JPS61133810A - 厚さ測定方法 - Google Patents
厚さ測定方法Info
- Publication number
- JPS61133810A JPS61133810A JP25579084A JP25579084A JPS61133810A JP S61133810 A JPS61133810 A JP S61133810A JP 25579084 A JP25579084 A JP 25579084A JP 25579084 A JP25579084 A JP 25579084A JP S61133810 A JPS61133810 A JP S61133810A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- receiver
- source
- thickness measurement
- thickness
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はフィルムなど透明あるいは半透明シート類の光
線透過式厚さ測定方法〈関する。
線透過式厚さ測定方法〈関する。
従来の光線透過式厚さ測定に於ては光源を被測厚体の片
側に配置し、受光器を被測厚体の反対側に配置させて、
被測厚体の光線の吸収の割合を測りその割合いから、被
測厚体の厚さを算出する方法であった。この場合、光源
と受光器の組はある限られた時間内釦、被測厚体のない
場所に移動する必要がある。即ち厚さ０ミクロン（被測
厚体がないことに相当）での較正を必要とする。その理
由は、光源の光量変動、受光器の感度変動が不可避であ
るためである。光源の光量変動の主な要因としては、光
源の経時変化（経時劣化）、電源電圧の変動、周囲温度
の変動などがある。また受光器の感度変動の主な要因と
しては、受光器の経時変化（経時劣化）、受光器或は受
光器に至る光路中のガラス類にほこり等が付着すること
による感度変動、また光源と受光器の相対位的な位置が
温度変動による受光器保持物体の膨張、収縮により、変
ることに起因する、受光器の感度変化などがある。
側に配置し、受光器を被測厚体の反対側に配置させて、
被測厚体の光線の吸収の割合を測りその割合いから、被
測厚体の厚さを算出する方法であった。この場合、光源
と受光器の組はある限られた時間内釦、被測厚体のない
場所に移動する必要がある。即ち厚さ０ミクロン（被測
厚体がないことに相当）での較正を必要とする。その理
由は、光源の光量変動、受光器の感度変動が不可避であ
るためである。光源の光量変動の主な要因としては、光
源の経時変化（経時劣化）、電源電圧の変動、周囲温度
の変動などがある。また受光器の感度変動の主な要因と
しては、受光器の経時変化（経時劣化）、受光器或は受
光器に至る光路中のガラス類にほこり等が付着すること
による感度変動、また光源と受光器の相対位的な位置が
温度変動による受光器保持物体の膨張、収縮により、変
ることに起因する、受光器の感度変化などがある。
この様に光源の光量、および受光器の感度が覆々の要因
により変るので、正確な測厚を行うためには、光量変動
、感度変動が許容される範囲内になるような、既述のあ
る限られた時間内に厚さ０ミクロン（即ち被測厚物がな
い状態あるいは位置）での較正が必要な訳である。
により変るので、正確な測厚を行うためには、光量変動
、感度変動が許容される範囲内になるような、既述のあ
る限られた時間内に厚さ０ミクロン（即ち被測厚物がな
い状態あるいは位置）での較正が必要な訳である。
通常フィルム生産現場では数日間フィルムが流れつづけ
、一方光源、受光器の組の較正必要頻度は数ｊ ＩＪ秒
から数分の程度である。従って較正が必要な都度、光源
と受光器の組をその相対的位置を保ってフィルムライン
外に移動しなければならない。
、一方光源、受光器の組の較正必要頻度は数ｊ ＩＪ秒
から数分の程度である。従って較正が必要な都度、光源
と受光器の組をその相対的位置を保ってフィルムライン
外に移動しなければならない。
本発明は以上の状況を考慮して、光源と受光器の組をフ
ィルムライン外に移動せず、そのままの位置で較正でき
るようにし九ものである。
ィルムライン外に移動せず、そのままの位置で較正でき
るようにし九ものである。
従って本発明は、走行フィルムの様に、連続的に厚さを
測定しなければならず１．較正のために、厚さ測定が中
断されてはならない場合に有効である。以下本発明の実
施例を図面に基づき説明する。
測定しなければならず１．較正のために、厚さ測定が中
断されてはならない場合に有効である。以下本発明の実
施例を図面に基づき説明する。
第１図の左側は従来法の光線透過型厚さ測定原理図であ
る。図中光源１ａから発した光はフィルム等被測厚体に
厚さに関係したある割合で吸収され、残りが受光器２ａ
に到達する。第１図の右側は厚さ０ミクロンの較正の状
態図である。ここで矢印７は移動方向を示す。受光器２
ａの出力と受光器２ｂの出力を比較すれば、フィルムの
光線吸収度がわかり厚さが算出される。
る。図中光源１ａから発した光はフィルム等被測厚体に
厚さに関係したある割合で吸収され、残りが受光器２ａ
に到達する。第１図の右側は厚さ０ミクロンの較正の状
態図である。ここで矢印７は移動方向を示す。受光器２
ａの出力と受光器２ｂの出力を比較すれば、フィルムの
光線吸収度がわかり厚さが算出される。
第２図は本発明の一実施例を示す。図中で光源１から発
した光線はフィルム４を通り光線反射装置３で反射され
、フィルム４′に再透過し、半透鏡６によって受光器２
に導かれる。第３図は厚さ′０ミクロンの較正の状態図
である。反射鏡５が光路中に入れられており、フィルム
４を通過する光はない。第２図の受光器２の出力と第３
図の受光器２の出力を比較すればフィルム４の光の透過
率が求まり、フィルム厚さデータが得られる。第３図に
おいて反射鏡５は光路の近傍に配置し得るので第２図の
状態から第３図の状態への移行は第１図の左側の状態か
ら右側の状態への移行に比べて非常に短時間に行われる
。
した光線はフィルム４を通り光線反射装置３で反射され
、フィルム４′に再透過し、半透鏡６によって受光器２
に導かれる。第３図は厚さ′０ミクロンの較正の状態図
である。反射鏡５が光路中に入れられており、フィルム
４を通過する光はない。第２図の受光器２の出力と第３
図の受光器２の出力を比較すればフィルム４の光の透過
率が求まり、フィルム厚さデータが得られる。第３図に
おいて反射鏡５は光路の近傍に配置し得るので第２図の
状態から第３図の状態への移行は第１図の左側の状態か
ら右側の状態への移行に比べて非常に短時間に行われる
。
また前記の移行は従来法第１図の場合は受光器２と光源
１が動くので、受光器・・・・・・・・・光源間の相対
的な距離の微小変化、相対的な角度の微小変化は避けら
れない。一方策２図から第３図への移行、或は逆に第３
図から第２図への移行に際しては、受光器２）光源１は
動かない従って１図の場合は較正作業に於ても光量変動
、感度変動が避けられないのに対し、本発明の場合は光
量変動、感度変動はない。
１が動くので、受光器・・・・・・・・・光源間の相対
的な距離の微小変化、相対的な角度の微小変化は避けら
れない。一方策２図から第３図への移行、或は逆に第３
図から第２図への移行に際しては、受光器２）光源１は
動かない従って１図の場合は較正作業に於ても光量変動
、感度変動が避けられないのに対し、本発明の場合は光
量変動、感度変動はない。
この様に光源の光景変動、受光器の感度変動が単に反射
鏡５を光路中に差入れるのみで瞬時に監視できるので、
光源の光量変動が随時監視でき、測厚精度が向上する。
鏡５を光路中に差入れるのみで瞬時に監視できるので、
光源の光量変動が随時監視でき、測厚精度が向上する。
第２図に於て光線反射装置３が単に平面鏡であると、光
線反射装置保持具８の微小変動（気温変動による膨張、
収縮または機械振動等に起因する）があると平面鏡で反
射される光線の向きが変動し、光源の光量変動、受光器
の感度変動と等価な測厚精度の低下をもたらす。
線反射装置保持具８の微小変動（気温変動による膨張、
収縮または機械振動等に起因する）があると平面鏡で反
射される光線の向きが変動し、光源の光量変動、受光器
の感度変動と等価な測厚精度の低下をもたらす。
ここで光線反射装置３をコーナーキューブプリズムまた
はコーナーキューブミラーとすればコーナーキューブプ
リズムまたはコーナーキューブミラーの性質上その動き
（変動）には無関係に反射光線は正確に入射光線の方向
に反射される。従って測厚精度は光線反射装置３の変動
の影響をうけない。
はコーナーキューブミラーとすればコーナーキューブプ
リズムまたはコーナーキューブミラーの性質上その動き
（変動）には無関係に反射光線は正確に入射光線の方向
に反射される。従って測厚精度は光線反射装置３の変動
の影響をうけない。
なお第２図、第３図に於て反射鏡５、半透鏡６は本発明
の趣旨に反しない限り任意に構成して良い。たとえば反
射鏡５ｔ−無しにして、半透鏡６を第３図の紙面に垂直
な軸のまわりに９０゜回転させ反射鏡５の役割も兼ねさ
せるなどの構成をとっても良い。
の趣旨に反しない限り任意に構成して良い。たとえば反
射鏡５ｔ−無しにして、半透鏡６を第３図の紙面に垂直
な軸のまわりに９０゜回転させ反射鏡５の役割も兼ねさ
せるなどの構成をとっても良い。
第１図は従来法の原理図を示す。第２図、第３図は本発
明の一実施例を示す。 １・・・光源、２・・・受光器、３・・・光線反射装置
、４・・・被測浮体、５・・・反射鏡、６・・・半透鏡
、７・・・移動方向、８・・・光線反射装置保持具特許
出願人 株式会社ヒューテノク 第１図 第２図 第３図 一、ｉ１
明の一実施例を示す。 １・・・光源、２・・・受光器、３・・・光線反射装置
、４・・・被測浮体、５・・・反射鏡、６・・・半透鏡
、７・・・移動方向、８・・・光線反射装置保持具特許
出願人 株式会社ヒューテノク 第１図 第２図 第３図 一、ｉ１
Claims (3)
- （１）被測厚体の片側に光源と受光器を配設し、被測厚
体の反対側に光線反射装置を配設したことを特徴とする
厚さ測定方法。 - （２）特許請求の範囲第１項において、光源の光量が随
時、受光器により監視されていることを特徴とする厚さ
測定方法。 - （３）特許請求範囲第１項において、光線反射装置がコ
ーナーキューブプリズムまたはコーナーキューブミラー
であることを特徴とする厚さ測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25579084A JPS61133810A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 厚さ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25579084A JPS61133810A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 厚さ測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61133810A true JPS61133810A (ja) | 1986-06-21 |
Family
ID=17283664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25579084A Pending JPS61133810A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 厚さ測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61133810A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0660075A2 (en) * | 1993-12-21 | 1995-06-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | High resolution high speed film measuring apparatus and method |
-
1984
- 1984-12-05 JP JP25579084A patent/JPS61133810A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0660075A2 (en) * | 1993-12-21 | 1995-06-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | High resolution high speed film measuring apparatus and method |
| EP0660075A3 (en) * | 1993-12-21 | 1996-06-26 | Minnesota Mining & Mfg | Method and apparatus for measuring film thickness at high resolution and at high speed. |
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