JPS61164761A - 工具折損検出装置 - Google Patents

工具折損検出装置

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JPS61164761A
JPS61164761A JP60003650A JP365085A JPS61164761A JP S61164761 A JPS61164761 A JP S61164761A JP 60003650 A JP60003650 A JP 60003650A JP 365085 A JP365085 A JP 365085A JP S61164761 A JPS61164761 A JP S61164761A
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JP
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signal
sensor
tool
wave
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JP60003650A
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English (en)
Inventor
Koji Takinami
滝波 孝治
Tatemitsu Hirayama
平山 盾満
Kazuaki Otsuka
大塚 一明
Kiyokazu Yoshimura
吉村 喜代和
Koichi Tsujino
辻野 孝一
Takeshi Yamada
武 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Tateisi Electronics Co
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/09Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool
    • B23Q17/0952Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool during machining
    • B23Q17/0971Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool during machining by measuring mechanical vibrations of parts of the machine

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の分野〕 本発明は工作機械における工具の折損や異常を切削加工
及び折損時に発生するアコースティックエミフション(
以下AEという)を利用して監視。
自動検出する工具折損検出装置に関するものである。
〔発明の概要〕
本発明はAEセンサが工作機械から発生する振動等によ
って脱落する可能性があることに鑑み、AEセンサを周
期的に折損信号とは識別できる信号で駆動し、取付対象
からの反射波信号に基づいてAEセンサが工具近傍に確
実に接続されているかどうかを自動的に検出できるよう
にしたものである。そうすればAEセンサからの脱落等
に伴う工具の折損検出ミスを未然に防止することが可能
となる。
〔従来技術とその問題点〕
工作機械において工具を用いて加工対象(以下ワークと
いう)を切削加工する場合、何らかの原因で工具が折損
し又切屑のつまりを起こして異常切削している場合があ
る。近年の工場自動イ、ヒの進展に伴いこのような工具
の折損や異常切削を自動的に検出することが強く要求さ
れている。こうした工作機械の工具の折損を検出する一
手法として、従来より工作機械の工具やワークの近傍に
AEセンサを設け、そこから得られるAE倍信号基づい
て工具の折損を検出する装置が提案されている。
しかしながら従来の工具折損検出装置によれば、AEセ
ンサは工作機械の工具近傍例えばワーク台等にカップリ
ングオイルを塗布して密着させて磁石等で取付けられる
が、工作機械から発生する切削時の振動やワーク台への
ワークの設置、その他の振動、又は切削に用いられるオ
イル等により接続が分離することがある。又AEセンサ
から工具折損検出装置本体に接続されているケーブルが
断線したりすることもあり、これらの場合に工具の折損
を確実に検知することができなくなるという問題点があ
った。
〔発明の目的〕
本発明はこのような従来の工具折損検出装置の問題点に
鑑みてなされたものであって、AEセンサの接続状態を
自動的に且つ定期的に検出することができ、AEセンサ
の脱落や信号ケーブルの断線等のトラブルを未然に防止
することができる工具折損検出装置を提供することを目
的とする。
〔発明の構成と効果〕
本発明は工作機械の工具近傍に設けられたAEセンサを
有し、工具の折損時に得られるAE倍信号基づいて折損
を検出する工具折損検出装置であって、AEセンサから
得られるAE倍信号基づいて工具の折損を識別する信号
処理部と、AEセンサに所定時間間隔で駆動信号を与え
その取付対象から得られる反射波信号を受波する送受波
部と、送受波部によるAEセンサの駆動後に反射波信号
を受波するまでの時間を測定する時間測定手段と、時間
測定手段より測定された時間がAEセンサの取付対象の
厚さに応じた時間を越えるときにAEセンサの異常を報
知する表示手段と、を具備することを特徴とするもので
ある。
このような特徴を有する本発明によれば、AEセンサの
送波用素子を所定間隔で駆動し反射波信号を確認するこ
とによってAEセンサ系の動作を定期的に確認している
。従ってAEセンサと工具折損検出装置本体間のケーブ
ルの断線、及びAEセンサのワーク台等への接続状態を
切削中にも連続して検出することが可能となる。従って
AEセンサの接触異常やケーブルの断線等に起因して工
具の折損を検出できなくなるという恐れがなくなり、工
具折損の信頼性を向上させることが可能となる。
〔実施例の説明〕
(実施例の全体構成) 第2図は本発明による工具折損検出装置の一実施例の全
体構成を示すブロック図である。本実施例はボール盤に
取付けられた状態を示すものであって、ワーク1はボー
ル盤のベース2上に固定されており、ワーク1の上部よ
りドリル3を回転させて所定速度で押下しワーク1に開
口が設けられる。ここでワーク1の上部のドリルの刃が
接触する位置にワークに切削を行う前にあらかじめAE
センサと同じ<PZT等からなる擬似折損信号発生器4
が取付けられる。レベル設定器5はこの擬似折損信号発
生器4の駆動レベルを設定するものであって、使用工具
の大きさ9種類に応じて所定の駆動レベルを設定し駆動
回路6に伝える。駆動回路6は工具の折損時のAE出力
波形と相似で且つ同一のパワースペクトル分布を持つ擬
像折損信号を発生して擬似折損信号発生器4を駆動する
ものである。さてワーク1が配置される工具の近傍、例
えば第2図に示すようにベース2上にAE倍信号検出す
るAEセンサ7を設ける。AEセンサ7は後述するよう
に送波及び受波用の圧電素子を夫々有しており、その動
作を定期的にチェックするセンサチェック回路8が接続
されている。AEセンサ7は受信用圧電素子からドリル
3等の工具のAE倍信号擬似折損信号発生器4からのA
E倍信号検出する広帯域のAEセンサであって、その出
力はセンサチェック回路8とアナログスイッチ9とに与
えられる。アナログスイッチ9は外部の出力によってア
ナログ信号を断続するもので、その出力は増幅器10に
与えられる。増幅器10は可変抵抗器11の調整により
増幅率を任意に設定することができる増幅器であって、
その出力を二つのバンドパスフィルタ12.13及び切
削レベル表示器14に与えるものである。バンドパスフ
ィルタ12は中心周波数300KHz、バンドパスフィ
ルタ13は中心周波数50KHzのフィルタであって、
夫々の中心周波数付近の信号のみを次段の検波器15.
16に伝える。検波器15.16は夫々その人力信号を
検波し振幅に応じた出力を得るものであって、検波器1
5の出力は微分回路17、検波器15.16の出力は夫
々比較器18に与えられる。これらのバンドパスフィル
タ12,13、検波器15.16及び比較器18により
折損時のAE倍信号識別する周波数識別手段を形成して
いる。微分回路17は入力信号の急峻な変化分のみを次
段のレベル判定器19に伝える。レベル判定器19は所
定の基準レベルと入力信号とを比較するものであり、入
力信号が大きければ出力を折損検出回路20と異常切削
検出回路21に伝える。
又比較器18は検波器15.16の出力を比較し、検波
器15の出力が大きい場合にのみ出力を折損検出回路2
0に伝える。折損検出回路20はこれらの入力の論理積
をとって工具の折損を検出する論理回路であって、検出
信号によってアナログスイッチ9を閉成すると共に出力
回路22を介して外部に出力する。又異常切削検出回路
21はレベル判定器19の出力に基づいて異常切削を検
出するものであって、その出力を出力回路23を介して
外部に伝えるものである。
(センサチェック回路の構成) 次に第1図は本実施例によるAEセンサ7とセンサチェ
ック回路8の詳細な構成を示すブロック図である。本図
においてAEセンザ7は図示のようにAE倍信号受波す
る受渡用圧電素子7a、及びAE倍信号AEセンサ7の
取付対象に送出する送波用圧電素子7bを有しており、
その内部に受波用圧電素子7aの受波信号を増幅する前
置増幅器7Cが設けられている。センサチェック回路8
には所定の周期のパルスを発生させるパルス発生器30
が設けられ、送信部31に伝えられる。送信部31は折
損信号とは識別することができるAE倍信号例えばIM
Hzのバースト波を発生するものであり、その出力がA
Eセンサ7の送波用圧電素子7bに加えられる。ここで
AEセンサ7は第2図に示すようにベース2上に固定さ
れているものとすると、送信部31より与えられたAE
倍信号ベースの下面で反射して受波用圧電素子7aに加
わる。従って受渡用圧電素子7aは工具3から発生する
AE倍信号び擬似折損信号発生器4のAE倍信号他に送
信部31によって与えられた圧電素子7bからの周期的
なAE倍信号電気信号に変換されることとなる。受渡用
圧電素子7aの出力は前置増幅器7Cを介して前述した
アナログスイッチ9以後の信号処理部の他にセンサチェ
ック回路8内の受信部32に加えられる。受信部32は
送信部31で発生する周波数、例えばIMHzに対応し
た周波数のみを次段に伝えるバンドパスフィルタ及びそ
の出力を所定のレベルで弁別する比較器を有しており、
送出したAE倍信号反射して受信部32に受信されたと
きにのみ出力を与えるものである。又パルス発生器30
の出力はゲート回路33のセット端子にゲート開放信号
として与えられ、受信部32の信号はゲート回路33の
リセット端子にゲート閉成信号として与えられている。
ゲート回路33には所定周期のクロック信号を発生する
クロック発生器34のクロック出力端が接続されており
、ゲートが開放されている間にのみクロック信号を次段
のカウンタ35に伝えるものである。カウンタ35はプ
リセント部36により計数値があらかじめプリセントさ
れているプリセッタブルカウンタであって、ゲート回路
33からクロック信号が伝えられれば計数を開始し、計
数値がプリセント値以下であれば表示器37により正常
表示を行い、プリセット値を越えれば表示器37より異
常表示を行うものである。
(AEセンサ感度設定動作) 次に本実施例による工具折損検出装置を工作機械、この
場合はボール盤に設置する際の操作について説明する。
まずAEセンサ7を所定位置に取付けた後、工具の種類
即ちドリル径に応じてレベル設定器5を所定のレベルに
設定し駆動回路6を介して擬似折損信号発生器4を駆動
する。そして切削レベル表示器14の表示を監視しつつ
レベル設定器5の設定に応じて定められたレベルとなる
ように可変抵抗器11を調整し、増幅器1oの増幅率を
変えて切削加工時に信号処理部に適切なレベルのAE倍
信号与えられるようにする。こうすれば工具とAEセン
サ7間の取付状態によりAE倍信号減衰率が不明であっ
ても折損時と同一レベルの信号を信号処理部に与えるこ
とが可能となる。
(実施例の動作) 次に本実施例の動作について説明する。まずAEセンサ
7をベース2上に取付けAEセンサの感度を設定した後
ドリル3をワーク上に押下げて切削加工を行う、加工中
には所定周期毎にセンサチェ、り回路8のパルス発生器
3oからパルス信号が与えられる。いま第3図(a)に
示すように時刻t1にパルス信号が送信部31に与えら
れたとすると、送信部31はAE倍信号識別することが
できるIMHzの周波数でAEセンサ7の送波用圧電素
子7bを駆動する。そうすればAEセンサ7が取付けら
れているベース2にAE倍信号伝えられ、送波時及び底
面反射により一定時間後に反射波が受渡用圧電素子7a
に加わる。この信号は前置増幅器7cを介して受信部3
2に与えられ、バンドパスフィルタによって送信部31
より送出した信号のみが識別される。従って表面波や反
射波により所定レベル以上の受渡信号があれば第3図中
)に示すように受信部32よりゲート回路33に出力が
加わる。即ちゲート回路33はパルスが発生した時刻t
1にゲート開放信号が伝えられ、時刻t2に反射波が伝
えられたときに受信部32よりゲート閉成信号が与えら
れることとなる。従ってゲート回路33は第3図(C)
〜(e)に示す時間Toの間ゲートを開放してクロック
発生器34のクロックをカウンタ35に伝える。従って
カウンタ35はこの間だけクロック信号を計数する。こ
こであらかじめプリセット部36よりカウンタ35の所
定の計数値りをセットしてお(、この計数値りはAEセ
ンサ7が取付けられているベース2の厚さd及びベース
2を伝播する音速V、クロック発振器34の周波数fに
よって次式のように定まる数字LOに誤差を加えたもの
とする。
Lo=2df/V 従ってカウンタ35の計数値がL以下であれば、時刻t
1に送出したAE倍信号ベース2の底面を反射して受信
部に再び伝えられたので、AEセンサ7は正しく取付け
られケーブルも正常に接続されているものと判断される
。この場合には表示器37より正常表示を行う。
しかしながらカウンタ35が設定値りを大幅に越えても
受信部32が反射波信号を受波しなければ、AEセンサ
7が正しく取付けられていないか又はケーブルが断線し
ていると判断されるので、表示器37により異常表示を
行う。そうすればAEセンサ7の状態を確認することが
可能である。
(信号処理部の動作) さて通常の切削加工時にAEセンサ7より与えられるA
E倍信号パワースペクトルの分布は第4図の曲線すに示
すように周波数50KHz付近に集中しており、それよ
り高い周波数領域では単調に減衰する分布となっている
。又多くの実験より知られるように工具の折損時のパワ
ースペクトルの分布は第4図の曲線aにより表され、周
波数300KHz付近にピークを持つことが明らかとな
っている。
これは信号源が機械的振動を原因とするものでなく、工
具の非可塑性破壊時に生じる超音波特有の現象が起こる
ためと考えられる。従って二つのバンドパスフィルタ1
2.13により夫々の周波数成分付近のAE倍信号みを
取出して検波器15゜16により検波し、その出力レベ
ルを比較すれば通常時と工具折損時とを明確に識別する
ことが可能である。比較器18はこれらの出力を比較し
て工具の折損時にのみ信号を折損検出回路20に与えて
いる。
一方切削加工時に生じる切屑と工具やワークとの接触、
摩擦によって第4図の曲線aで示されるパワースペクト
ル分布と似た信号が発生する場合がある。そこで本実施
例では工具の折損時に見られるAE倍信号時間領域の波
形にも着目し、これらの信号を分離している。即ち工具
の折損時に得られるAE信号波形は第5図(alに示す
ように折損時に鋭い立上りを有する信号となっており、
一方切屑と工具やワークの接触、摩擦によって発生する
AE倍信号第5図山)に示すように鋭い立上りを示さず
所定期間信号が継続する波形となっている。
従って第2図に示すように検波器15の出力を微分回路
17に与え、折損時等の急峻な信号のみを分離してレベ
ル判定器19に与える。そしてその入力レベルを所定の
基準値と比較し、急峻な立上りのAE倍信号得られたと
きにレベル判定器19より折損検出回路20に信号を与
える。折損検出回路20はこれらの論理積信号によって
工具の折損を検出する。このように周波数領域の折損検
出と時間領域の折損検出の両者を組み合わせることによ
って確実に工具の折損のみを検出することが可能となる
このようにして工具の折損のみを検出すれば出力回路2
2より折損出力を与えると共に、アナログスイッチ9を
オフとして以後AE倍信号増幅器10に伝えないように
している。これは工具の折損後に発生する折損した工具
とワークとの異常接触や摩擦により発生する大きなAE
倍信号表示器14によって表示させないようにして折損
時の信号レベルが認識できるようにするためである。
(センサチェック回路の第2の実施例)次に本発明の第
2の実施例について説明する。
第6図はセンサチェック回路8の異なる実施例について
示すものであって、第1図と同一部分は同一符号を用い
て示している。本実施例においても、所定周期毎にパル
ス発生器30よりパルスを発生し、送信部31を介して
折損信号と識別できる周波数を用いてAEセンサ7の送
波用圧電素子7bを駆動している。AEセンサ7は内部
に受渡用圧電素子7aの出力を増幅する前置増幅器7c
を有し、その出力を受信部32に与える。受信部32は
前述の実施例と同じくバンドパスフィルタ及び比較器を
有しており、送信部31より送出した信号が受波された
場合にのみ出力を時定数回路38に与える。時定数回路
38は可変抵抗器39及びコンデンサから成る充放電回
路を有しており、時定数は可変抵抗器39によって任意
に設定することが可能となっている0時定数回路38は
パルス発生器30の出力によって充電を開始し受信部3
2の出力によりリセットするものであって、その出力を
比較器40に与える。比較器40は入力信    。
号と所定の基準レベルvthとを比較するものであり、
基準レベルvth以下のときに正常/異常表示器37に
正常信号を与え、入力信号が基準レベルvthを越えれ
ば正常/異常表示器37により異常信号を与えるもので
ある。
(第2実施例の動作) 次に本実施例の動作について説明する。AEセンサ7の
取付対象、例えばワーク台の厚さや音速は工作機械毎に
異なるので使用者はあらかじめ可変抵抗器39を調整し
、充電の時定数を送信部31から発生するAE倍信号反
射波受信までの時間より大きくなるようにしておくもの
とする。第7図はこの実施例の各部の波形を示す波形図
であり、動作を開始するとパルス発生器30より所定周
期毎に例えば時刻t3に第7図(a)に示すようにパル
スが生じ、送信部31を駆動する。そうすれば前述した
実施例と同様にAEセンサ7の送信用圧電素子7bより
AE倍信号ベース2に伝えられる。又そのとき同時に時
定数回路38に充電開始信号が伝えられて充電が開始さ
れる。従って第7図(C)。
(d)に示すようにその出力電圧が徐々に上昇する。
そして所定時間経過後の時刻t4に受信部32にベース
2の反射波信号が受波されれば、リセット信号を与えて
この充電を停止する。従ってCRの時定数回路38の出
力が基準レベルvth以下である場合には比較器40よ
り正常出力が出力され、表示器37によって正常状態が
表示される。
しかしながらAEセンサ7のベース2に確実に接続され
ていなかったりケーブルが断線して受信部32に受信信
号が与えられなければ、時定数回路38はリセットされ
ず充電がそのまま継続するため、特定軟回路38の出力
は第7図(d)に示すように比較器40の基準レベルv
thを越える。そうすれば比較器40の出力によって表
示器37が異常状態を表示し、AEセンサ7の異常を使
用者に報知することができる。
尚本実施例はパルス発生器により周期的にパルスを発生
してAEセンサのチェック回路を動作させるようにして
いるが、数値制御装置と一体化された工具折損検出装置
においてCPUを用いて所定周期毎に送信部31を駆動
し、受信部32の出力をソフトウェアタイマ等により検
知してAEセンサの接続状態を識別することも可能であ
る。
又上述した各実施例は、AEセンサの圧電素子として受
渡用圧電素子の他にその接続状態を検知するため送波用
圧電素子を設けているが、受波用圧電素子のみとしそれ
らを時分割により切換えて用いるようにしてもよい。
更に上述の各実施例はボール盤のドリル折損検出装置に
ついて説明しているが、本発明は他の工作機械、例えば
旋盤やフライス盤等の種々の工作機械を対象とした工具
折損検出装置に通用することができることはいうまでも
ない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による工具折損検出装置に用いられるセ
ンサチェック回路の一実施例の構成を示すブロック図、
第2図は本実施例の工具折損検出装置の全体構成を示す
ブロック図、第3図はその各部の波形を示す波形図、第
4図はAEセンサ7より得られるAE倍信号パワースペ
クトルを示す図、第5図(alは工具折損時に得られる
AE信号波形9、第5図中)は切屑が生じる場合に得ら
れるAE信号波形を示す図、第6図は本発明のセンサチ
ェック回路の他の実施例を示すブロック図、第7図はそ
のセンサチェック回路の各部の波形を示す波形図である
。 1−−−−−−−ワーク  2−・・・・−ベース  
3−−−−−−−ドリル4−−−−−−一擾似折損信号
発生器  5−−−−−−−レベル設定器  6−・−
・駆動回路  7−−−−−−・AEセンサ7 a 、
  7 b−−−−・−圧電素子  8−−−−−−−
−センサチェック回路  9・−一一一一一アナログス
イッチ  10−・−・・−増幅器  12.13・−
−−−−−−・バンドパスフィルタ15.16−・−・
−・検波器  17−−−−−−−微分回路18−−−
−−−−・比較器  19−−−−−−−・レベル判定
器  2o −−−−−−−一折損検出回路  22 
、 23−−−−−−一出力回路30−・−・パルス発
生器  31−−−−−−一送信部  32−−−−−
−・−受信部  33−−−−−−−・ゲート回路  
34−・−−・クロック発生器  35−−−−−−一
カウンタ  37−−−−−−−正常/異常表示器  
38−・−・一時定数回路40−−−−−−−・比較器 特許出願人   立石電機株式会社 代理人 弁理士 岡本宜喜(他1名) 第1図 2−−一・−ぺ一入 7−−−−−−AEセシ寸 第3図 1t2 第4図 100K 200K 300K 400K     H
1第5図(a) 第5図(b) 第6図 第7図 3ts

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)工作機械の工具近傍に設けられたAEセンサを有
    し、工具の折損時に得られるAE信号に基づいて折損を
    検出する工具折損検出装置において、 前記AEセンサから得られるAE信号に基づいて工具の
    折損を識別する信号処理部と、 前記AEセンサに所定時間間隔で駆動信号を与えその取
    付対象から得られる反射波信号を受波する送受波部と、 前記送受波部による前記AEセンサの駆動後に反射波信
    号を受波するまでの時間を測定する時間測定手段と、 前記時間測定手段より測定された時間が前記AEセンサ
    の取付対象の厚さに応じた時間を越えるときに前記AE
    センサの異常を報知する表示手段と、を具備することを
    特徴とする工具折損検出装置。
  2. (2)前記時間測定手段は、所定周期のクロック信号を
    発生するクロック発生器と、前記送受波部の送波後反射
    波を受波するまでの間に開放されるゲート回路、及び前
    記ゲート回路から得られるクロック数を計数するカウン
    タとを有することを特徴とする特許請求の範囲第1項記
    載の工具折損検出装置。
  3. (3)前記時間測定手段は、前記送受波部の送波後に充
    電が開始され受波部より出力が得られたときに充電を停
    止する充放電回路、を有することを特徴とする特許請求
    の範囲第1項記載の工具折損検出装置。
  4. (4)前記信号処理部は、工具の折損時に得られるAE
    信号の周波数成分に強い相関を持つ周波数成分のAE信
    号が与えられたときに出力を出す周波数識別手段と、前
    記AEセンサより急激に立上る信号が与えられたときに
    出力を出す立上り検出手段と、該周波数識別手段及び立
    上り信号検出手段の論理積出力に基づいて工具の折損を
    識別する論理出力手段と、を有することを特徴とする特
    許請求の範囲第1項記載の工具折損検出装置。
JP60003650A 1985-01-11 1985-01-11 工具折損検出装置 Pending JPS61164761A (ja)

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JP60003650A JPS61164761A (ja) 1985-01-11 1985-01-11 工具折損検出装置

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JPS61164761A true JPS61164761A (ja) 1986-07-25

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JP60003650A Pending JPS61164761A (ja) 1985-01-11 1985-01-11 工具折損検出装置

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JP (1) JPS61164761A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11151637A (ja) * 1997-09-02 1999-06-08 Otto Bilz Werkzeug Fab Gmbh & Co 工具または工具ホルダ
JP2012024904A (ja) * 2010-07-27 2012-02-09 Jtekt Corp 研削方法および研削盤
CN114850936A (zh) * 2022-05-17 2022-08-05 南京航空航天大学 一种双步多分区力调控的自适应超声辅助加工平台及方法

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