JPS6115733U - 基板付着物の削除装置 - Google Patents
基板付着物の削除装置Info
- Publication number
- JPS6115733U JPS6115733U JP9883485U JP9883485U JPS6115733U JP S6115733 U JPS6115733 U JP S6115733U JP 9883485 U JP9883485 U JP 9883485U JP 9883485 U JP9883485 U JP 9883485U JP S6115733 U JPS6115733 U JP S6115733U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- grindstone
- attached
- holding table
- removal device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は片面に形成した成長または付着層が裏面に回り
込んだ付着物を有する基板の断面図、第２図は従来の研
削砥石を用いた研削方法で第１図に示す基板の回り衿み
付着物を削除するときの説明図、第３図は本考案の実施
例を示す断面図である。
込んだ付着物を有する基板の断面図、第２図は従来の研
削砥石を用いた研削方法で第１図に示す基板の回り衿み
付着物を削除するときの説明図、第３図は本考案の実施
例を示す断面図である。
Claims (1)
- 基板の片面に成長または付着させた異種材料が該基板の
他の片面にまわり込んだ周縁付着部および中央部の飛散
付着物を削除する装置において、異種材料を成長または
付着させた側の該基板の面を保持する上記基板とほぼ同
径の軟質材板付き真空吸引台を有し該加工物保持台の回
転軸に対し傾斜させた回転軸に可撓性の薄円板砥石が取
りつけられており、該砥石を撓ませた状態で上記保持台
および砥石を回転させながら該基板面の外周から中心部
に向って移動させることができることを特徴とする基材
付着物の削除装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9883485U JPS6115733U (ja) | 1985-06-27 | 1985-06-27 | 基板付着物の削除装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9883485U JPS6115733U (ja) | 1985-06-27 | 1985-06-27 | 基板付着物の削除装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6115733U true JPS6115733U (ja) | 1986-01-29 |
Family
ID=30658352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9883485U Pending JPS6115733U (ja) | 1985-06-27 | 1985-06-27 | 基板付着物の削除装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6115733U (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS493029A (ja) * | 1972-04-27 | 1974-01-11 | ||
| JPS4958773A (ja) * | 1972-10-04 | 1974-06-07 | ||
| JPS52112892A (en) * | 1976-01-20 | 1977-09-21 | Headway Res Inc | Method of and device for grinding |
| JPS52123172A (en) * | 1976-04-08 | 1977-10-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | Spin coating method |
-
1985
- 1985-06-27 JP JP9883485U patent/JPS6115733U/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS493029A (ja) * | 1972-04-27 | 1974-01-11 | ||
| JPS4958773A (ja) * | 1972-10-04 | 1974-06-07 | ||
| JPS52112892A (en) * | 1976-01-20 | 1977-09-21 | Headway Res Inc | Method of and device for grinding |
| JPS52123172A (en) * | 1976-04-08 | 1977-10-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | Spin coating method |
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