JPS6115735U - 半導体素子の電気特性測定装置用接触針 - Google Patents

半導体素子の電気特性測定装置用接触針

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JPS6115735U
JPS6115735U JP9855884U JP9855884U JPS6115735U JP S6115735 U JPS6115735 U JP S6115735U JP 9855884 U JP9855884 U JP 9855884U JP 9855884 U JP9855884 U JP 9855884U JP S6115735 U JPS6115735 U JP S6115735U
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JP
Japan
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contact needle
semiconductor devices
electrical property
measurement equipment
property measurement
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JP9855884U
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Inventor
博 藤原
Original Assignee
株式会社東芝
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例の接触針の斜視図、第２図
は電気特性測定装置の概略を示す一部断面で示す正面図
、第３図は電気特性測定装置のヘッド部を示し、図ａは
側面図、図ｂは斜視図、図Ｃは固定カードの側面断面図
、図ｄは固定カードの正面図、第４図は従来の接触針の
正面図、第５図は接触針と電極との接触を示す側面図で
ある。 １・・・接触針、１ａ・・・接触針の一衝部、１０２・
・・測定ヘッド、１２０・・・半導体素子、１２１・・
・半導体素子の電極。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体素子の電気特性測定装置の測定ヘッドに一端部で
    取着され遊端を半導体素子の電極に衝接させる接触針が
    、取着端部と遊端との間に緩衝部を有することを特徴と
    する半導体束子の電気特性測定装置用接触針。
JP9855884U 1984-07-02 1984-07-02 半導体素子の電気特性測定装置用接触針 Pending JPS6115735U (ja)

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JPS6115735U true JPS6115735U (ja) 1986-01-29

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ID=30658096

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JP9855884U Pending JPS6115735U (ja) 1984-07-02 1984-07-02 半導体素子の電気特性測定装置用接触針

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0666833A (ja) * 1992-04-28 1994-03-11 Nippon Denshi Zairyo Kk プローブカード用探針

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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