JPS61173043U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61173043U JPS61173043U JP5611985U JP5611985U JPS61173043U JP S61173043 U JPS61173043 U JP S61173043U JP 5611985 U JP5611985 U JP 5611985U JP 5611985 U JP5611985 U JP 5611985U JP S61173043 U JPS61173043 U JP S61173043U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat generating
- resistor element
- generating resistor
- bridge circuit
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す回路構成図、
第２図は第１図の実施例に用いる真空センサを示
す斜視図、第３図は真空度と発熱抵抗エレメント
が奪い去られる熱エネルギＱの関係を示すグラフ
、第４図は電流ｉと発熱抵抗エレメントが奪い去
られる熱エネルギＱの関係を示すグラフである。 １……発熱抵抗エレメント、２〜４……抵抗、
５……作動増幅器、６……電流計、１１……シリ
コン基板、１４……ブリツジ部。
第２図は第１図の実施例に用いる真空センサを示
す斜視図、第３図は真空度と発熱抵抗エレメント
が奪い去られる熱エネルギＱの関係を示すグラフ
、第４図は電流ｉと発熱抵抗エレメントが奪い去
られる熱エネルギＱの関係を示すグラフである。 １……発熱抵抗エレメント、２〜４……抵抗、
５……作動増幅器、６……電流計、１１……シリ
コン基板、１４……ブリツジ部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 薄膜状プレートの上に発熱抵抗素子を形成
しこの発熱抵抗素子表面を保護薄膜で覆つた真空
センサと、前記発熱抵抗素子を一辺とするブリツ
ジ回路と、前記ブリツジ回路に対して該ブリツジ
回路が平衡を保つように電圧あるいは電流を供給
する電源と、前記電源の出力電流を検出する手段
とを具備する真空計。 (2) ブリツジ回路の抵抗の一つであつて前記発
熱抵抗素子と直接接続するとともに前記発熱抵抗
素子と電源に対して並列接続されているものを測
温抵抗体とした実用新案登録請求の範囲第１項記
載の真空計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5611985U JPS61173043U (ja) | 1985-04-17 | 1985-04-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5611985U JPS61173043U (ja) | 1985-04-17 | 1985-04-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61173043U true JPS61173043U (ja) | 1986-10-28 |
Family
ID=30579414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5611985U Pending JPS61173043U (ja) | 1985-04-17 | 1985-04-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61173043U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6378230U (ja) * | 1986-11-10 | 1988-05-24 | ||
| JP2008209284A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Ulvac Japan Ltd | 圧力測定装置および圧力測定方法 |
-
1985
- 1985-04-17 JP JP5611985U patent/JPS61173043U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6378230U (ja) * | 1986-11-10 | 1988-05-24 | ||
| JP2008209284A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Ulvac Japan Ltd | 圧力測定装置および圧力測定方法 |
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