JPS61160033A - 光学部品の異常検出装置 - Google Patents
光学部品の異常検出装置Info
- Publication number
- JPS61160033A JPS61160033A JP33685A JP33685A JPS61160033A JP S61160033 A JPS61160033 A JP S61160033A JP 33685 A JP33685 A JP 33685A JP 33685 A JP33685 A JP 33685A JP S61160033 A JPS61160033 A JP S61160033A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- lens
- optical parts
- transmitted
- detect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は透光性を有する光学部品の異常状態を検出する
装置に関する。
装置に関する。
炭酸ガス（以下ＣＯ２と略す）レーザ加工装置を一例に
挙げて説明すると、この糧の装置ではＣＯ２レーザ光を
集光する集光レンズにはＫＣｌ、 Ｚｎ５ｅ 。
挙げて説明すると、この糧の装置ではＣＯ２レーザ光を
集光する集光レンズにはＫＣｌ、 Ｚｎ５ｅ 。
ＧａＡｓ 、 Ｚｎ８等の結晶体が用いられ、それら表
面に傷つき防止用の保護膜や反射防止用の膜が施されて
いる。このような膜はＣＯ２レーザ光の照射時間に比例
して損傷を受け、膜本来の機能が低下してくるつ低下の
度合が増すにつれ、集光レンズでのＣＯ２レーザ光の吸
収が大きくなシ、集光レンズ自体が温度上昇する。この
ため、集子レンズは熱変形および母材の屈折率等の変化
を起こし、焦点位置の移動から溶は込み深さの減少など
加工結果に悪影響を及ぼす問題を生じていた。
面に傷つき防止用の保護膜や反射防止用の膜が施されて
いる。このような膜はＣＯ２レーザ光の照射時間に比例
して損傷を受け、膜本来の機能が低下してくるつ低下の
度合が増すにつれ、集光レンズでのＣＯ２レーザ光の吸
収が大きくなシ、集光レンズ自体が温度上昇する。この
ため、集子レンズは熱変形および母材の屈折率等の変化
を起こし、焦点位置の移動から溶は込み深さの減少など
加工結果に悪影響を及ぼす問題を生じていた。
本発明は集光レンズ等の光学部品の光学的変化を的確に
把握する検出装置を提供することを目的とする。
把握する検出装置を提供することを目的とする。
〔発明の概要〕′
光学部品の表面からの散乱光の光量を検出する手段と、
光学部品に対しこの光学部品の作用を受けるレーザ光の
ような光とは別の光源で投光しこの投光による光学部品
を透過した光の集光位置を検出する手段を設けた構成に
したものである。
光学部品に対しこの光学部品の作用を受けるレーザ光の
ような光とは別の光源で投光しこの投光による光学部品
を透過した光の集光位置を検出する手段を設けた構成に
したものである。
以下、本発明を実施例を示す図面に基いて説明する。図
面において、（１）は例えばＣＯ２レーザ発振器（図示
省略）から放出されたレーザ光（２）を案内する導光体
で、その先端部の内側にはＺｎ８ｅ 、ＧａＡｓ等から
なシ、表面に反射防止膜の蒸着された集光レンズ（３）
が設けられ、また、外側にはノズル（４）が螺着されて
いる。さらに１導光体（１）にはレーザ光（２）の入射
側になる集光レンズ（３）の表面に投光する光源（５）
と、この光源（５）とは別の筒所に位置して集光レンズ
（３）の上記表面からの散乱光の光量を検出する受光素
子（６）とが設けられている。この受光素子（６）は内
側に雌ねじをもち、導光体（１）側部く形成した分岐部
に螺合した蓋体（７）の内面に支持体（８）を介して取
り付けられていて、その受光出力は光量計などの表示装
置（図示省略）に入力されるようになっている。なお、
光源（５）からは集光レンズ（３）の表面全域が可及的
に投光されるように拡大した光が発せられる。
面において、（１）は例えばＣＯ２レーザ発振器（図示
省略）から放出されたレーザ光（２）を案内する導光体
で、その先端部の内側にはＺｎ８ｅ 、ＧａＡｓ等から
なシ、表面に反射防止膜の蒸着された集光レンズ（３）
が設けられ、また、外側にはノズル（４）が螺着されて
いる。さらに１導光体（１）にはレーザ光（２）の入射
側になる集光レンズ（３）の表面に投光する光源（５）
と、この光源（５）とは別の筒所に位置して集光レンズ
（３）の上記表面からの散乱光の光量を検出する受光素
子（６）とが設けられている。この受光素子（６）は内
側に雌ねじをもち、導光体（１）側部く形成した分岐部
に螺合した蓋体（７）の内面に支持体（８）を介して取
り付けられていて、その受光出力は光量計などの表示装
置（図示省略）に入力されるようになっている。なお、
光源（５）からは集光レンズ（３）の表面全域が可及的
に投光されるように拡大した光が発せられる。
一方、集光レンズ（３）を透過した光源（５）よシの透
過光（９）の集光位置を検出すべく受光素子アレイα１
がノズル（４）の内部に設けられている。受光素子アレ
イ顛による上記集光位置は信号処理されＩＴＶ等の上記
表示装置とは別の表示装置（図示省略）で表示されるよ
うになっている。αυはノズル（４）内に用途に応じ不
活性ガスや酸素等の補助ガスを供給する供給管である。
過光（９）の集光位置を検出すべく受光素子アレイα１
がノズル（４）の内部に設けられている。受光素子アレ
イ顛による上記集光位置は信号処理されＩＴＶ等の上記
表示装置とは別の表示装置（図示省略）で表示されるよ
うになっている。αυはノズル（４）内に用途に応じ不
活性ガスや酸素等の補助ガスを供給する供給管である。
αりはレーザ光（２）によシ加工される被加工物である
。
。
上記の構成において、光源（５）からの光を受けた集光
レンズ（３）の表面より上記反射防止膜の損傷や表面に
滞留したほこシに応じて生じた散乱光は受光素子（６）
で検出され光量表示される。したがってこの光量の変化
度合により、反射防止膜の損傷の種度やほこりの量など
が的確に把握される。また受光素子アレイα〔において
は集光レンズ（３）に熱変形が生じた場合は、透過光（
９）の集光位置やそのスポット径の変化が検出され、集
光レンズ（３）の焦点位置の変化したことが確認される
。
レンズ（３）の表面より上記反射防止膜の損傷や表面に
滞留したほこシに応じて生じた散乱光は受光素子（６）
で検出され光量表示される。したがってこの光量の変化
度合により、反射防止膜の損傷の種度やほこりの量など
が的確に把握される。また受光素子アレイα〔において
は集光レンズ（３）に熱変形が生じた場合は、透過光（
９）の集光位置やそのスポット径の変化が検出され、集
光レンズ（３）の焦点位置の変化したことが確認される
。
集光レンズ等の光学部品の反射防止膜や母材の経時変化
である損傷の度合いを加工等の結果によらず、事前検出
できるようＫなったため、光学部品に対する適正な点検
時期の把握と、その寿命予測が可能となった。したがっ
て、たとえばレーザ加工においては、安定な加工に寄与
する一助となり、その実用的効果は大である。
である損傷の度合いを加工等の結果によらず、事前検出
できるようＫなったため、光学部品に対する適正な点検
時期の把握と、その寿命予測が可能となった。したがっ
て、たとえばレーザ加工においては、安定な加工に寄与
する一助となり、その実用的効果は大である。
なお、上記実施例ではレーザ加工用のレンズについて述
べたが、本発明はＣＯ２レーザ発振器の出力窓等、光に
よる熱的影響を及ぼされる他の光学部品あるいはＣＯｚ
レーザ以外のＹＡＧレーザやそのレーザ関係の光学部品
に適用できるものでちるっ
べたが、本発明はＣＯ２レーザ発振器の出力窓等、光に
よる熱的影響を及ぼされる他の光学部品あるいはＣＯｚ
レーザ以外のＹＡＧレーザやそのレーザ関係の光学部品
に適用できるものでちるっ
図面は本発明の一実施例を示す断面図である。
（１）・・・導光体、 （３）・・・集光レンズ
、（５）・・・光 源、 （６）・・・受光素子
、顛・・・受光素子アレイ。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）
、（５）・・・光 源、 （６）・・・受光素子
、顛・・・受光素子アレイ。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）
Claims (1)
- 透光性を有する光学部品の入射側になる表面にこの光学
部品の作用を受ける光とは別の光を上記表面に投光する
光源と、上記表面からの散乱光の光量を検出する手段と
、上記表面を透過した上記光源より透過光の集光位置を
検出する手段とを備えたことを特徴とする光学部品の異
常検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33685A JPS61160033A (ja) | 1985-01-08 | 1985-01-08 | 光学部品の異常検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33685A JPS61160033A (ja) | 1985-01-08 | 1985-01-08 | 光学部品の異常検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61160033A true JPS61160033A (ja) | 1986-07-19 |
Family
ID=11471044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33685A Pending JPS61160033A (ja) | 1985-01-08 | 1985-01-08 | 光学部品の異常検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61160033A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0936032A (ja) * | 1995-07-21 | 1997-02-07 | Canon Inc | 露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 |
| JP2006143304A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Ube Nitto Kasei Co Ltd | 梱包箱 |
| JP2008030799A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Suntory Ltd | 包装箱 |
| JP2008529898A (ja) * | 2004-10-20 | 2008-08-07 | ザ・コカ−コーラ・カンパニー | 物品用開口部を備えるカートン |
| CN111982469A (zh) * | 2020-08-04 | 2020-11-24 | 合肥登特菲医疗设备有限公司 | 一种cr收光筒的检测装置及检测方法 |
-
1985
- 1985-01-08 JP JP33685A patent/JPS61160033A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0936032A (ja) * | 1995-07-21 | 1997-02-07 | Canon Inc | 露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 |
| JP2008529898A (ja) * | 2004-10-20 | 2008-08-07 | ザ・コカ−コーラ・カンパニー | 物品用開口部を備えるカートン |
| JP2006143304A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Ube Nitto Kasei Co Ltd | 梱包箱 |
| JP2008030799A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Suntory Ltd | 包装箱 |
| CN111982469A (zh) * | 2020-08-04 | 2020-11-24 | 合肥登特菲医疗设备有限公司 | 一种cr收光筒的检测装置及检测方法 |
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