研究所長 | 高純度炭化珪素焼結体の製造方法 |
| JPH0455142B2 (ja) * | 1986-05-06 | 1992-09-02 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | |
| JP2007526819A (ja) * | 2003-07-09 | 2007-09-20 | サント−ゴバイン・インドステイ・ケラミク・ロテンタルゲーエムベーハー | 多孔質セラミック体およびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0224785B2 (ja) | 1990-05-30 |
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