JPS61163648A - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置Info
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- JPS61163648A JPS61163648A JP60003938A JP393885A JPS61163648A JP S61163648 A JPS61163648 A JP S61163648A JP 60003938 A JP60003938 A JP 60003938A JP 393885 A JP393885 A JP 393885A JP S61163648 A JPS61163648 A JP S61163648A
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- Power Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はキャピラリを取付けたボンディングアームの揺
動機構を改良したワイヤボンディング装置に関する。
動機構を改良したワイヤボンディング装置に関する。
半導体装置の製造工程において、半導体チップの電極と
リードフレームとを金属細線で電気的に接続スるワイヤ
ボンディング装置は周知である。
リードフレームとを金属細線で電気的に接続スるワイヤ
ボンディング装置は周知である。
近時生産性向上のため、さらに高速化への要望が高まっ
ている。この装置は金属細線を保持したキャピラリを所
定の部位に高速で移動させ、かつ上下動させながら配線
を行表うが、この上下動を従来はカム機構により行なっ
ているため、その高速化には限度があった。これを解決
する方法と叫て。
ている。この装置は金属細線を保持したキャピラリを所
定の部位に高速で移動させ、かつ上下動させながら配線
を行表うが、この上下動を従来はカム機構により行なっ
ているため、その高速化には限度があった。これを解決
する方法と叫て。
例えば特開昭５６−３０７３５号公、報に示されている
ような方法がある。すなわち、これは揺動自在に支持さ
れ九ボンディングアームの一端部にキャピラリを取付け
、他端部にムービングコイルを取付け、他方ムービング
コイルの両側にこれと離間対向して永久磁石とヨークと
からなる磁気回路を形成してリニアモータを構成し、ム
ービングコイルに流れる電流を制御してボンディングア
ームのキャピラリの運動を制御するようにしたワイヤボ
ンディング装置である。
ような方法がある。すなわち、これは揺動自在に支持さ
れ九ボンディングアームの一端部にキャピラリを取付け
、他端部にムービングコイルを取付け、他方ムービング
コイルの両側にこれと離間対向して永久磁石とヨークと
からなる磁気回路を形成してリニアモータを構成し、ム
ービングコイルに流れる電流を制御してボンディングア
ームのキャピラリの運動を制御するようにしたワイヤボ
ンディング装置である。
しかるにこの装置はげ）ムービングコイルは揺動部に取
付けられてお９．所定の推力を発生させる必要から、小
形化には限度がある。従って揺動中心に対する慣性モー
メントが大きくなり、キャピラリが半導体チップに当接
した時に衝撃による損傷が発生するという欠点がある。
付けられてお９．所定の推力を発生させる必要から、小
形化には限度がある。従って揺動中心に対する慣性モー
メントが大きくなり、キャピラリが半導体チップに当接
した時に衝撃による損傷が発生するという欠点がある。
（ロ）またムービングコイルは、軽量化のために通常合
成樹脂製ボビンに導体コイルを巻いたものが使用される
が、放熱が悪く、ボビンが変形することがある。（ハ）
磁気回路は永久磁石とヨークとで構成され、その重量は
約ｌＩｃ１ｉに達する。ワイヤボンディング装置はＸＹ
テーブルの上に、上記磁気回路を有するボンディングヘ
ッドを載置するので、ボンディングの高速化のためには
、ボンディングヘッドの軽量化とともにＸＹテーブルの
軽量化も必要でちゃ、上記の磁気回路はＸＹテーブルの
負担を大きくするので高速化には不適当である。など種
々不都合な点があった。
成樹脂製ボビンに導体コイルを巻いたものが使用される
が、放熱が悪く、ボビンが変形することがある。（ハ）
磁気回路は永久磁石とヨークとで構成され、その重量は
約ｌＩｃ１ｉに達する。ワイヤボンディング装置はＸＹ
テーブルの上に、上記磁気回路を有するボンディングヘ
ッドを載置するので、ボンディングの高速化のためには
、ボンディングヘッドの軽量化とともにＸＹテーブルの
軽量化も必要でちゃ、上記の磁気回路はＸＹテーブルの
負担を大きくするので高速化には不適当である。など種
々不都合な点があった。
本発明は上述の不都合を除去するためになされたもので
、小形軽量で、高速化に適したボンディングヘッドをも
りたワイヤボンディング装置を提供することを目的とす
る。
、小形軽量で、高速化に適したボンディングヘッドをも
りたワイヤボンディング装置を提供することを目的とす
る。
本発明はキャピラリを取付けて支持フレームに揺動自在
に支持されたボンディングアームをりニアモータにより
揺動駆動するワイヤボンディング装置で、リニアモータ
のコイルをボンディングアームが揺動により形成する円
弧面にほぼ平行な画一に沿って巻回することにより小形
軽量にポジディングアームを構成したワイヤボンディン
グ装置である。
に支持されたボンディングアームをりニアモータにより
揺動駆動するワイヤボンディング装置で、リニアモータ
のコイルをボンディングアームが揺動により形成する円
弧面にほぼ平行な画一に沿って巻回することにより小形
軽量にポジディングアームを構成したワイヤボンディン
グ装置である。
以下本発明の詳細を第１図ないし第７図に示す実施例に
より説明する。なお本実施例のワイヤボンディング装置
は、一般に知られているこの種装置とはボンディングヘ
ッドの部分のみが相違しているので、他の部分について
は図示を省略する。
より説明する。なお本実施例のワイヤボンディング装置
は、一般に知られているこの種装置とはボンディングヘ
ッドの部分のみが相違しているので、他の部分について
は図示を省略する。
先ず第１図ないし第６図に示す第１の実施例につき説明
する。（１）はボンディングヘッドの要部で。
する。（１）はボンディングヘッドの要部で。
図示しないワイヤボンディング装置の本体に取付けられ
ている。（２）はＸＹテーブルで、Ｘテーブル（３）は
矢印（４）方向に、Ｙテーブル（５）は矢印（６）方向
に駆動モータ（３ａ）、 （５ｍ）により駆動制御され
る。Ｙテーブル（５）上には支持フレーム（８）が取付
けられていて、これは直立した一対の板状部分からなる
軸受部（９）、α１を具えている。この軸受部（９）、
（１０によ〕軸αυが水平に回転自在に支持されていて
、これにボンディングアームαりが固定されている。こ
れは軸αυに固定されたツールリフタアームａ３と、こ
れに取付けられて突出延在する棒状のツールアームα尋
とから構成されていて、ツールアームａ◆の突出した前
端部にはキャピラリ（Ｌｅが取付けられておシ、ツール
アームリフメ０の後端部にはｉ−り（１８とこれの外側
に取付けられた一対の永久磁石員、鶴とからなる磁石体
Ｑυが取付けられている。永久磁石Ｃ１９，（２Ｇは外
側が軸αυを中心とする円弧状に形成されていて、磁極
は互に反対になるようＫ例えば永久磁石−はヨークα樽
側がＮ極で円弧状の外側が８極であり、永久磁石−は反
対に目−り部側が８極で外側がＮ極となるように取付け
られている。
ている。（２）はＸＹテーブルで、Ｘテーブル（３）は
矢印（４）方向に、Ｙテーブル（５）は矢印（６）方向
に駆動モータ（３ａ）、 （５ｍ）により駆動制御され
る。Ｙテーブル（５）上には支持フレーム（８）が取付
けられていて、これは直立した一対の板状部分からなる
軸受部（９）、α１を具えている。この軸受部（９）、
（１０によ〕軸αυが水平に回転自在に支持されていて
、これにボンディングアームαりが固定されている。こ
れは軸αυに固定されたツールリフタアームａ３と、こ
れに取付けられて突出延在する棒状のツールアームα尋
とから構成されていて、ツールアームａ◆の突出した前
端部にはキャピラリ（Ｌｅが取付けられておシ、ツール
アームリフメ０の後端部にはｉ−り（１８とこれの外側
に取付けられた一対の永久磁石員、鶴とからなる磁石体
Ｑυが取付けられている。永久磁石Ｃ１９，（２Ｇは外
側が軸αυを中心とする円弧状に形成されていて、磁極
は互に反対になるようＫ例えば永久磁石−はヨークα樽
側がＮ極で円弧状の外側が８極であり、永久磁石−は反
対に目−り部側が８極で外側がＮ極となるように取付け
られている。
また支持フレーム（８）の後端部には永久磁石０．ＯＩ
Ｋ対向してブラケット■が立設されている。これには永
久磁石員、（至）Ｋわずかな間１１ｔＣ（第４図）を介
して対向したコイル体（ハ）が取付けられている。
Ｋ対向してブラケット■が立設されている。これには永
久磁石員、（至）Ｋわずかな間１１ｔＣ（第４図）を介
して対向したコイル体（ハ）が取付けられている。
コイル体（ハ）は永久磁石α１．（２１に対向した面を
上記円弧に対応した凹曲面に形成して、かつコイル保持
溝（２６Ｍ）、 （２６ｂ）、 （２６Ｃ）、 （２７
ａ）、 （２７ｂ）、 （２７０）、が上述のボンディ
ングアームの揺動面に対して直角に形成された鉄心（至
）と、上述のコイル保持溝（２６ａ）。
上記円弧に対応した凹曲面に形成して、かつコイル保持
溝（２６Ｍ）、 （２６ｂ）、 （２６Ｃ）、 （２７
ａ）、 （２７ｂ）、 （２７０）、が上述のボンディ
ングアームの揺動面に対して直角に形成された鉄心（至
）と、上述のコイル保持溝（２６ａ）。
・・・（２７Ｃ） Ｋ巻回されたコイル０１）とから構
成されている。従２てコイル０１）はボンディングアー
ム（１３の円弧運動面に対し、はぼ直角な面″にかっボ
ンディングアームＵＫはは直角な面に沿りて形成されて
いて、磁石体Ｑ１）の磁力線（至）と直交している。そ
してコイルＧυの巻回は本実施例によれば、プイル保詩
情（以下溝と称す＞ （２６ａ）は第３図の紙面裏から
表へ、溝（２７Ｃ）を通って表面から裏面へ、溝（２６
ｂ）を通って裏面から表面へ、溝（２７ｂ）を通って表
面から裏面へ、以下同様に巻回されている。
成されている。従２てコイル０１）はボンディングアー
ム（１３の円弧運動面に対し、はぼ直角な面″にかっボ
ンディングアームＵＫはは直角な面に沿りて形成されて
いて、磁石体Ｑ１）の磁力線（至）と直交している。そ
してコイルＧυの巻回は本実施例によれば、プイル保詩
情（以下溝と称す＞ （２６ａ）は第３図の紙面裏から
表へ、溝（２７Ｃ）を通って表面から裏面へ、溝（２６
ｂ）を通って裏面から表面へ、溝（２７ｂ）を通って表
面から裏面へ、以下同様に巻回されている。
従ってコイル体（ハ）と磁石体０１）とでリニアモータ
（至）が構成されて、コイルＧυに流す電流を第４図に
示すように・印、を紙面裏から表の方向へ、Ｘ印を紙面
光から裏への方向とすると、第５図に示す直流電動機の
原理により、コイル０１）は矢印（ロ）の方向に力を受
けるが、これは固定されているため、磁石体Ｑυは反力
を受けて矢印（至）方向に移動され、ポンディングアー
ムａ３は矢印（至）方向に円弧運動をする。
（至）が構成されて、コイルＧυに流す電流を第４図に
示すように・印、を紙面裏から表の方向へ、Ｘ印を紙面
光から裏への方向とすると、第５図に示す直流電動機の
原理により、コイル０１）は矢印（ロ）の方向に力を受
けるが、これは固定されているため、磁石体Ｑυは反力
を受けて矢印（至）方向に移動され、ポンディングアー
ムａ３は矢印（至）方向に円弧運動をする。
電流の方向、大きさを制御することにより、ポンディン
グアームＣ１３の揺動運動は制御される。なお軸αυに
は位置検出器（至）が取付けられていて、これによυボ
ンディングアーム（Ｉ２の回転位置情報が常時出力され
ている。
グアームＣ１３の揺動運動は制御される。なお軸αυに
は位置検出器（至）が取付けられていて、これによυボ
ンディングアーム（Ｉ２の回転位置情報が常時出力され
ている。
次に上述のボンディングヘット責１）の作動をこれを制
御する第６図に示す制御装置１ｍ）とともに説明する。
御する第６図に示す制御装置１ｍ）とともに説明する。
制御装置（４１）は指令発生回路（転）と、これの出力
を受ける比較回路（４３と、これにより制御されてリニ
アモータ（至）を駆動する駆動回路（財）と、軸（１１
）の回転位置を検出する位置検出器（至）と１位置検出
器（至）からの出力を速度に変換し比較器卿に入力する
′位置−速度変換器罎とから構成されている。そして指
令発生回路的はキャピラリ（Ｌｅの先端が所定の速度プ
ロファイルに従って移動するように速度信号を出す速度
プロファイル発生アルゴリズムに）と。
を受ける比較回路（４３と、これにより制御されてリニ
アモータ（至）を駆動する駆動回路（財）と、軸（１１
）の回転位置を検出する位置検出器（至）と１位置検出
器（至）からの出力を速度に変換し比較器卿に入力する
′位置−速度変換器罎とから構成されている。そして指
令発生回路的はキャピラリ（Ｌｅの先端が所定の速度プ
ロファイルに従って移動するように速度信号を出す速度
プロファイル発生アルゴリズムに）と。
キャビンリαｅ先端がペレット４７）およびリード咽に
ワイヤ（１６りを介して接したときこれらワイヤ（１ｓ
ａ）を押圧する力を発生する加圧プロファイル発生アル
ゴリズムｆ４１と、キャピラリ（Ｌ１Ｇ先端のワイヤ（
１６りとペレット（イ）ηまたはリード−との接触を検
出するタッチ検出アルゴリズム（至）と切換回路６１）
とからなっている。第７図は作動を説明する線図で、曲
線Ｓは縦軸にペレットα？）Ｋ対するキャピラリａｅ先
端の変位をとシ、横軸に時間をとうたもので１曲線１部
分はペレッ）（４７）Ｋ近づく下降行檻で曲線す部分で
減速した後曲線Ｃ部分においてペレット０ηにワイヤ（
１６りが接していて、所定時間後ペレッ）（４ηから急
速に上昇離間し曲線ｄ部分を経て再び下降し、リード（
ハ）に接し１曲線ｅ部分に示す所定時間経過後再び上昇
して−サイクルを終る行程を示したものである。曲線Ｖ
は縦軸に加圧力をとシ、横軸に時間をとり九もので、上
述の曲線Ｃ部分および曲線０部分に対応した位置におい
て。
ワイヤ（１６りを介して接したときこれらワイヤ（１ｓ
ａ）を押圧する力を発生する加圧プロファイル発生アル
ゴリズムｆ４１と、キャピラリ（Ｌ１Ｇ先端のワイヤ（
１６りとペレット（イ）ηまたはリード−との接触を検
出するタッチ検出アルゴリズム（至）と切換回路６１）
とからなっている。第７図は作動を説明する線図で、曲
線Ｓは縦軸にペレットα？）Ｋ対するキャピラリａｅ先
端の変位をとシ、横軸に時間をとうたもので１曲線１部
分はペレッ）（４７）Ｋ近づく下降行檻で曲線す部分で
減速した後曲線Ｃ部分においてペレット０ηにワイヤ（
１６りが接していて、所定時間後ペレッ）（４ηから急
速に上昇離間し曲線ｄ部分を経て再び下降し、リード（
ハ）に接し１曲線ｅ部分に示す所定時間経過後再び上昇
して−サイクルを終る行程を示したものである。曲線Ｖ
は縦軸に加圧力をとシ、横軸に時間をとり九もので、上
述の曲線Ｃ部分および曲線０部分に対応した位置におい
て。
ペレット偽ηまたはり−ドーに接触したキャピラリαｅ
先端のワイヤ（１６りに加圧力Ｗ、 、 Ｗ、を与える
ことを示している。
先端のワイヤ（１６りに加圧力Ｗ、 、 Ｗ、を与える
ことを示している。
さて、指令発生回路（６）はキャピラリαｅがペレット
〔ηに近接するまでは速度プロファイル発生アルゴリズ
ム■により曲線３のプロファイルに従って速度信号を比
較回路（ハ）に出力する。一方、位置−速度変換器（ハ
）は常時位置検出器（至）からの信号を速度信号に変換
している。比較回路（ハ）は速度プロファイル発生アル
ゴリズム（財）からの速度信号と、位置−速度変換器（
４！９からの信号を比較し、差信号を駆動回路（財）に
出力する。駆動回路■は、その差信号に応じた電流をリ
ニアモータ（至）に流す。キャビツリαｅがペレットに
？）の上面に達すると、キャピラリαｅはそれ以上下降
しないため位置信号の変化が小さくなる。タッチ検出ア
ルゴリズム鏝ではとの変化をとらえ、切換回路６１）を
切換え、加圧プロファイル発生アルゴリズム四と比較回
路（ハ）とを連結すると同時に加圧プロファイル発生ア
ルゴリズム＠場が始動して、予め定められた加圧プロフ
ァイルに従って加圧信号を比較回路（ハ）に出力する。
〔ηに近接するまでは速度プロファイル発生アルゴリズ
ム■により曲線３のプロファイルに従って速度信号を比
較回路（ハ）に出力する。一方、位置−速度変換器（ハ
）は常時位置検出器（至）からの信号を速度信号に変換
している。比較回路（ハ）は速度プロファイル発生アル
ゴリズム（財）からの速度信号と、位置−速度変換器（
４！９からの信号を比較し、差信号を駆動回路（財）に
出力する。駆動回路■は、その差信号に応じた電流をリ
ニアモータ（至）に流す。キャビツリαｅがペレットに
？）の上面に達すると、キャピラリαｅはそれ以上下降
しないため位置信号の変化が小さくなる。タッチ検出ア
ルゴリズム鏝ではとの変化をとらえ、切換回路６１）を
切換え、加圧プロファイル発生アルゴリズム四と比較回
路（ハ）とを連結すると同時に加圧プロファイル発生ア
ルゴリズム＠場が始動して、予め定められた加圧プロフ
ァイルに従って加圧信号を比較回路（ハ）に出力する。
との信号は速度信号と同様に比較回路（４３，駆動回路
（財）を通シ、加圧プロファイルに応じた電流をリニア
モータ（至）に流し、その電流に応じた加圧力がペレッ
ト０ηに加えられる。その後所定時間経過すると。
（財）を通シ、加圧プロファイルに応じた電流をリニア
モータ（至）に流し、その電流に応じた加圧力がペレッ
ト０ηに加えられる。その後所定時間経過すると。
再びタッチ検出アルゴリズム（至）にょシ切換回路６υ
が切換わ）速度プロファイル発生アルゴリズム■が比較
回路的に連結され、再び曲線Ｓの部分ｄのプロファイル
に従りた速度信号が速度プロファイル発生アルゴリズム
顛から出され前述と同様にキャピラリαＱの先端は変位
し、リード−にワイヤ（１６１）が当接し、部分ｅに示
すように一定時間リードーを加圧し、一本のワイヤ（１
６りの接金が終了し、再びペレッ） （１？）の別の位
置と別のリード−との接合が行なわれる。
が切換わ）速度プロファイル発生アルゴリズム■が比較
回路的に連結され、再び曲線Ｓの部分ｄのプロファイル
に従りた速度信号が速度プロファイル発生アルゴリズム
顛から出され前述と同様にキャピラリαＱの先端は変位
し、リード−にワイヤ（１６１）が当接し、部分ｅに示
すように一定時間リードーを加圧し、一本のワイヤ（１
６りの接金が終了し、再びペレッ） （１？）の別の位
置と別のリード−との接合が行なわれる。
本実施例のようにコイル体を固定して設は丸ものは、ボ
ンディングアームの揺動く対し慣性モーメントが小さく
、シかも鉄心にコイルが巻回されるので十分な電流を流
しても発熱するようなことはない。
ンディングアームの揺動く対し慣性モーメントが小さく
、シかも鉄心にコイルが巻回されるので十分な電流を流
しても発熱するようなことはない。
次に第８図により第２の実施例につき説明する。
本実施例はボンディングアームａフＪ側にコイル体動を
設は固定側に磁石体１３りを設けたものである。第１の
実施例と同様に鉄心−のコイル保持溝（図示しない）に
コイル缶を巻回してコイル体６υを構成している。また
支持フレーム（８）（第１図参照）に取付けられたプラ
ケッ） （６７）にヨークｆｆｌを取付け。
設は固定側に磁石体１３りを設けたものである。第１の
実施例と同様に鉄心−のコイル保持溝（図示しない）に
コイル缶を巻回してコイル体６υを構成している。また
支持フレーム（８）（第１図参照）に取付けられたプラ
ケッ） （６７）にヨークｆｆｌを取付け。
これに永久磁石συ、＠を取付けて磁石体−が構成され
ている。その他は第１の実施例と同様な構成になってい
る。
ている。その他は第１の実施例と同様な構成になってい
る。
本実施例のようにコイルをボンディングアーム側に設け
たものは、揺動中心からの距離を小さく構成できるので
、慣性モーメントは小にできベレットへの衝撃を小さく
できる。
たものは、揺動中心からの距離を小さく構成できるので
、慣性モーメントは小にできベレットへの衝撃を小さく
できる。
以上詳述したように１本発明のワイヤボンディング装置
は、コイルをボンディングアームの揺動により形成する
円弧面にほぼ平行な面に沿って形成したのでボンディン
グアームの回転中心からの距離を短かく構成できるから
、慣性モーメントが小さくなシペレットへの衝撃力を小
にでき、しかも揺動運動の制御が精度よく行なえる効果
がある。
は、コイルをボンディングアームの揺動により形成する
円弧面にほぼ平行な面に沿って形成したのでボンディン
グアームの回転中心からの距離を短かく構成できるから
、慣性モーメントが小さくなシペレットへの衝撃力を小
にでき、しかも揺動運動の制御が精度よく行なえる効果
がある。
また全体重量も小さくできるのでＸＹテーブルの高速化
に適する効果がある。
に適する効果がある。
第１図は本発明の第１０笑施例の斜視図、第２図は第１
図の矢印夏方向から見た要部断面図、第３図は第１の実
施例の要部拡大図、第４図は同じく作動を説明する拡大
図、第５図は直流モータの原理図、第６図は第１の実施
°例の制御装置のブロック図、第７図は同じく作動を説
明する線図、第８図は第２の実施例の要部拡大断面図で
ある。 （８）：支持フレーム、醤：ボンディングアーム。 ａｅ：キャピラリ、 ０１）、■：コイ ル。 （至）：リニアモータ。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 第１因 第 ４１１１ 第８図 −廊 第６図 （１，。 第７図
図の矢印夏方向から見た要部断面図、第３図は第１の実
施例の要部拡大図、第４図は同じく作動を説明する拡大
図、第５図は直流モータの原理図、第６図は第１の実施
°例の制御装置のブロック図、第７図は同じく作動を説
明する線図、第８図は第２の実施例の要部拡大断面図で
ある。 （８）：支持フレーム、醤：ボンディングアーム。 ａｅ：キャピラリ、 ０１）、■：コイ ル。 （至）：リニアモータ。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 第１因 第 ４１１１ 第８図 −廊 第６図 （１，。 第７図
Claims (3)
- （１）キャピラリを有し支持フレームに回転自在に支持
されたボンディングアームをリニアモータにより揺動駆
動し上記リニアモータのコイルに流れる電流を制御して
上記キャピラリの移動を制御するワイヤボンディング装
置において、上記コイルは上記ボンディングアームが揺
動により形成する円弧面にほぼ平行な面に沿って巻回さ
れていることを特徴とするワイヤボンディング装置。 - （２）一端部にキャピラリを有するボンディングアーム
の他端部にコイルが取付けられていることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のワイヤボンディング装置。 - （３）コイルは支持フレーム側に固定されて設けられて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のワイ
ヤボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60003938A JPH0680697B2 (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60003938A JPH0680697B2 (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61163648A true JPS61163648A (ja) | 1986-07-24 |
| JPH0680697B2 JPH0680697B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=11571068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60003938A Expired - Lifetime JPH0680697B2 (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0680697B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0388344A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-12 | Seiko Epson Corp | インナーリードのボンディング方法 |
| US5180094A (en) * | 1991-02-27 | 1993-01-19 | Kaijo Corporation | Wire bonder with bonding arm angle sensor |
| US5330089A (en) * | 1991-04-26 | 1994-07-19 | Texas Instruments Incorporated | Polar bond head |
| US7370785B2 (en) | 2003-09-22 | 2008-05-13 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Wire bonding method and apparatus |
-
1985
- 1985-01-16 JP JP60003938A patent/JPH0680697B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0388344A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-12 | Seiko Epson Corp | インナーリードのボンディング方法 |
| JPH0574223B2 (ja) * | 1989-08-31 | 1993-10-18 | Seiko Epson Corp | |
| US5180094A (en) * | 1991-02-27 | 1993-01-19 | Kaijo Corporation | Wire bonder with bonding arm angle sensor |
| US5330089A (en) * | 1991-04-26 | 1994-07-19 | Texas Instruments Incorporated | Polar bond head |
| US5556022A (en) * | 1991-04-26 | 1996-09-17 | Texas Instruments Incorporated | Polar bond head |
| US7370785B2 (en) | 2003-09-22 | 2008-05-13 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Wire bonding method and apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0680697B2 (ja) | 1994-10-12 |
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